專利名稱：帶有屏蔽板的電鍍槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種帶有屏蔽板的電鍍槽。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體行業(yè)中，需要對(duì)電子元件進(jìn)行表面電鍍處理。集成電路中往往包含幾十萬 甚至上百萬個(gè)電子元件，因此，對(duì)電子元件的精度要求非常高。電子元件之間的連接是靠其 表面的電鍍層實(shí)現(xiàn)的，因此，對(duì)電子元件的電鍍層的精度要求也很高。體積越小的電子元 件，對(duì)鍍層厚度要求越精確。在電鍍時(shí)，利用電鍍液中的電流實(shí)現(xiàn)電鍍?，F(xiàn)有技術(shù)中，在電鍍槽內(nèi)放置兩個(gè)平行 設(shè)置的陽極網(wǎng)，陽極網(wǎng)一般采用鈦籃。電子元件與陰極連接，放置于平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)之 間。通電后，金屬離子聚集在元件表面從而實(shí)現(xiàn)電鍍。但現(xiàn)有技術(shù)中的電鍍槽，電力線分布 并不均勻，即電流的密度分布不均勻。電流密度大的地方，鍍層厚；電流密度小的地方，鍍層 薄。電力線分布不均勻造成電子元件表面的鍍層也不均勻，影響了電子元件的質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可保證電力線分布均 勻的帶有屏蔽板的電鍍槽。為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)帶有屏蔽板的電鍍槽，包括槽體，槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)，其特征在于， 所述的槽體內(nèi)安裝有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)之間，所述的屏蔽板上 開設(shè)有貫通孔。優(yōu)選地是，所述的屏蔽板為兩塊，平行設(shè)置。優(yōu)選地是，所述槽體位置相對(duì)的兩塊槽壁內(nèi)側(cè)，分別設(shè)置有位置相對(duì)的夾槽，每塊 屏蔽板兩端分別插入一個(gè)夾槽內(nèi)。優(yōu)選地是，所述的貫通孔形狀為規(guī)則的圓形、橢圓形或多邊形中的一種或幾種、或 者為不規(guī)則形狀。優(yōu)選地是，所述的貫通孔數(shù)目為兩個(gè)以上。本實(shí)用新型中的帶有屏蔽板的電鍍槽，在電鍍槽內(nèi)增加屏蔽板，利用在屏蔽板上 開設(shè)通孔來調(diào)節(jié)電鍍液中的電力線分布，使電力線分布更均勻?？商岣咤儗雍穸鹊木_度， 減小厚度誤差，提高電子元件的電鍍合格率。而且本實(shí)用新型中的電鍍槽，結(jié)構(gòu)簡單，成本 低，使用方便。

圖1為本實(shí)用新型俯視圖；圖2為圖1中的A-A剖視圖；圖3為屏蔽板結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的描述如圖1和圖2所示，帶有屏蔽板的電鍍槽，包括槽體1，槽體1為四塊槽壁(11、12、13,14)與一個(gè)槽底15圍成。槽體1內(nèi)設(shè)置有相互平行的兩個(gè)鈦籃2，分別靠近位置相對(duì)的兩塊槽壁(11、13)。 使用時(shí)，鈦籃2與電源電連接。位置相對(duì)的兩個(gè)槽壁(12、14)內(nèi)側(cè)分別設(shè)置有夾槽。槽壁12內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾槽121 和夾槽122。槽壁142內(nèi)側(cè)設(shè)置有夾槽141和夾槽142。屏蔽板41兩端分別插入夾槽121內(nèi)和夾槽141內(nèi)，夾槽121和夾槽141將屏蔽板 41固定。屏蔽板42兩端分別插入夾槽122內(nèi)和夾槽142內(nèi)，夾槽122和夾槽142將屏蔽板 42固定。如圖3所示，屏蔽板41開設(shè)有圓形貫通孔43、矩形貫通孔45，橢圓形貫通孔46。 貫通孔形狀還可以是不規(guī)則形狀。貫通孔的數(shù)目和形狀根據(jù)電鍍液中的電流密度確定。首先測定屏蔽板上方各處的 電流密度，如屏蔽板上方某處區(qū)域內(nèi)電流密度小于其它區(qū)域或小于設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值，則在該 處開設(shè)貫通孔，貫通孔的形狀與該區(qū)域相同，以減小屏蔽板對(duì)電子的阻礙，以使該區(qū)域的電 流密度與其它區(qū)域或標(biāo)準(zhǔn)值相同。本實(shí)用新型中的屏蔽板(41、42)采用絕緣的耐腐蝕材料如PVC材料制成。使用時(shí)，使被電鍍的工件作為陰極，放置于兩塊屏蔽板之間。屏蔽板可遮擋部分電 力線，使電力線分布更均勻。本實(shí)用新型中的實(shí)施例僅用于對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行說明，并不構(gòu)成對(duì)權(quán)利要求范圍 的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實(shí)質(zhì)上等同的替代，均在本實(shí)用新型保護(hù)范圍 內(nèi)。
權(quán)利要求帶有屏蔽板的電鍍槽，包括槽體，槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)，其特征在于，所述的槽體內(nèi)安裝有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)之間，所述的屏蔽板上開設(shè)有貫通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有屏蔽板的電鍍槽，其特征在于，所述的屏蔽板為兩塊，平 行設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的帶有屏蔽板的電鍍槽，其特征在于，所述槽體位置相對(duì)的兩 塊槽壁內(nèi)側(cè)，分別設(shè)置有位置相對(duì)的夾槽，每塊屏蔽板兩端分別插入一個(gè)夾槽內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶有屏蔽板的電鍍槽，其特征在于，所述的貫通孔形狀為規(guī) 則的圓形、橢圓形或多邊形中的一種或幾種、或者為不規(guī)則形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的帶有屏蔽板的電鍍槽，其特征在于，所述的貫通孔數(shù)目為 兩個(gè)以上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種帶有屏蔽板的電鍍槽，包括槽體，槽體內(nèi)設(shè)置有平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)，其特征在于，所述的槽體內(nèi)安裝有屏蔽板，所述的屏蔽板位于平行的兩個(gè)陽極網(wǎng)之間，所述的屏蔽板上開設(shè)有貫通孔。本實(shí)用新型中的帶有屏蔽板的電鍍槽，在電鍍槽內(nèi)增加屏蔽板，利用在屏蔽板上開設(shè)通孔來調(diào)節(jié)電鍍液中的電力線分布，使電力線分布更均勻?？商岣咤儗雍穸鹊木_度，減小厚度誤差，提高電子元件的電鍍合格率。而且本實(shí)用新型中的電鍍槽，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，使用方便。
文檔編號(hào)C25D17/02GK201574206SQ20092028612
公開日2010年9月8日 申請(qǐng)日期2009年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月23日
發(fā)明者錢國輝, 陸金龍 申請(qǐng)人:上海元豪表面處理有限公司