技術(shù)編號(hào)：40565868
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)，尤指一種可避免輸量不均與供應(yīng)過(guò)程中對(duì)化學(xué)品造成污染的化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)。背景技術(shù)、當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備的原料供應(yīng)，非單純地向設(shè)備接管提供化學(xué)品即可，除需確?；瘜W(xué)品的安全外，更需避免化學(xué)品于供應(yīng)過(guò)程中遭到污染。、對(duì)于一般的化學(xué)品供應(yīng)污染的認(rèn)知是避免外在物添入化學(xué)品中，但實(shí)際操作上，化學(xué)品供應(yīng)污染不單前指，以當(dāng)前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)普遍使用的金屬儲(chǔ)存槽來(lái)說(shuō)，前述金屬儲(chǔ)存槽普遍是以焊接形成，焊接后產(chǎn)生的焊點(diǎn)如未確實(shí)處理，是會(huì)對(duì)化學(xué)品造成微粒污染。另一方面，當(dāng)前化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)所用泵普遍...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。