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一種真空氣閥的制作方法

文檔序號(hào):5597980閱讀:314來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:一種真空氣閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及真空器械技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及適用于真空鍍膜設(shè)備的真空氣閥。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)的電鍍工藝主要是以水鍍?yōu)橹?,而水鍍?huì)產(chǎn)生廢液、廢氣和廢物,如果處理不好,排放出去會(huì)造成環(huán)境污染,不環(huán)保,且治理難度大、投資也大,因而該工藝逐步受到限制。隨后出現(xiàn)有物理氣相沉積(PVD)技術(shù),主要是在真空環(huán)境下進(jìn)行表面處理,物理氣相沉積本身分為三種真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜,近十年來(lái)發(fā)展相當(dāng)快,已經(jīng)成為當(dāng)今最先進(jìn)的表面處理方式之一。物理氣相沉積技術(shù)對(duì)真空環(huán)境要求較高,因而 需要更為嚴(yán)謹(jǐn)、穩(wěn)定的真空器械,如真空氣閥,需要具有良好的密封性和操控性,在此背景下,本申請(qǐng)人迎合市場(chǎng)發(fā)展的需求,秉持著研究創(chuàng)新、精益求精之精神,利用其專業(yè)眼光和專業(yè)知識(shí),研究出一種適用于真空鍍膜設(shè)備的真空氣閥。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、科學(xué)合理,易制作,且操控穩(wěn)定的真空氣閥。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種真空氣閥,包括有中空閥體,于閥體內(nèi)組裝有一可活動(dòng)密封閥體之連通相應(yīng)真空容器的進(jìn)氣口的閥蓋,閥蓋由一動(dòng)力缸驅(qū)動(dòng)。所述動(dòng)力缸為一氣缸,其與閥體固連在一起,動(dòng)力缸的伸縮軸穿入閥體內(nèi)連接閥
至JHL ο所述閥蓋之面向閥體之進(jìn)氣口的一端設(shè)有密封墊,而閥蓋之與密封墊相背對(duì)的一端設(shè)有接駁位來(lái)連接動(dòng)力缸的伸縮軸。所述閥蓋上的接駁位為端面凹槽形式,動(dòng)力缸的伸縮軸外端設(shè)計(jì)為T形,伸縮軸外端插入閥蓋的接駁位后由一半圓壓環(huán)壓制固定,半圓壓環(huán)組接在閥蓋上。本實(shí)用新型采用氣動(dòng)方式來(lái)打開和閉合閥蓋,動(dòng)作穩(wěn)定、易操作,且密封良好,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,科學(xué)合理,投資成本低,維護(hù)檢修十分方便,大大提高了氣閥的運(yùn)行率和可操作性,體積小巧,安裝、使用方便。


附圖I為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明參閱圖I所示,本實(shí)用新型所述的一種真空氣閥,包括有中空閥體1,于閥體I內(nèi)組裝有一可活動(dòng)密封閥體I之連通相應(yīng)真空容器的進(jìn)氣口 11的閥蓋2,閥蓋2由一動(dòng)力缸3驅(qū)動(dòng);動(dòng)力缸3為一氣缸形體,其與閥體I固連在一起,動(dòng)力缸3的伸縮軸31穿入閥體I內(nèi)連接閥蓋2。閥蓋2之面向閥體I之進(jìn)氣口 11的一端設(shè)有密封墊21,而閥蓋2之與密封墊21相背對(duì)的一端設(shè)有接駁位22來(lái)連接動(dòng)力缸3的伸縮軸31。工作時(shí),動(dòng)力缸3的伸縮軸31內(nèi)縮則帶動(dòng)閥蓋2運(yùn)動(dòng)遠(yuǎn)離閥體I之進(jìn)氣口 11,閥蓋2的密封墊21離開進(jìn)氣口 11,這時(shí)空氣可從閥體I之進(jìn)氣口 11進(jìn)入真空容器,容器由此從真空狀態(tài)達(dá)到大氣狀態(tài)。當(dāng)動(dòng)力缸3的伸縮軸31外伸則帶動(dòng)閥蓋2運(yùn)動(dòng)對(duì)接閥體I之進(jìn)氣口 11,閥蓋2的密封墊21密封進(jìn)氣口 11,這時(shí)空氣不能從閥體I之進(jìn)氣口 11進(jìn)入真空容器,達(dá)到密封狀態(tài),以便容器抽真空。圖I所示,本實(shí)施例中,所述閥蓋2上的接駁位2 2為端面凹槽形式,動(dòng)力缸3的伸縮軸31外端設(shè)計(jì)為T形,伸縮軸31外端插入閥蓋2的接駁位22后由一半圓壓環(huán)4壓制固定,半圓壓環(huán)4組接在閥蓋2上。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,科學(xué)合理,投資成本低,維護(hù)檢修十分方便,大大提高了氣閥的運(yùn)行率和可操作性,體積小巧,安裝、使用方便;利用動(dòng)力缸3伸縮驅(qū)動(dòng)閥蓋2工作,動(dòng)作穩(wěn)定、易操作,且密封良好,適用面廣,經(jīng)濟(jì)性高。
權(quán)利要求1.一種真空氣閥,包括有中空閥體(1),其特征在于于閥體(I)內(nèi)組裝有一可活動(dòng)密封閥體(I)之連通相應(yīng)真空容器的進(jìn)氣口(11)的閥蓋(2),閥蓋(2)由一動(dòng)力缸(3)驅(qū)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種真空氣閥,其特征在于所述動(dòng)力缸(3)為一氣缸,其與閥體(I)固連在一起,動(dòng)力缸(3)的伸縮軸(31)穿入閥體(I)內(nèi)連接閥蓋(2)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的一種真空氣閥,其特征在于所述閥蓋(2)之面向閥體(I)之進(jìn)氣口( 11)的一端設(shè)有密封墊(21),而閥蓋(2 )之與密封墊(21)相背對(duì)的一端設(shè)有接駁位(22)來(lái)連接動(dòng)力缸(3)的伸縮軸(31)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空氣閥,其特征在于所述閥蓋(2)上的接駁位(22)為端面凹槽形式,動(dòng)力缸(3)的伸縮軸(31)外端設(shè)計(jì)為T形,伸縮軸(31)外端插入閥蓋(2)的接駁位(22)后由一半圓壓環(huán)(4)壓制固定,半圓壓環(huán)(4)組接在閥蓋(2)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空器械技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及適用于真空鍍膜設(shè)備的真空氣閥,包括有中空閥體,于閥體內(nèi)組裝有一可活動(dòng)密封閥體之連通相應(yīng)真空容器的進(jìn)氣口的閥蓋,閥蓋由一動(dòng)力缸驅(qū)動(dòng);所述動(dòng)力缸為一氣缸,其與閥體固連在一起,動(dòng)力缸的伸縮軸穿入閥體內(nèi)連接閥蓋。本實(shí)用新型采用氣動(dòng)方式來(lái)打開和閉合閥蓋,動(dòng)作穩(wěn)定、易操作,且密封良好,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,科學(xué)合理,投資成本低,維護(hù)檢修十分方便,大大提高了氣閥的運(yùn)行率和可操作性,體積小巧,安裝、使用方便。
文檔編號(hào)F16K51/02GK202597713SQ20122012718
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月30日
發(fā)明者趙銘 申請(qǐng)人:廣東友通工業(yè)有限公司
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