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微機電促動器結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)元件的制作方法

文檔序號:40453302發(fā)布日期:2024-12-27 09:18閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),所述微機電促動器結(jié)構(gòu)具有微機電芯片(110),所述微機電芯片具有芯片框架(111)和驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120),其中,所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120)具有能摻雜的材料,其中,所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120)具有第一驅(qū)動單元(130)和第二驅(qū)動單元(150),其中,所述第一驅(qū)動單元(130)具有第一襯底(131)和第一電極結(jié)構(gòu)(132),其中,所述第一襯底(131)具有第一摻雜,并且其中,所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)具有與所述第一摻雜相反的摻雜,使得在所述第一襯底(131)與所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)之間構(gòu)造有pn結(jié)(133),其中,所述第二驅(qū)動單元(150)具有第二襯底(151)和第二電極結(jié)構(gòu)(152),其中,所述第二襯底(151)具有第二摻雜,并且其中,所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)具有與所述第二摻雜相反的摻雜,使得在所述第二襯底(151)與所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)之間構(gòu)造有pn結(jié)(153),其中,所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)具有至少兩個第一電極(134),其中,所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)具有至少一個第二電極(154),其中,所述第一電極(134)在第一電極平面(135)中面式地并排布置,其中,所述第二電極(154)在第二電極平面(155)中面式地布置,其中,所述第一電極平面(135)和所述第二電極平面(155)基本上平行地布置,其中,通過將電壓施加到所述電極(134、154)上,能夠觸發(fā)所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)相對于所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)在平行于所述電極平面(135、155)的運動方向上的運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,在所述第一電極(134)之間布置有溝槽(137)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)(130)相對于所述芯片框架(111)不可運動,并且其中,所述第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)(150)借助彈簧元件(113)與芯片框架(111)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第一襯底(131)具有p摻雜,并且所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)具有n摻雜,其中,所述第二襯底(151)具有p摻雜,并且所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)具有n摻雜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)(130)具有另外的第一襯底(136),其中,所述另外的第一襯底(136)與所述第一襯底(131)相反地摻雜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第一襯底(131)和所述另外的第一襯底(136)分別形成所述第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)(130)的層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)具有多于一個的第二電極(154),其中,在所述第二電極(154)之間布置有中間凹部(157)或者襯底區(qū)域,其中,所述中間凹部(157)的寬度或者所述襯底區(qū)域的寬度大于所述第二電極(154)的寬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120)具有第三驅(qū)動單元(170)和第四驅(qū)動單元(190),其中,所述第三驅(qū)動單元(170)具有第三襯底(171)和第三電極結(jié)構(gòu)(172),其中,所述第三襯底(171)具有第三摻雜,并且其中,所述第三電極結(jié)構(gòu)(172)具有與所述第三摻雜相反的摻雜,使得在所述第三襯底(171)與所述第三電極結(jié)構(gòu)(172)之間構(gòu)造有pn結(jié)(173),其中,所述第四驅(qū)動單元(190)具有第四襯底(191)和第四電極結(jié)構(gòu)(192),其中,所述第四襯底(191)具有第四摻雜,并且其中,所述第四電極結(jié)構(gòu)(192)具有與所述第四摻雜相反的摻雜,使得在所述第四襯底(191)與所述第四電極結(jié)構(gòu)(192)之間構(gòu)造有pn結(jié)(193),其中,所述第三電極結(jié)構(gòu)(172)具有至少兩個第三電極(174),其中,所述第四電極結(jié)構(gòu)(192)具有至少一個第四電極(194),其中,所述第三電極(174)在第三電極平面(175)中面式地并排布置,其中,所述第四電極(194)在第四電極平面(195)中面式地布置,其中,所述第三電極平面(175)和所述第四電極平面(195)基本上平行地布置,其中,所述第四襯底(191)與所述第二襯底(151)機械地連接,其中,所述第一襯底(131)與所述第三襯底(171)機械地連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),其中,所述第一電極結(jié)構(gòu)(132)和/或所述第二電極結(jié)構(gòu)(152)具有柵極電極(138),其中,借助所述柵極電極(138),能夠求取所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120)的偏轉(zhuǎn)。

10.一種結(jié)構(gòu)元件(200),所述結(jié)構(gòu)元件具有根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的微機電促動器結(jié)構(gòu)(100),所述結(jié)構(gòu)元件此外具有效用元件(201),其中,所述效用元件(201)能夠借助所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)(120)被驅(qū)動。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微機電促動器結(jié)構(gòu),所述微機電促動器結(jié)構(gòu)具有微機電芯片,該微機電芯片具有芯片框架和驅(qū)動結(jié)構(gòu)。驅(qū)動結(jié)構(gòu)具有能摻雜的材料。驅(qū)動結(jié)構(gòu)具有第一驅(qū)動單元和第二驅(qū)動單元。第一驅(qū)動單元具有第一襯底和第一電極結(jié)構(gòu)。第一襯底具有第一摻雜。第一電極結(jié)構(gòu)具有與第一摻雜相反的摻雜。第二驅(qū)動單元具有第二襯底和第二電極結(jié)構(gòu)。第二襯底具有第二摻雜。第二電極結(jié)構(gòu)具有與第二摻雜相反的摻雜。即,在襯底與第二電極結(jié)構(gòu)之間分別構(gòu)造有pn結(jié)。第一電極結(jié)構(gòu)具有至少兩個第一電極。第二電極結(jié)構(gòu)具有至少一個第二電極。第一電極在第一電極平面中面式地并排布置。第二電極在第二電極平面中面式地布置。

技術(shù)研發(fā)人員:A·溫登,A·梅爾尼科夫,A·莫埃尼安,P·恩格爾哈特
受保護的技術(shù)使用者:羅伯特·博世有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/26
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