專利名稱：一種半導(dǎo)體角槽定向儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種半導(dǎo)體檢測設(shè)備，特別是涉及一種半導(dǎo)體角槽定向儀。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體單晶硅，生產(chǎn)過程中為圓柱形存在，傳統(tǒng)工藝為用定向儀定向后切削一個邊作為參考邊，從而對圓柱體端面進(jìn)行定向和后續(xù)加工，但是由于半導(dǎo)體單晶硅尺寸較大， 近對一個邊的切削定向?qū)Π雽?dǎo)體單晶硅的浪費也是非常嚴(yán)重的，有3%-6%的材料將被切除并不能使用，目前采用的工藝為切削一個90°深3-5_的直角槽對晶棒的端面進(jìn)行定向。從而節(jié)約了材料，角槽的切削量不足1%。本專利設(shè)備就是對角槽進(jìn)行定向，對半導(dǎo)體單晶硅通過角槽對其他晶向進(jìn)行定向的新型檢測設(shè)備。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷和不足，而提供一種對半導(dǎo)體單晶硅晶棒的角槽進(jìn)行定向和檢測，并能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產(chǎn)要求的半導(dǎo)體角槽定向儀。采用的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發(fā)生器。機臺上位于X射線發(fā)生器的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副，渦輪蝸桿副的蝸桿一端連接手輪，蝸桿的另一端裝設(shè)有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一托板，托板上裝設(shè)有定位塊，定位塊通過手輪搖動絲杠使定位塊與被測晶體的角槽重合，托板上安裝旋轉(zhuǎn)托盤及滑板，旋轉(zhuǎn)托盤上設(shè)置有顯示面板，滑板上裝設(shè)有晶棒夾緊夾具，晶棒夾緊夾具上裝設(shè)有手搖絲杠。本實用新型能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產(chǎn)要求，并且以角槽為基準(zhǔn)可以檢測其他晶向的角度。從而提高產(chǎn)品合格率，及工作效率。

圖I是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
一種半導(dǎo)體角槽定向儀，包括機臺1，機臺I上固定有X射線發(fā)生器8。機臺I上位于X射線發(fā)生器8的兩側(cè)分別固定有測角儀14，測角儀14內(nèi)安裝有渦輪蝸桿副2，渦輪蝸桿副2的蝸桿一端連接手輪3，蝸桿的另一端安裝有編碼器15，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀14的殼體外，其穿出端固定一托板13，托板13上安裝有定位塊5，定位塊5通過手輪搖動絲杠4使定位塊與被測晶體11的角槽重合，托板13上安裝旋轉(zhuǎn)托盤6及滑板7，旋轉(zhuǎn)托盤6上設(shè)置有顯示面板9，滑板7上裝設(shè)有晶棒夾緊夾具12，晶棒夾緊夾具12上安裝有手搖絲杠10，晶棒夾緊夾具可以通過手搖絲杠10前后移動，從而以角槽為基準(zhǔn)對半導(dǎo)體單晶硅進(jìn)行定向，通過顯示面板9顯示出讀數(shù)。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發(fā)生器，其特征在于所述的機臺上位于X射線發(fā)生器的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副，渦輪蝸桿副的蝸桿一端連接手輪，蝸桿的另一端裝設(shè)有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一托板，托板上裝設(shè)有定位塊，托板上裝設(shè)有旋轉(zhuǎn)托盤及滑板，旋轉(zhuǎn)托盤上設(shè)置有顯示面板，滑板上裝設(shè)有晶棒夾緊夾具，晶棒夾緊夾具上裝設(shè)有手搖絲杠。
專利摘要一種半導(dǎo)體角槽定向儀，包括機臺，機臺上固定有X射線發(fā)生器。機臺上位于X射線發(fā)生器的兩側(cè)分別固定有測角儀，測角儀內(nèi)裝設(shè)有渦輪蝸桿副，渦輪蝸桿副的蝸桿一端連接手輪，蝸桿的另一端裝設(shè)有編碼器，渦輪與一主軸相連接，主軸的上部穿出測角儀的殼體外，其穿出端固定一托板，托板上裝設(shè)有定位塊，定位塊通過手輪搖動絲杠使定位塊與被測晶體的角槽重合，托板上安裝旋轉(zhuǎn)托盤及滑板，旋轉(zhuǎn)托盤上設(shè)置有顯示面板。本實用新型能夠檢測出角槽的晶向位置是否符合生產(chǎn)要求，并且以角槽為基準(zhǔn)可以檢測其他晶向的角度。從而提高產(chǎn)品合格率，及工作效率。
文檔編號G01N23/207GK202661416SQ201220322110
公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月5日
發(fā)明者甄偉, 趙松彬 申請人:丹東新東方晶體儀器有限公司