專利名稱：：涂敷裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種涂敷裝置，尤其涉及在連續(xù)行進(jìn)的帶狀體(帶狀支承體)上涂敷涂敷液從而形成均勻厚度的涂敷膜面的涂敷裝置。
背景技術(shù)：
：在照相感光材料或磁記錄介質(zhì)等領(lǐng)域中，采用的是在連續(xù)行進(jìn)的帶狀的撓性支承體(以下稱為"帶狀體")上涂敷規(guī)定的涂敷液從而形成涂敷膜的涂敷工序。近年來(lái)，在這些領(lǐng)域中，需要能夠得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的沒有涂敷不均的涂敷膜的涂敷技術(shù)。同樣，即使在適用于光學(xué)補(bǔ)償薄膜、防反射薄膜、防眩性薄膜等具有各種功能的光學(xué)薄膜的制造的涂敷工序中，也需要如上所述的涂敷技術(shù)。作為將涂敷液涂敷于帶狀體面的涂敷裝置，例如包括滾涂機(jī)型、凹板印刷涂敷型、輥涂加刮涂(rollcoatplusdoctor)型、逆轉(zhuǎn)輥式涂布機(jī)型、擠出型、滑動(dòng)式涂布型等，目前根據(jù)用途不同而適當(dāng)?shù)厥褂谩＜词乖谶@些任意涂敷裝置中，為了得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的沒有涂敷不均的涂敷膜，除去涂敷時(shí)的振動(dòng)是很重要的。作為除去涂敷時(shí)的振動(dòng)的方法，在專利文獻(xiàn)1中公開了將主動(dòng)式除振裝置適用于涂敷部。另外，在專利文獻(xiàn)2中還公開了通過(guò)向涂敷頭供給振動(dòng)來(lái)使帶狀體與涂敷頭之間的距離保持一定的涂敷裝置。專利文獻(xiàn)l:特開2005—319385號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:特開2004—89896號(hào)公報(bào)但是，在涂敷部中，除了來(lái)自放置涂敷裝置的基礎(chǔ)的振動(dòng)以外，由于導(dǎo)輥的偏心或振擺、軸承的振動(dòng)、驅(qū)動(dòng)體系的振動(dòng)、干燥風(fēng)等，沿著帶狀體的輸送方向的張力變動(dòng)及與輸送方向垂直的方向的張力變動(dòng)有時(shí)會(huì)引起與涂敷輥成為一體的涂敷裝置整體的干擾振動(dòng)。如果在涂敷裝置中發(fā)生干擾振動(dòng)，則該振動(dòng)引起涂敷液的流動(dòng)發(fā)生變動(dòng)，結(jié)果，成為引起涂敷不均等故障的原因。在這樣的狀況下，在專利文獻(xiàn)1及專利文獻(xiàn)2中，對(duì)于除去干擾振動(dòng)而言并不充分，可能會(huì)發(fā)生涂敷不均。即使為了解決該問(wèn)題而固定支承涂敷頭和帶狀體的支承輥從而使涂敷頭與支承輥的距離保持一定，也難以防止干擾振動(dòng)的影響引起的涂敷不均。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明正是鑒于這樣的情況而提出的，其目的在于，在利用涂敷液供給機(jī)構(gòu)供給涂敷液，同時(shí)，在與該涂敷液供給機(jī)構(gòu)隔著規(guī)定間隔的位置上，在連續(xù)地輸送的帶狀體上形成規(guī)定膜厚的涂敷膜的
技術(shù)領(lǐng)域：
中，能夠通過(guò)保持控制體系的穩(wěn)定性狀態(tài)不變并消除涂敷裝置的振動(dòng)，來(lái)實(shí)現(xiàn)可以得到膜厚精度高、表面平滑且沒有涂敷不均的涂敷膜的涂敷裝置。本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)所述目的，提供一種涂敷裝置，其是具備用外周面支承向縱向行進(jìn)的長(zhǎng)的帶狀體的支承輥、和與所述支承輥隔著一定間隔對(duì)向配置并向帶狀體供給涂敷液的涂敷液供給部的涂敷裝置，其特征在于，具備固定所述涂敷液供給部與所述支承輥而成的支架、和主動(dòng)式除振裝置，該主動(dòng)式除振裝置具備支承所述支架并用于驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器、檢測(cè)所述支架的振動(dòng)的第一傳感器、基于所述第一傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除支架的振動(dòng)的控制輸入的反饋控制機(jī)構(gòu)、檢測(cè)設(shè)置有所述支架的基礎(chǔ)的振動(dòng)的第二傳感器、基于所述第二傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除基礎(chǔ)振動(dòng)的控制輸入的前饋控制機(jī)構(gòu)、檢測(cè)向所述支架的彈簧上傳導(dǎo)的干擾振動(dòng)的安裝于所述支架以外的部位的第三傳感器、和基于所述第三傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除帶狀體引起的振動(dòng)的控制輸入的反饋控制機(jī)構(gòu)。具備主動(dòng)式除振裝置的涂敷裝置通過(guò)具備第三傳感器，可以基于來(lái)自第三傳感器的振動(dòng)信息檢測(cè)向支架的彈簧上傳導(dǎo)的干擾振動(dòng)?？梢酝ㄟ^(guò)基于該干擾振動(dòng)的信號(hào)產(chǎn)生控制輸入，來(lái)抑制干擾振動(dòng)。在本發(fā)明的涂敷裝置中，可安裝所述第三傳感器的部位優(yōu)選是配置于涂敷液供給部的上游的支承帶狀體的行進(jìn)的導(dǎo)輥，進(jìn)而更優(yōu)選在導(dǎo)輥的兩5端設(shè)置第三傳感器。這是因?yàn)椋梢詼y(cè)定與帶狀體輸送方向垂直的方向的張力差，可以檢測(cè)在干擾振動(dòng)中向支架的z軸周圍的旋轉(zhuǎn)方向賦予的力。在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選可安裝第三傳感器的部位與所述支承輥的距離在10m以下的范圍。這是因?yàn)椋绻С休伵c可安裝第三傳感器的部位離得過(guò)遠(yuǎn)，則可能在部位與導(dǎo)輥之間發(fā)生用第三傳感器檢測(cè)出的振動(dòng)以外的振動(dòng)。這是因?yàn)椋绻l(fā)生檢測(cè)振動(dòng)以外的振動(dòng)，則不能向涂敷裝置賦予正確的減振力。在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選所述第三傳感器檢測(cè)帶狀體的張力、加速度、速度、位移的變動(dòng)或?qū)л佒С胁康募铀俣?、速度、位移變?dòng)、旋轉(zhuǎn)加速度、旋轉(zhuǎn)速度以及轉(zhuǎn)數(shù)的至少一個(gè)信息作為帶狀體的振動(dòng)信息。這是因?yàn)椋绻_理解了包括導(dǎo)輥的轉(zhuǎn)數(shù)的帶狀體的任何狀態(tài)，則可以從該狀態(tài)預(yù)見帶狀體引起的干擾振動(dòng)。在本發(fā)明的涂敷裝置中，產(chǎn)生用于消除彈簧上的干擾振動(dòng)的控制輸入的控制機(jī)構(gòu)優(yōu)選為控制帶狀體的狀態(tài)變動(dòng)導(dǎo)致產(chǎn)生的支架的振動(dòng)的帶狀體振動(dòng)控制機(jī)構(gòu)。這是因?yàn)椋趶纳厦嫦蛑Ъ苌现苯觽鬟f而來(lái)的干擾中，帶狀體引起的干擾最大。在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選帶狀體振動(dòng)控制機(jī)構(gòu)根據(jù)所述帶狀體的狀態(tài)變動(dòng)而使致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，以消除在支架產(chǎn)生的干擾振動(dòng)。在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選所述支架的一次固有振動(dòng)頻率為80Hz以上。在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選設(shè)置所述涂敷裝置的床面的一次固有振動(dòng)頻率為lOHz以上。通過(guò)具有基于第三傳感器的振動(dòng)信息的控制機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)能夠消除帶狀體引起的涂敷裝置的振動(dòng)，可以得到膜的厚度精度高而且表面平滑的沒有涂敷不均的涂敷膜的涂敷裝置。圖1是說(shuō)明本發(fā)明中的涂敷方法及涂敷裝置所適用的光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線的說(shuō)明圖。圖2是表示涂敷裝置的設(shè)置狀態(tài)的立體圖。圖3是表示涂敷頭的一部分的缺口立體圖。圖4是說(shuō)明主動(dòng)式除振裝置的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的概念圖。圖5是圖4的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)中的模塊圖。圖中，IO—涂敷裝置，14一導(dǎo)輥，15—支柱，16—帶狀體，17—支柱，18—涂敷頭，20—支承輥，28—涂敷膜，30—支架，31—涂敷頭支架，32一主動(dòng)除振裝置，33、42—致動(dòng)器，34—第一傳感器，35—第二傳感器，36—第三傳感器，38—計(jì)算機(jī)，39—驅(qū)動(dòng)裝置。具體實(shí)施方式以下按照附圖，說(shuō)明本發(fā)明中的涂敷裝置的優(yōu)選實(shí)施方式。[光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線]圖1是說(shuō)明本發(fā)明中的涂敷方法及涂敷裝置所適用的光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線的說(shuō)明圖。如圖1所示，光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線構(gòu)成為從輸出機(jī)66輸出作為預(yù)先形成取向膜形成用的聚合物層而成的透明支承體的帶狀體16。帶狀體16被導(dǎo)輥68引導(dǎo)并送入拋光處理裝置70中。拋光輥72是為了向聚合物層實(shí)施拋光處理而設(shè)置。在拋光處理裝置70的下游設(shè)置除塵機(jī)74?？梢岳贸龎m機(jī)74去除附著于帶狀體16的表面的塵埃。在除塵機(jī)74的下游配置設(shè)置于主動(dòng)式除振裝置32的涂敷裝置10。從而可以將含有圓盤狀液晶的涂敷液涂敷于帶狀體16。在其下游依次設(shè)置千燥區(qū)段76、加熱區(qū)段78，從而可以在帶狀體16上形成液晶層。進(jìn)而，在其下游設(shè)置紫外線燈80，從而可以利用紫外線照射使液晶交聯(lián)進(jìn)而形成需要的聚合物。那么，從而利用設(shè)置于其下游的巻繞機(jī)82巻繞已形成聚合物的帶狀體16。[涂敷裝置]如圖2所示，涂敷裝置10由以下結(jié)構(gòu)構(gòu)成，S卩將利用泵等從涂敷液容器輸送的涂敷液涂敷于帶狀體16的涂敷頭18;與涂敷頭18對(duì)向設(shè)置，以外周面支承涂敷時(shí)的帶狀體16的圓筒狀的支承輥20;保持支承輥20的旋轉(zhuǎn)軸的支柱15;為了引導(dǎo)在支承輥20上行進(jìn)的帶狀體16，從涂敷頭18與支承輥20隔著規(guī)定間隔配置的導(dǎo)輥14。保持涂敷裝置10的涂敷頭18和支承輥20的旋轉(zhuǎn)軸的支柱15固定在用后述的主動(dòng)式除振裝置32的致動(dòng)器33支承的支架30上。另外，涂敷頭18借助涂敷頭支架31固定在支架30上。為了能夠?qū)⑼糠笥趲铙w16的涂敷液的種類或涂敷液的膜厚調(diào)節(jié)為最適，支承輥20與涂敷頭18構(gòu)成為能夠以可調(diào)節(jié)二者的間隔的方式行進(jìn)。因而，在支架30上固定是指在向帶狀體16的涂敷中，將支架30設(shè)置成支承輥20與涂敷頭18保持規(guī)定間隔。接著，對(duì)利用涂敷裝置10的涂敷方法進(jìn)行說(shuō)明。帶狀體16被輸出機(jī)輸出，借助導(dǎo)輥14被引導(dǎo)于支承輥20。被引導(dǎo)的帶狀體16巻繞支承輥20的外周面的一部分。帶狀體16以一定速度向圖示箭頭方向連續(xù)行進(jìn)。此時(shí)，支承輥20邊旋轉(zhuǎn)邊支承帶狀體16的非涂膜面。在支承輥20的上游側(cè)配置導(dǎo)輥14。導(dǎo)輥14的旋轉(zhuǎn)軸被支柱17支承。支柱17被設(shè)置于與用致動(dòng)器33支承的支架30不同的床面F或其他支架上。導(dǎo)輥14是為了支承帶狀體的行進(jìn)而設(shè)置的。在帶狀體16的行進(jìn)中，導(dǎo)輥14邊旋轉(zhuǎn)邊支承帶狀體16，具有向支承輥20引導(dǎo)帶狀體16的功能。涂敷頭18以涂敷頭前端與連續(xù)行進(jìn)的帶狀體16接近但非接觸狀態(tài)對(duì)向配置。如上所述，構(gòu)成為可以調(diào)節(jié)涂敷頭18與帶狀體16的間隔。涂敷頭18利用泵從涂敷液容器輸送液體。以下未圖示作為泵，與使涂敷液的供給流量穩(wěn)定化相比，優(yōu)選使用定量泵。作為定量泵，例如可以使用齒輪泵、滾柱泵等各種泵，但本發(fā)明的涂敷可以特別優(yōu)選使用齒輪泵。如圖3所示，在涂敷頭18內(nèi)以與帶狀體16的寬度方向平行的方式形成筒狀的袋部18B。其涂敷用的袋部18B與供給線18A連接。另外，在涂敷頭18內(nèi)，在涂敷頭的前端形成具有噴出口的涂敷用縫隙18C。涂敷用縫隙18C與涂敷用袋部18B連通。涂敷用縫隙18C為連接袋部18B和涂敷頭前端的狹窄的流道，向帶狀體16的寬度方向延長(zhǎng)。接著，從供給線18A向涂敷頭18的涂敷用袋部18B供給涂敷于帶狀體16所需要的涂敷量的涂敷液，在帶狀體16上形成涂敷膜。己涂敷涂敷液的帶狀體16被輸出到設(shè)置于下游的干燥區(qū)段、加熱區(qū)段，在帶狀體16上形成液晶層。另外，以下省略圖示，控制帶狀體16的張力的張力輥或控制帶狀體16的輸送的驅(qū)動(dòng)輥被設(shè)置于光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線上。[主動(dòng)式除振裝置]接著，利用圖2，對(duì)關(guān)于設(shè)置有所述涂敷裝置10的主動(dòng)式除振裝置32的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。在該結(jié)構(gòu)中，涂敷頭18及支柱15被固定于支架30上。如上所述，涂敷頭18借助涂敷頭支架31固定于支架30上。如圖所示，支架30、涂敷頭支架31及支柱15可以分別為構(gòu)件，也可以一體形成。主動(dòng)式除振裝置32至少由致動(dòng)器33、第一傳感器34、第二傳感器35、第三傳感器36、計(jì)算機(jī)38、驅(qū)動(dòng)裝置39構(gòu)成。在支架30的下面的4個(gè)角落配置致動(dòng)器33、33…。支架30借助致動(dòng)器33、33…設(shè)置于床面(設(shè)置基礎(chǔ)面)F上。另外，用于檢測(cè)支架30的振動(dòng)的第一傳感器34被設(shè)置于支架30上，用于檢測(cè)設(shè)置有支架30的基礎(chǔ)的振動(dòng)的第二傳感器35被設(shè)置于床面F上。進(jìn)而，在本發(fā)明中，用于檢測(cè)帶狀體的振動(dòng)的第三傳感器36被設(shè)置于導(dǎo)輥14上。在第三傳感器36中，檢測(cè)帶狀體的張力、加速度、速度、位移的變動(dòng)或?qū)л佒С胁康募铀俣取⑺俣?、位移變?dòng)等信息作為帶狀體的振動(dòng)信息。設(shè)置于支架上的第一傳感器34由設(shè)置于支架30上的加速度傳感器和位置檢測(cè)傳感器構(gòu)成。第一傳感器34為了檢測(cè)支架的X軸、Y軸、Z軸以及旋轉(zhuǎn)方向而設(shè)置于各致動(dòng)器33、33…上。設(shè)置于床面F上的第二傳感器35由加速度傳感器構(gòu)成。設(shè)置于導(dǎo)輥的第三感受器由位移傳感器構(gòu)成。不過(guò)，傳感器的種類及數(shù)量對(duì)應(yīng)檢測(cè)的對(duì)象而被適當(dāng)?shù)卦O(shè)置，不限定于實(shí)施方式。接著，說(shuō)明設(shè)置第三傳感器36的原因。關(guān)于以往的主動(dòng)式除振裝置，通常已知設(shè)置除振裝置的基礎(chǔ)振動(dòng)的除振以及設(shè)置于支架上的儀器的運(yùn)轉(zhuǎn)引起的振動(dòng)的減振的相關(guān)控制技術(shù)。但是，沒有與本發(fā)明的涂敷裝置10中可見的連續(xù)輸送的帶狀體16的狀態(tài)變動(dòng)引起的干擾振動(dòng)進(jìn)入支架之類的特異環(huán)境下的除振裝置的控制方法的例子，沒有對(duì)適當(dāng)?shù)叵龔膸铙w16向支架30傳輸?shù)恼駝?dòng)的研究。更具體而言，在以往的主動(dòng)式除振裝置上，在精密儀器例如電子顯微鏡或半導(dǎo)體曝光裝置等中，反饋(以下稱為FB)控制支架的振動(dòng)信息，控制支架的振動(dòng)。進(jìn)而，除了FB控制，在這些精密儀器中，前饋(以下稱為FF)控制要設(shè)置精密儀器的基礎(chǔ)振動(dòng)的信息，還同時(shí)進(jìn)行控制支架的振動(dòng)。加工的對(duì)象物、一顯微鏡中的樣品或半導(dǎo)體曝光裝置中的晶片均不是其自身給支架帶來(lái)振動(dòng)。另一方面，在加工的對(duì)象物為連續(xù)行進(jìn)的帶狀體的情況下，帶狀體行進(jìn)引起的振動(dòng)作為干擾振動(dòng)向進(jìn)行涂敷的導(dǎo)輥或涂敷液供給部傳遞。作為在涂敷裝置中帶狀體行進(jìn)引起的干擾振動(dòng)，導(dǎo)輥的偏心或振擺、軸承的振動(dòng)、驅(qū)動(dòng)體系的振動(dòng)、干燥風(fēng)等會(huì)引起沿著帶狀體的輸送方向的張力變動(dòng)及與輸送方向垂直的方向上的張力變動(dòng)。所以，除去給導(dǎo)輥或涂敷液供給部帶來(lái)的干擾振動(dòng)是在涂敷裝置中很重要的。在設(shè)置于以往的主動(dòng)式除振裝置的涂敷裝置的情況下，為了除去所述帶狀體引起的振動(dòng)或偏心即所謂的干擾振動(dòng)，也可以通過(guò)提高主動(dòng)式除振裝置內(nèi)的FB控制環(huán)路的增益，來(lái)消除強(qiáng)迫振動(dòng)。但是，控制體系的余量變少，最差時(shí)，可能會(huì)引起主動(dòng)式除振裝置發(fā)生振蕩等高增益(highgain)問(wèn)題。另一方面，如果為了防止振蕩而使FB控制環(huán)路的增益降落，則不僅失去充分的減振性能，而且還可能不能保證本來(lái)的床振動(dòng)的除振性能。因此，本發(fā)明通過(guò)在涂敷裝置上游的導(dǎo)輥具備帶狀體的張力傳感器、或位移傳感器、或速度傳感器、或加速度傳感器，檢測(cè)帶狀體的輸送方向及與輸送垂直的方向的張力或位移、或速度、或加速度等的變動(dòng)，從而具備基于此變動(dòng)來(lái)控制帶狀體引起的振動(dòng)的帶狀體振動(dòng)控制環(huán)路。該帶狀體振動(dòng)控制環(huán)路例如使用安裝于導(dǎo)輥兩端的位移傳感器的輸出信號(hào)，在將帶狀體視為與導(dǎo)輥和涂敷裝置連接的彈性體的情況下，以運(yùn)算求得向涂敷裝置作為干擾施加的力，制作反轉(zhuǎn)該干擾力的符號(hào)的控制輸入信號(hào)，使致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)以消除干擾力。這樣，不會(huì)引起高增益問(wèn)題而維持控制體系的穩(wěn)定性不變，這種狀態(tài)下可以提高主動(dòng)式除振裝置的除振性能。接著，向計(jì)算機(jī)38輸入從第一傳感器34、第二傳感器35及第三傳感器36檢測(cè)的振動(dòng)信息。在計(jì)算機(jī)38中，基于檢測(cè)的振動(dòng)信息，實(shí)現(xiàn)1)制作用于消除支架的振動(dòng)的控制輸入的FB控制機(jī)構(gòu)；2)制作用于消除基礎(chǔ)振動(dòng)的控制輸入的FF控制機(jī)構(gòu)；3)制作用于消除帶狀體引起的振動(dòng)的FF控制輸入的控制機(jī)構(gòu)?？刂茩C(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)軟件處理、硬件處理的任意一種。在用計(jì)算機(jī)38處理的控制輸入被輸入到驅(qū)動(dòng)裝置39中。驅(qū)動(dòng)裝置39基于控制輸入驅(qū)動(dòng)支承支架30的致動(dòng)器33，向涂敷裝置賦予消除振動(dòng)的減振力。這樣，可以實(shí)現(xiàn)涂敷裝置10的除振。圖4是說(shuō)明主動(dòng)除振裝置32的控制模型的概念圖。在主動(dòng)除振裝置32的基礎(chǔ)40上借助致動(dòng)器42支承承載部44。在該在該承載部44上固定有可以檢測(cè)支架的振動(dòng)的加速度傳感器46及可以檢測(cè)支架的位移的位移傳感器48。在基礎(chǔ)40上也固定有可以檢測(cè)基礎(chǔ)振動(dòng)的振動(dòng)的加速度傳感器50。進(jìn)而，可以檢測(cè)帶狀體的振動(dòng)的位移傳感器52被固定在導(dǎo)輥上。來(lái)自傳感器46、傳感器48、傳感器50及在導(dǎo)輥的兩端設(shè)置的2個(gè)傳感器52的控制信息被給予控制部54?？刂撇?4基于其數(shù)據(jù)控制致動(dòng)器42。在次，承載部44的m表示質(zhì)量，質(zhì)量m包括圖2中的支架30、涂敷頭支架31、涂敷頭18、支承輥20等的質(zhì)量。另外，K表示彈簧常數(shù)，表示相對(duì)于位置的阻力系數(shù)。另外，C表示衰減，表示相對(duì)于速度的阻力系數(shù)。進(jìn)而，可以將帶狀體視為與導(dǎo)輥與涂敷裝置連接的彈性體。就是說(shuō)，Kw是指相對(duì)于帶狀體引起的振動(dòng)的彈簧常數(shù)，表示相對(duì)于位置的阻力系數(shù)。接著，利用圖5說(shuō)明將圖4作為模型的本發(fā)明的控制體系。承載部44為被控制部，是表示支架的部分，被主動(dòng)式除振裝置32控制。接著，用四角的點(diǎn)線包圍的部分14、40是表示彈簧上的干擾振動(dòng)和基礎(chǔ)振動(dòng)的部分。對(duì)承載部44的內(nèi)部信號(hào)的流動(dòng)進(jìn)行說(shuō)明。如果從外部向承載部44施加任何力，則在承載部44產(chǎn)生加速度。承載部44的加速度信號(hào)被積分元件132積分，進(jìn)而成為速度的信號(hào)，向產(chǎn)生相對(duì)于速度的阻力的衰減部(衰減系數(shù)C)傳遞。接著，速度的信號(hào)進(jìn)一步被積分元件134積分，進(jìn)而成為位移信號(hào)(位置信號(hào))。該位移信號(hào)向產(chǎn)生相對(duì)于位置的阻力的彈簧部(彈簧常數(shù)K)傳遞。用加速度傳感器46檢測(cè)承載部44的加速度的信息。檢測(cè)的加速度信號(hào)借助帶通濾波器(以下稱為BPF)98，被傳遞到減法器122。在減法器122檢測(cè)來(lái)自目標(biāo)值賦予部102的目標(biāo)值與加速度信號(hào)的差，向加速度FB控制器112傳遞偏差信號(hào)。利用位移傳感器48檢測(cè)承載部44的位移信號(hào)。檢測(cè)的位移信號(hào)借助BPF96傳遞到2個(gè)減法器124、126。在模擬微分器120被模擬微分并作為速度信號(hào)向減法器124傳遞。用減法器124檢測(cè)目標(biāo)值賦予部104的目標(biāo)值與速度信號(hào)的差，偏差信號(hào)被傳遞到速度FB控制器114。用模擬微分器120模擬微分位移信號(hào)是為了不使位移信號(hào)的觀測(cè)噪音成為速度信號(hào)，如果只進(jìn)行微分，則噪音擴(kuò)增。另一個(gè)位移信號(hào)被傳入減法器126，減法器126檢測(cè)來(lái)自目標(biāo)值賦予部106的目標(biāo)值與位移信號(hào)的差，該偏差信號(hào)被傳遞到位移FB定位控制器116。這樣一來(lái)，在控制器112、114、116中，通過(guò)相對(duì)于控制輸入進(jìn)行反饋控制，對(duì)應(yīng)涂敷裝置的實(shí)際振動(dòng)狀態(tài)，向涂敷裝置賦予抑制該振動(dòng)的減振力。作為控制器112、114、116中的具體的控制律，可以使用PID控制律或者魯棒控制律、適應(yīng)控制律等。在基礎(chǔ)40中，利用加速度傳感器50，相對(duì)于床振動(dòng)的振動(dòng)作為加速度的信號(hào)被檢測(cè)。檢測(cè)的加速度信號(hào)借助BPF94被傳遞到減法器128,用減法器128檢測(cè)來(lái)自目標(biāo)值賦予部108的目標(biāo)值與加速度信號(hào)的差。接著，該偏差信號(hào)被傳遞到基礎(chǔ)信號(hào)控制器118。接著，在導(dǎo)輥14中，利用設(shè)置于導(dǎo)輥14的位移傳感器52作為前路徑(path)位移檢測(cè)的位移信號(hào)借助BPF卯被傳遞到減法器130。用減法器30檢測(cè)來(lái)自目標(biāo)值賦予部IOO的目標(biāo)值與位移信號(hào)的差，作為偏差信號(hào)被傳遞到帶狀體信號(hào)控制器110。這樣一來(lái)，在導(dǎo)輥14中，通過(guò)相對(duì)于帶狀體引起的振動(dòng)的控制輸入進(jìn)行前饋控制，對(duì)應(yīng)來(lái)自帶狀體的干擾振動(dòng)的狀態(tài)，向涂敷裝置給予抑制該振動(dòng)的減振力。導(dǎo)輥14的振動(dòng)被正確理解為彈簧常數(shù)Kw的干擾振動(dòng)。本發(fā)明的特征在于，除了承載部44與基礎(chǔ)40的振動(dòng)信號(hào)，還檢測(cè)導(dǎo)輥14中的振動(dòng)信號(hào)，通過(guò)產(chǎn)生前饋控制的控制輸入，向涂敷裝置賦予抑制帶狀體的行進(jìn)引起的振動(dòng)的減振力。全部加合帶狀體信號(hào)控制器110、加速度FB控制器112、速度FB控制器114、位移FB定位控制器116及基礎(chǔ)信號(hào)控制器118的控制輸入而合成控制輸入得以合成。最終，合成控制輸入力、帶狀體引起的振動(dòng)的力干擾、基礎(chǔ)振動(dòng)的力干擾、利用衰減C的力和利用彈簧K的力，全部被合成，成為向支架施加的力。此時(shí)，合成控制輸入力起到消除其以外的力的和的作用，所以向支架施加的力的總合成為0或非常小的值，從而可以使支架靜止。這樣，在與該涂敷液供給機(jī)構(gòu)隔著規(guī)定的間隔的位置連續(xù)輸送的帶狀體上形成規(guī)定膜厚的涂敷膜的
技術(shù)領(lǐng)域：
，與以往相比，可以消除涂敷裝置的振動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)可以得到膜的厚度精度高、表面平滑且沒有涂敷不均的涂敷膜的涂敷裝置。對(duì)在本發(fā)明的涂敷裝置中，優(yōu)選安裝第三傳感器的部位與支承輥的距離為10m以下的范圍的原因進(jìn)行說(shuō)明。這是因?yàn)?，如果遠(yuǎn)得過(guò)離，則在安裝第三傳感器的部位與支承輥之間，可能會(huì)發(fā)生被第三傳感器檢測(cè)的振動(dòng)以外的振動(dòng)，不能向涂敷裝置提供準(zhǔn)確的減震力。因此,優(yōu)選第三傳感器與支架的距離為10m以下，更優(yōu)選為5m以下。對(duì)支架30的一次固有振動(dòng)頻率優(yōu)選為80Hz以上的原因進(jìn)行說(shuō)明。干擾振動(dòng)中成為問(wèn)題的是低頻振動(dòng)，高頻振動(dòng)容易被除振裝置減弱。所以，如果支架30的一次固有振動(dòng)頻率高，則可以避免與干擾振動(dòng)的共振。另外，在高頻振動(dòng)狀態(tài)下，帶狀體的涂敷膜的厚度不均不明顯，所以支架30的一次固有振動(dòng)頻率越高越好。因此，支架30的一次固有振動(dòng)頻率優(yōu)選為100Hz以上，更優(yōu)選為120Hz以上。要設(shè)置涂敷裝置10的床面的一次固有振動(dòng)頻率優(yōu)選為10Hz以上的原因在于，在基礎(chǔ)的一次固有振動(dòng)頻率為10Hz以下的強(qiáng)度低的狀態(tài)下，不能保證相對(duì)10Hz以下的振動(dòng)的除振裝置的性能。另外，還具有與支架30的一次固有振動(dòng)頻率越高越好相同的原因。因此，要設(shè)置涂敷裝置IO的床面的一次固有振動(dòng)頻率優(yōu)選為20Hz以上，更優(yōu)選為30Hz以上。對(duì)使用涂敷裝置10的涂敷膜的形成進(jìn)行說(shuō)明。作為涂敷液，可以使用內(nèi)含有機(jī)溶劑的涂敷液。不過(guò)，還可以使用其以外的粘度的涂敷液、不含有有機(jī)溶劑的涂敷液。作為帶狀體16，通?？梢允褂靡?guī)定寬度、規(guī)定長(zhǎng)度、且厚度為2200(im左右的由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚2，6—萘二甲酸乙二醇酯、二醋酸纖維素、三乙酸纖維素、乙酸丙酸纖維素、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亞胺、聚酰胺等塑料薄膜；紙；涂敷或?qū)盈B有聚乙烯、聚丙烯、乙烯丁烯共聚物等碳原子數(shù)210的oc—聚烯烴類的紙；金屬板等構(gòu)成的撓性帶狀物或者以該帶狀物為基材進(jìn)而在其表面形成加工層的帶狀物。在圖1的光學(xué)補(bǔ)償片的生產(chǎn)線中，利用輸出機(jī)66輸送帶狀體16，同時(shí)控制涂敷裝置10的涂敷頭18的縫隙18C中的涂敷液或者為了使涂敷之后的涂敷膜28的膜厚成為一定而控制帶狀體16的輸送速度，進(jìn)行涂敷。在涂敷后的干燥等中，為了得到涂敷膜的厚度精度高而且表面平滑的涂敷膜28，設(shè)定干燥區(qū)段76、加熱區(qū)段78、紫外線燈80等。涂敷、干燥后的帶狀體16被巻繞機(jī)82巻繞。所述一系列的工序優(yōu)選在良好的無(wú)塵度及最適溫濕度環(huán)境下實(shí)施。因而，優(yōu)選在凈化間內(nèi)進(jìn)行，特別優(yōu)選涂敷裝置IO被設(shè)置于清潔度高的環(huán)境中。所以，可以采用并用下流式凈化間或凈化臺(tái)的方式。以上對(duì)本發(fā)明中的涂敷裝置及涂敷方法的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限定于所述實(shí)施方式，可以采用各種方式。例如，在本實(shí)施方式中，作為涂敷裝置IO可采用擠出型的涂敷機(jī)，但也可以優(yōu)選適用其以外的涂敷機(jī)，例如棒涂機(jī)(也被稱為"rodcoater"，還包括梅爾棒涂敷機(jī)(mayerbarcoater)、凹版印刷涂敷機(jī)(直接凹版印刷涂敷機(jī)、凹版接觸涂敷機(jī)(gravurekisscoater)等)、輥涂機(jī)(轉(zhuǎn)移輥涂敷機(jī)、逆轉(zhuǎn)輥涂敷機(jī)等)、金屬型涂料機(jī)、噴注式刮出涂敷機(jī)、滑動(dòng)式漏斗(slidehopper)等。另外，作為涂敷裝置10的用途，不僅適用于光學(xué)補(bǔ)償薄膜等光學(xué)薄膜，還可以適用于各種涂布。最后為了顯示本發(fā)明的效果而實(shí)施了仿真。在仿真中，以搭載于檢測(cè)支架與設(shè)置面的振動(dòng)并用致動(dòng)器控制的主動(dòng)式除振裝置的涂敷裝置(active)、進(jìn)而搭載于在本發(fā)明的導(dǎo)輥上也設(shè)置了傳感器的主動(dòng)式除振裝置的涂敷裝置(本發(fā)明)作為模型進(jìn)行仿真，算出加速度常數(shù)偏差及位移常數(shù)偏差。此時(shí)的條件為非控制部的質(zhì)量m=5,000Kg、彈簧常數(shù)K二2.0X106、彈性模量C二5.0X102、目標(biāo)值(加速度、速度)=0、目標(biāo)值(位移)^一定值、包括彈簧上干擾二l100Hz的頻率成分的大小為10N的力、包括基礎(chǔ)振動(dòng)干擾二l100Hz的頻率成分的大小為1N的力。結(jié)果如表1所示。[表1]__<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>從該結(jié)果可知，本發(fā)明的涂敷裝置與搭載于以往的active的涂敷裝置相比，可以大幅度地減少其振動(dòng)的影響。權(quán)利要求1.一種涂敷裝置，具備用外周面支承向縱向行進(jìn)的長(zhǎng)的帶狀體的支承輥、和與所述支承輥隔開一定間隔對(duì)向配置并向帶狀體供給涂敷液的涂敷液供給部，其特征在于，具備支承所述涂敷液供給部與所述支承輥的支架；和主動(dòng)式除振裝置，該主動(dòng)式除振裝置具備支承所述支架并用于驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器；檢測(cè)所述支架的振動(dòng)的第一傳感器；基于所述第一傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除支架的振動(dòng)的控制輸入的反饋控制機(jī)構(gòu)；檢測(cè)要設(shè)置所述支架的基礎(chǔ)的振動(dòng)的第二傳感器；基于所述第二傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除基礎(chǔ)振動(dòng)的控制輸入的前饋控制機(jī)構(gòu)；檢測(cè)向所述支架的彈簧上傳導(dǎo)的干擾振動(dòng)并安裝于所述支架以外的部位的第三傳感器；和基于所述第三傳感器的輸出信號(hào)來(lái)產(chǎn)生用于消除干擾振動(dòng)的控制輸入的前饋控制機(jī)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的涂敷裝置，其中，安裝所述第三傳感器的部位是配置于所述涂敷液供給部的上游并支承帶狀體的行進(jìn)的導(dǎo)輥。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂敷裝置，其中，所述第三傳感器被設(shè)置于導(dǎo)輥的兩端。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任意一項(xiàng)所述的涂敷裝置，其中，安裝所述第三傳感器的部位與所述支承輥的距離在10m以下的范圍。5.根據(jù)權(quán)利要求14中任意一項(xiàng)所述的涂敷裝置，其中，所述第三傳感器檢測(cè)帶狀體的張力、加速度、速度、位移的變動(dòng)或?qū)л佒С胁康募铀俣?、速度、位移變?dòng)、旋轉(zhuǎn)加速度、旋轉(zhuǎn)速度以及轉(zhuǎn)數(shù)中的至少一個(gè)信息作為帶狀體的振動(dòng)信息。6.根據(jù)權(quán)利要求15中任意一項(xiàng)所述的涂敷裝置，其中，產(chǎn)生用于消除所述干擾振動(dòng)的控制輸入的控制機(jī)構(gòu)是控制帶狀體的狀態(tài)變動(dòng)導(dǎo)致產(chǎn)生的所述支架的振動(dòng)的帶狀體振動(dòng)控制機(jī)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂敷裝置，其中，所述帶狀體振動(dòng)控制機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述致動(dòng)器以消除根據(jù)所述帶狀體的狀態(tài)變動(dòng)而在所述支架產(chǎn)生的干擾振動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求17中任意一項(xiàng)所述的涂敷裝置，其中，所述支架的一次固有振動(dòng)頻率為80Hz以上。9.根據(jù)權(quán)利要求18中任意一項(xiàng)所述的涂敷裝置，其中，要設(shè)置所述涂敷裝置的床面的一次固有振動(dòng)頻率為10Hz以上。全文摘要本發(fā)明提供一種可以得到膜的厚度精度高而且表面平滑的沒有涂敷不均的涂敷膜的涂敷裝置。該涂敷裝置是具備用外周面支承向縱向行進(jìn)的長(zhǎng)的帶狀體(16)的支承輥(20)、和與支承輥(20)隔開一定間隔對(duì)向配置并向帶狀體供給涂敷液的涂敷頭(18)的涂敷裝置(10)，其中，具備固定有涂敷頭(18)與支承輥(20)的支架(30)、和主動(dòng)式除振裝置(32)，主動(dòng)式除振裝置(32)具備支承支架(30)并用于驅(qū)動(dòng)的致動(dòng)器(33)、檢測(cè)支架(30)的振動(dòng)的第一傳感器(34)、檢測(cè)基礎(chǔ)振動(dòng)的第二傳感器(35)、檢測(cè)帶狀體的振動(dòng)的第三傳感器(36)、和基于各傳感器的信息來(lái)產(chǎn)生用于消除振動(dòng)的控制輸入的控制機(jī)構(gòu)。文檔編號(hào)F16F15/02GK101274314SQ20081008762公開日2008年10月1日申請(qǐng)日期2008年3月25日優(yōu)先權(quán)日2007年3月30日發(fā)明者光安隆申請(qǐng)人:富士膠片株式會(huì)社