電鍍裝置以及電鍍方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及用于對(duì)基板等被電鍍面進(jìn)行電鍍的電鍍裝置以及電鍍方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 以往，為了在設(shè)置于半導(dǎo)體晶片等基板的表面的微小的布線槽、孔、通孔、貫通孔 或者抗蝕開口部形成電鍍膜，或者在半導(dǎo)體晶片的表面形成與封裝體的電極等電連接的凸 塊（突起狀電極），使用電鍍裝置。
[0003] 電鍍裝置例如通過將直流電流施加于在電鍍液內(nèi)浸漬的陽極與基板，從而在基板 表面形成電鍍膜。在電鍍裝置中，使用將交流電流轉(zhuǎn)換為直流電流的整流器，通過該整流器 將直流電流施加于陽極與基板（例如參照專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 專利文獻(xiàn)1:日本特公昭46-12574號(hào)公報(bào)
[0005] 公知整流器具有固有的機(jī)械誤差。整流器例如在設(shè)定值為2. 5A時(shí)具有±1. 3%以 內(nèi)的輸出誤差。因此，在從電鍍裝置的控制部向整流器輸出設(shè)定值的指令從而整流器輸出 與設(shè)定值對(duì)應(yīng)的輸出值時(shí)，將具有±1.3%以內(nèi)的輸出誤差的值作為輸出值輸出。
[0006] 在電鍍裝置具有多個(gè)電鍍槽的情況下，整流器針對(duì)各個(gè)電鍍槽分別設(shè)置。在該情 況下，電鍍裝置的控制部例如向各個(gè)整流器輸出相同的設(shè)定值的指令。這里，在各個(gè)整流器 的相對(duì)于設(shè)定值2. 5A的輸出值具有±1. 3%以內(nèi)的輸出誤差的情況下，多個(gè)整流器間的輸 出值之差最大為設(shè)定值的2. 6%。
[0007] 近年來，尋求抑制電鍍膜厚在電鍍槽間的偏差，若在整流器間具有2. 6%的誤差， 則不滿足該要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008] 本發(fā)明是鑒于上述問題而產(chǎn)生的，其目的在于提供能夠?qū)⑴c所希望的電流進(jìn)一步 接近的電流施加于基板的電鍍裝置以及電鍍方法。
[0009] 根據(jù)本發(fā)明的第一方式，提供電鍍裝置。該電鍍裝置用于對(duì)基板進(jìn)行電鍍，具有： 整流器，其用于對(duì)上述基板施加直流電流；以及電鍍裝置控制部，其將直流電流的值指示給 上述整流器，上述電鍍裝置控制部具有：設(shè)定部，其用于設(shè)定電流值；存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ) 指示給上述整流器的指示電流值與上述整流器根據(jù)該指示電流值而輸出的實(shí)際電流值的 關(guān)系式；運(yùn)算部，其基于上述關(guān)系式對(duì)上述設(shè)定的電流值進(jìn)行修正從而計(jì)算出修正電流值； 以及指示部，其用于將上述修正電流值指示給上述整流器。
[0010] 根據(jù)本發(fā)明的第二方式，在第一方式的基礎(chǔ)上，電鍍裝置具有多個(gè)上述整流器，上 述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)與多個(gè)上述整流器分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)上述關(guān)系式，上述運(yùn)算部基于多個(gè)上述關(guān) 系式修正上述設(shè)定的電流值從而計(jì)算出多個(gè)上述修正電流值，上述指示部將多個(gè)上述修正 電流值指示給多個(gè)上述整流器彼此。
[0011] 根據(jù)本發(fā)明的第三方式，在第一方式或者第二方式的基礎(chǔ)上，上述電鍍裝置控制 部具有判定上述設(shè)定的電流值是否為規(guī)定值以下的判定部，上述運(yùn)算部構(gòu)成為：在上述判 定部判定為上述設(shè)定的電流值為規(guī)定值以下時(shí)，基于上述關(guān)系式修正上述設(shè)定的電流值從 而計(jì)算出上述修正電流值。
[0012] 根據(jù)本發(fā)明的第四方式，在第一方式至第三方式中的任一方式的基礎(chǔ)上，在將X 設(shè)為上述實(shí)際電流值并且將y設(shè)為上述指示電流值的情況下，上述關(guān)系式由y=ax+b(a、b 為常量）表示，上述運(yùn)算部以將上述設(shè)定的電流值代入上述關(guān)系式的X從而得到的值y為 上述修正電流值。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明的第五方式，在第一方式至第四方式中的任一方式的基礎(chǔ)上，通過測 定與上述整流器的多個(gè)指示電流值對(duì)應(yīng)的多個(gè)實(shí)際電流值從而預(yù)先獲得存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ) 部的上述關(guān)系式。
[0014] 根據(jù)本發(fā)明的第六方式，提供電鍍方法。該電鍍方法用于對(duì)基板進(jìn)行電鍍，具有： 設(shè)定電流值的設(shè)定工序；基于指示給整流器的指示電流值與上述整流器根據(jù)該指示電流值 輸出的實(shí)際電流值的關(guān)系式修正上述設(shè)定的電流值從而計(jì)算出修正電流值的計(jì)算工序；將 上述修正電流值指示給上述整流器的指示工序；以及基于上述指示對(duì)上述基板施加直流電 流的工序。
[0015] 根據(jù)本發(fā)明的第七方式，在第六方式的基礎(chǔ)上，上述計(jì)算工序包括基于與多個(gè)整 流器對(duì)應(yīng)的多個(gè)上述關(guān)系式修正上述設(shè)定的電流值從而計(jì)算出多個(gè)修正電流值的工序，上 述指示工序包括將上述計(jì)算出的多個(gè)修正電流值指示給多個(gè)上述整流器的每一個(gè)的工序。
[0016] 根據(jù)本發(fā)明的第八方式，在第六方式或者第七方式的基礎(chǔ)上，電鍍方法具有判定 上述設(shè)定的電流值是否為規(guī)定值以下的判定工序，在上述判定工序中判定為上述設(shè)定的電 流值為規(guī)定值以下時(shí)，上述計(jì)算工序基于上述關(guān)系式修正上述設(shè)定的電流值從而計(jì)算出上 述修正電流值。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明的第九方式，在第六方式至第八方式中的任一方式的基礎(chǔ)上，在將X 設(shè)為上述實(shí)際電流值并且將y設(shè)為上述指示電流值的情況下，上述關(guān)系式由y=ax+b(a、b 為常量）表示，上述計(jì)算工序以將上述設(shè)定的電流值代入上述關(guān)系式的X從而獲得的值y 為上述修正電流值。
[0018] 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠?qū)⑴c所希望的電流進(jìn)一步接近的電流施加于基板的電 鍍裝置以及電鍍方法。
【附圖說明】
[0019] 圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的電鍍裝置的簡要側(cè)剖視圖。
[0020] 圖2是表示整流器的指示電流值與測定值的關(guān)系的圖。
[0021] 圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式的電鍍方法的流程圖。
[0022] 圖4是多個(gè)整流器的相對(duì)于規(guī)定的設(shè)定電流值的輸出電流值的圖。
[0023] 圖5是多個(gè)整流器的相對(duì)于規(guī)定的設(shè)定電流值的輸出電流值的圖。
[0024] 圖6是多個(gè)整流器的相對(duì)于規(guī)定的設(shè)定電流值的輸出電流值的圖。
[0025] 圖7是多個(gè)整流器的相對(duì)于規(guī)定的設(shè)定電流值的輸出電流值的圖。
[0026] 圖8是多個(gè)整流器的相對(duì)于規(guī)定的設(shè)定電流值的輸出電流值的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027] 以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式的電鍍 裝置的簡要側(cè)剖視圖。如圖1所示，電鍍裝置10具有：電鍍槽12,其收容電鍍液Q ;陽極支 架14,其保持有陽極20 ;基板支架16,其保持有半導(dǎo)體晶片等的基板W;整流器18,其將直 流電流施加于陽極20以及基板W;以及電鍍裝置控制部30,其能夠控制整流器18以及電鍍 裝置10以外的其他要素。
[0028] 保持有陽極20的陽極支架14與保持有基板W的基板支架16浸漬于電鍍槽12內(nèi) 的電鍍液Q，陽極20與基板W的面以成為平行的方式對(duì)置地配置。陽極20與基板W以浸漬 于電鍍槽12的電鍍液Q的狀態(tài)，通過整流器18施加直流電流。由此，金屬離子在基板W的 被電鍍面W1還原，在被電鍍面W1形成膜。
[0029] 整流器18構(gòu)成為對(duì)在陽極支架14保持的陽極20施加正電壓，對(duì)在基板支架16保 持的基板W施加負(fù)電壓。由此，整流器18構(gòu)成為能夠經(jīng)由電鍍液Q對(duì)陽極20與基板W施 加直流電流。
[0030] 電鍍裝置控制部30與整流器18電連接。電鍍裝置控制部30構(gòu)成為能夠?qū)φ?器18指示規(guī)定的直流電流值（修正電流值）。電鍍裝置控制部30具有：設(shè)定部32,其用于 對(duì)電鍍裝置控制部30設(shè)定規(guī)定的電流值（設(shè)定電流值）；存儲(chǔ)部34,其存儲(chǔ)修正設(shè)定的電 流值（設(shè)定電流值）的公式（修正式）；運(yùn)算部38,其基于該修正式修正設(shè)定電流值從而計(jì) 算出電流值（修正電流值）；以及指示部36,其對(duì)整流器18指示計(jì)算出的修正電流值。
[0031] 設(shè)定部32例如構(gòu)成為將從外部接口等輸入裝置輸入的值（電流值）設(shè)定于電鍍 裝置控制部30。存儲(chǔ)部34例如由存儲(chǔ)器等存儲(chǔ)介質(zhì)構(gòu)成。存儲(chǔ)部34存儲(chǔ)表示指示給整流 器18的電流值（指示電流值）與整流器18根據(jù)該電流值輸出的電流值（實(shí)際電流值）的 關(guān)系的關(guān)系式（修正式）。該關(guān)系式的詳細(xì)內(nèi)容之后敘述。
[0032] 運(yùn)算部38基于存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部34的上述關(guān)系式修正由設(shè)定部32設(shè)定的電流值（設(shè) 定電流值），計(jì)算出修正電流值。整流器18根據(jù)從電鍍裝置控制部30(指示部36)指示的 修正電流值，將直流電流施加于陽極20以及基板W。
[0033] 雖然圖中進(jìn)行了省略，但是電鍍裝置10具有多個(gè)電鍍槽12以及與它們對(duì)應(yīng)的多 個(gè)整流器18。電鍍裝置控制部30的指示部36構(gòu)成為能夠?qū)Χ鄠€(gè)整流器18指示修正電流 值。另外，電鍍裝置控制部30的存儲(chǔ)部34存儲(chǔ)有與多個(gè)整流器18分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)上述關(guān) 系式。因此，電鍍裝置控制部30能夠基于多個(gè)關(guān)系式修正設(shè)定電流值從而計(jì)算出修正電流 值，并且將各個(gè)修正電流值，分別對(duì)整流器18進(jìn)行指令。
[0034] 如上述所述，整流器18具有固有的機(jī)械誤差。如本實(shí)施方式那樣，在電鍍裝置10 具有多個(gè)電鍍槽12以及多個(gè)整流器18的情況下，即便對(duì)各個(gè)整流器18指示的電流值相 同，整流器18彼此的輸出電流值因上述固有的機(jī)械誤差也會(huì)不同。在本實(shí)施方式中，電鍍 裝置控制部30基于與各個(gè)整流器18對(duì)應(yīng)的關(guān)系式對(duì)設(shè)定電流值進(jìn)行修正，將修正后的各 設(shè)定電流值（修正電流值）指示給各整流器18。由此，能夠?qū)⑴c所希望的值即設(shè)定電流值 接近的電流，施加于各電鍍槽12的基板W。其結(jié)果是，能夠抑制多個(gè)整流器18的電流值的 偏差，進(jìn)而能夠抑制電鍍槽間的電鍍膜厚的偏差。
[0035] 存儲(chǔ)于圖1所示的存儲(chǔ)部34的關(guān)系式通過測定與整流器18的多個(gè)指示電流值對(duì) 應(yīng)的多個(gè)實(shí)際電流值從而預(yù)先獲得。表1是表示對(duì)整流器18指示的指示電流值、與整流器 18相對(duì)于該指示電流值實(shí)際上輸出的電流的測定值的一個(gè)例子。
[0036]【表1】
[0037]
[0038] 如表1所示可知，該例的整流器18具有輸出相對(duì)于指示電流值稍微小的值的電流 的機(jī)械誤差。
[0039] 圖2表示將表1的結(jié)果制圖的圖。在圖2的圖中，縱軸表示指示電流值，橫軸表示 測定值（實(shí)際電流值）。通過對(duì)該結(jié)果例如進(jìn)行最小二乘法等的近似計(jì)算，求出指示電流值 與實(shí)際電流值的關(guān)系式（y=ax+b;a、b為常量）。在該例中，在將X設(shè)為實(shí)際電流值并且 將y設(shè)為指示電流值的情況下，求出y= 1. 0045X+0. 0062這一關(guān)系式。
[0040] 由于該關(guān)系式一般因各整流器18不同而不同，所以將根據(jù)整流器18而求出的多 個(gè)關(guān)系式存儲(chǔ)于圖1所示的存儲(chǔ)部34。圖1所示的運(yùn)算部38將設(shè)定部32所設(shè)定的設(shè)定電 流值，代入多個(gè)關(guān)系式的各個(gè)X，從而得到多個(gè)值y。將這些值y作為修正電流值，通過指示 部36指示給各個(gè)整流器18。換言之，設(shè)定部32所設(shè)定的設(shè)定電流值是想要施加于基板W 的所希望的電流值，根據(jù)上述關(guān)系式求出將接近該所希望的電流值（設(shè)定電流值）的電流 施加于基