渦輪分子泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種渦輪分子泵，所述渦輪分子泵防止含有鐵、鉻的零件因處理氣體而腐蝕，且不使含有鐵、鉻的金屬粒子倒流到真空室。本發(fā)明對(duì)氣體接觸部實(shí)施鍍鎳，所述氣體接觸部即比從真空排氣上游側(cè)數(shù)起第一段的轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)的處理氣體所接觸的區(qū)域。
【專利說明】
渦輪分子泵

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種潤(rùn)輪分子泵(Turbo Molecular Pump)。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造過程中的干式蝕刻(dry etching)或化學(xué)氣相沉積(ChemicalVapor Deposit1n, CVD)等工藝(process)中，在高真空處理室(process chamber)(以下也稱為真空室)內(nèi)進(jìn)行處理。在所述處理中，使用例如渦輪分子泵那樣的真空泵(vacuumpump),以排出真空室內(nèi)的氣體而形成一定的高真空度。
[0003]在真空室中，使用氯系處理氣體(process gas)或氟系處理氣體。所述處理氣體會(huì)使渦輪分子泵內(nèi)的各零件腐蝕。以往會(huì)進(jìn)行如下處理來防止這種腐蝕。
[0004]專利文獻(xiàn)I中記載著如下發(fā)明，S卩，對(duì)真空室內(nèi)的氣體所接觸的部分(外罩(housing) 2、定子葉片(stator blade) 3、轉(zhuǎn)子(rotor) 5、轉(zhuǎn)子葉片6、固定筒8等)實(shí)施無電鍍鎳(electrol essnickel plating)。但是,并未具體地記載涂布(coat)在各零件表面的哪一區(qū)域。
[0005]專利文獻(xiàn)2中有如下記載，即，將在黑色鎳合金或黑色鉻合金中分散含有微粒子而成之涂層(coating)涂布在內(nèi)部基材的表面。但是，只列舉了旋轉(zhuǎn)葉片體、固定葉片、主體圓筒部的內(nèi)表面、凸緣(flange)的內(nèi)表面、間隔物(spacer)、保護(hù)網(wǎng)、排氣口等各零件作為內(nèi)部基材的例子，而并未具體地記載涂布在各零件表面的哪一區(qū)域。
[0006][【背景技術(shù)】文獻(xiàn)]
[0007][專利文獻(xiàn)]
[0008][專利文獻(xiàn)I]日本專利實(shí)開平01-095595號(hào)公報(bào)
[0009][專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2001-193686號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明欲解決的課題
[0011]在渦輪分子泵中，有外殼(cas i ng)等需要強(qiáng)度的零件由如SUS304那樣的不銹鋼(stainless)材料制作的情況。此外，有環(huán)形彈簧(ring spring)等要求彈性的零件由彈簧鋼鋼材(SUP材料)制作的情況。不銹鋼材料或彈簧鋼鋼材中含有鐵或鉻，如果這些零件被處理氣體腐蝕，則會(huì)有從所述已被腐蝕的區(qū)域排出包含鐵或鉻的金屬粒子(金屬微粒(particle))的情況。
[0012]解決課題的手段
[0013]
【發(fā)明者】進(jìn)行了研究開發(fā)，結(jié)果關(guān)于所述金屬粒子的行為獲得了如下見解。
[0014]在渦輪分子泵中，關(guān)于在比從真空排氣上游側(cè)(以下記為上游側(cè))數(shù)起第一段轉(zhuǎn)子葉片(以下記為第一段轉(zhuǎn)子葉片)更靠真空排氣下游側(cè)(以下記為下游側(cè))產(chǎn)生的金屬粒子，第一段轉(zhuǎn)子葉片將金屬粒子甩至下游側(cè)。由此，比第一段轉(zhuǎn)子葉片更靠下游側(cè)產(chǎn)生的金屬粒子不會(huì)向上游側(cè)流動(dòng)。但是，有第一段轉(zhuǎn)子葉片將在比第一段轉(zhuǎn)子葉片更靠上游側(cè)產(chǎn)生的金屬粒子甩至上游側(cè)的情況。由此，有處于比第一段轉(zhuǎn)子葉片更靠上游側(cè)的金屬粒子返回到上游側(cè)，某些情況下會(huì)倒流到真空室內(nèi)的情況。而且，有可能引起金屬污染，即，所述金屬粒子進(jìn)入到真空室內(nèi)，而污染真空室內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓(semiconductor wafer)。因此，只要至少不使位于比第一段轉(zhuǎn)子葉片更靠真空排氣上游側(cè)的含有鐵、鉻的零件腐蝕，則不會(huì)引起所述金屬污染。
[0015]由此，在本發(fā)明中，謀求以如下方式解決。
[0016](I)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式的渦輪分子泵的特征在于包括:外殼，具有進(jìn)氣口及凸緣；轉(zhuǎn)子組裝體，收容在外殼內(nèi)，具有軸(shaft)及轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子由多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片形成，所述多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片用緊固用螺栓(bolt)與軸形成一體；定子葉片，收容在外殼內(nèi)，與轉(zhuǎn)子葉片對(duì)向地配設(shè)；以及間隔物，沿著外殼內(nèi)的周面積層，并將定子葉片固定；并且所述渦輪分子泵在零件的氣體接觸部實(shí)施有耐蝕性處理，所述零件設(shè)置在比真空排氣上游側(cè)第一段的轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)，并且由包含鐵、鉻的合金制作--? 。
[0017](2)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于:零件包含平衡板(balance plate),該平衡板被緊固用螺栓固定在轉(zhuǎn)子，并且在緊固用螺栓與平衡板的接觸面未實(shí)施有耐蝕性處理。而且，在轉(zhuǎn)子與平衡板的接觸面也可以不實(shí)施有耐蝕性處理。
[0018](3)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于:零件包含平衡板，該平衡板被緊固用螺栓固定在轉(zhuǎn)子，并且在轉(zhuǎn)子與平衡板的接觸面未實(shí)施有耐蝕性處理。
[0019](4)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于:平衡板具有切削部，該切削部被切削以進(jìn)行平衡修正，并且在切削部實(shí)施有耐蝕性處理。
[0020](5)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于:在平衡板中設(shè)置有多個(gè)螺孔，在任一個(gè)螺孔中螺合有用于修正平衡的附加螺栓，零件包含附加螺栓，多個(gè)螺孔中的未螺合于附加螺栓螺合的螺孔為氣體接觸部。
[0021](6)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于還包括:保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，該保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在外殼的進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及安裝用螺栓，用來固定保護(hù)網(wǎng)；零件包含保護(hù)網(wǎng)及安裝用螺栓，保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
[0022](7)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于還包括:保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，該保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在外殼的進(jìn)氣口的內(nèi)袁面；以及安裝用螺栓，用來固定保護(hù)網(wǎng)；零件包含安裝用螺栓，保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
[0023](8)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于還包括:保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，該保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在外殼的進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及環(huán)形彈簧，用來固定保護(hù)網(wǎng)；零件包含保護(hù)網(wǎng)及環(huán)形彈簧，保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
[0024](9)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于還包括:保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，該保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在外殼的進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及環(huán)形彈簧，用來固定保護(hù)網(wǎng)；零件包含環(huán)形彈簧，保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
[0025](10)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于還包括:保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，該保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在外殼的進(jìn)氣口的內(nèi)表面，保護(hù)網(wǎng)被與保護(hù)網(wǎng)形成為一體的突起固定，零件包含保護(hù)網(wǎng)，保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
[0026](11)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中，其特征在于:凸緣在進(jìn)氣口的周緣具有O形環(huán)槽，O形環(huán)槽及凸緣的比O形環(huán)槽更靠?jī)?nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有耐蝕性處理。
[0027](12)在更優(yōu)選的實(shí)施方式中,其特征在于:凸緣通過中心環(huán)(center ring)固定在真空室，凸緣的比與中心環(huán)的接觸部更靠?jī)?nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有耐蝕性處理。
[0028]發(fā)明的效果
[0029]根據(jù)本發(fā)明，能夠防止位于比第一段轉(zhuǎn)子葉片更靠真空排氣上游側(cè)的不銹鋼材料或鋼材等腐蝕，并且抑制可能會(huì)導(dǎo)致金屬污染的含有鐵或鉻的金屬粒子的產(chǎn)生。
[0030]上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實(shí)施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0031]圖1是本發(fā)明的渦輪分子泵的概略圖。
[0032]圖2是說明本申請(qǐng)的氣體接觸部的圖。
[0033]圖3是表示位于轉(zhuǎn)子組裝體的真空排氣上游側(cè)的緊固部的圖。
[0034]圖4是緊固轉(zhuǎn)子組裝體的螺栓周邊的放大圖。
[0035]圖5是保護(hù)網(wǎng)的安裝部及O形環(huán)槽的周邊放大圖。
[0036]圖6是表示作為轉(zhuǎn)子組裝體變形例的變形例IA的圖。
[0037]圖7是表示作為轉(zhuǎn)子組裝體變形例的變形例IB的圖。
[0038]圖8是表示作為轉(zhuǎn)子組裝體變形例的變形例IC的圖。
[0039]圖9是表示作為關(guān)于固定保護(hù)網(wǎng)的變形例的變形例2A的圖。
[0040]圖10是表示作為關(guān)于固定保護(hù)網(wǎng)的變形例的變形例2B的圖。
[0041]圖11是表示作為外殼與間隔物的變形例的變形例3的圖。
[0042]圖12是表示作為凸緣的變形例的變形例4的圖。
[0043]【主要元件符號(hào)說明】
[0044]2、35、71、95:螺栓2a、35a:頭部
[0045]2b:底座面2c、35b:軸部
[0046]2d:螺紋部10、10A、10B、10C:轉(zhuǎn)子組裝體
[0047]12,82:轉(zhuǎn)子12a、36a:連接部
[0048]12b、16d、31、84b:貫通孔 13、83:部
[0049]13a、13b:接觸面14、84:軸
[0050]14a、30a、70a、82a:螺孔 16、70:平衡板
[0051]16a、16b:接觸面16c:切削部
[0052]18:圓筒部20、20a?20d:轉(zhuǎn)子葉片
[0053]30、30A、30B:進(jìn)氣口32、32A、32B、91:安裝部
[0054]34、34A、34B:保護(hù)網(wǎng)36、36A、84a、200:凸緣
[0055]37:0形環(huán)槽38:0形環(huán)
[0056]40:馬達(dá)44、44a?44c:定子葉片
[0057]48:螺旋定子
[0058]50、50a ?50d、51、51a ?51c:間隔物
[0059]52、52八:外殼54:基底
[0060]56:排氣口60:中心環(huán)
[0061]62:上部徑向電磁鐵64:下部徑向電磁鐵
[0062]66:推力電磁鐵90:環(huán)形彈簧
[0063]96:螺母100:渦輪分子泵
[0064]￡20?:端部??！308:孔
[0065]？348:突起丁36八:接觸部
[0066]336六:凸緣面3524:內(nèi)周面

【具體實(shí)施方式】
[0067]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的渦輪分子泵其【具體實(shí)施方式】、方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0068]-實(shí)施方式-
[0069]圖1是表示渦輪分子泵100的概略構(gòu)成的剖視圖。渦輪分子泵100在外殼52的進(jìn)氣口 30具有凸緣36，該凸緣36用來安裝在真空室的凸緣。在凸緣36中形成貫通孔31，在貫通孔31中插通螺栓，從而通過0形環(huán)38將凸緣36安裝在真空室的凸緣。在凸緣36中設(shè)置0形環(huán)槽37，0形環(huán)38配設(shè)在所述0形環(huán)槽37。通常來說，必須確保外殼52具有強(qiáng)度，以便能夠耐受大氣壓，而且即便萬一產(chǎn)生轉(zhuǎn)子破壞時(shí)，也不會(huì)被破壞，所述外殼52由3口3304等不銹鋼材料制作。進(jìn)氣口 30或凸緣36由于為外殼52的一部分，所以由與外殼52相同的材料制作。
[0070]在進(jìn)氣口 30的安裝部32安裝著保護(hù)網(wǎng)34，以防止雜質(zhì)侵入渦輪分子泵100。保護(hù)網(wǎng)34安裝在安裝部32，并且利用螺栓35被固定在安裝部32。安裝部32由于為外殼52的一部分，因此由與外殼52相同的材料制作。保護(hù)網(wǎng)34由不銹鋼材料或鋁合金制作。螺栓35通常使用由不銹鋼材料制作而成的螺栓。
[0071]在外殼52內(nèi)設(shè)置著轉(zhuǎn)子組裝體10且所述轉(zhuǎn)子組裝體10自由旋轉(zhuǎn)。渦輪分子泵100是磁懸浮軸承式泵(胍即一丨化13681-1118叩卹)，轉(zhuǎn)子組裝體10被上部徑向(1-8(1181)電磁鐵62、下部徑向電磁鐵64、及推力電磁鐵66以非接觸形式支撐。
[0072]轉(zhuǎn)子組裝體10包含利用螺栓2緊固成一體的轉(zhuǎn)子12、軸14、及平衡板16。平衡板16是切削方式的平衡板。也就是說，通過切削平衡板16而修正轉(zhuǎn)子組裝體10的重心的位置。轉(zhuǎn)子12的材料可以使用鋁合金。軸14的材料可以使用345(:等。平衡板16的材料可以使用不銹鋼材料。螺栓2優(yōu)選使用與所接觸的部件相同的材料，因此，這里優(yōu)選使用不銹鋼材料。
[0073]轉(zhuǎn)子12中設(shè)置著多段轉(zhuǎn)子葉片20及圓筒部18。在多段轉(zhuǎn)子葉片20之間，在軸向上設(shè)置多段定子葉片44，在圓筒部18的外周側(cè)設(shè)置著螺旋定子8仏1:01048。各定子葉片44通過間隔物50配設(shè)在基底54上。如果將外殼52固定在基底54上，則所積層的間隔物50夾在基底54與外殼52之間，各定子葉片44被定位。定子葉片44的材料可以使用鋁合金?？紤]到強(qiáng)度或?qū)崧?，間隔物50優(yōu)選由不銹鋼材料或鋁合金中的任一種材料制作。例如，在僅由外殼52無法阻止轉(zhuǎn)子12破壞時(shí)產(chǎn)生的能量的情況下，間隔物50由高強(qiáng)度的不銹鋼材料制作，在用于提高散熱性的情況下，間隔物50由鋁合金制作。
[0074]在基底54中設(shè)置排氣口 56，對(duì)排氣口 56連接前級(jí)泵0^4叩卹)。轉(zhuǎn)子組裝體10 一邊因上部徑向電磁鐵62、下部徑向電磁鐵64及推力電磁鐵66而磁懸浮，一邊被馬達(dá)(1110^01-)40高速旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，進(jìn)氣口 30側(cè)的氣體分子被向排氣口 56側(cè)排出。
[0075]由于轉(zhuǎn)子組裝體10為旋轉(zhuǎn)體，所以構(gòu)成零件受到離心力而膨脹。其膨脹量(離心力膨脹量)依各零件而異。此外，轉(zhuǎn)子組裝體10因旋轉(zhuǎn)而與氣體分子等反復(fù)碰撞或摩擦而發(fā)熱。構(gòu)成零件雖帶熱則膨脹，但其膨脹量(熱膨脹量)也依各零件而異。轉(zhuǎn)子組裝體10以外的組裝品的熱膨脹量也依各零件而異。考慮到這些情況而實(shí)施鍍鎳。
[0076]圖2是將圖1所示的渦輪分子泵100的圖示右上方放大而成的圖。為了便于說明，將多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片20從真空排氣上游側(cè)起重新標(biāo)注符號(hào)為轉(zhuǎn)子葉片20^轉(zhuǎn)子葉片201轉(zhuǎn)子葉片200、轉(zhuǎn)子葉片20(1、…。同樣地，將多個(gè)間隔物50從真空排氣上游側(cè)起重新標(biāo)注符號(hào)為間隔物503、間隔物501間隔物500、間隔物50(1、…。多個(gè)定子葉片44也被從真空排氣上游側(cè)起重新標(biāo)注符號(hào)為定子葉片4?、定子葉片4仙、定子葉片44(3、…。
[0077]在圖2中，在粗線及影線013化111=8)所示的部位實(shí)施有鍍鎳。如上所述，利用渦輪分子泵100從真空室抽真空的氣體中包含腐蝕性成分。在本實(shí)施方式中，對(duì)腐蝕性氣體所接觸的部位中尤其是粗線及影線所示的氣體接觸部實(shí)施鍍鎳，而防止產(chǎn)生金屬粒子。
[0078]使用圖2對(duì)氣體接觸部進(jìn)行說明。另外，對(duì)于氣體接觸部的詳細(xì)說明，使用以下附圖進(jìn)行說明。所謂“氣體接觸部”是指“比從真空排氣上游側(cè)數(shù)起第一段轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)的區(qū)域中，處理氣體所接觸的區(qū)域”。圖2中的氣體接觸部是粗線及影線所示的區(qū)域，也就是比轉(zhuǎn)子葉片203的真空排氣下游側(cè)端部￡203(以下也稱為端部￡204更靠真空排氣上游側(cè)的區(qū)域。具體來說可以列舉:
[0079]?轉(zhuǎn)子葉片20已
[0080]?形成在轉(zhuǎn)子12的真空排氣上游側(cè)的凹部13中的除與平衡板16的接觸面13&以外的區(qū)域
[0081]?平衡板16中的除與凹部13的接觸面16&及與螺栓2的底座面26的接觸面166以外的區(qū)域
[0082]?螺栓2的除底座面26以外的頭部23
[0083]?連接轉(zhuǎn)子葉片203與凹部13的連接部123
[0084]?與轉(zhuǎn)子葉片203對(duì)向的間隔物503的內(nèi)周面
[0085]? 進(jìn)氣口 30
[0086].保護(hù)網(wǎng)34
[0087]?保護(hù)網(wǎng)34的安裝部32 (但除螺孔303以外)
[0088]?固定保護(hù)網(wǎng)34的螺栓35 (但除螺孔303以外)
[0089]?整個(gè)0形環(huán)槽37
[0090]?連接進(jìn)氣口 30與0形環(huán)槽37的凸緣36的連接部363等。
[0091]此處，凹部13的一部分或平衡板16的一部分區(qū)域位于比端部￡203更靠圖示下方，但是從作為排氣路徑的上游、下游的含義來看，該區(qū)域位于比端部2203更靠真空排氣上游側(cè)。其原因在于:存在于該區(qū)域的表面附近的氣體分子等在被排出時(shí)，必然會(huì)通過端部￡20附近。也就是說，氣體分子等在被排出時(shí)會(huì)形成從該區(qū)域向端部￡203的流動(dòng)，因此可知該區(qū)域位于比端部￡203更靠真空排氣上游側(cè)。由此，該區(qū)域也包含在本說明書中的氣體接觸部。
[0092]在本發(fā)明的一實(shí)施方式中，對(duì)所述氣體接觸部實(shí)施鍍鎳。雖然可以使用無電鍍鎳也可以使用電解鍍鎳，但就尺寸精度高低等觀點(diǎn)來看，優(yōu)選使用無電鍍鎳。
[0093]對(duì)于具有氣體接觸部的零件來說，原則上對(duì)每個(gè)零件實(shí)施鍍鎳。當(dāng)實(shí)施鍍敷時(shí)，為了只對(duì)氣體接觸部進(jìn)行鍍敷，而事先對(duì)其他表面進(jìn)行遮蔽(皿41118)。針對(duì)每個(gè)零件實(shí)施鍍敷的原因在于:如果以組裝品形式實(shí)施鍍敷，則在構(gòu)成零件的邊界也會(huì)形成鍍敷層，而因?yàn)槊總€(gè)零件的離心力膨脹量或熱膨脹量不同，所以有構(gòu)成零件的邊界的鍍敷層剝離的情況。
[0094]但是，在下述變形例X所示的轉(zhuǎn)子組裝體中，因?yàn)闃?gòu)成零件的邊界不位于本申請(qǐng)的氣體接觸部，所以可以對(duì)整個(gè)轉(zhuǎn)子組裝體實(shí)施鍍敷。詳情在變形例X中進(jìn)行說明。
[0095]另外，因?yàn)檗D(zhuǎn)子12是由鋁合金制作，所以即便不實(shí)施耐蝕性處理，也不會(huì)產(chǎn)生包含鐵或鉻的金屬粒子。但是，如果對(duì)轉(zhuǎn)子12實(shí)施耐蝕性處理，則可以防止因處理氣體導(dǎo)致的應(yīng)力腐蝕破裂001-1-081011，所以，優(yōu)選為對(duì)轉(zhuǎn)子12也實(shí)施耐蝕性處理。此外，在保護(hù)網(wǎng)由鋁合金制作的情況下也無需實(shí)施鍍鎳，但因同樣的理由優(yōu)選為實(shí)施鍍鎳。
[0096]圖3是轉(zhuǎn)子組裝體10的轉(zhuǎn)子12的凹部13的周邊的放大圖。如上所述，轉(zhuǎn)子組裝體10是利用螺栓2將轉(zhuǎn)子12、軸14、及平衡板16緊固而構(gòu)成。圖3所示的氣體接觸部是
[0097]?連接轉(zhuǎn)子葉片203與凹部13的轉(zhuǎn)子12的頂面的連接部12&
[0098]?形成在轉(zhuǎn)子12的凹部13中的除與平衡板16的接觸面13&以外的區(qū)域
[0099]?平衡板16中的除與凹部13的接觸面16&及與螺栓2的底座面26的接觸面166以外的區(qū)域(也包含下述切削部160
[0100]?螺栓2的除底座面26以外的頭部23。
[0101]如上所述，對(duì)這些氣體接觸部實(shí)施鍍鎳。但是，僅切削部16^如下述般實(shí)施環(huán)氧樹脂涂裝。
[0102]圖2中雖未示出，但圖3所示的平衡板16中示出了切削部16(3。為了修正轉(zhuǎn)子組裝體10的重心的位置,切削部16(3被切削以修正由平衡器0^12111(3610測(cè)定出的不均衡，所述切削部形成在平衡板16的內(nèi)周面。
[0103]組裝轉(zhuǎn)子組裝體10、修正重心位置、以及有關(guān)鍍鎳的順序如下所述。如上所述，在只對(duì)各零件的氣體接觸部進(jìn)行了鍍鎳之后，組裝轉(zhuǎn)子組裝體10。在動(dòng)平衡試驗(yàn)13&1&1106 1:681:)之后，為了修正重心位置,而切削平衡板16的內(nèi)周面，形成切削部16(3。切削部16(3成為氣體接觸部，但并不進(jìn)行再次鍍鎳，而對(duì)切削部16^實(shí)施環(huán)氧樹脂涂裝。
[0104]平衡板16的接觸面163與轉(zhuǎn)子12的凹部13的接觸面133相互接觸。在接觸面168與接觸面133之間，因離心力膨脹量之差或熱膨脹量之差而產(chǎn)生摩擦。在如下述底座面26與接觸面166之間那樣接觸面間的摩擦大的情況下，所述摩擦有時(shí)也會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生鍍鎳脫落，因此，不必對(duì)這種接觸面實(shí)施鍍鎳。然而，在接觸面163與接觸面133之間，相對(duì)于轉(zhuǎn)子組裝體10的緊固力而言接觸面163與接觸面13&的面積大，因此，所述摩擦不會(huì)大到產(chǎn)生鍍鎳脫落的程度。根據(jù)以上情況，在本實(shí)施方式中對(duì)接觸面163與接觸面133實(shí)施鍍鎳。由此，無須對(duì)接觸面163與接觸面133進(jìn)行遮蔽，因此，可以降低成本(⑶^)。另外，因?yàn)榻佑|面163與接觸面133并非氣體接觸部，所以也可以不實(shí)施鍍鎳。
[0105]圖4是緊固轉(zhuǎn)子組裝體10的螺栓2周邊的放大圖。螺栓2的頭部23的底座面26與平衡板16的接觸面166相互接觸。在底座面26與接觸面166之間產(chǎn)生摩擦。相對(duì)于轉(zhuǎn)子組裝體10的緊固力而言底座面26與接觸面166的面積小，兩者之間產(chǎn)生的摩擦大到會(huì)產(chǎn)生鍍鎳脫落的程度。如果產(chǎn)生鍍鎳脫落而零件的表面露出，則所述表面被處理氣體腐蝕，可能會(huì)從所述已被腐蝕的表面排出金屬粒子。此外，因?yàn)樗鲥冩嚸撀鋫鞑サ狡渲苓?，所以也?huì)有排出金屬粒子的區(qū)域擴(kuò)大的問題。由此，根據(jù)以上所示的理由，不對(duì)底座面26、及接觸面166實(shí)施鍍鎳。此外，因?yàn)槁菟?的軸部2匕平衡板16的貫通孔16(1、轉(zhuǎn)子12的貫通孔12以及軸14的螺孔1?不與處理氣體接觸，所以不實(shí)施鍍鎳。根據(jù)以上情況，螺栓2中除螺栓2的頭部23的底座面26以外的區(qū)域成為氣體接觸部，因此，對(duì)該區(qū)域?qū)嵤╁冩嚒?br> [0106]圖5是保護(hù)網(wǎng)34的安裝部32周邊的放大圖。保護(hù)網(wǎng)34安裝在設(shè)置于進(jìn)氣口 30的內(nèi)部的階差部即安裝部32，并且被螺栓35固定。因?yàn)楸Ｗo(hù)網(wǎng)34的所有表面可能會(huì)成為氣體接觸部，所以對(duì)其所有表面實(shí)施鍍鎳。因?yàn)榘惭b部32也可能會(huì)成為氣體接觸部，所以也對(duì)安裝部32實(shí)施鍍鎳。對(duì)于螺栓35，因?yàn)轭^部353可能會(huì)成為氣體接觸部，所以，對(duì)頭部358實(shí)施鍍鎳。此外，因?yàn)檩S部356中的除螺合于螺孔303的部分以外的區(qū)域可能會(huì)成為氣體接觸部，所以，對(duì)該區(qū)域也實(shí)施鍍鎳。也可以對(duì)保護(hù)網(wǎng)34、螺栓35、及安裝部32各自接觸的面實(shí)施鍍鎳，原因是與轉(zhuǎn)子組裝體10不同，這些零件為靜止，而且也不易受到熱的影響，不易產(chǎn)生摩擦。但是，不宜在已將這些零件組裝的狀態(tài)下實(shí)施鍍鎳，因此針對(duì)每個(gè)零件進(jìn)行鍍鎳。對(duì)形成在凸緣36的0形環(huán)槽37實(shí)施鍍鎳。對(duì)連接0形環(huán)槽37與進(jìn)氣口 30的連接部363也實(shí)施鍍鎳。
[0107]根據(jù)以上所示的實(shí)施方式，發(fā)揮如下作用效果。
[0108](1)對(duì)渦輪分子泵100的如下零件的氣體接觸部實(shí)施了鍍鎳，該零件比真空排氣上游側(cè)第一段轉(zhuǎn)子葉片20即轉(zhuǎn)子葉片203的真空排氣下游側(cè)的端部￡203更靠真空排氣上游側(cè)，并且含有鐵或鉻。由此，不會(huì)在該氣體接觸部產(chǎn)生因處理氣體導(dǎo)致的腐蝕，不會(huì)在比端部203更靠真空排氣上游側(cè)產(chǎn)生鐵或鉻等金屬粒子，所述金屬粒子不會(huì)倒流到真空室。
[0109](2)平衡板16與螺栓2的任一個(gè)接觸面均未實(shí)施鍍鎳。由此，不會(huì)產(chǎn)生鍍鎳脫落，該鍍鎳脫落由起因于離心力膨脹量之差或熱膨脹量之差的接觸面彼此的摩擦所致。
[0110](3)形成于轉(zhuǎn)子12的凹部13與平衡板16的任一個(gè)接觸面均實(shí)施鍍鎳。相對(duì)于轉(zhuǎn)子組裝體10的緊固力而言接觸面163與接觸面133的面積并不大，不會(huì)產(chǎn)生因該接觸區(qū)域中的摩擦導(dǎo)致的鍍鎳脫落。無需進(jìn)行以不實(shí)施鍍鎳為目的的遮蔽，因此，可以降低遮蔽所對(duì)應(yīng)的成本。
[0111]另外，在專利文獻(xiàn)1中，對(duì)位于比真空排氣上游側(cè)第一段轉(zhuǎn)子葉片20即轉(zhuǎn)子葉片203的真空排氣下游側(cè)的端部2203更靠真空排氣下游側(cè)的零件(例如固定筒8)也被無電鍍鎳覆蓋。另一方面，在本發(fā)明中，只對(duì)本說明書所示的氣體接觸部實(shí)施鍍鎳以防止金屬粒子向真空室倒流。由此，與專利文獻(xiàn)1公開的發(fā)明相比，本發(fā)明可以減少實(shí)施鍍鎳的零件數(shù)量。
[0112]此外，在專利文獻(xiàn)1中，對(duì)被覆蓋的零件進(jìn)行了記載，但并未積極地對(duì)未覆蓋的部位進(jìn)行記載。另一方面，在本發(fā)明中，如上所述還明確示出了考慮到鍍鎳脫落而不實(shí)施鍍鎳的部位。由此，與專利文獻(xiàn)1公開的發(fā)明相比，本發(fā)明不易產(chǎn)生鍍鎳脫落。
[0113]以下對(duì)所述實(shí)施方式的變形例進(jìn)行敘述。對(duì)與實(shí)施方式相同的部位省略說明。通過對(duì)以下所示的氣體接觸部實(shí)施鍍鎳，可以抑制可能會(huì)導(dǎo)致金屬污染的含有鐵或鉻的金屬粒子的產(chǎn)生。
[0114]-變形例1八-
[0115]變形例1八、及下述變形例18、變形例10是轉(zhuǎn)子組裝體10的變形例。
[0116]圖6所示的變形例1八的轉(zhuǎn)子組裝體10八使用附配重方式的平衡板70，以代替切削方式的平衡板16。也就是說，在平衡板70中，在其周向上形成著多個(gè)螺孔(絲錐(仏?)部”03，通過使螺栓螺固在所述螺孔703而修正轉(zhuǎn)子組裝體10八的重心位置。
[0117]為了修正重心的位置，在圖示左方的螺孔703中螺固著附配重螺栓71。關(guān)于對(duì)附配重螺栓71實(shí)施鍍鎳的方法，因?yàn)榕c圖4所示的螺栓2同樣地僅除底座面以外的頭部成為氣體接觸部，所以對(duì)除底座面以外的頭部實(shí)施鍍鎳。因?yàn)槁莨讨脚渲芈菟?1的螺孔并非氣體接觸部，所以無須實(shí)施鍍鎳。但是，因?yàn)槭窃谡{(diào)整轉(zhuǎn)子組裝體10八的重心位置之前，也就是說在判明附配重螺栓71螺固在哪個(gè)螺孔703而變?yōu)榉菤怏w接觸部之前，實(shí)施平衡板70的鍍鎳，所以必須對(duì)所有螺孔703實(shí)施鍍鎳。由此，對(duì)螺固著附配重螺栓71的螺孔703(圖示左方〉、以及未螺固附配重螺栓71的螺孔7(^(圖示右方)均實(shí)施鍍鎳。
[0118]-變形例18-
[0119]在圖7所示的變形例18的轉(zhuǎn)子組裝體108中，成為省略了實(shí)施方式所示的平衡板16的構(gòu)成。因此，螺栓2與轉(zhuǎn)子12的凹部13接觸。變形例18的螺栓2也與圖4所示的螺栓2同樣地，因?yàn)轭^部23中的除底座面26以外的區(qū)域成為氣體接觸部，所以，對(duì)頭部23中的除底座面26以外的區(qū)域?qū)嵤╁冩?。?duì)凹部13的與底座面26接觸的區(qū)域以外的區(qū)域?qū)嵤╁冩嚒?br> [0120]-變形例10
[0121]在圖8所示的變形例X的轉(zhuǎn)子組裝體10(:中，設(shè)置轉(zhuǎn)子82以代替轉(zhuǎn)子12，設(shè)置軸84以代替軸14。此外，未設(shè)置平衡板16。轉(zhuǎn)子組裝體10(:的緊固方法與轉(zhuǎn)子組裝體10、轉(zhuǎn)子組裝體10八、轉(zhuǎn)子組裝體108的緊固方法大不相同。在軸84形成著凸緣8如。在凸緣8?中形成著貫通孔84匕轉(zhuǎn)子82中在凹部83的背面形成著螺孔82^螺栓2通過貫通孔8仙，且利用軸部2。的螺紋部2(1與螺孔823螺合。由此，將轉(zhuǎn)子82與軸84緊固。
[0122]轉(zhuǎn)子組裝體10(:的緊固部在渦輪分子泵100內(nèi)位于比轉(zhuǎn)子82的真空上游側(cè)第一段轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣下游側(cè)。因此，變形例冗的螺栓2及其周邊不會(huì)成為氣體接觸部，所以，可以不進(jìn)行鍍鎳。而且，因?yàn)楸绒D(zhuǎn)子82的真空上游側(cè)第一段轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)無緊固部，也就是說只有轉(zhuǎn)子82的表面位于該真空排氣上游側(cè)，所以也可以不對(duì)轉(zhuǎn)子組裝體10(:的每個(gè)零件實(shí)施鍍敷，而以轉(zhuǎn)子組裝體10(:的狀態(tài)實(shí)施鍍鎳。在對(duì)每個(gè)零件實(shí)施鍍鎳的情況下，只有轉(zhuǎn)子組裝體10(:的轉(zhuǎn)子82具有氣體接觸部，所以，只要只對(duì)轉(zhuǎn)子82的氣體接觸部實(shí)施鍍鎳即可。
[0123]-變形例2八-
[0124]變形例2八、及下述變形例28是關(guān)于固定保護(hù)網(wǎng)的變形例。
[0125]圖9所示的變形例2八中的保護(hù)網(wǎng)34八安裝于設(shè)置在外殼52的進(jìn)氣口 30八的安裝部32八。此外，環(huán)形彈簧90通過安裝于設(shè)置在進(jìn)氣口 30八的安裝部91而固定保護(hù)網(wǎng)34八。與圖2的保護(hù)網(wǎng)34不同的是，保護(hù)網(wǎng)34八中無用來供螺栓通過的安裝用貫通孔。此外，如圖2所示，在實(shí)施方式的進(jìn)氣口 30設(shè)置著用來與螺栓35螺合的螺孔301但在進(jìn)氣口 30八未設(shè)置螺孔。
[0126]保護(hù)網(wǎng)34八與實(shí)施方式的保護(hù)網(wǎng)34同樣地，由不銹鋼材料或鋁合金制作。因?yàn)楸Ｗo(hù)網(wǎng)34八的所有表面也均可能成為氣體接觸部，所以對(duì)所有表面實(shí)施鍍鎳。此外，環(huán)形彈簧90由彈簧鋼鋼材(別？材料)制作，環(huán)形彈簧90的所有表面也均可能成為氣體接觸部，所以，對(duì)所有表面實(shí)施鍍鎳。而且，因?yàn)檫M(jìn)氣口 30八也成為氣體接觸部，所以也對(duì)進(jìn)氣口 30八實(shí)施鍍鎳。由此，對(duì)設(shè)置在進(jìn)氣口 30八的安裝部32八及安裝部91也實(shí)施鍍鎳。
[0127]-變形例28-
[0128]在圖10所示的變形例28的保護(hù)網(wǎng)348中一體地形成著用來固定保護(hù)網(wǎng)348本身的突起？348。此外，在進(jìn)氣口 308設(shè)置著用來安裝保護(hù)網(wǎng)348的安裝部328。而且，在進(jìn)氣口 308設(shè)置著用來與突起？348嵌合的孔!1308。由此，在將保護(hù)網(wǎng)348安裝在安裝部328的同時(shí)，將突起？348嵌合在孔??！308中，從而保護(hù)網(wǎng)348被固定在安裝部328。
[0129]突起？348必須具有能夠固定保護(hù)網(wǎng)348的彈性，因此，保護(hù)網(wǎng)348由不銹鋼材料制作。保護(hù)網(wǎng)348的包含突起？348在內(nèi)的所有表面也均可能成為氣體接觸部，所以對(duì)所有表面實(shí)施鍍鎳。此外，孔11308的所有表面也均可能成為氣體接觸部，所以，也對(duì)孔!1308的所有表面實(shí)施鍍鎳。而且，進(jìn)氣口 308也成為氣體接觸部，所以也對(duì)進(jìn)氣口 308實(shí)施鍍鎳。由此，也對(duì)設(shè)置在進(jìn)氣口 308的安裝部328實(shí)施鍍鎳。
[0130]-變形例3-
[0131]變形例3是關(guān)于外殼及間隔物的變形例。在上述實(shí)施方式中，如圖2所示，真空排氣上游側(cè)第一段轉(zhuǎn)子葉片20即轉(zhuǎn)子葉片203與間隔物503對(duì)向。另一方面，圖11所示的變形例3的外殼52八的內(nèi)周面與轉(zhuǎn)子葉片203對(duì)向。在如變形例3那樣的情況下，可以不對(duì)位于真空排氣系統(tǒng)的最上游的間隔物513實(shí)施鍍鎳。但是，因?yàn)樵谕鈿?2八的內(nèi)周面與轉(zhuǎn)子葉片203對(duì)向的內(nèi)周面352八成為氣體接觸部，所以對(duì)內(nèi)周面352八實(shí)施鍍鎳。
[0132]-變形例4-
[0133]變形例4是關(guān)于凸緣的變形例。在所述實(shí)施方式中，例如，在圖5的凸緣36中形成著0形環(huán)槽37。也就是說，在以了凸緣等為代表的凸緣中形成著這種0形環(huán)槽。另一方面，變形例4中的凸緣36八是以130-1^？凸緣等為代表的凸緣，未形成0形環(huán)槽。如圖12所示，使用螺栓95及螺母(皿0 96將凸緣36八通過中心環(huán)60緊固在真空室等的排氣口凸緣200。
[0134]如果以上述方式緊固凸緣36八，則凸緣36八通過凸緣36八的接觸部136八與中心環(huán)60接觸。在凸緣36八中，比接觸部136八更靠?jī)?nèi)周側(cè)的凸緣面336八成為氣體接觸部，因此對(duì)凸緣面336八實(shí)施鍍鎳。
[0135]另外，在變形例4中，利用螺栓及螺母緊固凸緣，但在適當(dāng)變更了凸緣的形狀之后，可以利用單爪鉗(8111816。1柳。1卿〉緊固，也可以利用雙爪鉗((1011)316柳。1卿〉緊固，以代替螺栓及螺母。
[0136]在以上實(shí)施方式中，對(duì)氣體接觸部實(shí)施鍍鎳，但除鍍鎳以外，也可以實(shí)施如下耐蝕性處理。例如，如果是由不銹鋼材料制作而成的零件，則可以實(shí)施鋁合金蒸鍍或環(huán)氧樹脂涂裝等。此外，也可以使氟樹脂包含在無電鍍鎳液中進(jìn)行鍍鎳。
[0137]另外，在專利文獻(xiàn)2中，使用的是鍍黑鎳或鍍黑鉻，但在本發(fā)明中，因如下原因而不使用鍍黑鎳或鍍黑鉻。原因在于，在實(shí)施鍍黑鎳或鍍黑鉻的過程中包含蝕刻(6化卜丨叩)過程，因所述蝕刻過程會(huì)在鍍敷表面形成非常細(xì)微的凹凸。所述非常細(xì)微的凹凸會(huì)成為金屬粒子而從鍍敷表面排出，成為真空室的污染源。
[0138]以上說明僅為一例，發(fā)明并不受所述實(shí)施方式任何限定。
[0139]以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種渦輪分子泵，其特征在于，包括: 外殼，具有進(jìn)氣口及凸緣； 轉(zhuǎn)子組裝體，收容在所述外殼內(nèi)，具有軸及轉(zhuǎn)子，所述轉(zhuǎn)子由多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片形成，所述多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片利用緊固用螺栓與所述軸形成為一體； 定子葉片，收容在所述外殼內(nèi)，與所述轉(zhuǎn)子葉片對(duì)向地配設(shè)；以及間隔物，沿著所述外殼內(nèi)的周面積層，且固定所述定子葉片；并且所述渦輪分子泵在零件的氣體接觸部實(shí)施有耐蝕性處理，所述零件設(shè)置在比真空排氣上游側(cè)第一段的所述轉(zhuǎn)子葉片的真空排氣下游側(cè)端部更靠真空排氣上游側(cè)，并且由包含鐵、鉻的合金制作而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于: 所述零件包括平衡板，所述平衡板被所述緊固用螺栓固定在所述轉(zhuǎn)子，并且 在所述緊固用螺栓與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子泵，其特征在于: 所述零件包括平衡板，所述平衡板被所述緊固用螺栓固定在所述轉(zhuǎn)子，并且 在所述轉(zhuǎn)子與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的渦輪分子泵，其特征在于: 在所述轉(zhuǎn)子與所述平衡板的接觸面未實(shí)施有所述耐蝕性處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于: 所述平衡板具有切削部，所述切削部被切削以進(jìn)行平衡修正，并且 在所述切削部實(shí)施有所述耐蝕性處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于: 在所述平衡板中設(shè)置有多個(gè)螺孔，在任一個(gè)螺孔中螺合有用于修正平衡的附加螺栓，并且 所述零件包括所述附加螺栓， 所述多個(gè)螺孔中的未螺合于所述附加螺栓的螺孔為氣體接觸部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括: 保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及 安裝用螺栓，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且 所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)及所述安裝用螺栓， 所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括: 保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及 安裝用螺栓，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且 所述零件包含所述安裝用螺栓， 所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括: 保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及 環(huán)形彈簧，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且 所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)及所述環(huán)形彈簧， 所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括: 保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面；以及 環(huán)形彈簧，用來固定所述保護(hù)網(wǎng)；并且 所述零件包括所述環(huán)形彈簧， 所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于，還包括: 保護(hù)網(wǎng)，安裝在保護(hù)網(wǎng)安裝部，所述保護(hù)網(wǎng)安裝部設(shè)置在所述外殼的所述進(jìn)氣口的內(nèi)表面，并且 所述保護(hù)網(wǎng)被與所述保護(hù)網(wǎng)形成為一體的突起固定， 所述零件包括所述保護(hù)網(wǎng)， 所述保護(hù)網(wǎng)安裝部為氣體接觸部。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于: 所述凸緣在所述進(jìn)氣口的周緣具有O形環(huán)槽，并且 所述O形環(huán)槽及所述凸緣的比所述O形環(huán)槽更靠?jī)?nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有所述耐蝕性處理。
13.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的渦輪分子泵，其特征在于: 所述凸緣通過中心環(huán)固定在真空室，并且 所述凸緣的比與所述中心環(huán)的接觸部更靠?jī)?nèi)周側(cè)的部位被實(shí)施有所述耐蝕性處理。
【文檔編號(hào)】F04D29/00GK104421171SQ201410334765
【公開日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】筒井慎吾 申請(qǐng)人:株式會(huì)社島津制作所