1.一種氣體溶解水制造裝置,其特征在于,具備:
氣體流量控制部,該氣體流量控制部控制作為原料的氣體的流量;
水流量測(cè)定部,該水流量測(cè)定部測(cè)定作為原料的水的流量;
水壓力控制部,該水壓力控制部控制所述水的壓力;
氣體溶解水生成部,該氣體溶解水生成部將所述氣體與所述水進(jìn)行混合而生成氣體溶解水;以及
壓力測(cè)定部,該壓力測(cè)定部測(cè)定供給至使用點(diǎn)的所述氣體溶解水的壓力,
所述水壓力控制部控制所述水的壓力,以使由所述壓力測(cè)定部測(cè)定的所述氣體溶解水的壓力成為恒定,
所述氣體流量控制部根據(jù)由所述水流量測(cè)定部測(cè)定的所述水的流量來(lái)控制所述氣體的流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,具備:
濃度測(cè)定部,該濃度測(cè)定部測(cè)定所述氣體溶解水的濃度;以及
控制部,該控制部依據(jù)由所述濃度測(cè)定部測(cè)定的所述氣體溶解水的濃度,控制所述氣體的流量,以使所述氣體溶解水的濃度的實(shí)測(cè)值與目標(biāo)值的偏差變小。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,
所述水壓力控制部在0.1MPa至1MPa的壓力范圍內(nèi)控制所述水的壓力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,
所述氣體溶解水生成部具備混合器,該混合器利用文丘里效應(yīng)來(lái)混合所述氣體與所述水。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,
具備脫氣處理部,該脫氣處理部對(duì)供給至所述氣體溶解水生成部的所述水進(jìn)行脫氣處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,
作為所述原料的氣體為臭氧氣體,所述氣體溶解水為臭氧水。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體溶解水制造裝置,其特征在于,
具備臭氧氣體生成部,該臭氧氣體生成部生成所述臭氧氣體,
所述臭氧氣體生成部具備放電用的電極,該電極用于生成所述臭氧氣體,
保持所述電極的保持構(gòu)件以不銹鋼為材料,且具有10mm以上的厚度。
8.一種氣體溶解水制造方法,其特征在于,包含如下工序:
氣體流量控制工序,該氣體流量控制工序控制作為原料的氣體的流量;
水流量測(cè)定工序,該水流量測(cè)定工序測(cè)定作為原料的水的流量;
水壓力控制工序,該水壓力控制工序控制所述水的壓力;
氣體溶解水生成工序,該氣體溶解水生成工序?qū)⑺鰵怏w與所述水進(jìn)行混合而生成氣體溶解水;以及
壓力測(cè)定工序,該壓力測(cè)定工序測(cè)定供給至使用點(diǎn)的所述氣體溶解水的壓力,
在所述水壓力控制工序中,控制所述水的壓力,以使在所述壓力測(cè)定工序中測(cè)定的所述氣體溶解水的壓力成為恒定,
在所述氣體流量控制工序中,根據(jù)在所述水流量測(cè)定工序中測(cè)定的所述水的流量來(lái)控制所述氣體的流量。