本技術(shù)涉及一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，尤指一種可避免輸量不均與供應(yīng)過程中對化學(xué)品造成污染的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備的原料供應(yīng)，非單純地向設(shè)備接管提供化學(xué)品即可，除需確?；瘜W(xué)品的安全外，更需避免化學(xué)品于供應(yīng)過程中遭到污染。

2、對于一般的化學(xué)品供應(yīng)污染的認(rèn)知是避免外在物添入化學(xué)品中，但實際操作上，化學(xué)品供應(yīng)污染不單前指，以當(dāng)前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)普遍使用的金屬儲存槽來說，前述金屬儲存槽普遍是以焊接形成，焊接后產(chǎn)生的焊點如未確實處理，是會對化學(xué)品造成微粒污染。另一方面，當(dāng)前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)所用泵普遍選用一波紋管泵(bellows?pump)或一隔膜泵(diaphragm?pumps)，前述兩者主要是以塑材材料制成，長期使用下塑材材料易產(chǎn)生微粒，而混入化學(xué)品中，對后端工藝造成影響。再者，前述二泵的結(jié)構(gòu)均包含二泵室，二泵室結(jié)構(gòu)會導(dǎo)致供應(yīng)存在間接時間，導(dǎo)致供應(yīng)脈沖的產(chǎn)生，使輸送出現(xiàn)不均的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的主要目的，在于解決現(xiàn)有化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)于供應(yīng)過程會錯誤產(chǎn)生微粒對化學(xué)品造成的污染，及輸送不均的問題。

2、為達(dá)上述目的，本實用新型提供一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包含至少一金屬儲存槽，至少一連接管，及至少一泵。該至少一金屬儲存槽包含一槽體，及至少一成形于該槽體上的接口，該槽體一體成型而不具有成形產(chǎn)生的一接縫。該至少一連接管連接該至少一接口。該至少一泵經(jīng)該至少一連接管與該至少一接口形成液體流通關(guān)系，該至少一泵為下列群組中的其中一者:一磁浮泵與一無軸泵。

3、一實施例中，該至少一接口位于該槽體的一頂面或一底面。

4、一實施例中，該金屬儲存槽包含至少一連接于該槽體的支撐柱。

5、一實施例中，該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)包含一箱體及一設(shè)于該箱體內(nèi)的供應(yīng)閥組，該至少一泵設(shè)于該箱體內(nèi)，該至少一金屬儲存槽設(shè)于該箱體內(nèi)。

6、一實施例中，該泵設(shè)于該箱體的相對底部，該箱體具有至少一形成于相對底部以提供該至少一連接管穿設(shè)的安裝口。

7、一實施例中，該箱體包含至少一觀察窗。

8、通過本實用新型前述實施，相較于現(xiàn)有具有以下特點：本實用新型該化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)所包含的該至少一金屬儲存槽的該槽體不具有成形產(chǎn)生的一接縫，且該至少一泵為該磁浮泵與該無軸泵，藉此以有效避免供應(yīng)過程錯誤產(chǎn)生微粒對化學(xué)品造成的污染，及輸送不均等問題，造成后端工藝良率受到影響。

9、以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本實用新型的限定。

技術(shù)特征：

1.一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，包含：

2.如權(quán)利要求1所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該至少一接口位于該槽體的一頂面或一底面。

3.如權(quán)利要求1或2所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該至少一金屬儲存槽包含至少一連接于該槽體的支撐柱。

4.如權(quán)利要求1或2所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)包含一箱體及一設(shè)于該箱體內(nèi)的供應(yīng)閥組，該至少一泵設(shè)于該箱體內(nèi)，該至少一金屬儲存槽設(shè)于該箱體內(nèi)。

5.如權(quán)利要求4所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該至少一泵設(shè)于該箱體的相對底部，該箱體具有至少一形成于相對底部以提供該至少一連接管穿設(shè)的安裝口。

6.如權(quán)利要求5所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該箱體包含至少一觀察窗。

7.如權(quán)利要求1或2所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)包含一箱體及一設(shè)于該箱體內(nèi)的供應(yīng)閥組，該至少一泵設(shè)于該箱體內(nèi)，該至少一金屬儲存槽設(shè)于該箱體外。

8.如權(quán)利要求7所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該至少一泵設(shè)于該箱體的相對底部，該箱體具有至少一形成于相對底部以提供該至少一連接管穿設(shè)的安裝口。

9.如權(quán)利要求8所述化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，其特征在于，該箱體包含至少一觀察窗。

技術(shù)總結(jié)
一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，包含至少一金屬儲存槽，至少一連接管，及至少一泵。該至少一金屬儲存槽包含一槽體，及至少一成形于該槽體上的接口，該槽體一體成型而不具有成型產(chǎn)生的一接縫。該至少一連接管連接該至少一接口。該至少一泵經(jīng)至少一連接管與該至少一接口形成液體流通關(guān)系，該至少一泵為下列群組中的其中一者：一磁浮泵與一無軸封泵。本技術(shù)該化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)于供應(yīng)一化學(xué)品過程中，可避免供應(yīng)過程錯誤產(chǎn)生微粒對化學(xué)品造成的污染，及輸送不均等問題，造成后端工藝良率受到影響。

技術(shù)研發(fā)人員：許紀(jì)翔,李思賢
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺灣矽科宏晟科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240425
技術(shù)公布日：2025/1/2