技術編號：5473802
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種渦輪分子泵，所述渦輪分子泵防止含有鐵、鉻的零件因處理氣體而腐蝕，且不使含有鐵、鉻的金屬粒子倒流到真空室。本發(fā)明對氣體接觸部實施鍍鎳，所述氣體接觸部即比從真空排氣上游側數(shù)起第一段的轉子葉片的真空排氣下游側端部更靠真空排氣上游側的處理氣體所接觸的區(qū)域。專利說明 渦輪分子泵 [0001]本發(fā)明涉及一種潤輪分子泵(Turbo Molecular Pump)。 背景技術 [0002]在半導體制造過程中的干式蝕刻(dry etching)或化...
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