專(zhuān)利名稱(chēng)：應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)裝置，尤其涉及一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的干涉儀主要著眼于單個(gè)光學(xué)元器件的檢測(cè)，而對(duì)于光學(xué)系統(tǒng)的整體檢測(cè)存在技術(shù)空白。比如說(shuō)，在民用望遠(yuǎn)鏡行業(yè)中，現(xiàn)有儀器能夠解決民用望遠(yuǎn)鏡中的單一鏡片性能數(shù)據(jù)檢測(cè)問(wèn)題，而不能解決望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)性能數(shù)據(jù)檢測(cè)的問(wèn)題。因而，望遠(yuǎn)鏡的整體質(zhì)量和一致性水平就很難提高。因此，填補(bǔ)檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的技術(shù)空白，提高光學(xué)系統(tǒng)整體質(zhì)量水平成為本領(lǐng)域普通技術(shù)人員努力的方向。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，此檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)光學(xué)系統(tǒng)綜合性能的檢測(cè)，并進(jìn)一步排除非光學(xué)系統(tǒng)因素所導(dǎo)致的缺陷，從而提高測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，包括
菲索型干涉儀，用于產(chǎn)生相干光并接收經(jīng)不同光程的兩路反射光從而形成干涉條紋圖
像；
反光鏡，用于將所述光學(xué)系統(tǒng)輸出的光束沿原光路返回至光學(xué)系統(tǒng)和菲索型干涉儀；標(biāo)準(zhǔn)鏡，位于所述菲索型干涉儀前端，其接收來(lái)自所述菲索型干涉儀的相干光并將其分為透射光束和反射光束；
所述光學(xué)系統(tǒng)位于所述標(biāo)準(zhǔn)鏡和反光鏡之間，用于接收來(lái)自所述標(biāo)準(zhǔn)鏡的透射光束；一半透明的對(duì)準(zhǔn)部件罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近反光鏡側(cè)的右端部，此對(duì)準(zhǔn)部件中心設(shè)置有中心圓孔；
一可變光闌罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近標(biāo)準(zhǔn)鏡側(cè)的左端部，此可變光闌中心處的孔徑大小可調(diào)節(jié)，其用于控制進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)中光束的光斑大小。上述技術(shù)方案進(jìn)一步改進(jìn)技術(shù)方案如下
I.上述方案中，當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)的入射光平行時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為球面反光鏡；
當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)的入射光發(fā)散時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為球面反光鏡；
當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)的入射光匯聚時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡為球面反光鏡。2.上述方案中，所述可變光闌的孔徑最大為所述光學(xué)系統(tǒng)左端的通光孔徑、最小為對(duì)準(zhǔn)部件的中心圓孔的直徑大小。3.上述方案中，所述對(duì)準(zhǔn)部件的中心圓孔直徑為2mm。
4.上述方案中，所述對(duì)準(zhǔn)部件為涂淺色油漆層的有機(jī)玻璃或半透明的有機(jī)毛玻3 。5.上述方案中，所述對(duì)準(zhǔn)部件為可沿其筒壁方向伸縮移動(dòng)。由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，利用菲索型干涉儀，將待檢測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)位于所述標(biāo)準(zhǔn)鏡和反光鏡之間，實(shí)現(xiàn)了對(duì)光學(xué)系統(tǒng)綜合性能的檢測(cè)；其次，本發(fā)明采用在半透明的對(duì)準(zhǔn)部件罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近反光鏡側(cè)的右端部，可變光闌罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近標(biāo)準(zhǔn)鏡側(cè)的左端部，此可變光闌中心處的孔徑大小可調(diào)節(jié)，其進(jìn)一步排除非光學(xué)系統(tǒng)因素所導(dǎo)致的缺陷，從而提高測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性；再次，涂淺色油漆層的有機(jī)玻璃或半透明的有機(jī)毛玻璃作為對(duì)準(zhǔn)部件，能及時(shí)并有利于對(duì)待測(cè)的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行水平校正，從而提高了工作效率?！?br>

附圖I為本發(fā)明應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意 附圖2為本發(fā)明對(duì)準(zhǔn)部件中光斑位置示意 附圖3為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖一；
附圖4為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖二；
附圖5為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖三；
附圖6為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖四；
附圖7為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖五；
附圖8為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖六；
附圖9為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖七；
附圖10為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖八；
附圖11為本發(fā)明檢測(cè)裝置應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)示意圖九。以上附圖中1、菲索型干涉儀；2、反光鏡；3、標(biāo)準(zhǔn)鏡；4、光學(xué)系統(tǒng)；5、對(duì)準(zhǔn)部件；6、中心圓孔；7、可變光闌；8、筒壁。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述
實(shí)施例一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，如附圖所示，包括
菲索型干涉儀1，用于產(chǎn)生相干光并接收經(jīng)不同光程的兩路反射光從而形成干涉條紋圖像；
反光鏡2，用于將所述光學(xué)系統(tǒng)4輸出的光束沿原光路返回至光學(xué)系統(tǒng)；
標(biāo)準(zhǔn)鏡3，位于所述菲索型干涉儀前端，其接收來(lái)自所述菲索型干涉儀的相干光并將其分為透射光束和反射光束；
所述光學(xué)系統(tǒng)4位于所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3和反光鏡2之間，用于接收來(lái)自所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3的透射光束；
一半透明的對(duì)準(zhǔn)部件5罩于所述光學(xué)系統(tǒng)4靠近反光鏡側(cè)的右端部，此對(duì)準(zhǔn)部件5中心設(shè)置有中心圓孔6 ;一可變光闌7罩于所述光學(xué)系統(tǒng)4靠近標(biāo)準(zhǔn)鏡側(cè)的左端部,此可變光闌7中心處的孔徑大小可調(diào)節(jié)，其用于控制進(jìn)入所述光學(xué)系統(tǒng)4中光束的光斑大小。當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)4的入射光平行時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為球面反光鏡；
當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)4的入射光發(fā)散時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為球面反光鏡；
當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)4的入射光匯聚時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡3為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡2為球面反光鏡。上述可變光闌7的孔徑最大為所述光學(xué)系統(tǒng)左端的通光孔徑、最小為對(duì)準(zhǔn)部件5的中心圓孔的直徑大小。上述對(duì)準(zhǔn)部件5的中心圓孔直徑為2mm。上述對(duì)準(zhǔn)部件5為可沿其筒壁8方向伸縮移動(dòng)，此對(duì)準(zhǔn)部件5為涂淺色油漆層的有機(jī)玻璃或半透明的有機(jī)毛玻璃。I、被檢光學(xué)系統(tǒng)
a.兩端口徑可以相同(S卩4>3= 4)或不同(S卩4>3> 4>4或4>3〈 4>4)；
b.機(jī)械筒長(zhǎng)定長(zhǎng)或可變；
2、對(duì)準(zhǔn)部件5 :容易裝卸，但不松動(dòng)
a.套在被檢光學(xué)系統(tǒng)4右端，即遠(yuǎn)離菲索型干涉儀I一側(cè)；
b.對(duì)準(zhǔn)部件5的筒壁8可長(zhǎng)些或短些，視需求來(lái)定；
c.對(duì)準(zhǔn)部件5的中心位置有一直徑在2mm左右的中心圓孔6；
d.對(duì)準(zhǔn)部件5端面材料的選取或制作原則是如，透明的有機(jī)玻璃上涂淺色油漆或不完全透明的有機(jī)毛玻璃等。該材料能散射來(lái)自干涉儀并通過(guò)被檢光學(xué)系統(tǒng)的激光；從外部可以容易地觀(guān)測(cè)到激光照射在該材料上所形成的光斑。3、可變光闌7 :容易裝卸，但不松動(dòng)
a.套在被檢光學(xué)系統(tǒng)4左端，即靠近菲索型干涉儀I一側(cè)；
b.可變光闌7的口徑變化范圍
最大=被檢光學(xué)系統(tǒng)4左端的通光孔徑、最小<對(duì)準(zhǔn)部件5上的中心圓孔6 ；
c.當(dāng)從被檢光學(xué)系統(tǒng)出來(lái)的光呈匯聚狀時(shí)，可變光闌可取消；
d.可變光闌和對(duì)準(zhǔn)器之間的相對(duì)位置可調(diào)；
對(duì)準(zhǔn)準(zhǔn)則
(1)調(diào)整可變光闌7口徑大??；
(2)調(diào)整可變光闌7和對(duì)準(zhǔn)部件5之間的相對(duì)位置，通過(guò)
a.改變被檢光學(xué)系統(tǒng)機(jī)械筒長(zhǎng)，或者，
e.改變對(duì)準(zhǔn)部件5的筒壁8長(zhǎng)度；
(3)直到在對(duì)準(zhǔn)部件5上可容易地觀(guān)測(cè)到激光光斑，其光斑口徑的范圍大于對(duì)準(zhǔn)部件5上的中心圓孔6，遠(yuǎn)小于被檢光學(xué)系統(tǒng)右端的通光孔徑，如附圖2所示，附圖2 (a)為光斑水平方向偏離，附圖2 (b)為光斑垂直方向偏離，附圖2 (c)為光斑水平和垂直方向均偏離，附圖2 (d)為光斑無(wú)偏離。上述實(shí)施例只為說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以 實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，其特征在于包括 菲索型干涉儀(1)，用于產(chǎn)生相干光并接收經(jīng)不同光程的兩路反射光從而形成干涉條紋圖像； 反光鏡(2)，用于將所述光學(xué)系統(tǒng)(4)輸出的光束沿原光路返回至光學(xué)系統(tǒng)和菲索型干涉儀； 標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)，位于所述菲索型干涉儀前端，其接收來(lái)自所述菲索型干涉儀的相干光并將其分為透射光束和反射光束； 所述光學(xué)系統(tǒng)(4)位于所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)和反光鏡(2)之間，用于接收來(lái)自所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)的透射光束； 一半透明的對(duì)準(zhǔn)部件(5)罩于所述光學(xué)系統(tǒng)(4)靠近反光鏡側(cè)的右端部，此對(duì)準(zhǔn)部件 (5)中心設(shè)置有中心圓孔(6)； 一可變光闌(7 )罩于所述光學(xué)系統(tǒng)(4 )靠近標(biāo)準(zhǔn)鏡側(cè)的左端部，此可變光闌(7 )中心處的孔徑大小可調(diào)節(jié)，其用于控制進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)(4)中光束的光斑大小。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測(cè)裝置，其特征在于 當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)(4)的入射光平行時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為平面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為球面反光鏡； 當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)(4)的入射光發(fā)散時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為球面反光鏡； 當(dāng)所述光學(xué)系統(tǒng)(4)的入射光匯聚時(shí)；所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為平面反光鏡；或者，所述標(biāo)準(zhǔn)鏡(3)為球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，所述反光鏡(2)為球面反光鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述可變光闌(7)的孔徑最大為所述光學(xué)系統(tǒng)左端的通光孔徑、最小為對(duì)準(zhǔn)部件(5)的中心圓孔的直徑大小。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述對(duì)準(zhǔn)部件(5)的中心圓孔直徑為 2mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述對(duì)準(zhǔn)部件(5)為涂淺色油漆層的有機(jī)玻璃或半透明的有機(jī)毛玻璃。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的檢測(cè)裝置，其特征在于所述對(duì)準(zhǔn)部件(5)為可沿其筒壁(8)方向伸縮移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)一種應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng)的檢測(cè)裝置，包括菲索型干涉儀；反光鏡，用于將所述光學(xué)系統(tǒng)輸出的光束沿原光路返回至光學(xué)系統(tǒng)；標(biāo)準(zhǔn)鏡，位于所述菲索型干涉儀前端，其接收來(lái)自所述菲索型干涉儀的相干光并將其分為透射光束和反射光束；所述光學(xué)系統(tǒng)位于所述標(biāo)準(zhǔn)鏡和反光鏡之間，用于接收來(lái)自所述標(biāo)準(zhǔn)鏡的透射光束；一半透明的對(duì)準(zhǔn)部件罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近反光鏡側(cè)的右端部，此對(duì)準(zhǔn)部件中心設(shè)置有中心圓孔；一可變光闌罩于所述光學(xué)系統(tǒng)靠近標(biāo)準(zhǔn)鏡側(cè)的左端部，此可變光闌中心處的孔徑大小可調(diào)節(jié)，其用于控制進(jìn)入光學(xué)系統(tǒng)中光束的光斑大小。本發(fā)明檢測(cè)裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)光學(xué)系統(tǒng)綜合性能的檢測(cè)，并進(jìn)一步排除非光學(xué)系統(tǒng)因素所導(dǎo)致的缺陷，從而提高測(cè)試數(shù)據(jù)的可靠性。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102749188SQ20121024990
公開(kāi)日2012年10月24日 申請(qǐng)日期2012年7月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月19日
發(fā)明者韓森 申請(qǐng)人:蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司