專利名稱：一種聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具及其用于產(chǎn)品批量檢測的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種聲學(xué)掃描顯微鏡用的輔助夾具及其應(yīng)用于聲學(xué)掃描顯微鏡進(jìn)行產(chǎn)品批量檢測的方法。
背景技術(shù)：
聲學(xué)掃描顯分析，又名聲學(xué)掃描顯微鏡，常被人簡稱為C-SAM，是一種利用遠(yuǎn)場聲波在物質(zhì)傳播的不同特性，用逐點(diǎn)掃描的辦法探測物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)，最后形成圖像。它是無損檢測的重要手段，在對樣品沒有任何破壞的情況下，對分析集成電路塑封器件內(nèi)部分層、開裂等缺陷非常有效。在整個檢測分析過程中，做一次樣品一般需要半小時(shí)以上來調(diào)試設(shè)備參數(shù)，調(diào)好了參數(shù)后，十分鐘可以完成對樣品的掃描工作，即使在樣品相同的情況下，由于換樣時(shí)擺放位置發(fā)生了變化，同樣需要相同的時(shí)間來調(diào)試設(shè)備參數(shù)。所以在批量掃描時(shí)，耗費(fèi)了大量的時(shí)間從而大大降低了工作效率。由于目前還沒有針對批量掃描的檢測方法，因此如何設(shè)計(jì)一種提高工作效率并保證檢測結(jié)果的方法值的研究。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有聲學(xué)掃描顯微鏡在掃描同批次大批量產(chǎn)品時(shí)時(shí)間耗費(fèi)嚴(yán)重、工作效率低下的問題，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案一種聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具，包括主板和定位板，所述主板具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述主板的一角開設(shè)有定位角，所述定位角為直角，且所述定位角的兩邊分別平行于所述主板的兩邊；所述定位板具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述定位板的上表面固定安裝有定位框，所述定位框具有“L”形結(jié)構(gòu)，且所述定位框的兩邊分別平行于所述定位板的兩邊；所述定位板的一角貼合于所述主板的定位角。作為本發(fā)明的一種優(yōu)選方案，所述主板和所述定位板的材質(zhì)均為有機(jī)玻璃。一種使用聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具進(jìn)行產(chǎn)品批量檢測的方法，包括以下步驟A、將主板固定于設(shè)備的檢測槽中；B、在定位板上產(chǎn)品放置位置整齊排放多行產(chǎn)品，通過所述定位框進(jìn)行定位，使得每次排放的產(chǎn)品位置一致；C、將放置好多行產(chǎn)品的定位板放置于設(shè)備的檢測槽中，且所述定位板的一個直角貼合于所述主板的定位角，使得兩個直角完全重合；D、調(diào)節(jié)好聲學(xué)掃描顯微鏡的參數(shù)，進(jìn)行掃描；E、掃描完一批產(chǎn)品，將定位板取出，按照步驟C放入裝有未掃描過的產(chǎn)品的另一個定位板繼續(xù)進(jìn)行掃描；F、重復(fù)步驟E，直到產(chǎn)品全部掃描完成。本發(fā)明帶來的有益效果是1、本聲學(xué)掃描顯微鏡夾具結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，耐磨損，使用壽命長，適用范圍
2、本聲學(xué)掃描顯微鏡夾具定位準(zhǔn)確，提高了產(chǎn)品擺放位置的一致性，省去了聲學(xué)掃描顯微鏡因產(chǎn)品位置不同而需要進(jìn)行多次參數(shù)調(diào)節(jié)的麻煩；3、本產(chǎn)品批量檢測方法通過使用聲學(xué)掃描顯微鏡夾具，增加了單次掃描的量，同時(shí)減少了多次掃描之間的時(shí)間浪費(fèi)，極大地提高了掃描效率。


圖1本發(fā)明夾具組合結(jié)構(gòu)示意圖；圖2本發(fā)明夾具主板俯視圖；圖3本發(fā)明夾具定位板俯視圖；圖4本發(fā)明夾具定位板主視圖。圖中標(biāo)號為1-主板 11-定位角 2-定位板21-定位框
具體實(shí)施例方式下面對該工藝實(shí)施例作詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本發(fā)明的保護(hù)范圍作出更為清楚明確的界定。如圖2本發(fā)明夾具主板俯視圖所示，主板1具有長方體結(jié)構(gòu)，在主板1的一角開設(shè)有直角結(jié)構(gòu)的定位角11，定位角11的兩邊分別平行于主板1的兩邊，以方便定位板2的一個直角與其貼合定位。如圖3本發(fā)明夾具定位板俯視圖和圖4本發(fā)明夾具定位板主視圖所示，定位板2 具有長方體結(jié)構(gòu)，在定位板2的上表面固定安裝有“L”形定位框21，定位框21的兩邊分別平行于定位板2的兩邊。這樣，當(dāng)產(chǎn)品緊靠定位框21排列時(shí)保持一定的平行度和整齊性。如圖1本發(fā)明夾具組合示意圖所示，定位板2的左上角正好貼合于主板1的定位角11，兩個直角完全重合，使得排列于定位板2上的產(chǎn)品以定位角11的位置為基準(zhǔn)點(diǎn)每次排列于同一位置。在使用夾具進(jìn)行產(chǎn)品掃描時(shí)，首先將主板1固定于設(shè)備的檢測槽中，使得主板1的邊平行于檢測槽的邊；其次，將產(chǎn)品依次整齊排列于定位板2的上部，以定位框21的直角點(diǎn)為基點(diǎn)，進(jìn)行整齊排列，再將定位板2放到檢測槽中，使得定位板2的左上角貼合于主板1 的定位角11，兩個直角完全重合，從而達(dá)到對定位板2進(jìn)行定位的效果；再次，調(diào)節(jié)聲學(xué)掃描顯微鏡的參數(shù)，使之適合當(dāng)前產(chǎn)品的排列狀態(tài)以及檢測要求，進(jìn)行產(chǎn)品掃描；當(dāng)一個定位板2上的產(chǎn)品掃面完成后，可以換入另一個同樣排列好產(chǎn)品的定位板繼續(xù)進(jìn)行掃描，依次循環(huán)，直到所有產(chǎn)品檢測完畢。通過使用夾具，從而省去了沒有定位時(shí)，每次擺放物品都要進(jìn)行調(diào)節(jié)聲學(xué)掃描顯微鏡參數(shù)的麻煩，減少了時(shí)間浪費(fèi)，提高了掃描效率，同時(shí)通過定位板 2整齊排列產(chǎn)品，也增加了聲學(xué)掃描顯微鏡單次掃描的量，同樣提高了聲學(xué)掃描顯微鏡的掃描效率。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
之一，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此， 任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明所揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具，其特征在于該夾具包括主板(1)和定位板(2)，所述主板(1)具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述主板(1)的一角開設(shè)有定位角(11)，所述定位角(11)為直角，且所述定位角(11)的兩邊分別平行于所述主板(1)的兩邊；所述定位板(2)具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述定位板(2)的上表面固定安裝有定位框(21)，所述定位框(21)具有“L” 形結(jié)構(gòu)，且所述定位框(21)的兩邊分別平行于所述定位板(2)的兩邊；所述定位板(2)的一角貼合于所述主板(1)的定位角(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具，其特征在于所述主板(1)和所述定位板(2)的材質(zhì)均為有機(jī)玻璃。
3.一種使用權(quán)利要求1所述的聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具進(jìn)行產(chǎn)品批量檢測的方法，其特征在于該方法包括以下步驟A、將主板(1)固定于設(shè)備的檢測槽中；B、在定位板(2)上產(chǎn)品放置位置整齊排放多行產(chǎn)品，通過所述定位框(21)進(jìn)行定位， 使得每次排放的產(chǎn)品位置一致；C、將放置好多行產(chǎn)品的定位板(2)放置于設(shè)備的檢測槽中，且所述定位板(2)的一個直角貼合于所述主板(1)的定位角(11)，使得兩個直角完全重合；D、調(diào)節(jié)好聲學(xué)掃描顯微鏡的參數(shù)，進(jìn)行掃描；E、掃描完一批產(chǎn)品，將定位板(2)取出，按照步驟C放入裝有未掃描過的產(chǎn)品的另一個定位板(2)繼續(xù)進(jìn)行掃描；F、重復(fù)步驟E，直到產(chǎn)品全部掃描完成。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具，包括主板和定位板，所述主板具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述主板的一角開設(shè)有定位角；所述定位板具有長方體結(jié)構(gòu)，在所述定位板上表面固定安裝有定位框；所述定位板的一角貼合于所述主板的定位角。一種使用聲學(xué)掃描顯微鏡用夾具進(jìn)行產(chǎn)品批量檢測的方法，通過利用夾具對需要掃描的產(chǎn)品進(jìn)行排列并且統(tǒng)一定位使得每次掃描的產(chǎn)品在同一個位置，以保證聲學(xué)掃描顯微鏡設(shè)置一次參數(shù)，可用于多次掃描。聲學(xué)掃描顯微鏡夾具定位準(zhǔn)確，提高了產(chǎn)品擺放位置的一致性，省去了聲學(xué)掃描顯微鏡需要進(jìn)行多次參數(shù)調(diào)節(jié)的麻煩；本產(chǎn)品批量檢測方法通過使用夾具，增加了單次掃描的量，同時(shí)減少了多次掃描之間的時(shí)間浪費(fèi)，提高了掃描效率。
文檔編號G01N29/26GK102353723SQ20111016025
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月15日
發(fā)明者徐丹紅 申請人:蘇州華碧微科檢測技術(shù)有限公司