涂敷裝置以及涂敷方法
【專利摘要】本發(fā)明提供涂敷裝置以及涂敷方法，能夠抑制開始進(jìn)行涂敷處理時最初從噴嘴噴出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能夠從涂敷處理的開始時刻以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸葘ν糠髮ο笪镞M(jìn)行涂敷，結(jié)構(gòu)簡單且用于進(jìn)行涂膜厚度調(diào)節(jié)的控制容易。涂敷裝置具備：涂覆液供給源，其通過加壓將貯存于罐的涂覆液向涂覆液供給系統(tǒng)擠出并供給；噴嘴，其與涂覆液供給系統(tǒng)連接，一邊噴出供給來的涂覆液一邊相對于涂敷對象物移動，對涂敷對象物進(jìn)行涂敷處理；開閉閥，其設(shè)于涂覆液供給系統(tǒng)，在開始進(jìn)行涂敷處理時打開，向噴嘴供給涂覆液后關(guān)閉，停止涂覆液向噴嘴的供給；以及緩沖罐，其設(shè)于涂覆液供給系統(tǒng)，并且內(nèi)部充滿涂覆液，該緩沖罐抑制開閉閥打開時朝向噴嘴傳播的壓力變化。
【專利說明】
涂敷裝置以及涂敷方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種涂敷裝置以及涂敷方法，即使采用加壓供給方式，也能夠抑制在開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴噴出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情況，能夠從涂敷處理的開始時刻起以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸仍谕糠髮ο笪锷线M(jìn)行涂敷，并且結(jié)構(gòu)簡單，且用于進(jìn)行涂膜厚度調(diào)節(jié)的控制也較為容易。
【背景技術(shù)】
[0002]專利文獻(xiàn)1、2公開了一種涂覆裝置，該涂敷裝置采用通過基于加壓的擠出進(jìn)行供給的加壓供給方式，將貯存于罐內(nèi)部的涂覆液向相對于基板等涂敷對象物進(jìn)行相對移動的噴嘴供給，由此從噴嘴噴出涂覆液，對涂敷對象物進(jìn)行涂敷處理。
[0003]專利文獻(xiàn)I的“狹縫式涂敷裝置”的課題在于提供不增加設(shè)備成本，且控制涂敷開始和結(jié)束時的藥液的噴出量從而得到均勻的涂敷膜的狹縫式涂敷裝置，在涂敷開始和結(jié)束時控制藥液的噴出量的狹縫式涂敷裝置中，具備:具有進(jìn)行所述涂敷藥液供給的開啟(ON)/斷開(OFF)的一直關(guān)閉的單動藥液閥的機(jī)構(gòu)、具有能夠通過來自控制器的電信號自如地改變用于驅(qū)動(控制)該藥液閥的開閉的空氣壓力的電動氣動調(diào)整器的機(jī)構(gòu)、以及具有用于向所述調(diào)整器傳送電信號的控制器的機(jī)構(gòu)。在專利文獻(xiàn)I中，藥液形成為在加壓罐中通過精密調(diào)整器被加壓，供給至藥液閥的閥跟前的狀態(tài)，并形成為通過所設(shè)定的電動氣動調(diào)整器的空氣壓力將藥液閥的閥打開，從而向狹縫噴嘴供給藥液的結(jié)構(gòu)。
[0004]專利文獻(xiàn)2的“基板處理裝置以及送液裝置”的課題在于，提供在不產(chǎn)生顆粒的情況下高精度地輸送處理液的裝置，在對狹縫噴嘴輸送抗蝕劑液(處理液)的送液機(jī)構(gòu)中，設(shè)置有抗蝕劑栗和驅(qū)動機(jī)構(gòu)。此外，在抗蝕劑栗設(shè)置小徑的第一波紋管、大徑的第二波紋管、第一波紋管與第二波紋管的接合部件、以及成為抗蝕劑液的流路的管。驅(qū)動機(jī)構(gòu)使接合部件向下方移動，由此管的內(nèi)部容積減小，管內(nèi)的抗蝕劑液被輸送至狹縫噴嘴。另外，驅(qū)動機(jī)構(gòu)使接合部件向上方移動，管的內(nèi)部容積增加，由此抗蝕劑液被抽吸至抗蝕劑栗。在專利文獻(xiàn)2中，基板處理裝置作為供給抗蝕劑液的供給機(jī)構(gòu)而具備補(bǔ)給裝置、緩沖罐、傳感器，緩沖罐設(shè)置為用于通過暫時貯存抗蝕劑液而分離去除混入抗蝕劑液中的空氣，控制系統(tǒng)控制緩沖罐，由此通過大氣壓進(jìn)行抗蝕劑液向狹縫噴嘴的輸送。
[0005]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-254008號公報
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本特開2004-281640號公報
[0009]在圖5中示出了加壓供給方式的基本結(jié)構(gòu)。在氣密構(gòu)造的罐a上，為了補(bǔ)充涂覆液b而連接有具有涂覆液補(bǔ)充用開閉閥c的涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)d，并且為了向罐a導(dǎo)入空氣等加壓用氣體而連接有具有氣體導(dǎo)入用開閉閥e的氣體導(dǎo)入系統(tǒng)f。一邊對導(dǎo)入至罐a的氣體進(jìn)行加壓，以使罐a內(nèi)部保持為規(guī)定的恒定壓力值，一邊通過該加壓從罐a中擠出涂覆液
bo
[0010]為了將從罐a擠出的涂覆液b向噴嘴g供給并噴出，在罐a與噴嘴g之間設(shè)置有具有開閉閥h的涂覆液供給系統(tǒng)i。噴嘴g與涂敷對象物j相對移動，由此利用從噴嘴g噴出的涂覆液b對涂敷對象物j進(jìn)行涂敷處理。
[0011]在對涂敷對象物j進(jìn)行涂敷處理時，預(yù)先從涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)d向罐a補(bǔ)充并貯存至少一次涂敷處理的量的涂覆液b。通過打開氣體導(dǎo)入用開閉閥e而導(dǎo)入至罐a內(nèi)部的氣體通過該加壓作用，從罐a向涂覆液供給系統(tǒng)i擠出涂覆液b。
[0012]詳細(xì)而言，與因涂覆液b的擠出而導(dǎo)致的罐a內(nèi)部的涂覆液b的減少相應(yīng)地繼續(xù)向罐a內(nèi)部導(dǎo)入氣體，由此一邊將罐a內(nèi)部保持為規(guī)定的恒定壓力值，一邊維持?jǐn)D出涂覆液b的加壓作用。
[0013]從加壓至恒定壓力值的罐a擠出的涂覆液b通過打開的開閉閥h向噴嘴g供給，供給至噴嘴g的涂覆液b始終以恒定的噴出壓力從噴嘴g朝向涂敷對象物j噴出，在噴出過程中也不發(fā)生壓力的變動。由此，具有以恒定的涂膜厚度對涂敷對象物j進(jìn)行涂敷處理的優(yōu)點(diǎn)。
[0014]在開始進(jìn)行涂敷處理時，通常，從罐a內(nèi)部到噴嘴g內(nèi)部的整個范圍內(nèi)幾乎充滿涂覆液b，并且關(guān)閉涂覆液供給系統(tǒng)i的開閉閥h，切斷涂覆液b的流通。此時，為了與涂敷處理的開始相應(yīng)地供給涂覆液b而向罐a導(dǎo)入氣體，通過該氣體，罐a內(nèi)部被加壓至規(guī)定的恒定壓力值。因此，涂覆液b從罐a朝向開閉閥h受到擠出作用。
[0015]因此，當(dāng)打開開閉閥h時，雖然罐a內(nèi)部大致是規(guī)定的恒定壓力值，但由于之前處于關(guān)閉狀態(tài)的開閉閥h瞬間打開，因而涂覆液b朝向噴嘴g突然流動，如圖5的曲線圖所示，與罐a內(nèi)部的丨旦定的壓力狀態(tài)無關(guān)地，以略大的噴出量從噴嘴g噴出涂覆液b。
[0016]其結(jié)果是，在開始進(jìn)行涂敷處理時，例如在最初從噴嘴g噴出的涂覆液b所涂敷的涂敷開始端k，如圖中m部分所示那樣，存在涂覆液b鼓起的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0017]發(fā)明要解決的課題
[0018]本發(fā)明是鑒于上述以往的課題而完成的，其目的在于提供一種涂敷裝置以及涂敷方法，即使采用加壓供給方式，也能夠抑制在開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴噴出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情況，能夠從涂敷處理的開始時刻起以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸仍谕糠髮ο笪锷线M(jìn)行涂敷，并且結(jié)構(gòu)簡單，且用于進(jìn)行涂膜厚度調(diào)節(jié)的控制也較為容易。
[0019]用于解決課題的手段
[0020]本發(fā)明的涂敷裝置的特征在于，具備:涂覆液供給源，其通過加壓而將貯存于罐內(nèi)的涂覆液向涂覆液供給系統(tǒng)擠出并供給；噴嘴，其與該涂覆液供給系統(tǒng)連接，一邊噴出供給來的涂覆液，一邊相對于涂敷對象物進(jìn)行相對移動，對涂敷對象物進(jìn)行涂敷處理；開閉閥，其設(shè)置于所述涂覆液供給系統(tǒng)，在開始進(jìn)行涂敷處理時打開，向所述噴嘴供給涂覆液，之后關(guān)閉，停止涂覆液向該噴嘴的供給；以及緩沖罐，其設(shè)置于所述涂覆液供給系統(tǒng)，并且內(nèi)部充滿涂覆液，該緩沖罐抑制在所述開閉閥打開時朝向所述噴嘴傳播的壓力的變化。
[0021]所述涂敷裝置的特征在于，所述緩沖罐為可變?nèi)萘啃汀?br>[0022]所述涂敷裝置的特征在于，代替所述緩沖罐，在所述涂覆液供給系統(tǒng)中設(shè)置有注射栗，該注射栗配置在所述開閉閥與所述噴嘴之間，該注射栗在開始進(jìn)行涂敷處理時且是該開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，向該噴嘴供給涂覆液，代替在開始進(jìn)行涂敷處理時打開該開閉閥的情況，該開閉閥與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開。
[0023]所述涂敷裝置的特征在于，在所述涂覆液供給源與所述噴嘴之間，以與涂覆液供給系統(tǒng)并行的方式設(shè)置有追加的涂覆液供給系統(tǒng)，在該追加的涂覆液供給系統(tǒng)中設(shè)置有注射栗，該注射栗在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，向所述噴嘴供給涂覆液，代替在開始進(jìn)行涂敷處理時打開該開閉閥的情況，該開閉閥與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開。
[0024]本發(fā)明的涂敷方法的特征在于，使用代替緩沖罐而具備注射栗的所述涂敷裝置，在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，從所述注射栗向所述噴嘴供給涂覆液，接著，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開所述開閉閥，從所述涂覆液供給源向所述噴嘴供給涂覆液。
[0025]本發(fā)明的涂敷方法的特征在于，使用具備追加的涂覆液供給系統(tǒng)的所述涂敷裝置，在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述涂覆液供給系統(tǒng)的所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，從所述注射栗經(jīng)由所述追加的涂覆液供給系統(tǒng)向所述噴嘴供給涂覆液，接著，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開所述開閉閥，從所述涂覆液供給源經(jīng)由所述涂覆液供給系統(tǒng)向所述噴嘴供給涂覆液。
[0026]發(fā)明效果
[0027]在本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法中，即使采用加壓供給方式，也能夠抑制在開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴噴出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷的情況，能夠從涂敷處理的開始時刻起以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸仍谕糠髮ο笪锷线M(jìn)行涂敷，并且結(jié)構(gòu)簡單，且還能夠使用于進(jìn)行涂膜厚度調(diào)節(jié)的控制變?nèi)菀住?br>【附圖說明】
[0028]圖1是示出本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法的第一實施方式的簡要結(jié)構(gòu)圖。
[0029]圖2是示出本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法的第二實施方式的簡要結(jié)構(gòu)圖。
[0030]圖3是示出本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法的第三實施方式的簡要結(jié)構(gòu)圖。
[0031]圖4是示出本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法的第四實施方式的簡要結(jié)構(gòu)圖。
[0032]圖5是以往的涂敷裝置的簡要結(jié)構(gòu)圖。
[0033]附圖標(biāo)記說明
[0034]1、16、19、21 涂敷裝置
[0035]2涂覆液供給源
[0036]3 罐
[0037]4涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)
[0038]5氣體導(dǎo)入系統(tǒng)
[0039]6壓力計
[0040]7涂覆液補(bǔ)充用開閉閥
[0041]8氣體導(dǎo)入用開閉閥
[0042]9涂覆液供給系統(tǒng)
[0043]9a罐側(cè)系統(tǒng)通路
[0044]9b噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路
[0045]10 基臺
[0046]11涂敷對象物
[0047]Ila涂敷開始端
[0048]12 噴嘴
[0049]13a、13b、13c 開閉閥
[0050]15緩沖罐
[0051]17可變?nèi)萘啃途彌_罐
[0052]18 軸
[0053]20注射栗
[0054]20a活塞桿
[0055]20b 馬達(dá)
[0056]20c 活塞
[0057]20d工作缸
[0058]22追加的涂覆液供給系統(tǒng)
[0059]22a罐側(cè)系統(tǒng)通路
[0060]22b噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路
[0061]a 罐
[0062]b涂覆液
[0063]c涂覆液補(bǔ)充用開閉閥
[0064]d涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)
[0065]e氣體導(dǎo)入用開閉閥
[0066]f氣體導(dǎo)入系統(tǒng)
[0067]g 噴嘴
[0068]h開閉閥
[0069]i涂覆液供給系統(tǒng)
[0070]j涂敷對象物
[0071]k涂敷開始端
[0072]m涂覆液的鼓起
【具體實施方式】
[0073]以下，參照附圖對本發(fā)明的涂敷裝置以及涂敷方法的優(yōu)選實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。在圖1中示出了第一實施方式的涂敷裝置以及涂敷方法的簡要結(jié)構(gòu)。
[0074]第一實施方式的涂敷裝置I具備涂覆液供給源2。涂覆液供給源2包括:氣密構(gòu)造的罐3，其貯存涂覆液b ;涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)4，其與罐3連接，且向罐3補(bǔ)充涂覆液b ;氣體導(dǎo)入系統(tǒng)5，其與罐3連接，且為了將罐3內(nèi)部加壓至規(guī)定的恒定壓力值而向罐3內(nèi)部導(dǎo)入空氣等氣體；壓力計6，其顯示罐3內(nèi)部的壓力。
[0075]在涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)4中設(shè)置有涂覆液補(bǔ)充用開閉閥7，通過打開該涂覆液補(bǔ)充用開閉閥7而向罐3補(bǔ)充涂覆液b，通過關(guān)閉該涂覆液補(bǔ)充用開閉閥7而停止涂覆液b的補(bǔ)充。在涂敷處理開始前，預(yù)先向罐3內(nèi)部補(bǔ)充并存積至少一次涂敷處理的量的涂覆液b。
[0076]在氣體導(dǎo)入系統(tǒng)5中設(shè)置有氣體導(dǎo)入用開閉閥8，通過打開該氣體導(dǎo)入用開閉閥8而向罐3導(dǎo)入加壓用的氣體，通過關(guān)閉該氣體導(dǎo)入用開閉閥8而停止氣體的導(dǎo)入。對導(dǎo)入至罐3內(nèi)部的氣體進(jìn)行加壓，以使罐3內(nèi)部保持為規(guī)定的恒定壓力值，通過該加壓，將貯存于罐3內(nèi)部的涂覆液b從該罐3擠出，向后述的涂覆液供給系統(tǒng)9供給。
[0077]具體而言，與因涂覆液b的擠出而導(dǎo)致的罐3內(nèi)部的涂覆液b的減少相應(yīng)地繼續(xù)向罐3內(nèi)部導(dǎo)入氣體，由此一邊將罐3內(nèi)部保持為規(guī)定的恒定壓力值，一邊維持?jǐn)D出涂覆液b的加壓作用。罐3內(nèi)部的恒定壓力值能夠通過壓力計6來確認(rèn)。
[0078]在涂覆液供給源2的罐3上連接有涂覆液供給系統(tǒng)9的一端，通過加壓而從罐3擠出的涂覆液b向該涂覆液供給系統(tǒng)9供給，并在其中流通。在涂覆液供給系統(tǒng)9的另一端連接有噴嘴12，該噴嘴12噴出通過該涂敷供給系統(tǒng)9而供給的涂覆液b，對載置于基臺10的基板等涂敷對象物11進(jìn)行涂敷處理。
[0079]在噴嘴12噴出涂覆液b時，這些噴嘴12與基臺10中的任一方相對于另一方、或者雙方彼此通過未圖示的移動機(jī)構(gòu)進(jìn)行相對移動，從而利用從噴嘴12噴出的涂覆液b對涂敷對象物11進(jìn)行涂敷處理。通常，涂敷處理從涂敷對象物11的長度方向一端即涂敷開始端Ila開始，朝向涂敷對象物11的長度方向另一端即涂敷終止端(未圖示)進(jìn)行。
[0080]在設(shè)置于噴嘴12與罐3之間的涂覆液供給系統(tǒng)9中設(shè)置有開閉閥13a。通過打開開閉閥13a，從罐3 (涂覆液供給源2)向噴嘴12供給涂覆液b，通過關(guān)閉開閉閥13a，停止涂覆液b向噴嘴12的供給。因此，開閉閥13a在開始涂敷處理時進(jìn)行打開動作，在涂敷處理中維持開放狀態(tài)。另外，在涂敷處理結(jié)束時等不進(jìn)行涂敷處理時，開閉閥13a進(jìn)行關(guān)閉動作，維持關(guān)閉狀態(tài)。
[0081]開閉閥13a的開閉既可以手動也可以自動控制。
[0082]在涂覆液供給系統(tǒng)9中設(shè)置有緩沖罐15。涂覆液供給系統(tǒng)9包括與罐3連接的罐側(cè)系統(tǒng)通路9a和與噴嘴12連接的噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路9b這兩個系統(tǒng)通路，通過將這些系統(tǒng)通路9a、9b的端部插入緩沖罐15內(nèi)部，從而緩沖罐15夾設(shè)在涂覆液供給系統(tǒng)9中。在本實施方式中，涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a設(shè)置于罐側(cè)系統(tǒng)通路9a。
[0083]在緩沖罐15的內(nèi)部充滿涂覆液b。對于涂覆液b向緩沖罐15的填充而言，只要預(yù)先打開開閉閥13a，從罐3送入即可。
[0084]在開始進(jìn)行涂敷處理時，通常，從罐3內(nèi)部到噴嘴12內(nèi)部的整個范圍充滿涂覆液b，關(guān)閉開閉閥13a來切斷涂覆液b的流通。此時，為了與涂敷處理的開始相應(yīng)地供給涂覆液b而向罐3導(dǎo)入氣體，通過該氣體，罐3內(nèi)部被加壓至規(guī)定的恒定壓力值。因此，涂覆液b從罐3朝向開閉閥13a受到擠壓作用。
[0085]當(dāng)打開開閉閥13a時，雖然罐3內(nèi)部大致是規(guī)定的恒定壓力值，但由于之前處于關(guān)閉狀態(tài)的開閉閥13a瞬間打開，因而涂覆液b與罐3內(nèi)部的恒定的壓力狀態(tài)無關(guān)地朝向噴嘴12突然流動，在涂覆液供給系統(tǒng)9中產(chǎn)生朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。
[0086]緩沖罐15抑制開閉閥13a打開時產(chǎn)生的該壓力變化。由于涂覆液b并非完全不具有壓縮性的流體，而具有壓縮彈性，因此，因打開開閉閥13a而從罐側(cè)系統(tǒng)通路9a流入到緩沖罐15的涂覆液b通過大容量的緩沖罐15，在該緩沖罐15的內(nèi)部利用涂覆液b自身的壓縮彈性對突然流動的水擊性的現(xiàn)象進(jìn)行緩沖。由此，抑制在開閉閥13a打開時，通過涂覆液供給系統(tǒng)9朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。
[0087]對第一實施方式的涂敷裝置I的作用進(jìn)行說明。在開始進(jìn)行涂敷處理之前的準(zhǔn)備階段，從涂覆液補(bǔ)充系統(tǒng)4向罐3內(nèi)部補(bǔ)充并貯存涂覆液b，之后，從氣體導(dǎo)入系統(tǒng)5向罐3內(nèi)部導(dǎo)入加壓用的氣體，將該罐3內(nèi)部加壓至規(guī)定的恒定壓力值。
[0088]此時，涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a關(guān)閉，涂覆液b的流通被切斷，涂覆液b從罐3朝向開閉閥13a受到擠壓作用。此時，從開閉閥13a到噴嘴12之間的整個范圍充滿涂覆液b，并在緩沖罐15內(nèi)部也充滿涂覆液b。
[0089]在開始從載置于基臺10的涂敷對象物11的涂敷開始端Ila對該涂覆對象物11進(jìn)行涂敷處理時，打開涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a。當(dāng)開閉閥13a打開時，雖然罐3內(nèi)部大致是規(guī)定的恒定壓力值，但由于關(guān)閉的開閉閥13a瞬間打開，因此涂覆液b想要朝向噴嘴12突然流動。
[0090]從開閉閥13a的位置流通的涂覆液b流入到位于與開閉閥13a相比靠噴嘴12側(cè)的緩沖罐15。如上所述，緩沖罐15能夠利用自身的大容量和涂覆液b自身的壓縮彈性對涂覆液b的水擊性的流動進(jìn)行緩沖，由此能夠抑制在涂覆液供給系統(tǒng)9中朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。因此，緩沖罐15中所存儲的涂覆液b的容量至少需要是能夠通過壓縮彈性吸收在涂敷開始端Ila涂覆液b鼓起的量的容量。
[0091]通過緩沖罐15來抑制伴隨開閉閥13a打開而產(chǎn)生的壓力變化，與從罐側(cè)系統(tǒng)通路9a流入到緩沖罐15內(nèi)的涂覆液流量相當(dāng)?shù)耐扛惨篵，從緩沖罐15經(jīng)由噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路9b供給至噴嘴12。因此，如圖1中的圖表所示，即便開放開閉閥13a，從噴嘴12噴出的涂覆液b的噴出量也不會因此而急劇上升，而是從開始進(jìn)行涂敷處理時起，以與向罐3內(nèi)部施加的規(guī)定的恒定壓力值大致對應(yīng)的噴出量噴出。
[0092]由此，能夠抑制在打開開閉閥13a而開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴12噴出的涂覆液b以鼓起的方式被涂敷的情況。因此，能夠從涂敷處理開始到之后連續(xù)的涂敷處理的整個過程中，以大致恒定量從噴嘴12噴出涂覆液b，由此能夠以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸葘ν糠髮ο笪?1進(jìn)行涂敷處理。
[0093]第一實施方式的涂敷裝置I僅是在涂覆液供給系統(tǒng)9中設(shè)置緩沖罐15，結(jié)構(gòu)非常簡單，并且無需進(jìn)行針對涂膜厚度調(diào)節(jié)的特特殊控制，能夠容易地實施。
[0094]在圖2中示出了第二實施方式的涂敷裝置以及涂敷方法的簡要結(jié)構(gòu)。在第二實施方式的涂敷裝置16中，緩沖罐17采用容量可變型。為了使緩沖罐17的容量發(fā)生變化，在緩沖罐17中設(shè)置有能夠調(diào)節(jié)向緩沖罐17內(nèi)部壓入的壓入量的軸18。如果增加軸18向緩沖罐17內(nèi)壓入的壓入量，則緩沖罐17的容量減小，相反如果減小壓入量，則容量增大。
[0095]通過設(shè)置容量可變的緩沖罐17，與第一實施方式不同，能夠?qū)Υ蜷_開閉閥13a時的涂覆液b的流動的響應(yīng)性進(jìn)行調(diào)節(jié)、即增加或減少在開始進(jìn)行涂敷處理時從噴嘴12最初噴出的涂覆液b的噴出量，能夠容易地進(jìn)行調(diào)節(jié)，以消除涂敷開始端Ila處的涂覆液b的鼓起。根據(jù)這樣的第二實施方式，也能夠?qū)崿F(xiàn)與上述第一實施方式相同的作用效果。
[0096]在圖3中示出了第三實施方式的涂敷裝置以及涂敷方法的簡要結(jié)構(gòu)。在第三實施方式的涂敷裝置19中，基本上，代替緩沖罐15、17而使用本身具有噴出涂覆液b的功能的注射栗20。注射栗20以在設(shè)置于罐側(cè)系統(tǒng)通路9a的開閉閥13a與設(shè)置于噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路9b的開閉閥13b之間將上述的兩個系統(tǒng)通路9a、9b的端部連接的方式，設(shè)置于涂覆液供給系統(tǒng)9中。
[0097]由此，注射栗20配置在開閉閥13a與開閉閥13b之間。注射栗20利用馬達(dá)20b驅(qū)動活塞桿20a，將在活塞20c與工作缸20d之間以充滿狀態(tài)存儲的涂覆液b向該注射栗20外側(cè)、在本實施方式中向涂覆液供給系統(tǒng)9擠出。眾所周知，注射栗20具有能夠高精度地對涂覆液b等液體、氣體的擠出量進(jìn)行調(diào)節(jié)的功能，具有在噴出開始時不會產(chǎn)生涂覆液b在涂敷開始端Ila鼓起這種情況的優(yōu)點(diǎn)。
[0098]對于涂覆液b向注射栗20的填充而言，只要預(yù)先打開開閉閥13a并且關(guān)閉開閉閥13b，從罐3送入即可。開閉閥13b在送入涂覆液b時以外保持打開狀態(tài)。注射栗20中預(yù)先存儲的涂覆液b的量與上述第一以及第二實施方式的緩沖罐15的情況相同，至少需要能夠通過壓縮彈性吸收涂覆液b在涂敷開始端Ila鼓起的量。
[0099]通過大容量的注射栗20，在該注射栗20的內(nèi)部利用涂覆液b自身的壓縮彈性對突然流動的水擊性的現(xiàn)象進(jìn)行緩沖。由此，在關(guān)閉開閉閥13b的狀態(tài)下，當(dāng)打開開閉閥13a時，能夠抑制通過涂覆液供給系統(tǒng)9朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。
[0100]由注射栗20進(jìn)行的涂覆液b的擠出在開閉閥13a關(guān)閉的狀態(tài)下進(jìn)行。另一方面，開閉閥13a在涂覆液b以充滿的方式存儲于活塞20c與工作缸20d之間的狀態(tài)下，進(jìn)行打開動作。
[0101]具體而言，在開始進(jìn)行涂敷處理時，注射栗20在開閉閥13a關(guān)閉的(開閉閥13b打開)狀態(tài)下向噴嘴12供給涂覆液b。另一方面，對于開閉閥13a而言，與在開始進(jìn)行涂敷處理時打開的第一以及第二實施方式不同，開閉閥13a在由注射栗20進(jìn)行的涂覆液b的供給停止后與之相應(yīng)地打開。
[0102]對第三實施方式的涂敷裝置的涂敷方法進(jìn)行說明。開始進(jìn)行涂敷處理之前的準(zhǔn)備階段與第一以及第二實施方式相同。涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a關(guān)閉，涂覆液b的流通被切斷，涂覆液b從罐3朝向開閉閥13a受到擠壓作用。此時，從開閉閥13a到噴嘴12之間的整個范圍充滿涂覆液b，并且在注射栗20內(nèi)部也充滿涂覆液b。
[0103]在開始進(jìn)行涂敷處理時，在開閉閥13a關(guān)閉(開閉閥13b打開)的狀態(tài)下，通過由馬達(dá)20b驅(qū)動的注射栗20向噴嘴12供給涂覆液b，從噴嘴12噴出涂覆液b，進(jìn)行初始階段的涂敷。之后，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，當(dāng)因馬達(dá)20b的停止而使得由注射栗20進(jìn)行的涂覆液b向噴嘴12的供給停止時，在該供給與之相應(yīng)地停止的同時，打開涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a。
[0104]當(dāng)開閉閥13a打開時，雖然罐3內(nèi)部大致是規(guī)定的恒定壓力值，但由于關(guān)閉的開閉閥13a瞬間打開，因而涂覆液b朝向噴嘴12突然流動，但與上述第一以及第二實施方式相同，如上所述，注射栗20能夠通過自身的大容量和涂覆液b自身的壓縮彈性對涂覆液b的水擊性的流動進(jìn)行緩沖，由此能夠抑制從罐3經(jīng)由涂覆液供給系統(tǒng)9朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。
[0105]由此，如圖3中的圖表所不，即使開放開閉閥13a，從噴嘴12噴出的涂覆液b的噴出量也不會因此而急劇上升，而是在由注射栗20進(jìn)行的初始階段的涂敷之后，以與向罐3內(nèi)部施加的規(guī)定的恒定壓力值對應(yīng)的噴出量噴出。
[0106]這樣，通過能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的噴出量控制的注射栗20和其之后的開閉閥13a的開放，能夠抑制在開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴12噴出的涂覆液b以鼓起的方式被涂敷。因此，能夠在從涂敷處理開始到之后的連續(xù)涂敷處理的整個過程中，以大致恒定量從噴嘴12噴出涂覆液b，由此能夠以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸葘ν糠髮ο笪?1進(jìn)行涂敷處理。
[0107]另外，由于注射栗20在被馬達(dá)20b驅(qū)動時因活塞20c與工作缸20d的摩擦而產(chǎn)生微小的振動，在僅由注射栗20實施的涂敷處理中，存在涂膜厚度略微起伏的可能性。
[0108]注射栗20可以稱為可變?nèi)萘啃偷木彌_罐17，能夠調(diào)節(jié)打開開閉閥13a時的涂覆液b的流動的響應(yīng)性、即能夠通過增加或減少開始進(jìn)行涂敷處理時從噴嘴12最初噴出的涂覆液b的噴出量的方式進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0109]在該第三實施方式中，僅在需要抑制伴隨于開閉閥13a的開放而產(chǎn)生的涂覆液b的過度噴出的涂敷處理的初始階段使用注射栗20，不會出現(xiàn)該注射栗20所引起涂覆液b的飛濺(在罐加壓的情況下有時會飛濺)，即發(fā)揮涂覆液b不在涂敷開始端Ila鼓起的優(yōu)點(diǎn)，之后，切換為發(fā)揮來自罐3的涂覆液b的擠出所帶來的優(yōu)點(diǎn)、即確保穩(wěn)定的噴出量(在注射栗20的情況下，存在因振動引起的噴出變動的顧慮)的優(yōu)點(diǎn)的涂敷處理，并且，能夠利用注射栗20的作為緩沖罐的緩沖功能來防止該切換的瞬間的涂覆液b的過度流動，因此，能夠一并連續(xù)地確保涂敷處理開始時的涂覆液b的鼓起防止以及之后的涂膜厚度的均勻化。
[0110]在這樣的第三實施方式中，也能夠?qū)崿F(xiàn)與上述第一以及第二實施方式相同的作用效果。
[0111]第三實施方式的涂敷裝置19僅是在涂覆液供給系統(tǒng)9中設(shè)置注射栗20，結(jié)構(gòu)非常簡單，并且用于進(jìn)行涂膜厚度調(diào)節(jié)的控制也僅是同時進(jìn)行注射栗20的停止和開閉閥13a的開放即可，非常簡單，能夠容易地實施。
[0112]在圖4中示出了第四實施方式的涂敷裝置以及涂敷方法的簡要結(jié)構(gòu)。第四實施方式的涂敷裝置21基本上構(gòu)成為，在第一實施方式的結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，將具有注射栗20的追加的涂覆液供給系統(tǒng)22以與涂覆液供給系統(tǒng)9并行配置的方式設(shè)置在罐3與噴嘴12之間。
[0113]注射栗20與上述大致相同，以在追加的涂覆液供給系統(tǒng)22的罐側(cè)系統(tǒng)通路22a與噴嘴側(cè)系統(tǒng)通路22b之間將上述的兩個系統(tǒng)通路22a、22b的端部連接的方式，設(shè)置于追加的涂覆液供給系統(tǒng)22。與第三實施方式相同，在兩個系統(tǒng)通路22a、22b中，以將注射栗20夾在中間的配置設(shè)置有開閉閥13b和追加的開閉閥13c。由此，注射栗20配置在罐3與噴嘴12之間。注射栗20將以充滿狀態(tài)存儲在活塞20c與工作缸20d之間的涂覆液b向追加的涂覆液供給系統(tǒng)22擠出。開閉閥13b、13c分別與第三實施方式的開閉閥13b以及13a同樣地進(jìn)行動作。即，開閉閥13b僅在向注射栗20送入涂覆液b時關(guān)閉。
[0114]在第四實施方式中，注射栗20設(shè)置在追加的涂覆液供給系統(tǒng)22中，而未設(shè)置在具有開閉閥13a的涂覆液供給系統(tǒng)9中，因此無需具備抑制在打開開閉閥13a時產(chǎn)生的壓力變化的功能，因此，與第三實施方式的情況不同，注射栗20以小容量形成。壓力變化的抑制作用與第一以及第二實施方式相同，通過緩沖罐15(也可以是可變?nèi)萘啃偷木彌_罐17)來實現(xiàn)。
[0115]在開始進(jìn)行涂敷處理時，為了防止朝向罐3的倒流，在關(guān)閉開閉閥13c，并且關(guān)閉涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a的狀態(tài)下，注射栗20經(jīng)由追加的涂覆液供給系統(tǒng)22向噴嘴12供給涂覆液b。另一方面，對于開閉閥13a而言，與在開始涂敷處理時打開的第一以及第二實施方式不同，開閉閥13a與由注射栗20進(jìn)行的涂覆液b的供給停止相應(yīng)地打開，由此從罐3經(jīng)由涂覆液供給系統(tǒng)9向噴嘴12供給涂覆液b。
[0116]對第四實施方式的涂敷裝置21的涂敷方法進(jìn)行說明。開始進(jìn)行涂敷處理之前的準(zhǔn)備階段與第一?第三實施方式相同。涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a關(guān)閉，涂覆液b的流通被切斷，涂覆液b從罐3朝向開閉閥13a受到擠出作用。
[0117]此時，在涂覆液供給系統(tǒng)9中，從開閉閥13a到噴嘴12之間的整個范圍充滿涂覆液b，并且在追加的涂覆液供給系統(tǒng)22中，從罐3到噴嘴12的整個范圍也充滿涂覆液b，且在注射栗20內(nèi)部也充滿涂覆液b。為了防止朝向罐3的倒流而將開閉閥13c關(guān)閉。
[0118]在開始進(jìn)行涂敷處理時，在開閉閥13a關(guān)閉的狀態(tài)下，通過被馬達(dá)20b驅(qū)動的注射栗20經(jīng)由追加的涂覆液供給系統(tǒng)22向噴嘴12供給涂覆液b，從噴嘴12噴出涂覆液b，進(jìn)行初始階段的涂敷。之后，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，當(dāng)因馬達(dá)20b的停止而使得由注射栗20進(jìn)行的涂覆液b向噴嘴12的供給停止時，在該供給與之相應(yīng)地停止的同時，打開涂覆液供給系統(tǒng)9的開閉閥13a。
[0119]當(dāng)開閉閥13a打開時，從罐3經(jīng)由涂覆液供給系統(tǒng)9向噴嘴12供給涂覆液b。在涂覆液b流通于涂覆液供給系統(tǒng)9中時，與上述第一以及第二實施方式相同，緩沖罐15如上所述那樣能夠通過自身的大容量和涂覆液b自身的壓縮彈性對涂覆液b的水擊性的流動進(jìn)行緩沖，由此能夠抑制從罐3經(jīng)由涂覆液供給系統(tǒng)9朝向噴嘴12傳播的壓力的變化。
[0120]由此，如圖4中的圖表所不，即使開放開閉閥13a，從噴嘴12噴出的涂覆液b的噴出量也不會因此而急劇上升，而是在由注射栗20進(jìn)行的初始階段的涂敷之后，以與向罐3內(nèi)部施加的規(guī)定的恒定壓力值對應(yīng)的噴出量噴出。
[0121]這樣，通過能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的噴出量控制的注射栗20和緩沖罐15對之后的開閉閥13a的開放所發(fā)揮的壓力緩沖作用，能夠抑制在開始進(jìn)行涂敷處理時，最初從噴嘴12噴出的涂覆液b以鼓起的方式被涂敷的情況。因此，在從涂敷處理開始到之后的連續(xù)涂敷處理的整個過程中，能夠大致以恒定量從噴嘴12噴出涂覆液b，由此能夠以適當(dāng)?shù)耐磕ず穸葘ν糠髮ο笪?1進(jìn)行涂敷處理。
[0122]在第四實施方式中，無需言及，僅在需要抑制伴隨于開閉閥13a的開放而產(chǎn)生的涂覆液b的過度噴出的涂敷處理的初始階段使用注射栗20，之后，切換為來自罐3的涂覆液b的擠出所帶來的噴出量穩(wěn)定的涂敷處理，并通過緩沖罐15對剛進(jìn)行該切換之后的涂覆液b的過度噴出進(jìn)行緩沖，因此，能夠確保涂敷處理開始時的涂覆液b的鼓起防止以及之后的涂膜厚度的均勻化。在這樣的第四實施方式中，也實現(xiàn)與上述第一?第三實施方式相同的作用效果。
[0123]第四實施方式的涂敷裝置21僅在第一實施方式的結(jié)構(gòu)中設(shè)置具備注射栗20的追加的涂覆液供給系統(tǒng)22，能夠使注射栗20的容量減小等，結(jié)構(gòu)非常簡單，并且與第三實施方式相同，能夠通過同時進(jìn)行注射栗20的停止和開閉閥13a的開放這樣簡單的控制而容易地實施。
[0124]緩沖罐15當(dāng)然也可以采用第二實施方式中說明的可變?nèi)萘啃?，由此還能夠自如地進(jìn)行涂膜厚度的調(diào)節(jié)。
【主權(quán)項】
1.一種涂敷裝置，其特征在于，具備: 涂覆液供給源，其通過加壓而將貯存于罐內(nèi)的涂覆液向涂覆液供給系統(tǒng)擠出并供給；噴嘴，其與該涂覆液供給系統(tǒng)連接，一邊噴出供給來的涂覆液，一邊相對于涂敷對象物進(jìn)行相對移動，對涂敷對象物進(jìn)行涂敷處理； 開閉閥，其設(shè)置于所述涂覆液供給系統(tǒng)，在開始進(jìn)行涂敷處理時打開，向所述噴嘴供給涂覆液，之后關(guān)閉，停止涂覆液向該噴嘴的供給；以及 緩沖罐，其設(shè)置于所述涂覆液供給系統(tǒng)，并且內(nèi)部充滿涂覆液，該緩沖罐抑制在所述開閉閥打開時朝向所述噴嘴傳播的壓力的變化。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于， 所述緩沖罐為可變?nèi)萘啃汀?.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于， 代替所述緩沖罐，在所述涂覆液供給系統(tǒng)中設(shè)置有注射栗，該注射栗配置在所述開閉閥與所述噴嘴之間，該注射栗在開始進(jìn)行涂敷處理時且是該開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，向該噴嘴供給涂覆液， 代替在開始進(jìn)行涂敷處理時打開該開閉閥的情況，該開閉閥與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于， 在所述涂覆液供給源與所述噴嘴之間，以與涂覆液供給系統(tǒng)并行的方式設(shè)置有追加的涂覆液供給系統(tǒng)， 在該追加的涂覆液供給系統(tǒng)中設(shè)置有注射栗，該注射栗在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，向所述噴嘴供給涂覆液， 代替在開始進(jìn)行涂敷處理時打開該開閉閥的情況，該開閉閥與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開。5.一種涂敷方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求3所述的涂敷裝置， 在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，從所述注射栗向所述噴嘴供給涂覆液， 接著，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開所述開閉閥，從所述涂覆液供給源向所述噴嘴供給涂覆液。6.一種涂敷方法，其特征在于， 使用權(quán)利要求4所述的涂敷裝置， 在開始進(jìn)行涂敷處理時且是所述涂覆液供給系統(tǒng)的所述開閉閥關(guān)閉的狀態(tài)下，從所述注射栗經(jīng)由所述追加的涂覆液供給系統(tǒng)向所述噴嘴供給涂覆液， 接著，為了繼續(xù)進(jìn)行涂敷處理，與由所述注射栗進(jìn)行的涂覆液的供給停止相應(yīng)地打開所述開閉閥，從所述涂覆液供給源經(jīng)由所述涂覆液供給系統(tǒng)向所述噴嘴供給涂覆液。
【文檔編號】B05C11/10GK106031913SQ201510102889
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2015年3月9日
【發(fā)明人】夏貞雄, 永井久也, 橫山雅樹
【申請人】中外爐工業(yè)株式會社