專利名稱：振動(dòng)片、振動(dòng)器件、物理量檢測裝置以及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及振動(dòng)片、振動(dòng)器件、物理量檢測裝置以及使用了它們的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往，作為用于檢測角速度的振動(dòng)片，已知有所謂的“WT型”陀螺儀元件(例如參照專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。作為一例，對專利文獻(xiàn)I的陀螺儀元件進(jìn)行說明，專利文獻(xiàn)I的陀螺儀元件具有:振動(dòng)體；支撐振動(dòng)體的第一、第二支撐部；連接振動(dòng)體和第一支撐部的第一、第二梁；連接振動(dòng)體和第二支撐部的第三、第四梁。此外，振動(dòng)體由以下部分構(gòu)成:基部；從基部起朝向兩側(cè)沿著I軸延伸的第一、第二檢測振動(dòng)臂；從基部起朝向兩側(cè)沿著X軸延伸的第一、第二連接臂；從第一連接臂的末端部起朝向兩側(cè)沿著y軸延伸的第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；從第二連接臂的末端部起朝向兩側(cè)沿著y軸延伸的第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂。這樣的專利文獻(xiàn)I的陀螺儀元件經(jīng)由導(dǎo)電性粘結(jié)劑安裝在安裝基板上。具體地說，設(shè)置于第一、第二支撐部的六個(gè)連接端子(固定部)與安裝基板通過導(dǎo)電性粘結(jié)劑接合，由此將陀螺儀元件固定到安裝基板上，并且將陀螺儀元件和安裝基板電連接。專利文獻(xiàn)I日本特開2006-201011號公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2010-256332號公報(bào)在如上所述的陀螺儀元件中，公知會(huì)產(chǎn)生所謂的“振動(dòng)泄漏現(xiàn)象”:各個(gè)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂或檢測振動(dòng)臂的振動(dòng)傳播到從振動(dòng) 體延伸出的各個(gè)梁，進(jìn)而傳播到第一、第二支撐部。當(dāng)發(fā)生該振動(dòng)泄漏現(xiàn)象時(shí)，在將連接端子(固定部)固定到安裝基板的情況下，存在如下課題:因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象阻礙了所傳播的振動(dòng)，該振動(dòng)的阻礙可能也會(huì)對驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂或檢測振動(dòng)臂的振動(dòng)產(chǎn)生影響。另外，當(dāng)振動(dòng)泄漏現(xiàn)象對驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂或檢測振動(dòng)臂的振動(dòng)產(chǎn)生影響時(shí)，陀螺儀元件的振動(dòng)特性的劣化，尤其是溫度漂移增大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可以作為以下方式或應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。[應(yīng)用例I]本應(yīng)用例的振動(dòng)片具有:振動(dòng)體；支撐部,其與從所述振動(dòng)體延伸出的梁連接，支撐所述振動(dòng)體；以及至少兩個(gè)固定部，它們設(shè)置于所述支撐部，沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向分離且并列地設(shè)置，在所述兩個(gè)固定部之間將所述梁和所述支撐部相連，在所述兩個(gè)固定部之間設(shè)有薄部或者貫通部，所述薄部形成為，該薄部在所述支撐部的正反方向上的厚度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分薄，所述貫通部是在正反方向上貫通地去除所述支撐部而形成的。根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)片，在分離且并列地設(shè)置的至少兩個(gè)固定部之間的支撐部上連接了梁。而且，在所述兩個(gè)固定部之間設(shè)有薄部或者貫通部，所述薄部形成為，該薄部在支撐部的正反方向上的厚度薄，所述貫通部是在正反方向上貫通地去除支撐部而形成的。利用該薄部以及貫通部，使得梁與支撐部相連的部分的剛性減弱，容易發(fā)生變形，通過該部分的變形，能夠緩解梁所具有的應(yīng)力。由此，能夠緩解從振動(dòng)體向梁產(chǎn)生的應(yīng)力，所以能夠減少傳播到梁的因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象引起的振動(dòng)傳播到固定部。由此，能夠提供減輕了振動(dòng)片的振動(dòng)特性劣化、尤其減小了溫度漂移的振動(dòng)片。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片中，其特征在于，所述支撐部具有從所述梁分別延伸到所述兩個(gè)固定部的寬度狹窄部，所述支撐部的所述寬度狹窄部處的寬度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分的寬度窄。根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)片，設(shè)有從梁延伸到兩個(gè)固定部的寬度狹窄部，利用寬度變窄而容易變形的寬度狹窄部，能夠緩解從振動(dòng)體向梁產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠減少傳播到梁的因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象引起的振動(dòng)向兩個(gè)固定部的傳播。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片中，其特征在于，所述薄部或所述貫通部的靠所述振動(dòng)體側(cè)的端部在所述支撐部的側(cè)面開放。根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)片，利用薄部或貫通部形成的寬度狹窄部與梁相連，因此，能夠緩解從振動(dòng)體向梁產(chǎn)生的應(yīng)力，能夠減少傳播到梁的因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象引起的振動(dòng)向固定部的傳播。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片中，其特征在于，所述振動(dòng)體具有:基部；從所述基部起朝向兩側(cè)沿著第一方向延伸的第一檢測振動(dòng)臂以及第二檢測振動(dòng)臂；從所述基部起朝向兩側(cè)沿著與所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一連接臂和第二連接臂；從所述第一連接臂起朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；從所述第二連接臂朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂和第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂，由所述第一檢測振動(dòng)臂以及所述第二檢測振動(dòng)臂構(gòu)成檢測振動(dòng)系統(tǒng)，由所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂以及所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)，所述支撐部具有隔著所述振動(dòng)體沿著所述第一方向相對配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撐部以及第二支撐部，所述梁具有:經(jīng)過所述第一檢測振動(dòng)臂和所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第一梁；經(jīng)過所述第一檢測振動(dòng)臂和所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第二梁；經(jīng)過所述第二檢測振動(dòng)臂和所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第三梁；以及經(jīng)過所述第二檢測振動(dòng)臂和所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第四
M
ο根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)片，通過在第一梁 第四梁這各個(gè)梁與固定部之間設(shè)置薄部或?qū)挾泉M窄部，能夠緩解從振動(dòng)體向梁產(chǎn)生的應(yīng)力，能夠減少傳播到梁的因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象引起的振動(dòng)向固定部的傳播。從而，能夠?qū)崿F(xiàn)降低了溫度漂移的角速度檢測。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片中，其特征在于，該振動(dòng)片具有:連接所述第一梁和所述第二梁的第一連接梁、以及連接所述第三梁和所述第四梁的第二連接梁，利用所述第一連接梁以及所述第二連接梁將所述振動(dòng)體分別連接到所述第一支撐部以及所述第二支撐部。根據(jù)本應(yīng)用 例中所述的振動(dòng)片，振動(dòng)體通過第一連接梁或第二連接梁的每一個(gè)連接梁與各個(gè)支撐部連接，因此，除了所述薄部、寬度狹窄部的變形以外，接合部分也容易在各個(gè)方向上發(fā)生變形，能夠進(jìn)一步緩解從振動(dòng)體向連接梁產(chǎn)生的應(yīng)力。由此，能夠減少傳播到連接梁的因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象所引起的振動(dòng)向固定部的傳播。[應(yīng)用例6]本應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件的特征在于，該振動(dòng)器件具備:具有至少兩個(gè)連接焊盤的基板；以及上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片，通過導(dǎo)電性固定部件將所述連接焊盤和所述固定部接合。根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件，由于使用了上述振動(dòng)片，因此能夠提供減輕了振動(dòng)片的振動(dòng)特性劣化、尤其是溫度漂移的振動(dòng)器件。[應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件中，其特征在于，在所述基板的俯視中，所述連接焊盤的輪廓的一部分與設(shè)置所述薄部或所述貫通部的區(qū)域的一部分重合。根據(jù)本應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件，可以把薄部或貫通部用作刻度(標(biāo)記)，所以能夠更加準(zhǔn)確、簡便地進(jìn)行相對于基板的定位。[應(yīng)用例8]本應(yīng)用例所述的物理量檢測裝置的特征在于，該物理量檢測裝置具有:上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)片、驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)片的驅(qū)動(dòng)電路、以及根據(jù)來自所述振動(dòng)片的檢測信號，檢測預(yù)定物理量的檢測電路。根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用了上述振動(dòng)片，所以能夠提供特性穩(wěn)定的物理量檢測裝置，尤其是能提供減小了溫度漂移的可靠性高的物理量檢測裝置。[應(yīng)用例9]本應(yīng)用例所述的電子設(shè)備的特征在于，具有上述應(yīng)用例中的任意一個(gè)應(yīng)用例所述的振動(dòng)片。根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用了上述振動(dòng)片，所以能夠提供特性穩(wěn)定的電子設(shè)備，尤其是能夠提供通過溫度漂移的減小等實(shí)現(xiàn)的可靠性高的電子設(shè)備。


圖1是表示本發(fā)明的振動(dòng)器件的實(shí)施方式的圖(剖視圖以及俯視圖)。圖2是作為振動(dòng)器件所具有的振動(dòng)片的陀螺儀元件的俯視圖。圖3是作為振動(dòng)器件所具有的振動(dòng)片的陀螺儀元件的俯視圖。圖4是陀螺儀元件的局部放大圖，Ca)是俯視圖，(b)是主視圖。圖5是說明振動(dòng)陀螺元件的驅(qū)動(dòng)的俯視圖。圖6的(a)是用于說明本實(shí)施方式的陀螺儀元件的效果的一例的剖視圖，(b)是表示以往的陀螺儀元件的問題的剖視圖。圖7的(a) (f)是表示陀螺儀元件的變形例的局部俯視圖。圖8的(a) (f)是表示陀螺儀元件的變形例的局部俯視圖。圖9是表示陀螺儀元件的其他變形例的局部俯視圖。圖10是表示物理量檢測裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。符號說明1...振動(dòng)器件、2...陀螺儀元件、3...振動(dòng)片、4...振動(dòng)體、8...導(dǎo)電性固定部件(銀膏)、9...封裝、10...連接焊盤、22...基部、41...基部、51...第一支撐部、51a...接合部、51b...接合部、52...第二支撐部、52a...接合部、52b...接合部、61...第一梁、
62...第二梁、63...第三梁、64...第四梁、91...基座、92...蓋、421...第一檢測振動(dòng)臂、422...第二檢測振動(dòng)臂、431...第一連接臂、432...第二連接臂、441...第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、442...第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、443...第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、444...第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、512...槽、512a,512b...端部、512b，、512”...一端、514...槽、522...槽、524...槽、710...檢測信號電極、712...檢測信號配線、714...作為固定部的檢測信號端子、720...檢測接地電極、722...檢測接地配線、724...作為固定部的檢測接地端子、730...驅(qū)動(dòng)信號電極、732...驅(qū)動(dòng)信號配線、734...作為固定部的驅(qū)動(dòng)信號端子、740...驅(qū)動(dòng)接地電極、
742...驅(qū)動(dòng)接地配線、744...作為固定部的驅(qū)動(dòng)信號端子、911...底板、912...側(cè)壁、SI
510...區(qū)域。
具體實(shí)施例方式以下，基于附圖中所示的實(shí)施方式詳細(xì)說明本發(fā)明的振動(dòng)片以及振動(dòng)器件。〈實(shí)施方式〉首先說明應(yīng)用了本發(fā)明的振動(dòng)片的振動(dòng)器件的實(shí)施方式。圖1是表示本發(fā)明的振動(dòng)器件的實(shí)施方式的俯視圖以及正剖視圖。圖2以及圖3是圖1中所示的振動(dòng)器件所具備的陀螺儀元件的俯視圖。圖4是圖3中所示的陀螺儀元件的局部放大圖，(a)是俯視圖，(b)是主視圖。圖5是說明陀螺元件的驅(qū)動(dòng)的俯視圖。圖6是用于說明本實(shí)施方式的陀螺儀元件的效果的一例的圖，Ca)是用于說明本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的效果的一例的正剖視圖，(b)是表示以往的陀螺儀元件的問題的剖視圖。另外，以下如圖1所示，將彼此垂直的3個(gè)軸設(shè)為“X軸”、“y軸”以及“z軸”，z軸與振動(dòng)器件的厚度方向一致。此外，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向(第二方向)”，將與y軸平行的方向稱為“y軸方向(第一方向)”，將與z軸平行的方向稱為“z軸方向”。圖1中所示的振動(dòng)器 件I具有:作為振動(dòng)片的陀螺儀元件(振動(dòng)元件)2、和用于收納陀螺儀元件2的封裝9。以下，依次詳細(xì)地說明陀螺儀元件2以及封裝9。(陀螺儀元件)圖2是從上側(cè)(蓋92側(cè))觀察的陀螺儀元件的上表面圖，圖3是從上側(cè)觀察的陀螺儀元件的下表面圖(透視圖)。此外，在圖2以及圖3中，為了便于說明，在電極以及端子上畫出了陰影線。此外，在圖2以及圖3中，用相同的陰影線表示的電極以及端子代表電連接在一起。此外，在圖4中，為了便于說明，省略了支撐部、梁、電極等的圖示。陀螺儀元件2是檢測繞z軸的角速度的“面內(nèi)檢測型”的傳感器，如圖2以及圖3所示，由振動(dòng)片3、設(shè)置于振動(dòng)片3的表面的多個(gè)電極、配線以及端子構(gòu)成。振動(dòng)片3可以由石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰等壓電材料構(gòu)成，其中，優(yōu)選的是由石英構(gòu)成。由此得到了能夠發(fā)揮優(yōu)異的振動(dòng)特性(頻率特性)的振動(dòng)片3。這樣的振動(dòng)片3具有:所謂的雙T型的振動(dòng)體4、作為支撐振動(dòng)體4的支撐部的第一支撐部51及第二支撐部52、作為將振動(dòng)體4和第一、第二支撐部51、52相連的梁的第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64。振動(dòng)體4在xy平面中具有寬度，在z軸方向上具有厚度。這樣的振動(dòng)體4具有:位于中央的基部41 ;從基部41起沿著y軸方向朝向兩側(cè)延伸的第一檢測振動(dòng)臂421、第二檢測振動(dòng)臂422 ;從基部41起沿著X軸方向朝向兩側(cè)延伸的第一連接臂431、第二連接臂432 ;從第一連接臂431的末端部起沿著I軸方向朝向兩側(cè)延伸的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442 ;從第二連接臂432的末端部起沿著I軸方向朝向兩側(cè)延伸的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444。在第一第二檢測振動(dòng)臂421、422以及第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444的末端部，分別設(shè)有寬度比基端側(cè)寬的大致四邊形的重量部(錘頭)。通過設(shè)置這樣的重量部，來提高陀螺儀元件2的角速度的檢測靈敏度。另外，以下把該重量部稱為“末端部”。另外，第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442可以從第一連接臂431的延伸方向的中途延伸出來，同樣地，第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444可以從第二連接臂432的延伸方向的中途延伸出來。此外，第一、第二支撐部51、52分別沿著X軸方向延伸，振動(dòng)體4位于這些第一第二支撐部51、52之間。換言之，第一、第二支撐部51、52被配置成隔著振動(dòng)體4沿著y軸方向?qū)χ谩５谝恢尾?1經(jīng)由第一梁61以及第二梁62與基部41連接，第二支撐部52經(jīng)由第三梁63以及第四梁64與基部41連接。第一梁61經(jīng)過第一檢測振動(dòng)臂421和第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441之間，連接第一支撐部51和基部41，第二梁62經(jīng)過第一檢測振動(dòng)臂421和第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443之間，連接第一支撐部51和基部41，第三梁63經(jīng)過第二檢測振動(dòng)臂422和第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442之間，連接第二支撐部52和基部41，第四梁64經(jīng)過第二檢測振動(dòng)臂422和第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444之間，連接第二支撐部52和基部41。

這樣的各個(gè)梁61、62、63、64分別具有沿著x軸方向往復(fù)，并且沿著y軸方向延伸的蛇行部(S字形狀部)，在X軸方向以及y軸方向具有彈性。此外，各個(gè)梁61、62、63、64分別擁有具備蛇形部的細(xì)長形狀，因而在所有方向上都具有彈性。因此，即使從外部施加了沖擊，也由于各個(gè)梁61、62、63、64具有吸收沖擊的作用，所以能夠減少或抑制由此引起的檢
測噪聲。以上，對振動(dòng)片3的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明。如圖2以及圖3所示，在這樣的振動(dòng)片3上設(shè)有:檢測信號電極710、檢測信號配線712、檢測信號端子714、檢測接地電極720、檢測接地配線722、檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號電極730、驅(qū)動(dòng)信號配線732、驅(qū)動(dòng)信號端子734、驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742以及驅(qū)動(dòng)接地端子744。另外，檢測信號端子714、檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號端子734以及驅(qū)動(dòng)接地端子744相當(dāng)于固定部。為了便于說明，在圖2以及圖3中，用右下斜線表示檢測信號電極710、檢測信號配線712以及檢測信號端子714，用交叉斜線表示檢測接地電極720、檢測接地配線722以及檢測接地端子724，用左下斜線表示驅(qū)動(dòng)信號電極730、驅(qū)動(dòng)信號配線732以及驅(qū)動(dòng)信號端子734，用交叉縱橫線表示驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742以及驅(qū)動(dòng)接地端子744。此外，在圖2以及圖3中，用粗線表示設(shè)置于振動(dòng)片3的側(cè)面的電極、配線以及端子。各個(gè)電極710、720、730、740、各個(gè)配線 712、722、732、742 以及各個(gè)端子 714、724、734、744例如可以是層疊由鉻構(gòu)成的基底層和由金構(gòu)成的電極層而得到的結(jié)構(gòu)。由此，能夠形成密合性好的各個(gè)電極710、720、730、740、各個(gè)配線712、722、732、742以及各個(gè)端子714、724、734、744。各個(gè)電極710、720、730、740彼此電分離。與此同樣，各個(gè)配線712、722、732、742彼此電分離，各個(gè)端子714、724、734、744也彼此電分離。以下，依次對這各個(gè)電極、各個(gè)配線、各個(gè)端子進(jìn)行說明。此外，以下，為了便于說明，將圖2中所示的面稱為“上表面”，將圖3中所示的面稱為“下表面”，將連接上表面與下表面的面稱為“側(cè)面”。(I)檢測信號電極、檢測信號配線以及檢測信號端子檢測信號電極710被設(shè)置于第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422的上表面以及下表面。但是，在實(shí)施方式中，檢測信號電極710并未設(shè)置在第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422的末端部。檢測信號電極710被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。檢測信號電極710是在激勵(lì)第一第二檢測振動(dòng)臂421、422的檢測振動(dòng)時(shí)，用于檢測因該振動(dòng)產(chǎn)生的壓電材料的變形的電極。此外，檢測信號配線712被設(shè)置于第一、第三梁61、63。更具體地講，檢測信號配線712被設(shè)置于第一、第三梁61、63的上表面。而且，檢測信號配線712被設(shè)置在第一梁61與第一支撐部51的接合部分的側(cè)面、第三梁63與第二支撐部52的接合部分的側(cè)面、基部41的上表面以及下表面。這樣的檢測信號配線712被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。此外，檢測信號端子714被設(shè)置于第一、第二支撐部51、52。更具體地講，檢測信號端子714被設(shè)置于第一、第二支撐部51、52的上表面和下表面、以及側(cè)面。設(shè)置于第一支撐部51的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測信號端子714彼此電連接。此外，設(shè)置于第二支撐部52的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測信號端子714彼此電連接。設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子714相對于設(shè)有驅(qū)動(dòng)接地電極740的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂4 41的末端部，被配置在y軸的負(fù)方向側(cè)(圖中與y軸箭頭方向相反的方向)。即、設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子714和設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441的末端部的驅(qū)動(dòng)接地電極740在7軸方向上對置。此外，設(shè)置于第二支撐部52的檢測信號端子714相對于設(shè)有驅(qū)動(dòng)接地電極740的第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的末端部，被配置在y軸的正方向側(cè)。即、設(shè)置于第二支撐部52的檢測信號端子714和設(shè)置于第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的末端部的驅(qū)動(dòng)接地電極740在y軸方向上對置。這樣的檢測信號端子714被配置成關(guān)于xz平面面對稱。設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子(第一檢測信號端子)714經(jīng)由設(shè)置于第一梁61的檢測信號配線 712，與設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的檢測信號電極(第一檢測信號電極)710電連接。具體地說，設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子714與設(shè)置于第一梁61的上表面的檢測信號配線712連接，檢測信號配線712從第一梁61的上表面經(jīng)過第一梁61與基部41的接合部分的側(cè)面、和基部41的上表面以及下表面，與設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的上表面以及下表面的檢測信號電極710連接。由此，能夠把第一檢測振動(dòng)臂421振動(dòng)產(chǎn)生的第一檢測信號從檢測信號電極710傳遞到設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子 714。設(shè)置于第二支撐部52上的檢測信號端子(第二檢測信號端子)714經(jīng)由設(shè)置于第三梁63的檢測信號配線712，與設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的檢測信號電極(第二檢測信號電極)710電連接。具體地說，設(shè)置于第二支撐部52的檢測信號端子714與設(shè)置于第三梁63的上表面的檢測信號配線712連接，檢測信號配線712從第三梁63的上表面經(jīng)過第三梁63與基部41的接合部分的側(cè)面、和基部41的上表面以及下表面，與設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的上表面以及下表面的檢測信號電極710連接。由此，能夠把第二檢測振動(dòng)臂422振動(dòng)產(chǎn)生的第二檢測信號從檢測信號電極710傳遞到設(shè)置于第二支撐部52的檢測信號端子714。(2)檢測接地電極、檢測接地配線以及檢測接地端子檢測接地電極720被設(shè)置于第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422的末端部。具體地說，檢測接地電極720被設(shè)置于第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422的末端部的上表面以及下表面。而且，檢測接地電極720被設(shè)置于第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422的側(cè)面。設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測接地電極720彼此電連接。此外，設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測接地電極720彼此電連接。這樣的檢測接地電極720被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。相對于檢測信號電極710，檢測接地電極720具有作為地的電壓。此外，檢測接地配線722被設(shè)置于第一、第三梁61、63。具體地說，檢測接地配線722被設(shè)置于第一第三梁61、63的下表面以及側(cè)面。而且，檢測接地配線722被設(shè)置于基部41的上表面以及下表面。檢測接地配線722被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。此外，檢測接地端子724被設(shè)置于第一、第二支撐部51、52。具體地說，檢測接地端子724被設(shè)置于第一、第二支撐部51、52的上表面、下表面以及側(cè)面。設(shè)置于第一支撐部51的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測接地端子724彼此電連接。此外，設(shè)置于第二支撐部52的上表面、下表面以及側(cè)面的檢測接地端子724彼此電連接。設(shè)置于第一支撐部51的檢測接地端子724相對于設(shè)有檢測接地電極720的第一檢測振動(dòng)臂421的末端部，被配置在y軸的負(fù)方向側(cè)。即、設(shè)置于第一支撐部51的檢測接地端子724與設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的末端部的檢測接地電極720在y軸方向上彼此相對。此外，設(shè)置于第二支撐部52上的檢測接地端子724相對于設(shè)有檢測接地電極720的第二檢測振動(dòng)臂422的末端部，被配置在I軸的正方向側(cè)。S卩、設(shè)置于第二支撐部52的檢測接地端子724與設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的末端部的檢測接地電極720在y軸方向上彼此相對。這樣的檢測接地端子724被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。設(shè)置于第一支撐部51的檢測接地端子(第一檢測接地端子)724經(jīng)由設(shè)置于第一梁61的檢測接地配線722，與設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的檢測接地電極(第一檢測接地電極)720電連接。具體地說，設(shè)置于第一支撐部51的檢測接地端子724與設(shè)置于第一梁61的下表面以及側(cè)面的檢測接地配線72 2連接，檢測接地配線722從第一梁61的下表面以及側(cè)面經(jīng)過基部41的上表面以及下表面，與設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421的上表面以及下表面的檢測接地電極720連接。設(shè)置于第二支撐部52的檢測接地端子(第二檢測接地端子)724經(jīng)由設(shè)置于第三梁63的檢測接地配線722，與設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的檢測接地電極(第二檢測接地電極)720電連接。具體地說，設(shè)置于第二支撐部52的檢測接地端子724與設(shè)置于第三梁63的下表面以及側(cè)面的檢測接地配線722連接，檢測接地配線722從第三梁63的下表面以及側(cè)面經(jīng)過基部41的上表面以及下表面，與設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422的上表面以及下表面的檢測接地電極720連接。如上所述地配置了檢測信號電極710、檢測信號配線712、檢測信號端子714、檢測接地電極720、檢測接地配線722、檢測接地端子724。由此，第一檢測振動(dòng)臂421所產(chǎn)生的檢測振動(dòng)可表現(xiàn)為設(shè)置于第一檢測振動(dòng)臂421上的檢測信號電極710與檢測接地電極720之間的電荷，而從設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子714和檢測接地端子724作為信號取出。此外，第二檢測振動(dòng)臂422所產(chǎn)生的檢測振動(dòng)可表現(xiàn)為設(shè)置于第二檢測振動(dòng)臂422上的檢測信號電極710與檢測接地電極720之間的電荷，而從設(shè)置于第二支撐部52上的檢測信號端子714和檢測接地端子724作為信號取出。
(3)驅(qū)動(dòng)信號電極、驅(qū)動(dòng)信號配線以及驅(qū)動(dòng)信號端子驅(qū)動(dòng)信號電極730被設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442上。但是,在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)信號電極730未被設(shè)置于第一第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的末端部。具體地說，驅(qū)動(dòng)信號電極730被設(shè)置于第一第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的上表面以及下表面。而且，驅(qū)動(dòng)信號電極730也被設(shè)置于第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的側(cè)面和第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的末端部的上表面以及下表面。設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)信號電極730彼此電連接。此外，設(shè)置于第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)信號電極730彼此電連接。這樣的驅(qū)動(dòng)信號電極730被配置成關(guān)于Xz平面面對稱。驅(qū)動(dòng)信號電極730是用于激勵(lì)第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444的驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的電極。驅(qū)動(dòng)信號配線732被設(shè)置于第二、第四梁62、64。具體地說，驅(qū)動(dòng)信號配線732被設(shè)置于第二、第四梁62、64的上表面。而且，驅(qū)動(dòng)信號配線732被設(shè)置于基部41的上表面、第一連接臂431的上表面、第一、第二連接臂431、432的側(cè)面。這樣的驅(qū)動(dòng)信號配線732被配置成關(guān)于Xz平面面對稱。驅(qū)動(dòng)信號端子734被設(shè)置于第二支撐部52。具體地說，驅(qū)動(dòng)信號端子734被設(shè)置于第二支撐部52的上表面、下表面以及側(cè)面。設(shè)置于第二支撐部52的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)信號端子734彼此電連接。設(shè)置于第二支撐部52上的驅(qū)動(dòng)信號端子734相對于設(shè)有驅(qū)動(dòng)信號電極730的第四檢測振動(dòng)臂444的末端部，被配置在I軸的正方向側(cè)。即、設(shè)置于第二支撐部52的驅(qū)動(dòng)信號端子734與設(shè)置于第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂444的末端部上的驅(qū)動(dòng)信號電極730在y軸方向上彼此相對。設(shè)置于第二支撐部52的驅(qū)動(dòng) 信號端子734經(jīng)由設(shè)置于第四梁64的驅(qū)動(dòng)信號配線732，與設(shè)置于第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444的驅(qū)動(dòng)信號電極730電連接。具體地說，驅(qū)動(dòng)信號端子734與設(shè)置于第四梁64的上表面的驅(qū)動(dòng)信號配線732連接，驅(qū)動(dòng)信號配線732從第四梁64的上表面經(jīng)過基部41的上表面以及第一連接臂431的上表面，與設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的上表面的驅(qū)動(dòng)信號電極730連接。而且，驅(qū)動(dòng)信號配線732從第一連接臂431的上表面經(jīng)過第一連接臂431的側(cè)面，與設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的下表面的驅(qū)動(dòng)信號電極730連接。而且，驅(qū)動(dòng)信號配線732從基部41的上表面經(jīng)過第二連接臂432的上表面以及側(cè)面，與設(shè)置于第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的上表面以及下表面的驅(qū)動(dòng)信號電極730連接。由此，能夠把用于使第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)信號從驅(qū)動(dòng)信號端子734傳遞到驅(qū)動(dòng)信號電極730。(4)驅(qū)動(dòng)接地電極、驅(qū)動(dòng)接地配線以及驅(qū)動(dòng)接地端子驅(qū)動(dòng)接地電極740被設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的末端部。具體地說，驅(qū)動(dòng)接地電極740被設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的末端部的上表面以及下表面。而且，驅(qū)動(dòng)接地電極740也被設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的側(cè)面。設(shè)置于第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)接地電極740彼此電連接。此外，設(shè)置于第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂442的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)接地電極740彼此電連接。而且，驅(qū)動(dòng)接地電極740被設(shè)置于第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的上表面以及下表面。但是，在本實(shí)施方式中，驅(qū)動(dòng)接地電極740未被設(shè)置于第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的末端部。這樣的驅(qū)動(dòng)接地電極740被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。相對于驅(qū)動(dòng)信號電極730，驅(qū)動(dòng)接地電極740具有作為地的電位。此外，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置于第二、第四梁62、64。具體地說，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置于第二、第四梁62、64的下表面以及側(cè)面。而且，驅(qū)動(dòng)接地配線742被設(shè)置于基部41的下表面、第一連接臂431的側(cè)面、第二連接臂432的下表面和第二連接臂432的側(cè)面。這樣的驅(qū)動(dòng)接地配線742被配置成關(guān)于XZ平面面對稱。此外，驅(qū)動(dòng)接地端子744被設(shè)置于第一支撐部51。具體地說，驅(qū)動(dòng)接地端子744被設(shè)置于第一支撐部51的上表面、下表面以及側(cè)面。設(shè)置于第一支撐部51的上表面、下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)接地端子744彼此電連接。設(shè)置于第一支撐部51的驅(qū)動(dòng)接地端子744相對于設(shè)有驅(qū)動(dòng)信號電極730的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的末端部，被配置在I軸的負(fù)方向側(cè)。即、設(shè)置于第一支撐部51的驅(qū)動(dòng)接地端子744與設(shè)置于第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443的末端部的驅(qū)動(dòng)信號電極730在y軸方向上彼此相對。此外，設(shè)置于第一支撐部51的驅(qū)動(dòng)接地端子744經(jīng)由設(shè)置于第二梁62的驅(qū)動(dòng)接地配線742，與設(shè)置于第一第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444的驅(qū)動(dòng)接地電極740電連接。具體地說，驅(qū)動(dòng)接地端子744與設(shè)置于第二梁62的下表面以及側(cè)面的驅(qū)動(dòng)接地配線742連接，驅(qū)動(dòng)接地配線742從第二梁62的下表面以及側(cè)面經(jīng)過基部41的下表面以及第一連接臂431的側(cè)面，與設(shè)置于第一、第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442的上表面以及下表面的驅(qū)動(dòng)接地電極740連接。而且，驅(qū)動(dòng)接地配線742從基部41的下表面經(jīng)過第二連接臂432的下表面以及側(cè)面，與設(shè)置于第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444的上表面以及下表面的驅(qū)動(dòng)接地電極740連接。如上所述地配置了驅(qū)動(dòng)信號電極730、驅(qū)動(dòng)信號配線732、驅(qū)動(dòng)信號端子734、驅(qū)動(dòng)接地電極740、驅(qū)動(dòng)接地配線742、驅(qū)動(dòng)接地端子744。由此，通過對設(shè)置于第二支撐部52的驅(qū)動(dòng)信號端子734與設(shè)置于第一支撐部51的驅(qū)動(dòng)接地端子744之間施加驅(qū)動(dòng)信號，能夠在設(shè)置于第一、第二、第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444的驅(qū)動(dòng)信號電極730與驅(qū)動(dòng)接地電極740之間產(chǎn)生電場，使這各個(gè)驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444進(jìn)行驅(qū)動(dòng)振動(dòng)。另外，在本例中說明了在作為一方的支撐部的第一支撐部51上設(shè)有檢測信號端子714、檢測接地端子724以及驅(qū)動(dòng)接地端子744這三個(gè)端子作為固定部的結(jié)構(gòu)，但作為固定部的端子只要是兩個(gè)以上的個(gè)數(shù)即可。此外，與前述同樣，在第二支撐部52上，作為固定部的端子也只要是兩個(gè)以上的個(gè)數(shù)即可。(5)梁與支撐部(固定部)相連的接合部如以上說明的那樣，在作為支撐部的第一支撐部51上，沿著X軸方向(與梁的延伸方向交叉的方向)，并列且分離地設(shè)置有作為固定部的檢測信號端子714、檢測接地端子724以及驅(qū)動(dòng)接地端子744。具體地說，如圖4所示，在沿著X軸方向延伸的第一支撐部51的中央部(第一支撐部51與第一梁61的接合部51a、和第一支撐部51與第二梁62的接合部51b之間的區(qū)域SI)上設(shè)有檢測接地端子724，在第一支撐部51的一個(gè)端部(比接合部51a靠圖4中右側(cè)的區(qū)域S 2)設(shè)有檢測信號端子714，在第一支撐部51的另一個(gè)端部(比接合部51b靠圖4 Ca)中左側(cè)的區(qū)域S3)設(shè)有驅(qū)動(dòng)接地端子744。
在這樣的第一支撐部51的一面(涂布有后述的導(dǎo)電性固定部件8的面)上，在檢測信號端子714和檢測接地端子724之間設(shè)有薄部54a，該薄部54a形成為相對于所述一面具有階梯。另外，設(shè)有薄部54a的區(qū)域S4在X軸方向包含接合部51a。此外,薄部54a的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的端部51c在第一支撐部51的側(cè)面開放。此外，在第一支撐部51的一面(涂布有后述的導(dǎo)電性固定部件8的面)上，在驅(qū)動(dòng)接地端子744與檢測接地端子724之間設(shè)有薄部54b，該薄部54b形成為相對于所述一面具有階梯。另外，設(shè)有薄部54b的區(qū)域S5在X軸方向包含接合部51b。此外，薄部54b的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的端部51c在第一支撐部51的側(cè)面開放。同樣地，在第二支撐部52上，沿著X軸方向(與梁的延伸方向交叉的方向)，并列且分離地設(shè)置有檢測信號端子714、檢測接地端子724以及作為固定部的驅(qū)動(dòng)信號端子734。具體地說，如圖4所示，在沿著X軸方向延伸的第二支撐部52的中央部(第二支撐部52與第三梁63的接合部52a、和第二支撐部52與第四梁64的接合部52b之間的區(qū)域S6)設(shè)有檢測接地端子724，在第二支撐部52的一個(gè)端部(比接合部52a靠圖4 Ca)中右側(cè)的區(qū)域S7)設(shè)有檢測信號端子714，在第二支撐部52的另一個(gè)端部(比接合部52b靠圖4 (a)中左側(cè)的區(qū)域S8)設(shè)有驅(qū)動(dòng)信號端子734。此外，在第二支撐部52的一面(涂布有后述的導(dǎo)電性固定部件8的面)上，在檢測信號端子714與檢測接地端子724之間設(shè)有薄部53a，該薄部53a相對于所述一面具有階梯。另外，設(shè)有薄部53a的區(qū)域S9在X軸方向包含接合部52a。此外,薄部53a的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的端部52c在第二支撐部52的側(cè)面開放。此外，在第二支撐部52的一面(涂布有后述的導(dǎo)電性固定部件8的面)上，在檢測接地端子724與驅(qū)動(dòng)信號端子734之間設(shè)有薄部53b，該薄部53b相對于所述一面具有階梯。另外，設(shè)有薄部53b的區(qū)域SlO在X軸方向包含接合部52b。此外，薄部53b的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的端部52c在第二支撐部52的側(cè)面開放。

這樣的結(jié)構(gòu)的陀螺儀元件2如下地檢測繞z軸的角速度ω。陀螺儀元件2在未被施加角速度ω的狀態(tài)下，當(dāng)在驅(qū)動(dòng)信號電極730以及驅(qū)動(dòng)接地電極740之間產(chǎn)生電場時(shí)，如圖5(a)所示,各驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444在箭頭A所示的方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。此時(shí)，由于第一第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442和第三、第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂443、444進(jìn)行關(guān)于經(jīng)過中心點(diǎn)G (重心G)的yz平面面對稱的振動(dòng)，所以基部41、第一、第二連接臂431、432、第一、第二檢測振動(dòng)臂421、422幾乎不振動(dòng)。在進(jìn)行該驅(qū)動(dòng)振動(dòng)的狀態(tài)下向陀螺儀元件2施加繞z軸的角速度ω時(shí)，產(chǎn)生圖5(b)所示的振動(dòng)。S卩、對驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂441、442、443、444以及連接臂431、432作用箭頭B方向的科里奧利力，與該箭頭B方向的振動(dòng)相應(yīng)地，激勵(lì)出箭頭C方向的檢測振動(dòng)。而且，檢測信號電極710以及檢測接地電極720檢測因該振動(dòng)產(chǎn)生的檢測振動(dòng)臂421、422的變形，求出角速度ω。(封裝)封裝9收納陀螺儀元件2。另外，封裝9中，除了陀螺儀元件2以外，還可以收納進(jìn)行陀螺儀元件2的驅(qū)動(dòng)等的IC芯片等。這樣的封裝9在其俯視(xy俯視)中呈現(xiàn)為大致矩形狀。封裝9具有:在上表面具有開放的凹部的基座91、和以封閉凹部的開口的方式與基座接合的蓋(蓋體)92。此外，基座91具有板狀的底板911、以及設(shè)置于底板911的上表面周緣部的框狀的側(cè)壁912。這樣的封裝9在其內(nèi)側(cè)具有收納空間S，在該收納空間S內(nèi)氣密地收納、設(shè)置有陀螺儀元件2。陀螺儀元件2通過第一、第二支撐部51、52，隔著焊錫、銀膏、導(dǎo)電性粘結(jié)劑(在樹脂材料中分散有金屬粒子等導(dǎo)電性填料而成的粘結(jié)劑)等導(dǎo)電性固定部件8固定在底板911的上表面。由于第一、第二支撐部51、52位于陀螺儀元件2的y軸方向的兩端部，所以，通過把這樣的部分固定于底板911，從而陀螺儀元件2的振動(dòng)體4得到雙側(cè)支撐，能夠?qū)⑼勇輧x元件2穩(wěn)定地固定于底板911。因此，能夠抑制陀螺儀元件2的不必要振動(dòng)(希望檢測的振動(dòng)以外的振動(dòng))，提高陀螺儀元件2的角速度ω的檢測精度。此外，與設(shè)置于第一、第二支撐部51、52的兩個(gè)檢測信號端子714、兩個(gè)檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號端子734以及驅(qū)動(dòng)接地端子744對應(yīng)(接觸)地、且彼此分離地設(shè)有六個(gè)導(dǎo)電性固定部件8。此外，在底板911的上表面設(shè)有與兩個(gè)檢測信號端子714、兩個(gè)檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號端子734以及驅(qū)動(dòng)接地端子744對應(yīng)的六個(gè)連接焊盤10，利用導(dǎo)電性固定部件8，將這各個(gè)連接焊盤10和與焊盤10對應(yīng)的任意一個(gè)端子電連接。通過成為這樣的結(jié)構(gòu)，可以把導(dǎo)電性固定部件8當(dāng)作用于將陀螺儀元件2固定到底板911的固定部件來使用，并且可以把導(dǎo)電性固定部件8當(dāng)作進(jìn)行與陀螺儀元件2之間的電連接的連接部件來使用，所以能夠?qū)崿F(xiàn)振動(dòng)器件I的結(jié)構(gòu)的簡化。此外，導(dǎo)電性固定部件8也可以用作在陀螺儀元件2和底板911之間形成間隙(gap)，防止它們的接觸的間隔件。由此，能夠防止因與底板911的接觸引起的陀螺儀元件2的破壞、破損，成為能夠發(fā)揮準(zhǔn)確的角速度檢測和優(yōu)異的可靠性的振動(dòng)器件I。另外，各連接焊盤10可以經(jīng)由未圖示的導(dǎo)體柱引出到封裝9的外部，或者，在封裝9內(nèi)收納有IC芯片等的情況下，各連接焊盤10可以與該IC芯片電連接?；?1的構(gòu) 成材料沒有特別限定，可以使用氧化鋁等各種陶瓷。此外，蓋92的構(gòu)成材料沒有特別限定，可以是線膨脹系數(shù)與基座91的構(gòu)成材料近似的部件。例如，在基座91的構(gòu)成材料是前述的陶瓷的情況下，優(yōu)選的是科瓦合金等合金。另外，基座91與蓋92的接合沒有特別限定，例如可以利用粘結(jié)劑進(jìn)行接合，也可以利用縫焊等進(jìn)行接合。在此，如前所述，在陀螺儀元件2的第一支撐部51上設(shè)有包含薄部54a、54b的接合部51a、51b，在第二支撐部52上設(shè)有包含薄部53a、53b的接合部52a、52b。通過設(shè)置這樣的接合部51a、51b、52a、52b，能夠發(fā)揮如下效果。在本實(shí)施方式中說明的振動(dòng)器件I中，所使用的陀螺儀元件2的第一梁61以及第二梁62分別與包含薄部54a、54b的接合部51a、51b連接(接合)，第三梁63以及第四梁64分別與接合部52a、52b連接(接合)。關(guān)于薄部54a、54b、53a、53b，由于正反方向上的厚度形成得較薄，所以剛性較弱，由此容易產(chǎn)生變形。通過該變形，能夠減少從振動(dòng)體傳播到梁的振動(dòng)傳遞到作為固定部的檢測信號端子714、檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號端子734以及驅(qū)動(dòng)接地端子744的、所謂的振動(dòng)泄漏現(xiàn)象。通過抑制該振動(dòng)泄漏現(xiàn)象，能夠減輕振動(dòng)泄漏現(xiàn)象可能引發(fā)的振動(dòng)片的振動(dòng)特性的劣化，尤其是溫度漂移。而且,通過設(shè)置薄部54a、54b、53a、53b,在前述的效果的基礎(chǔ)上,還能夠產(chǎn)生如下效果。以下，使用圖6進(jìn)行詳細(xì)說明。如前所述，陀螺儀元件2隔著導(dǎo)電性固定部件8固定到底板911上。在此，在把陀螺儀元件2固定到底板911的工序中，例如，在設(shè)置于底板911的六個(gè)連接焊盤上，分別涂布銀膏(導(dǎo)電性固定部件)8，以使涂布的銀膏8與對應(yīng)的端子(檢測信號端子714、檢測接地端子724、驅(qū)動(dòng)信號端子734以及驅(qū)動(dòng)接地端子744)接觸的方式，將陀螺儀元件2的下表面面向底板911側(cè)進(jìn)行放置，并且按壓陀螺儀元件2并使銀膏8固化，由此借助銀膏8將陀螺儀元件2固定到底板911上。因此，例如在未能把銀膏8正確地涂布到預(yù)定位置的情況下，對于現(xiàn)有的陀螺儀元件(未設(shè)有薄部54a、54b、53a、53b)而言，如圖6 (b)所示，當(dāng)按壓陀螺儀元件2時(shí)，銀膏8濕潤地?cái)U(kuò)散，濕潤地?cái)U(kuò)散的銀膏8可能彼此接觸，從而在它們之間發(fā)生短路。銀膏8的涂布位置和涂布量在裝置的精度上存在一定程度的差異，所以上述問題比較容易發(fā)生。因此，在本實(shí)施方式的陀螺儀元件2中，通過在第一支撐部51、第二支撐部52中設(shè)置薄部54a、54b、53a、53b，防止了這種問題的發(fā)生。以下進(jìn)行具體說明，不過，由于各個(gè)薄部54a、54b、53a、53b的作用、效果彼此相同，因而以薄部54a為代表進(jìn)行說明。如圖6 Ca)所示，與檢測接地端子724、檢測信號端子714對應(yīng)的銀膏8分別由于按壓陀螺儀元件2而濕潤地?cái)U(kuò)散。此時(shí)，即使與檢測接地端子724對應(yīng)的銀膏8的涂布位置偏向檢測信號端子714側(cè)，濕潤地?cái)U(kuò)散的銀膏8也會(huì)由于薄部54a的階梯的角部的表面張力而停止于階梯的角部，抑制向中央部的擴(kuò)散。由此，銀膏8很難到達(dá)薄部54a的中央部附近。能夠防止相鄰的銀膏8彼此接觸。此外，利用薄部54a的靠振動(dòng)體4側(cè)的階梯的角部，防止了滯留在薄部54a內(nèi)的銀膏8進(jìn)一步向振動(dòng)體4側(cè)流動(dòng)，由此，防止了設(shè)置于第一梁61的配線與銀膏8的接觸，能夠防止配線與銀膏8之間發(fā)生短路。此外，如前面所述，薄部54a的與振動(dòng)體相反側(cè)的端部在第一支撐部51的側(cè)面開放。因此，通過薄部54a的階梯，將檢測接地端子724與檢測信號端子714之間明確地劃分開，能夠防止銀膏8例如在未設(shè)置薄部54a的區(qū)域中傳播而彼此接觸的情形。因此，能夠可靠地防止銀膏8彼此接觸。 此外，陀螺儀元件2 (振動(dòng)片3)的構(gòu)成材料與底板911的構(gòu)成材料不同，所以當(dāng)振動(dòng)器件I升溫時(shí)，經(jīng)由導(dǎo)電性固定部8，因熱膨脹率之差而在振動(dòng)片3中產(chǎn)生應(yīng)力。具體地說，在底板911的熱膨脹率比振動(dòng)片3的熱膨脹率大的情況下，施加了欲使第一支撐部51以及第二支撐部52在X軸方向上伸長的應(yīng)力，在底板911的熱膨脹率比振動(dòng)片3的熱膨脹率小的情況下，施加了欲使第一支撐部51以及第二支撐部52在X軸方向上收縮的應(yīng)力。由于設(shè)有薄部54a的區(qū)域S4能夠吸收或緩解這樣的應(yīng)力，所以能夠抑制陀螺儀元件2的非本意變形，能夠防止陀螺儀元件2的檢測精度的降低。此外，優(yōu)選的是，在xy俯視中，連接焊盤10的輪廓與設(shè)置了薄部54a的區(qū)域S4的一部分重合。由此，可以把薄部54a用作刻度(標(biāo)記)，所以能夠更加正確地進(jìn)行陀螺儀元件
2(振動(dòng)片3)在底板911上的定位?！醋冃卫到又?，使用圖7以及圖8來說明前述實(shí)施方式中的梁與支撐部的連接(相連)部分的變形例。圖7 (a) (f)以及圖8 (a) (f)是表示陀螺儀元件的變形例的局部俯視圖。另外，以下雖然是進(jìn)行具體說明，但各個(gè)梁與支撐部的連接部分的作用、效果彼此相同，因而以第一梁61與第一支撐部51 (參照圖4)的連接部分為代表進(jìn)行說明。此外，關(guān)于各變形例的效果，在變形例I以及變形例2中進(jìn)行了代表性的記載，關(guān)于變形例3 變形例12，省略與變形例I以及變形例2相同的效果。(變形例I)圖7 Ca)所示的變形例I的結(jié)構(gòu)是:將第一梁61與設(shè)置于第一支撐部51的檢測信號端子714和檢測接地端子724之間的薄部54a相連。換言之，是通過薄部54a延伸地設(shè)置第一梁61、檢測信號端子714和檢測接地端子724的結(jié)構(gòu)。此外，薄部54a的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的端部在第一支撐部51的側(cè)面開放。在本變形例I的結(jié)構(gòu)中，與前述實(shí)施方式同樣，薄部54a的剛性弱，所以容易產(chǎn)生變形，能夠減少從振動(dòng)體傳播到梁的振動(dòng)傳播到檢測信號端子714、檢測接地端子724的振動(dòng)泄漏現(xiàn)象。通過抑制該振動(dòng)泄漏現(xiàn)象，能夠得到與前述實(shí)施方式相同的效果。(變形例2)圖7 (b)所示 的變形例2的結(jié)構(gòu)是:設(shè)置了在正反方向上貫通地去除第一支撐部51而形成的貫通部55a、55b。貫通部55a、55b隔著第一梁61而設(shè)于兩側(cè)，并且為切口形狀:各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。利用該貫通部55a、55b，在第一支撐部51上形成了寬度狹窄部56a、56b。而且，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由利用貫通部55a形成的寬度狹窄部56a相連，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由利用貫通部55b形成的寬度狹窄部56b相連。在本變形例2的結(jié)構(gòu)中，檢測信號端子714以及檢測接地端子724經(jīng)由寬度狹窄部56a、56b與第一梁61連接。與前述的薄部54a同樣，寬度狹窄部56a、56b的剛性弱，所以容易產(chǎn)生變形，能夠減少從振動(dòng)體傳播到梁的振動(dòng)傳播到檢測信號端子714、檢測接地端子724的振動(dòng)泄漏現(xiàn)象。通過抑制該振動(dòng)泄漏現(xiàn)象，能夠產(chǎn)生與前述實(shí)施方式相同的效果。(變形例3)圖7 (C)所示的變形例3的結(jié)構(gòu)是:前述變形例2中的設(shè)有貫通部55a、55b的部分未被貫通去除，而成為具有階梯的薄部57a、57b。薄部57a、57b隔著第一梁61而設(shè)于兩側(cè),各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在第一支撐部51上具有階梯的側(cè)面。利用該薄部57a、57b，在第一支撐部51上形成了寬度狹窄部56a、56b。而且，檢測信號端子714與第一梁61經(jīng)由薄部57a以及寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724與第一梁61經(jīng)由薄部57b以及寬度狹窄部56b連接。(變形例4)圖7 (d)所示的變形例4的結(jié)構(gòu)是:設(shè)有由階梯構(gòu)成的薄部54a,該薄部54a的一端在第一支撐部51和第一梁61相連的第一支撐部51的側(cè)面的相反側(cè)的側(cè)面?zhèn)乳_放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。通過設(shè)置該薄部54a,在第一支撐部51上形成了寬度狹窄部56a、56b。而且,檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a以及薄部54a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b以及薄部54a連接。(變形例5)圖7 Ce)所示的變形例5的結(jié)構(gòu)是:前述變形例4中的設(shè)置薄部54a的部分被貫通去除而成為貫通部55。貫通部55為切口形狀:一端在第一支撐部51和第一梁61相連的第一支撐部51的側(cè)面的相反側(cè)的側(cè)面?zhèn)乳_放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。通過設(shè)置該貫通部55，在第一支撐部51上形成了寬度狹窄部56a、56b。而且，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b連接。(變形例6)圖7 (f)所示的變形例6的結(jié)構(gòu)是具有貫通部55a、55b和貫通部55，其中，貫通部55a、55b隔著第一梁61而設(shè)置于兩側(cè),是在正反方向上貫通去除了第一支撐部51而形成的，貫通部55設(shè)置于與設(shè)置貫通部55a、55b的一側(cè)相反的一側(cè)。貫通部55a、55b隔著第一梁61而設(shè)置,并且為切口形狀:各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。貫通部55為切口形狀:一端在第一支撐部51和第一梁61相對的一側(cè)的第一支撐部51的側(cè)面的相反側(cè)的側(cè)面?zhèn)乳_放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。通過這些貫通部55、55a、55b,在第一支撐部51上形成了寬度狹窄部56a、56b。而且,檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b連接。(變形例7)圖8 Ca)所示的變形例7的結(jié)構(gòu)是:在第一支撐部51和第一梁61相對的一側(cè)的相反側(cè)的第一支撐部51上形成有突起部58，利用該突起部58，形成了第一梁61和設(shè)置于第一梁61的兩側(cè)的貫通部55a、55b。

貫通部55a、55b隔著第一梁61而設(shè)于兩側(cè),且為切口形狀:各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖 3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在突起部58上具有側(cè)面。換言之，貫通部55a、55b形成為比第一支撐部51的寬度長。通過該貫通部55a、55b，在突起部58上形成了寬度狹窄部56a、56b，而且，形成了從寬度狹窄部56a、56b分別延伸到第一支撐部51的寬度狹窄部56c、56d。而且，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a、56d連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b、56c連接。在本結(jié)構(gòu)中，寬度狹窄部如寬度狹窄部56a、56d或?qū)挾泉M窄部56b、56c那樣變長，因而更容易變形，所以提高了振動(dòng)泄漏的減少效果和應(yīng)力緩解效果。(變形例8)圖8 (b)所示的變形例8的結(jié)構(gòu)是:具有第一梁61、設(shè)置于第一梁61的兩側(cè)的貫通部55a、55b、設(shè)置于與設(shè)置貫通部55a、55b的一側(cè)相反側(cè)的第一支撐部51上的貫通部55c、55d0貫通部55c、55d隔著從第一梁61延伸出的突部61a而設(shè)于兩側(cè)。利用貫通部55a、55b以及貫通部55c、55d形成了寬度狹窄部56a、56b。而且，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b連接。(變形例9)圖8 (C)所示的變形例9的結(jié)構(gòu)是:在第一支撐部51上形成有作為貫通穴的跑道形狀的貫通部55e。貫通部55e被設(shè)置成與第一支撐部51和第一梁61的連接部位對置，貫通部55e的一個(gè)側(cè)面構(gòu)成寬度狹窄部56a、56b的一個(gè)側(cè)面。寬度狹窄部56a、56b隔著第一梁61而設(shè)置于兩側(cè)，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b連接。另外，貫通穴(貫通部55e)并不限于跑道形狀，也可以是橢圓形狀、圓形狀、或者并列地設(shè)置這些貫通穴的形狀等，只要能夠設(shè)置寬度狹窄部56a、56b，則與其形狀無關(guān)。(變形例10)圖8 (d)所示的變形例10與前述變形例2的結(jié)構(gòu)相同，設(shè)置了沿著正反方向貫通去除第一支撐部51而形成的貫通部55a、55b,但是貫通部55a、55b的形狀不同。貫通部55a、55b隔著第一梁61而設(shè)置于兩側(cè)，并且為切口形狀:各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。此時(shí)，貫通部55a、55b為如下形狀:另一端側(cè)的側(cè)面的長度比開放的一端的長度短，即、朝向在第一支撐部51的側(cè)面開放的一端(開放端)逐漸變寬。換言之，構(gòu)成貫通部55a、55b的一邊S不與對置的第一梁61的側(cè)面平行，而是朝著開放端，逐漸遠(yuǎn)離。利用該貫通部55a、55b,在第一支撐部51上形成寬度狹窄部56a、56b。而且,檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由利用貫通部55a形成的寬度狹窄部56a連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由利用貫通部55b形成的寬度狹窄部56b連接。(變形例11)圖8 Ce)所示的變形例11是與前述變形例6同樣地具有貫通部55a、55b和貫通部55的結(jié)構(gòu)，其中，貫通部55a、55b隔著第一梁61設(shè)置于兩側(cè)，是在正反方向上貫通去除第一支撐部51而形成的，貫通部55設(shè)置于與設(shè)置貫通部55a、55b的一側(cè)相反的一側(cè)。在本變形例中，寬度狹窄部56a、56b不是直線狀而是彎曲的，這一點(diǎn)與前述變形例6不同。貫通部55a、55b隔著 第一梁61設(shè)置,并且為切口形狀:各自的一端在第一支撐部51的靠振動(dòng)體4 (參照圖2、圖3)側(cè)的側(cè)面開放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。貫通部55為切口形狀:一端在第一支撐部51和第一梁61相對的一側(cè)的第一支撐部51的側(cè)面的相反側(cè)的側(cè)面?zhèn)乳_放，另一端在第一支撐部51上具有側(cè)面。利用這些貫通部55、55a、55b，在第一支部51上形成了彎曲地延伸的寬度狹窄部56a以及寬度狹窄部56d、和寬度狹窄部56b以及寬度狹窄部56c。而且，檢測信號端子714和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56a以及寬度狹窄部56d連接，檢測接地端子724和第一梁61經(jīng)由寬度狹窄部56b以及寬度狹窄部56c連接。(變形例12)圖8 (f)所示的變形例12的結(jié)構(gòu)是:在第一支撐部51與第一梁61相連的一側(cè)的第一支撐部51上形成有突起部61w，形成了包含該突起部61w而延伸的薄部54a。第一梁61在從第一支撐部51延伸出的突起部61w的一端與第一支撐部51連接。從而，第一梁61的厚度比薄部54a的厚度厚。(其他變形例)另外，在以上說明中，說明了第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64這各個(gè)梁與第一支撐部51或第二支撐部52連接的結(jié)構(gòu)，但并不限于此，也可以是如下結(jié)構(gòu)。圖9中示出本變形例而進(jìn)行說明。圖9是表示本變形例的局部俯視圖。本變形例的結(jié)構(gòu)是:第一梁61和第二梁62在到達(dá)第一支撐部51的過程中彼此連接，形成第一連接梁61a。該第一連接梁61a與第一支撐部51的接合部51a連接。另外，雖然未圖示，但相對的第二支撐部側(cè)的第三梁和第四梁側(cè)也可以是同樣的結(jié)構(gòu)。詳細(xì)地說，在第三梁和第四梁到達(dá)第二支撐部的過程中彼此連接，形成第二連接梁。該第二連接梁與第二支撐部連接。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過設(shè)置第一連接梁61a或第二連接梁，梁更容易撓曲(容易變形)，所以能夠進(jìn)一步提高應(yīng)力的緩解作用以及振動(dòng)泄漏的防止效果。在以上說明中，作為振動(dòng)片的一例說明了陀螺儀元件2，但并不限于此，也可以應(yīng)用到以下這樣的振動(dòng)片。作為其他振動(dòng)片，可以應(yīng)用于加速度測定元件、壓力檢測元件、溫度檢測元件等物理量測定用元件。<物理量檢測裝置>以上這樣的振動(dòng)器件I可以應(yīng)用到角速度檢測裝置、加速度檢測裝置、壓力計(jì)測
裝置等物理量檢測裝置。接著，參照附圖來說明本實(shí)施方式的物理量檢測裝置。圖10是表示物理量檢測裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。圖10中所示的物理量檢測裝置1400包含本發(fā)明的振動(dòng)片。在本實(shí)施方式中，作為本發(fā)明的振動(dòng)片，對使用了振動(dòng)片3的例子進(jìn)行說明。以下，在本實(shí)施方式的物理量檢測裝置1400中，對于具有與本實(shí)施方式的振動(dòng)片3的構(gòu)成部件相同功能的部件標(biāo)注了相同的符號，省略其詳細(xì)的說明。如圖10所示，物理量檢測裝置1400包含振動(dòng)片3、驅(qū)動(dòng)電路1410、和檢測電路1420。驅(qū)動(dòng)電路1410以及檢測電路1420可以組裝到圖10中未圖示的IC芯片中。驅(qū)動(dòng)電路1410作為本發(fā)明的驅(qū)動(dòng)電路發(fā)揮作用，可以具有I/V變換電路(電流電壓變換電路)1411、AC放大電路1412、振幅調(diào)整電路1413。驅(qū)動(dòng)電路1410是向形成于振動(dòng)片3的驅(qū)動(dòng)信號電極730提供驅(qū)動(dòng)信號的電路。以下，對驅(qū)動(dòng)電路1410進(jìn)行詳細(xì)說明。當(dāng)振動(dòng)片3振動(dòng)時(shí)，基于壓電效應(yīng)的交流電流從形成于振動(dòng)片3的驅(qū)動(dòng)信號電極730輸出，經(jīng)由驅(qū)動(dòng)信號端子734輸入到I/V變換電路1411。I/V變換電路1411將所輸入的交流電流變換為與振動(dòng)片3的振動(dòng)頻率相同頻率的交流電壓信號而輸出。從I/V變換電路1411輸出的交流電壓信號輸入到AC放大電路1412。AC放大電路1412對所輸入的交流電壓信號進(jìn)行放大之后輸出。從AC放大電路1412輸出的交流電壓信號輸入到振幅調(diào)整電路1413。振幅調(diào)整電路1413進(jìn)行增益控制，使得所輸入的交流電壓信號的振幅保持恒定值，并把進(jìn)行增益控制后的交流電壓信號經(jīng)由形成于振動(dòng)片3的驅(qū)動(dòng)信號端子734輸出至驅(qū)動(dòng)信號電極730。該輸入到驅(qū)動(dòng)信號電極730的交流電壓信號(驅(qū)動(dòng)信號)使得振動(dòng)片3振動(dòng)。檢測電路1420作為本發(fā)明的檢測電路發(fā)揮作用，可以具有充電電路1421、1422、差動(dòng)放大電路1423、AC放大電路1424、同步檢波電路1425、平滑電路1426、可變放大電路1427、濾波電路1428。檢測電路1420對振動(dòng)片3的第一檢測振動(dòng)臂421上形成的檢測信號電極710所產(chǎn)生的第一檢測信號、和第二檢測振動(dòng)臂422上形成的檢測信號電極710所產(chǎn)生的第二檢測信號進(jìn)行差動(dòng)放大而生成差動(dòng)放大信號，根據(jù)該差動(dòng)放大信號檢測預(yù)定的物理量。以下，對檢測電路1420進(jìn)行詳細(xì)說明。在充電電路1421、1422中，經(jīng)由檢測信號端子734輸入振動(dòng)片3的檢測振動(dòng)臂421,422上形成的檢測信號電極710所檢測出的相位彼此相反的檢測信號(交流電流)。例如，充電電路1421被輸 入第一檢測振動(dòng)臂421上形成的檢測信號電極710所檢測出的第一檢測信號，充電電路1422被輸入第二檢測振動(dòng)臂422上形成的檢測信號電極710所檢測出的第二檢測信號。而且，充電電路1421、1422將所輸入的檢測信號(交流電流)變換為以基準(zhǔn)電壓Vref為中心的交流電壓信號。差動(dòng)放大電路1423對充電電路1421的輸出信號、充電電路1422的輸出信號進(jìn)行差動(dòng)放大，生成差動(dòng)放大信號。差動(dòng)放大電路1423的輸出信號(差動(dòng)放大信號)進(jìn)一步由AC放大電路1424進(jìn)行放大。同步檢波電路1425作為本發(fā)明的檢波電路發(fā)揮作用，基于驅(qū)動(dòng)電路1410的AC放大電路1412輸出的交流電壓信號，對AC放大電路1424的輸出信號進(jìn)行同步檢波，提取角速度成分。由同步檢波電路1425提取的角速度成分的信號在平滑電路1426中被平滑化為直流電壓信號，并輸入到可變放大電路1427?？勺兎糯箅娐?427以設(shè)定的放大率(或衰減率)對平滑電路1426的輸出信號(直流電壓信號)進(jìn)行放大(或衰減)，改變角速度靈敏度。由可變放大電路1427放大(或衰減)后的信號被輸入至濾波電路1428。濾波電路1428從可變放大電路1427的輸出信號中去除高頻噪聲成分，(準(zhǔn)確地說，是使其衰減到預(yù)定水平以下)，生成與角速度的方向以及大小對應(yīng)的極性及電平的檢測信號。然后，從外部輸出端子(未圖示)向外部輸出該檢測信號。根據(jù)物理量檢測裝置1400，如上所述，檢測電路1420能夠?qū)Φ谝粰z測振動(dòng)臂421上形成的檢測信號電極710所產(chǎn)生的第一檢測信號和第二檢測振動(dòng)臂422上形成的檢測信號電極710所產(chǎn)生的第二檢測信號進(jìn)行差動(dòng)放大而生成差動(dòng)放大信號，根據(jù)該差動(dòng)放大信號檢測預(yù)定的物理量。此外，振動(dòng)片3在從外部受到Y(jié)軸方向的沖擊的情況下，在Y軸的正方向側(cè)和Y軸的負(fù)方向側(cè)，能 夠使得檢測信號和驅(qū)動(dòng)信號的靜電耦合的變化量(大致)保持均等。即、能夠使得第一檢測信號和驅(qū)動(dòng)信號的靜電耦合的變化量與第二檢測信號和驅(qū)動(dòng)信號的靜電耦合的變化量均等，所以能夠消除Y軸方向的沖擊的影響。從而，可以提供即使從外部受到了特別是Y軸方向的沖擊，也能夠穩(wěn)定地檢測出檢測信號的物理量檢測裝置1400?！措娮釉O(shè)備〉此外，如上所述的振動(dòng)器件I可組裝到各種電子設(shè)備中。組裝有振動(dòng)器件I的本發(fā)明的電子設(shè)備沒有特別限定，可以列舉出:個(gè)人計(jì)算機(jī)(例如，移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、便攜電話等移動(dòng)終端、數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)、噴墨式排出裝置(例如，噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、寫字板型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車載導(dǎo)航裝置、傳呼機(jī)、電子記事本(包含通信功能的電子記事本)、電子詞典、計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、游戲用控制器、文字處理器、工作站、可視電話、防范用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測定設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如、車輛、飛機(jī)、傳播的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器、頭戴顯示器、運(yùn)動(dòng)跟隨、運(yùn)動(dòng)追蹤、運(yùn)動(dòng)控制器、PDR (步行者位置方位計(jì)測)等。以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式以及變形例對本發(fā)明的振子以及振動(dòng)器件進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，各部分的結(jié)構(gòu)可以置換為具有同樣功能的任意結(jié)構(gòu)。此外，也可以附加其他任意的構(gòu)成物或步驟。此外，本發(fā)明的振動(dòng)器件可以組合前述實(shí)施方式以及變形例中的任意兩個(gè) 以上的結(jié)構(gòu)(特征)。
權(quán)利要求
1.一種振動(dòng)片，其特征在于，該振動(dòng)片具有: 振動(dòng)體； 支撐部，其與從所述振動(dòng)體延伸出的梁連接，支撐所述振動(dòng)體；以及至少兩個(gè)固定部，它們設(shè)置于所述支撐部，沿著與所述梁的延伸方向交叉的方向分離且并列地設(shè)置， 所述梁與所述支撐部在所述兩個(gè)固定部之間相連， 在所述兩個(gè)固定部之間設(shè)有薄部或者貫通部，所述薄部形成為，該薄部在所述支撐部的正反方向上的厚度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分薄，所述貫通部是在正反方向上貫通地去除所述支撐部而形成的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)片，其特征在于， 所述支撐部具有從所述梁分別延伸到所述兩個(gè)固定部的寬度狹窄部，所述支撐部的所述寬度狹窄部處的寬度比所述支撐部的設(shè)置所述固定部的部分的寬度窄。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)片，其特征在于， 所述薄部或所述貫通部的靠所述振動(dòng)體側(cè)的端部在所述支撐部的側(cè)面開放。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片，其特征在于， 所述振動(dòng)體具有:基部；從基部起朝向兩側(cè)沿著第一方向延伸的第一檢測振動(dòng)臂以及第二檢測振動(dòng)臂；從所述基部起朝向兩側(cè)沿著與所述第一方向垂直的第二方向延伸的第一連接臂和第二連接臂；從所述第一連接臂起朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂和第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂；從所述第二連接臂朝向兩側(cè)沿著所述第一方向延伸的第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂和第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng) 臂，由所述第一檢測振動(dòng)臂以及所述第二檢測振動(dòng)臂構(gòu)成檢測振動(dòng)系統(tǒng)，由所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂、所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂以及所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂構(gòu)成驅(qū)動(dòng)振動(dòng)系統(tǒng)， 所述支撐部具有隔著所述振動(dòng)體沿著所述第一方向相對配置，并且在所述第二方向上延伸的第一支撐部以及第二支撐部， 所述梁具有:經(jīng)過所述第一檢測振動(dòng)臂和所述第一驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第一梁；經(jīng)過所述第一檢測振動(dòng)臂和所述第三驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第一支撐部和所述基部的第二梁；經(jīng)過所述第二檢測振動(dòng)臂和所述第二驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第三梁；以及經(jīng)過所述第二檢測振動(dòng)臂和所述第四驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂之間，連接所述第二支撐部和所述基部的第四梁。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動(dòng)片，其特征在于， 該振動(dòng)片具有:連接所述第一梁和所述第二梁的第一連接梁、以及連接所述第三梁和所述第四梁的第二連接梁， 利用所述第一連接梁以及所述第二連接梁將所述振動(dòng)體分別連接到相對配置的所述第一支撐部以及所述第二支撐部。
6.一種振動(dòng)器件，其特征在于，該振動(dòng)器件具備: 具有至少兩個(gè)連接焊盤的基板；以及 權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)中所述的振動(dòng)片， 通過導(dǎo)電性固定部件將所述連接焊盤和所述固定部接合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動(dòng)器件，其特征在于，在所述基板的俯視中，所述連接焊盤的輪廓的一部分與設(shè)置所述薄部或所述貫通部的區(qū)域的一部分重合。
8.一種物理量檢測裝置，其特征在于，該物理量檢測裝置具有: 權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的振動(dòng)片； 驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)片的驅(qū)動(dòng)電路；以及 根據(jù)來自所述振動(dòng)片的檢測信號檢測預(yù)定物理量的檢測電路。
9.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)片。
全文摘要
本發(fā)明提供振動(dòng)片、振動(dòng)器件、物理量檢測裝置以及電子設(shè)備，防止因振動(dòng)泄漏現(xiàn)象產(chǎn)生的對驅(qū)動(dòng)振動(dòng)臂或檢測振動(dòng)臂的振動(dòng)的影響，提高振動(dòng)特性。振動(dòng)片具有與從振動(dòng)體(4)延伸的第一梁(61)連接，支撐振動(dòng)體(4)的第一支撐部(51)；設(shè)置于第一支撐部(51)，沿著與第一梁(61)的延伸方向交叉的方向分離且并列地設(shè)置的檢測信號端子(714)及檢測接地端子(724)，第一梁(61)和第一支撐部(51)在檢測信號端子(714)和檢測接地端子(724)之間連接，在檢測信號端子(714)和檢測接地端子(724)之間設(shè)有薄部(54a)或貫通部，薄部形成為在第一支撐部的正反方向上的厚度薄，貫通部是在正反方向上貫通去除第一支撐部而形成的。
文檔編號G01C19/5607GK103226016SQ201310027250
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月30日
發(fā)明者大澤征司, 菊島正幸, 菊池尊行, 山口啟一, 磯野裕一 申請人:精工愛普生株式會(huì)社