專(zhuān)利名稱(chēng)：質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳感器老化裝置，尤其涉及一種質(zhì)量流量控制器傳感器老化 測(cè)試裝置。
背景技術(shù)：
質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。流量傳感器是構(gòu)成 質(zhì)量流量控制器的重要部件，采用毛細(xì)管溫差量熱法測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。將傳感器加熱 電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將 差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定流量相等。傳感器的老化是傳感器生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，現(xiàn)有技術(shù)中測(cè)試的方法是直接給 流量控制器通電老化。上述現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下缺點(diǎn)老化后傳感器工作不穩(wěn)定。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種老化后傳感器工作穩(wěn)定的質(zhì)量流量控制器傳感器 老化測(cè)試裝置。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，包括老化臺(tái)盒體，所述老化 臺(tái)盒體的上部設(shè)有傳感器承放板，所述老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有多個(gè)測(cè)試電路板， 所述老化臺(tái)盒體內(nèi)設(shè)有電源模塊。由上述本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型所述的質(zhì)量流量控制器 傳感器老化測(cè)試裝置，由于老化臺(tái)盒體的上部設(shè)有傳感器承放板，老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣 分別設(shè)有多個(gè)測(cè)試電路板，老化臺(tái)盒體內(nèi)設(shè)有電源模塊。能在傳感器繞制完成之后直接進(jìn) 行傳感器老化測(cè)試，可以使傳感器的后續(xù)調(diào)試中性能穩(wěn)定可靠。

圖1為本實(shí)用新型質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其較佳的具體實(shí)施方式
是包括老化臺(tái)盒體，所述老化臺(tái)盒體的上部設(shè)有傳感器承放板，所述老化臺(tái)盒體的 兩側(cè)上緣分別設(shè)有多個(gè)測(cè)試電路板，所述老化臺(tái)盒體內(nèi)設(shè)有電源模塊。具體老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣可以分別設(shè)有2-10個(gè)測(cè)試電路板。比如老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有5個(gè)測(cè)試電路板，形成10工位質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置。所述老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣可以分別設(shè)有電路板支撐架，測(cè)試電路板可以通過(guò)支 柱安裝在電路板支撐架上。老化臺(tái)盒體的兩端上緣分別設(shè)有防側(cè)滑擋板。老化臺(tái)盒體還可以設(shè)有外部電源線(xiàn)。老化臺(tái)盒體可以采用lCrl8Ni9Ti材料。本實(shí)用新型能在傳感器繞制完成之后直接進(jìn)行傳感器老化測(cè)試，具體實(shí)施例的老 化時(shí)間為每批傳感器3小時(shí)，可以使傳感器的后續(xù)調(diào)試中性能穩(wěn)定可靠。具體實(shí)施例的工作原理如圖1、圖2、圖3所示，包括老化臺(tái)盒體1、電路板支撐架2、傳感器承放板3、防側(cè) 滑擋板4、支柱5、電源模塊6、測(cè)試電路板7、電源線(xiàn)8、待測(cè)傳感器9等。其中電源模塊安裝 在老化臺(tái)盒體內(nèi)，電路板支撐架裝配在盒體上表面，傳感器承放板裝配在盒體上表面，防側(cè) 滑擋板裝配在盒體上表面兩邊，支柱裝配在盒體上表面與測(cè)試電路板之間，電源線(xiàn)從盒體 的一側(cè)引出，傳感器放置在傳感器承放板上，待測(cè)傳感器的扁平排線(xiàn)焊接在每個(gè)工位對(duì)應(yīng) 的電路板上，接通電源進(jìn)行傳感器的老化工作。傳感器盒體是本測(cè)試裝置的主體部件，AC/DC電源模塊放置在盒體內(nèi)，實(shí)現(xiàn)給老化 測(cè)試臺(tái)的供電。傳感器盒體采用ICrlSMOTi材料，成型死角焊接磨平，要求焊接連續(xù)。電路板支撐架為固定電路板的支架，電路板裝配在支架上可以實(shí)現(xiàn)有序的傳感器 老化工作。采用鋁材料，表面陽(yáng)極化，成本色。傳感器承放架為老化時(shí)放置傳感器使用，防止傳感器放置不正確產(chǎn)生認(rèn)為誤差， 引入外界的干擾。采用聚丙烯材料，材料兩個(gè)不加工表面貼保護(hù)膜。防側(cè)滑擋板防止傳感器在有時(shí)需要移動(dòng)的時(shí)候產(chǎn)生側(cè)滑。采用ICrlSNiOTi材料， 銳角倒鈍，表面陽(yáng)極化，成本色。支柱的作用是把電路板抬起至一定的高度，放止與傳感器盒體接觸產(chǎn)生接地誤 差。采用鋁材料，銳角倒鈍，表面陽(yáng)極化，成本色。電源模塊提高電路以穩(wěn)定的+12V直流工作電源。電路板提供老化傳感器需要的額定電流，同時(shí)根據(jù)傳感器的排線(xiàn)形狀設(shè)計(jì)可以直 接焊接的焊盤(pán)距離，便于傳感器直接焊接老化。電源線(xiàn)的電源插頭直接接通電源本測(cè)試裝置即可工作。待測(cè)傳感器為待老化的傳感器的安裝位置。以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不 局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到 的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，包括老化臺(tái)盒體，其特征在于，所述老化 臺(tái)盒體的上部設(shè)有傳感器承放板，所述老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有多個(gè)測(cè)試電路板， 所述老化臺(tái)盒體內(nèi)設(shè)有電源模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所述老 化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有2-10個(gè)測(cè)試電路板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所述老 化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有5個(gè)測(cè)試電路板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所 述老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有電路板支撐架，所述測(cè)試電路板通過(guò)支柱安裝在所述電 路板支撐架上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所 述老化臺(tái)盒體的兩端上緣分別設(shè)有防側(cè)滑擋板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所 述老化臺(tái)盒體還設(shè)有外部電源線(xiàn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，其特征在于，所 述老化臺(tái)盒體采用lCrl8Ni9Ti材料。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種質(zhì)量流量控制器傳感器老化測(cè)試裝置，包括老化臺(tái)盒體，老化臺(tái)盒體的上部設(shè)有傳感器承放板，老化臺(tái)盒體的兩側(cè)上緣分別設(shè)有多個(gè)測(cè)試電路板，老化臺(tái)盒體內(nèi)設(shè)有電源模塊，老化臺(tái)盒體的兩端上緣分別設(shè)有防側(cè)滑擋板。能在傳感器繞制完成之后直接進(jìn)行傳感器老化測(cè)試，可以使傳感器的后續(xù)調(diào)試中性能穩(wěn)定可靠。
文檔編號(hào)G01R31/00GK201867459SQ20102065503
公開(kāi)日2011年6月15日 申請(qǐng)日期2010年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月7日
發(fā)明者楊雪飛, 陳遠(yuǎn)謀 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司