一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法與裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液滴微噴領(lǐng)域，更具體的說(shuō)涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法與
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【背景技術(shù)】
[0002]隨著微電子封裝技術(shù)的發(fā)展，微電子產(chǎn)業(yè)中需要使用流體材料的工藝越來(lái)越多，促使流體微噴技術(shù)也迅速發(fā)展。流體微噴技術(shù)是微電子封裝中的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，它可以構(gòu)造形成點(diǎn)、線、面及各種圖形，大量地應(yīng)用于芯片固定、封裝倒扣和芯片涂覆。
[0003]目前實(shí)現(xiàn)流體微噴主要是利用安培力來(lái)實(shí)現(xiàn)，即先在噴射閥體所處的空間處加載一個(gè)恒定磁場(chǎng)，然后再選擇可以導(dǎo)電的流體并往流體中通電，如此導(dǎo)電流體將會(huì)在安培力的作用下從噴嘴向外噴出，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)液體微滴的噴射，此種微滴噴射方法雖然能產(chǎn)生液體微滴，但是其至少需要液體導(dǎo)電金屬方能實(shí)現(xiàn)，在材料選擇上較為受限，實(shí)際可推廣性較差，仍然存在進(jìn)一步的改進(jìn)空間。
[0004]有鑒于此，本發(fā)明人針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷深入研究，遂有本案產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的主要目的在于提供一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，其創(chuàng)新地提出了新的微噴驅(qū)動(dòng)思路，豐富了微噴領(lǐng)域的實(shí)現(xiàn)手段。
[0006]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的解決方案是:
一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，其中，包括如下步驟:
①往噴射閥體的腔室中充滿待微噴液體，該噴射閥體的腔室與噴頭相連，該噴射閥體的腔室至少有一個(gè)壁面采用記憶金屬片制成；
②給電加熱片施加正電壓，該電加熱片與記憶金屬片熱傳導(dǎo)相連，該記憶金屬片產(chǎn)生朝向噴射閥體腔室一側(cè)的形變，使待微噴液體從噴頭向外噴出，形成液體微滴；
③停止給電加熱片施加正電壓，該電加熱片停止工作，該記憶金屬片復(fù)位；
④重復(fù)步驟②和③，實(shí)現(xiàn)連續(xù)不斷地噴射液體微滴。
[0007]進(jìn)一步，步驟④采用施加具有一定占空比的方波來(lái)實(shí)現(xiàn)重復(fù)步驟②和步驟③。
[0008]進(jìn)一步，在步驟④中通過(guò)控制方波的頻率來(lái)控制液體微滴的噴射頻率，通過(guò)控制方波的占空比來(lái)控制液體微滴的噴射量。
[0009]本發(fā)明的另一目的在于提供一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置，其中，包括噴射閥體、噴頭、電加熱片、記憶金屬片以及供料機(jī)構(gòu)，該噴射閥體具有腔室，該腔室與供料機(jī)構(gòu)連通以隨時(shí)補(bǔ)充微噴液體，該腔室與噴頭相連通，該腔室至少有一個(gè)壁面由記憶金屬片構(gòu)成，該電加熱片設(shè)置在記憶金屬片外側(cè)對(duì)記憶金屬片加熱以讓記憶金屬片產(chǎn)生朝向噴射閥體腔室一側(cè)的形變。
[0010]進(jìn)一步，該電加熱片與記憶金屬片通過(guò)膜片蓋板固定貼合相連。
[0011 ] 進(jìn)一步，該腔室兩側(cè)壁都設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0012]進(jìn)一步，該腔室兩側(cè)壁中的一側(cè)壁設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0013]進(jìn)一步，該腔室頂部設(shè)置有電加熱片、膜片蓋板和記憶金屬片。
[0014]進(jìn)一步，該供料機(jī)構(gòu)具有供料桶、L形轉(zhuǎn)接頭、單向閥以及閥體轉(zhuǎn)接頭，該噴射閥體依次通過(guò)閥體轉(zhuǎn)接頭、單向閥和L形轉(zhuǎn)接頭而與供料桶相連通。
[0015]進(jìn)一步，該電加熱片采用柔性材質(zhì)制成。
[0016]采用上述結(jié)構(gòu)后，本發(fā)明涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，當(dāng)往電加熱片施加正電壓時(shí)，該電加熱片會(huì)迅速發(fā)熱并快速給記憶金屬片加熱，使其瞬間往腔室內(nèi)側(cè)變形，由于腔室體積減少，壓力增大，流體通過(guò)噴嘴形成射流。當(dāng)電加熱片上正電壓消失時(shí)，電加熱片不再加熱，記憶金屬片停止正向變形并開(kāi)始恢復(fù)引起噴嘴出射流開(kāi)始頸縮分離，從而使液體噴射出去。
[0017]通過(guò)對(duì)施加電壓頻率的改變可以改變噴射的頻率，通過(guò)改變記憶金屬變形量則可以改變噴射顆粒的大小。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為本發(fā)明涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第一實(shí)施例的立體分解圖。
[0019]圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0021]圖4為本發(fā)明涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第二實(shí)施例的立體分解圖。
[0022]圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0023]圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0024]圖7為本發(fā)明涉及一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴裝置第三實(shí)施例的立體分解圖。
[0025]圖8為本發(fā)明第三實(shí)施例中記憶金屬片處于常規(guī)狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0026]圖9為本發(fā)明第三實(shí)施例中記憶金屬片處于變形狀態(tài)時(shí)的示意圖。
[0027]圖中:
噴射閥體-1 ;腔室-11 ;噴頭-2 ；
電加熱片_3 ;記憶金屬片-4 ;膜片蓋板-5 ；
供料機(jī)構(gòu)-6 ;供料桶-61 ;L形轉(zhuǎn)接頭-62 ;
單向閥-63 ;閥體轉(zhuǎn)接頭-64。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為了進(jìn)一步解釋本發(fā)明的技術(shù)方案，下面通過(guò)具體實(shí)施例來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0029]如圖1至圖9所示，本發(fā)明涉及的一種記憶金屬驅(qū)動(dòng)式液體微噴方法，包括如下步驟:
①往噴射閥體I的腔室11中充滿待微噴液體，該噴射閥體I的腔室11與噴頭2相連，該噴射閥體I的腔室11至少有一個(gè)壁面采用記憶金屬片4制成；
②給電加熱片3施加正電壓，該電加熱片3與記憶金屬片4熱傳導(dǎo)相連，該記憶金屬片4產(chǎn)生朝向噴射閥體I腔室11 一側(cè)的形變，使待微噴液體從噴頭2向外噴出，形成液體微滴； ③停止給電加熱片3施加正電壓，該電加熱片3停止工作，該記憶金屬片4復(fù)位；
④重復(fù)步驟②和③，實(shí)現(xiàn)連續(xù)不斷地噴射液