專利名稱：風(fēng)扇濾網(wǎng)單元和無塵室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種無塵室的設(shè)備，且特別是涉及一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元(fan filter unit, FFU)的結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
無塵室是指一個具有低污染水平的環(huán)境，也就是將一個空間范圍內(nèi)空氣 中的微塵粒子、化學(xué)揮發(fā)性氣體、^:生物等污染物排除，并將室內(nèi)的溫度、 濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度、氣流分布等條件控制在一定范圍的密 閉空間。通常，無塵室為半導(dǎo)體廠中主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)的區(qū)域，所有半導(dǎo)體元件 的加工均在此進(jìn)行。由于空氣中的浮游粒子、粉塵等污染會對元件的品質(zhì)、 可靠度及成品率高低有著極大的影響，因此為了要達(dá)到要求的基準(zhǔn)，必須依 賴許多系統(tǒng)設(shè)備相互配合，才能維持無塵室的運(yùn)作。
目前，風(fēng)扇濾網(wǎng)單元已大量使用于各類無塵室中，作為無塵室二次循環(huán) 及過濾系統(tǒng)的主要設(shè)備，同時也是整個無塵室氣流處理的終端設(shè)備。 一般而 言，風(fēng)扇濾網(wǎng)單元是配置于無塵室的天花板上，可以持續(xù)提供無塵室內(nèi)下吹 氣流，以達(dá)到過濾回風(fēng)的功效。
針對不同制造工藝及潔凈等級需求，.無塵室至少可分為層流式(laminar flow)無塵室以及湍流式(turbulent flow)無塵室等。層流式無塵室是在天花板 上全面性配置風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，通過全面壓送將粒子帶走，以達(dá)到潔凈的功效。 但是，在無塵室中全面性配置風(fēng)扇濾網(wǎng)單元往往所費(fèi)不貲，導(dǎo)致設(shè)備成本及 能源需求量的增加。而湍流式無塵室則是在天花板上固定間隔處配置風(fēng)扇濾 網(wǎng)單元，使各個風(fēng)扇濾網(wǎng)單元分散于無塵室中，并通過擴(kuò)散稀釋的方式來達(dá) 到潔凈的效果。雖然湍流式無塵室能夠明顯地減少風(fēng)扇濾網(wǎng)單元的需求量， 然而，風(fēng)扇濾網(wǎng)單元涵蓋面積小且循環(huán)風(fēng)量低，會使得氣流只有垂直方向， 容易造成短循環(huán)并在部分區(qū)域發(fā)生塵粒滯留的現(xiàn)象。
在一般半導(dǎo)體廠中，若無塵室的潔凈度或溫度等條件不達(dá)標(biāo)準(zhǔn)，會嚴(yán)重 影響制造工藝設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)及元件成品率。然而，無塵室的設(shè)置與維持所需的花
費(fèi)卻是很高的。因此，無塵室中設(shè)備的布局設(shè)計及氣流的控制等都具有其重 要性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，能夠產(chǎn)生噴射氣流及擴(kuò)散效應(yīng)，并增加 循環(huán)風(fēng)量。
本發(fā)明提供一種無塵室，可以減少滯留區(qū)域，增加整體的潔凈等級，并 減少能源的浪費(fèi)。
本發(fā)明提出一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其包括機(jī)殼、風(fēng)扇以及誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散 板。機(jī)殼包括進(jìn)風(fēng)口與出風(fēng)口。風(fēng)扇配置于機(jī)殼內(nèi)部，且配置于進(jìn)風(fēng)口與出 風(fēng)口之間。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板配置于機(jī)殼的下方。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板包括面 板與框架。面板配置于出風(fēng)口的下方，且面板具有多個呈輻射狀擴(kuò)散排列的 葉片。而框架配置于機(jī)殼與面板之間。框架環(huán)繞于面板四周，且連接于面板。 框架中具有多個噴射誘導(dǎo)孔。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，風(fēng)扇濾網(wǎng)單元還包括濾網(wǎng)，配置于機(jī)殼內(nèi)部。濾 網(wǎng)例如配置于風(fēng)扇與誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板之間。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的框架與機(jī)殼的底部之間的夾角例如是介于
10°至75°之間。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述框架與機(jī)殼的底部之間的夾角例如是60。。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的葉片例如是斜向配置。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的葉片的內(nèi)緣例如高于葉片的外緣。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板例
如可以產(chǎn)生噴射氣流。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板例
如可以產(chǎn)生擴(kuò)f夂效應(yīng)。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板例
如可以i秀導(dǎo)二次氣流。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的面板與框架例如是一體成型。 一種無塵室，包括風(fēng)扇濾網(wǎng)單元以及誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板。風(fēng)扇濾網(wǎng)單元
以一種排列方法配置于天花板上。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板配置于風(fēng)扇濾網(wǎng)單元下
方的天花板。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板包括框架與面板?？蚣芄潭ㄓ谔旎ò逯路?，
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且框架具有多個噴射誘導(dǎo)孔，可以使通過噴射誘導(dǎo)孔的氣流產(chǎn)生噴射氣流及 擴(kuò)散效應(yīng)。而面板則連接于框架。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，無塵室還包括高架地板，可使風(fēng)扇濾網(wǎng)單元產(chǎn)生 的氣流通過。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的面板與框架例如是一體成型。 在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的面板例如是具有斜向配置的葉片，且葉片. 例如呈輻射狀擴(kuò)散排列。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的框架與天花板之間的連接角度例如是介于10°至75°之間。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上述的排列方法例如是使相鄰兩風(fēng)扇濾網(wǎng)單元之 間具有一間隔排列。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，上迷的排列方法例如是格狀排列。本發(fā)明的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元包括誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板，由于誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板 的框架中具有噴射誘導(dǎo)孔且相鄰兩葉片之間亦具有間隙，因此當(dāng)風(fēng)扇產(chǎn)生的 氣流穿過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板時，可以產(chǎn)生噴射氣流。也就是說，誘導(dǎo)式氣流 擴(kuò)散板可以讓原本是垂直方向的氣流，通過氣流出口方向及面積的改變，使 得橫向出口噴流風(fēng)速獲得提高，使得循環(huán)風(fēng)量能夠有效地增加。
另 一方面，本發(fā)明的無塵室通過在風(fēng)扇濾網(wǎng)單元下方的天花板配置誘導(dǎo) 式氣流擴(kuò)散板，能夠使風(fēng)扇濾網(wǎng)單元產(chǎn)生的垂直氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散 板，而擴(kuò)大氣流涵蓋的面積，減少無塵室中的滯留區(qū)域。此外，本發(fā)明的無 塵室能夠提供類層流的流場，更有效地進(jìn)行污染粒子的移除，取代現(xiàn)有的湍 流式無塵室，而可以全面提高潔凈度，降低無塵室中潔凈等級不均的問題。
再者，與現(xiàn)有的層流式無塵室相比，本發(fā)明的無塵室通過配置較少的風(fēng) 扇濾網(wǎng)單元，即可產(chǎn)生較多的循環(huán)風(fēng)量。因此，本發(fā)明可以有效地降低無塵 室的建置成本與能源消耗量。
為讓本發(fā)明的上述特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并 結(jié)合附圖，作詳細(xì)說明如下。


圖1是依照本發(fā)明實(shí)施例的一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元的剖面示意圖。
圖2是依照本發(fā)明實(shí)施例的一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元的底視示意圖。
圖3是依照本發(fā)明另一實(shí)施例的一種無塵室的剖面示意圖。
圖4是依照本發(fā)明另 一實(shí)施例的一種誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板的側(cè)視示意圖。
附圖標(biāo)記說明100、 302:風(fēng)扇濾網(wǎng)單元102:機(jī)殼
102a:進(jìn)風(fēng)口102b:出風(fēng)口104風(fēng)扇
106濾網(wǎng)
108、 304:誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)f波豐反110、 304a:框架110a:連4妄軸112、 304b:面4反114噴射誘導(dǎo)孔
116葉片
300無塵室
306高架地板
308天花板
310空調(diào)裝置
〇夾角
4):連接角度
具體實(shí)施例方式
圖1是依照本發(fā)明實(shí)施例的一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元的剖面示意圖。圖2是依 照本發(fā)明實(shí)施例的 一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元的底視示意圖。
請參照圖1,風(fēng)扇濾網(wǎng)單元100包括機(jī)殼102、風(fēng)扇104、濾網(wǎng)106及誘 導(dǎo)式氣流擴(kuò)-散板108。機(jī)殼102例如是矩形構(gòu)成的中空立方體，且機(jī)殼102 的頂部與底部之間為貫通。機(jī)殼102具有進(jìn)風(fēng)口 102a與出風(fēng)口 102b,進(jìn)風(fēng) 口 102a與出風(fēng)口 102b例如是同軸配置。進(jìn)風(fēng)口 102a例如配置于機(jī)殼102 的頂部。出風(fēng)口 102b例如配置于4幾殼102的底部。
風(fēng)扇104配置于機(jī)殼102內(nèi)部，且位于進(jìn)風(fēng)口 102a與出風(fēng)口 102b之間。 風(fēng)扇104的軸心例如連接至馬達(dá)(未繪示)，以使風(fēng)扇104轉(zhuǎn)動產(chǎn)生氣流。風(fēng) 扇104例如與進(jìn)風(fēng)口 102a相連接，可以將空氣自進(jìn)風(fēng)口 102a吸入，再由出 風(fēng)口 102b排出。
濾網(wǎng)106例如配置于機(jī)殼102的內(nèi)部，且位于風(fēng)扇104與出風(fēng)口 102b 之間。濾網(wǎng)106用來將流經(jīng)機(jī)殼102的空氣在從出風(fēng)口 102b排出前，使其 中的污染物質(zhì)能夠被濾除。濾網(wǎng)106例如是高效率粒子空氣濾器(high c伍ciency particulate air filter, HEPA)或是超低穿透度空氣濾器(ultra low penetration air filter, ULPA)。
誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108配置于機(jī)殼102的下方，且誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108 的尺寸例如與機(jī)殼102的尺寸相等。也就是說，誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108位于 出風(fēng)口 102b的下方，使得風(fēng)扇104產(chǎn)生的氣流自出風(fēng)口 102b排出后會通過 誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108,而造成氣流能夠改變其方向。
請同時參照圖1與圖2,誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108包括面板112以及框架 110。面板112例如配置于出風(fēng)口 102b的下方。如圖2所示，在本實(shí)施例中， 面板112例如是矩形板體。面板112具有多個葉片116，且葉片116呈輻射 狀擴(kuò)^:排列。葉片116例如是斜向配置，使得同一葉片116的內(nèi)緣例如高于 其外緣。因此，在相鄰兩葉片116之間會具有間隙，可以使風(fēng)扇104產(chǎn)生的 氣流通過面才反112。
另一方面，請繼續(xù)參照圖1與圖2,框架IIO配置于機(jī)殼102與面板112 之間?？蚣?10與機(jī)殼102的底部之間例如具有夾角6 ，其例如介于10。至 75°之間。在本實(shí)施例中，框架IIO與機(jī)殼102底部之間的夾角6是60° 。 框架110環(huán)繞于面板112的周圍，并連接于面板112。框架110包括連接軸 110a，且框架110例如通過多個連沖妄軸110a連接至面纟反112的邊框。也就 是說，在框架110中，僅有連接軸110a與面板112接觸。此外，框架110 與面板112例如是以一體成型的形式相連接。
承上述，相鄰連接軸110a之間例如是間隔特定距離而配置，使得相鄰 兩連接軸110a之間具有孔洞，而構(gòu)成噴射誘導(dǎo)孔114。因此，框架110中具 有多個噴射誘導(dǎo)孔114,可以使風(fēng)扇104產(chǎn)生的氣流通過。噴射誘導(dǎo)孔114 例如是長形噴射誘導(dǎo)孔。在本實(shí)施例中，是以于框架110中配置長形噴射誘 導(dǎo)孔為例來進(jìn)行說明噴射誘導(dǎo)孔114的配置情形，但并不用以限制本發(fā)明。
當(dāng)然，噴射誘導(dǎo)孔114的配置可以為任何形式，本扭.術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員
可視其需求進(jìn)行調(diào)整。
特別說明的是，當(dāng)風(fēng)扇104經(jīng)由馬達(dá)牽引而轉(zhuǎn)動時，會將空氣自進(jìn)風(fēng)口 102a吸入而產(chǎn)生氣流，通過濾網(wǎng)106將空氣中的雜質(zhì)過濾出來后，再經(jīng)由出 風(fēng)口 102b^吏氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108，排出風(fēng)扇濾網(wǎng)單元IOO。由于 框架110中具有噴射誘導(dǎo)孔il4且框架110與機(jī)殼102的底部之間具有夾角 0,當(dāng)氣流通過框架110中的噴射誘導(dǎo)孔114時，可以改變氣流的方向并提 高氣流的橫向噴流風(fēng)速。也就是說，通過改變氣流出口的方向及面積，能夠 產(chǎn)生噴射氣流,且可以更進(jìn)一步誘導(dǎo)二次氣流的發(fā)生。同時，當(dāng)風(fēng)扇104產(chǎn) 生的氣流通過面板112中相鄰兩P"t片'116之間'的間隙時，通過斜向配置的葉 片116能夠使通過的氣流發(fā)生擴(kuò)散效應(yīng)。因此，誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板108可以 有效地分散氣流的垂直風(fēng)速，而使氣流擴(kuò)散涵蓋的面積得以提高。'
圖3是依照本發(fā)明另一實(shí)施例的一種無塵室的剖面示意圖。圖4是依照 本發(fā)明另 一實(shí)施例的--種誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板的側(cè)視示意圖。
請參照圖3,無塵室300中包括天花板308、高架地板306、風(fēng)扇濾網(wǎng)單 元302以及誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板304。無塵室300的屋頂下方例如配置有輕鋼 架(未繪示)以構(gòu)成天花板308的骨材。而高架地板306例如配置于距離無塵 室300地面適當(dāng)高度的位置。高架地才反306例如具有通氣孔(未繪示)，可以 使氣流穿過。此外，在高架地板306的下方例如配置有空調(diào)裝置310。通過 空調(diào)裝置310抽吸，可以4吏氣流在無塵室300中持續(xù)地循環(huán)。
風(fēng)扇濾、網(wǎng)單元302則配置于無塵室300的天花^反308上。相鄰兩風(fēng)扇濾 網(wǎng)單元302之間例如具有間隔，而不是在天花板308上全面性地鋪設(shè)風(fēng)扇濾 網(wǎng)單元302。在本實(shí)施例中，風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302例如是以格狀排列的方式配 置于無塵室300的天花^反308上。圖3僅以兩組風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302為例進(jìn)行 說明，然而，本領(lǐng)碌的普通技術(shù)人員，可視其需求對風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302的配 置方式進(jìn)行調(diào)整。 ，
請同時參照圖3與圖4,誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板304則配置于風(fēng)扇濾網(wǎng)單元 3.02下方的天花板308下方。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板304例如包括框架304a與面 板304b,框架304a環(huán)繞于面板304b周圍并連接于面板304b?？蚣?04a例 如具有多個連接軸(未繪示)以連接框架304a與面板304b之間。而相鄰兩連 接軸之間例如具有間隔以形成中空的孔洞，而在框架304a中構(gòu)成噴射誘導(dǎo)
孔312?？蚣?04a與面板304b例如是一體成型。
承上述，框架304a例如與天花板308相連接。也就是說，誘導(dǎo)式氣流 擴(kuò)散板304例如是通過框架304a將誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板304固定于無塵室300 的天花板308下方。如圖4的M局部放大圖所示，框架304a與天花板308 之間的連接角度屮例如是介于10°至75°之間。在本實(shí)施例中，框架304a 與天花板308之間的連接角度cj)為60° 。
請繼續(xù)參照圖4的M局部放大圖，框架304a中具有多個噴射誘導(dǎo)孔312, 可以使氣流通過。由于噴射誘導(dǎo)孔312具有不同開口方向，可以改變通過噴 射誘導(dǎo)孔312的氣流方向及提高氣流的橫向噴流風(fēng)速。此外，面板304b例 如是具有斜向配置的葉片(未繪示)，且葉片例如呈輻射狀擴(kuò)散排列，使得相 鄰兩葉片之間的間隙也可以讓氣流通過，而使通過的氣流發(fā)生擴(kuò)散效應(yīng)。
如圖3所示，在正常運(yùn)作的無塵室300中，由風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302所排放 出的潔凈氣流會通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板304。通過框架304a中的噴射誘導(dǎo)孔 312,能夠使風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302產(chǎn)生的垂直氣流通過氣流出口方向及面積的 改變，提高氣流的橫向噴流風(fēng)速。此外，氣流通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)^:板304能 夠擴(kuò)大氣流所涵蓋的面積，并能夠-漆導(dǎo)二次氣流，以減少無塵室300中的滯 留區(qū)域。
之后，在風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302纟是供的氣流的下游處，也就是無塵室300的 高架地板306,利用高架地板306的通氣孔可以使得氣流下吹至回風(fēng)區(qū)，而 在無塵室300中形成一股不斷下吹的氣流。氣流依箭頭方向向下穿過高架地 板306后，通過空調(diào)裝置310抽吸，使氣流能夠再沿著箭頭方向向上回流至 無塵室300的天花板上方。接著，凈皮風(fēng)扇濾網(wǎng)單元302吸入并將雜質(zhì)過濾之 后，又再度排放至無塵室300之內(nèi)。如此，無塵室300內(nèi)的空氣會經(jīng)過反復(fù) 地循環(huán)以及過濾清凈，使得無塵室300內(nèi)空氣中挾帶的污染物質(zhì)與雜質(zhì)會越 來越少，而達(dá)到某個限定數(shù)值之下。
綜上所述，本發(fā)明的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元因包括誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板，通過框架 中的噴射誘導(dǎo)孔以及斜向配置的葉片之間的間隙，能夠使風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通 過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板后改變氣流方向及速度。當(dāng)氣流通過框架中的噴射誘導(dǎo) 孔時，可以提高氣流的橫向噴流風(fēng)速，也就是會有噴射氣流的產(chǎn)生，并進(jìn)一 步誘導(dǎo)二次氣流。此外，斜向配置的葉片之間的間隙能夠使通過的氣流發(fā)生 擴(kuò)散效應(yīng)。因此，誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板可以有效地分散氣流的垂直風(fēng)速，產(chǎn)生
較多的循環(huán)風(fēng)量，而使氣流擴(kuò)散涵蓋的面積得以提高。
再者，本發(fā)明的無塵室在天花板下方配置誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板，使風(fēng)扇濾 網(wǎng)單元流出的垂直氣流能夠通過誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板將氣流涵蓋面積擴(kuò)大，減 少無塵室中的滯留區(qū)域，提高全面的潔凈度。此外，本發(fā)明的無塵室提供具 有較佳有效潔凈面積的類層流的流場，亦即可以以更有效的氣流狀態(tài)來稀釋 并移除雜質(zhì)、塵粒，可明顯減少氣流短循環(huán)的發(fā)生，降低能源消耗量，并改 善無塵室潔凈等級不均勻的問題。
另一方面，本發(fā)明的無塵室利用較少的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，即可產(chǎn)生較多的 循環(huán)風(fēng)量，因此可以有效地改善無塵室的耗能問題。此外，由于無塵室的循 環(huán)風(fēng)量及氣流涵蓋面積的增加，可以使無塵室內(nèi)的溫度控制與潔凈度更均 勻，進(jìn)而能夠提高機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)的品質(zhì)以及產(chǎn)品的成品率。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，任 何所屬技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可 作些許的更動與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以所附權(quán)利要求所界定者為 準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，包括機(jī)殼，該機(jī)殼包括進(jìn)風(fēng)口與出風(fēng)口；風(fēng)扇，配置于該機(jī)殼內(nèi)部，且配置于該進(jìn)風(fēng)口與該出風(fēng)口之間；以及誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板，配置于該機(jī)殼的下方，包括面板，配置于該出風(fēng)口的下方，該面板具有多個葉片，所述葉片呈輻射狀擴(kuò)散排列；以及框架，配置于該機(jī)殼與該面板之間，該框架環(huán)繞該面板四周且連接該面板，該框架中具有多個噴射誘導(dǎo)孔。
2. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，還包括濾網(wǎng)，配置于該機(jī)殼內(nèi)部， 且配置于該風(fēng)扇與該誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板之間。
3. 如權(quán)利要求2所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該框架與該機(jī)殼的底部之間 的夾角介于10°至75°之間。
4. 如權(quán)利要求3所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該框架與該機(jī)殼的底部之間 的夾角為60° 。
5. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中所述葉片為斜向配置。
6. 如權(quán)利要求5所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中所述葉片的內(nèi)緣高于外緣。
7. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過該誘 導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板可以產(chǎn)生噴射氣流。
8. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過該誘 導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板可以產(chǎn)生擴(kuò)散效應(yīng)。
9. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該風(fēng)扇產(chǎn)生的氣流通過該誘 導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板可以誘導(dǎo)二次氣流。
10. 如權(quán)利要求1所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該面板與該框架為一體成型。
11. 一種無塵室，包括風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，以排列方法配置于天花板上；以及 誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板，配置于該風(fēng)扇濾網(wǎng)單元下方的該天花板，包括框架，該框架固定于該天花板下方，該框架具有多個噴射誘導(dǎo)孔， 可以使通過所述噴射誘導(dǎo)孔的氣流產(chǎn)生噴射氣流及擴(kuò)散效應(yīng)；以及 面板，連接于該框架。
12. 如權(quán)利要求11所述的無塵室，其中還包括高架地板，該高架地板可 使該風(fēng)扇濾網(wǎng)單元產(chǎn)生的氣流通過。
13. 如權(quán)利要求11所述的風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其中該面板與該框架為一體成型。
14. 如權(quán)利要求11所述的無塵室，其中該面板具有斜向配置的多個葉 片，所述葉片呈輻射狀擴(kuò)散排列。
15. 如權(quán)利要求11所述的無塵室，其中該框架與該天花板之間的連接角 度介于10°至75°之間。
16. 如權(quán)利要求15所述的無塵室，其中該框架與該天花板之間的連接角 度為60° 。
17. 如權(quán)利要求11所述的無塵室，其中該排列方法包括使相鄰兩該風(fēng)扇 濾網(wǎng)單元之間具有一間隔排列。
18. 如權(quán)利要求17所述的無塵室，其中該排列方法包括格狀排列。
全文摘要
一種風(fēng)扇濾網(wǎng)單元，其包括機(jī)殼、風(fēng)扇以及誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板。機(jī)殼包括進(jìn)風(fēng)口與出風(fēng)口。風(fēng)扇配置于機(jī)殼內(nèi)部，且配置于進(jìn)風(fēng)口與出風(fēng)口之間。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板配置于機(jī)殼的下方。誘導(dǎo)式氣流擴(kuò)散板包括面板與框架。面板配置于出風(fēng)口的下方，且面板具有多個呈輻射狀擴(kuò)散排列的葉片。而框架配置于機(jī)殼與面板之間?？蚣墉h(huán)繞于面板四周，且連接面板?？蚣苤芯哂卸鄠€噴射誘導(dǎo)孔。
文檔編號F04D29/70GK101368579SQ20071014115
公開日2009年2月18日 申請日期2007年8月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月13日
發(fā)明者何照銘, 黃朝陽 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司