過(guò)氟化物處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供能夠從分解氣體更切實(shí)地除去酸成分，并且能夠更順利地進(jìn)行用于干式除去酸成分的藥劑的更換的過(guò)氟化物處理裝置等。一種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具備：加熱單元，其對(duì)含有過(guò)氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并利用催化劑水解過(guò)氟化物，生成分解氣體；配置在加熱單元的前段以及后段的熱交換單元；和干式除去分解氣體中的酸成分的酸成分除去單元，酸成分除去單元在裝置底部具備：能夠開(kāi)閉，且在成為打開(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑的閘門（251a～251e）（閘門（251））；和狹縫部（252），其配置于閘門（251）之間，具有從上方朝向閘門（251）的斜面（S1、S2），并且在斜面（S1、S2）上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的大小的狹縫（252a）。
【專利說(shuō)明】過(guò)氟化物處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及例如為了分解處理過(guò)氟化物而使用的過(guò)氟化物處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 例如，在半導(dǎo)體器件、液晶器件的制造工藝中，為了形成微細(xì)圖案，有時(shí)進(jìn)行蝕刻、 清洗（cleaning)。此時(shí)，使用過(guò)氟化物的情況較多。另外，過(guò)氟化物一般較穩(wěn)定，大多對(duì)人 體無(wú)害，所以除此之外還被用于例如空調(diào)的制冷劑等。
[0003] 但是，在這些過(guò)氟化物中，當(dāng)被釋放到大氣中時(shí)，對(duì)地球環(huán)境造成較大影響的過(guò)氟 化物較多。即，由于在大氣中長(zhǎng)期間穩(wěn)定地存在，具有地球溫室化系數(shù)大的性質(zhì)，因此會(huì)成 為地球溫室化的一個(gè)因素。并且，如上述那樣，過(guò)氟化物一般較穩(wěn)定，其影響長(zhǎng)期間持續(xù)的 情況較多。
[0004] 因此，為了不對(duì)地球環(huán)境造成影響，需要分解所使用過(guò)的過(guò)氟化物，使其成為對(duì)地 球環(huán)境無(wú)害的狀態(tài)而向大氣中釋放。
[0005] 在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種含氟化合物的分解處理方法，S卩：在水蒸氣的存在下 使包含作為鹵素僅含有氟的氟化合物的氣流與如由A1和Ni、Al和Ζη、Α1和Ti形成的催化 劑那樣含有A1的催化劑在約200?800°C接觸，將氣流中的氟轉(zhuǎn)化為氟化氫。
[0006] 另外，在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了一種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具備：過(guò)氟化 物分解裝置，其設(shè)置有催化劑層，被供給含有過(guò)氟化物的排氣(廢氣)，分解過(guò)氟化物；和酸 性物除去裝置，其除去在從過(guò)氟化物分解裝置排出的排氣中所含有的酸性物質(zhì)與Ca鹽反 應(yīng)而生成的第1反應(yīng)生成物。
[0007] 在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0008] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2001-224926號(hào)公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2008-246485號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010] 然而，有時(shí)在通過(guò)水解過(guò)氟化物而生成的分解氣體中包含HF等的酸成分。而且， 在為除去酸成分而使用藥劑的情況下，希望更切實(shí)地從分解氣體中除去酸成分，并且能夠 更順利地進(jìn)行藥劑的更換。
[0011] 本發(fā)明的目的是提供一種過(guò)氟化物處理裝置，其能夠更切實(shí)地從分解氣體中除去 酸成分，并且能夠更順利地進(jìn)行用于干式除去酸成分的藥劑的更換。
[0012] 這樣，根據(jù)本發(fā)明，提供一種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具有酸成分除去單 元，該酸成分除去單元具備：藥劑取出部，其能夠開(kāi)閉，在從關(guān)閉了的狀態(tài)變?yōu)榇蜷_(kāi)了的狀 態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑；和分解氣體導(dǎo)入部，其配置于藥劑取出部之間，具有從上方朝向藥 劑取出部的斜面，并且，在斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的大小的開(kāi)口部。
[0013] 這樣，根據(jù)本發(fā)明，提供一種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具備：加熱單元，其 對(duì)含有過(guò)氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù)先確定的催化劑水解過(guò)氟化物，生成 含有酸性氣體的分解氣體；熱交換單元，其被配置在加熱單元的前段以及后段，在流入加熱 單元之前的含有過(guò)氟化物的氣體以及水與從加熱單元流出后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換； 和酸成分除去單元，其通過(guò)使酸成分與藥劑反應(yīng)而將其從自熱交換單元流出后的分解氣體 干式除去，酸成分除去單元在裝置底部具備：藥劑取出部，其能夠開(kāi)閉，在從關(guān)閉了的狀態(tài) 變?yōu)榇蜷_(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑；和分解氣體導(dǎo)入部，其配置于藥劑取出部之間，具 有從上方朝向藥劑取出部的斜面，并且，在斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的 大小的開(kāi)口部。
[0014] 在此，藥劑取出部和分解氣體導(dǎo)入部，優(yōu)選交替地排列成列狀，分解氣體導(dǎo)入部的 斜面，優(yōu)選包含相互朝向相反方向的2個(gè)斜面。
[0015] 另外，優(yōu)選：藥劑取出部是圓弧狀的閘門（shutter),閘門通過(guò)沿著預(yù)先確定的旋 轉(zhuǎn)中心移動(dòng)來(lái)進(jìn)行開(kāi)閉動(dòng)作；優(yōu)選：進(jìn)一步具備從酸成分除去單元的上方供給藥劑的藥劑 供給單元，向酸成分除去單元導(dǎo)入的分解氣體從酸成分除去單元的上方排出。
[0016] 通過(guò)在酸成分除去單元中設(shè)置：藥劑取出部，其能夠開(kāi)閉，在從關(guān)閉了的狀態(tài)變?yōu)?打開(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑；和分解氣體導(dǎo)入部，其配置于藥劑取出部之間，具有從 上方朝向藥劑取出部的斜面，并且，在斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的大小 的開(kāi)口部，由此，能夠從同一裝置底部進(jìn)行分解氣體的導(dǎo)入和藥劑的取出，并且，分解氣體 的流通和鈣鹽的流通難以相互給予影響。
[0017] 通過(guò)藥劑取出部和分解氣體導(dǎo)入部交替地排列成列狀，能夠向酸成分除去單元內(nèi) 部更均勻地導(dǎo)入分解氣體，并且容易控制取出藥劑的量。
[0018] 通過(guò)分解氣體導(dǎo)入部的斜面包含相互朝向相反方向的2個(gè)斜面，能夠利用該斜面 將藥劑更順暢地引導(dǎo)到藥劑取出部。
[0019] 通過(guò)藥劑取出部為圓弧狀的閘門，該閘門通過(guò)沿著預(yù)先確定的旋轉(zhuǎn)中心移動(dòng)來(lái)進(jìn) 行開(kāi)閉動(dòng)作，能夠更容易進(jìn)行閘門的開(kāi)閉，并且使進(jìn)行閘門的開(kāi)閉的機(jī)構(gòu)部的結(jié)構(gòu)成為緊 湊的尺寸。
[0020] 通過(guò)進(jìn)一步具備從酸成分除去單元的上方供給藥劑的藥劑供給單元，并且向酸成 分除去單元導(dǎo)入的分解氣體從酸成分除去單元的上方排出，幾乎不產(chǎn)生未反應(yīng)的藥劑，能 夠減少藥劑的浪費(fèi)的消耗量。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021] 圖1是對(duì)應(yīng)用本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置的半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成進(jìn) 行說(shuō)明的圖。
[0022] 圖2是對(duì)本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0023] 圖3是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置的各設(shè)備的圖。
[0024] 圖4是說(shuō)明反應(yīng)溫度與過(guò)氟化物的分解率的關(guān)系的圖。
[0025] 圖5是顯示酸成分除去裝置的底部的圖。
[0026] 圖6是從圖5的VI方向觀察酸成分除去裝置的底部的圖。
[0027] 圖7是從圖6的VII方向觀察酸成分除去裝置的底部的圖。
[0028] 圖8是對(duì)過(guò)氟化物處理裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。
[0029] 圖9是從上方觀察實(shí)際制造成的過(guò)氟化物處理裝置的圖。
[0030] 圖10是從圖9的VII方向觀察實(shí)際制造成的過(guò)氟化物處理裝置的圖。
[0031] 圖11是圖9的X-X截面圖。
[0032] 附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0033] 1…半導(dǎo)體制造設(shè)備、2…過(guò)氟化物處理裝置、3…酸洗滌器、21···預(yù)處理裝置、22··· 過(guò)氟化物分解裝置、23···HF吸附裝置、24···控制裝置、211…入口加熱器、212…過(guò)濾器、 221…第1加熱器、222…第2加熱器、231…熱交換器、232…酸成分除去裝置、233…排出器、 251…閘門、252…狹縫部。

【具體實(shí)施方式】
[0034] 以下，對(duì)實(shí)施本發(fā)明的方式詳細(xì)地說(shuō)明。再者，本發(fā)明并不限于以下的實(shí)施方式， 能夠在其主旨的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變形來(lái)實(shí)施。另外，使用的附圖是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的 圖，并不表示實(shí)際的大小。
[0035] <半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成的說(shuō)明>
[0036] 圖1是對(duì)應(yīng)用本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置的半導(dǎo)體制造車間的總體構(gòu)成進(jìn) 行說(shuō)明的圖。
[0037] 如圖所示，本實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造車間具備進(jìn)行半導(dǎo)體的制造的半導(dǎo)體制造設(shè) 備1、分解處理過(guò)氟化物的過(guò)氟化物處理裝置2、和進(jìn)行酸性氣體的捕集的酸洗滌器3。
[0038] 半導(dǎo)體制造設(shè)備1通常成為清潔室，在圖示的例子中，具備：對(duì)作為半導(dǎo)體的硅、 多晶硅進(jìn)行蝕刻的P-Si蝕刻器11 ;對(duì)作為絕緣膜的氧化硅（Si02)等氧化膜進(jìn)行蝕刻的氧 化膜蝕刻器12 ;和為了用于布線而對(duì)金屬膜進(jìn)行蝕刻的金屬蝕刻器13。
[0039] P-Si蝕刻器11、氧化膜蝕刻器12、金屬蝕刻器13是干式蝕刻(干刻)裝置，例如是 在處理室(工藝室：process chamber)內(nèi)使用反應(yīng)性的蝕刻氣體進(jìn)行蝕刻的反應(yīng)性離子蝕 刻（RIE:Reactive Ion Etching)裝置。
[0040] 在P-Si蝕刻器11、氧化膜蝕刻器12、金屬蝕刻器13中使用的蝕刻氣體分別不同， 但在用各裝置進(jìn)行干式蝕刻后排出的氣體中包含起因于該蝕刻氣體的各種過(guò)氟化物（以下 也稱作 PFC (perfluorocompound))。該過(guò)氟化物，可例示出 CF4、C2F6、C3F8、C 4F8、C5F8、SF6、 CHF3等。而且，含有過(guò)氟化物的被排出的氣體即蝕刻排氣(蝕刻廢氣)，在用毒性氣體消除 裝置14除去了氯氣（Cl 2)等的有毒氣體之后，通過(guò)收集管道15被排出到半導(dǎo)體制造設(shè)備1 夕卜。在本實(shí)施方式中，被排出到半導(dǎo)體制造設(shè)備1外的蝕刻排氣，例如是在作為載氣的99% 的隊(duì)（氮）氣中含有1%的過(guò)氟化物等的氣體。在本實(shí)施方式中，在蝕刻排氣中所含有的過(guò) 氟化物優(yōu)選為1%以下。另外，被排出的蝕刻排氣的流量為例如3000L/min?3500L/min。
[0041] 過(guò)氟化物處理裝置2在后面詳細(xì)敘述，通過(guò)分解從半導(dǎo)體制造設(shè)備1排出的蝕刻 排氣中所含的過(guò)氟化物來(lái)消除過(guò)氟化物后，作為排氣被排出。因此，從半導(dǎo)體制造設(shè)備1的 各設(shè)備被排出并通過(guò)管道所收集的蝕刻排氣，經(jīng)由三通閥4被導(dǎo)入到過(guò)氟化物處理裝置2。 過(guò)氟化物處理裝置2不需要設(shè)置在清潔室內(nèi)，通常被設(shè)置在半導(dǎo)體制造設(shè)備1的外側(cè)。
[0042] 酸洗滌器3捕集酸性氣體。而且，將進(jìn)行了酸性氣體的捕集之后的無(wú)害化了的氣 體排出至半導(dǎo)體制造車間外。酸洗滌器3,在用過(guò)氟化物處理裝置2未完全除去過(guò)氟化物的 情況下也擔(dān)負(fù)捕集過(guò)氟化物的作用。另外，在過(guò)氟化物處理裝置2發(fā)生故障等的情況下，還 擔(dān)負(fù)著作為過(guò)氟化物處理裝置2的后備(后援：back up)的作用。也就是說(shuō)，在通常的狀態(tài) 下，含有過(guò)氟化物的氣體通過(guò)三通閥4被導(dǎo)入到過(guò)氟化物處理裝置2中，利用過(guò)氟化物處理 裝置2分解、處理過(guò)氟化物。但是，在過(guò)氟化物處理裝置2發(fā)生了故障等的情況下，切換三 通閥4,將含有過(guò)氟化物的氣體直接導(dǎo)入到酸洗滌器3中。
[0043] 再者，雖然在圖1中未圖示，但也可以在三通閥4的上游側(cè)設(shè)置捕集從半導(dǎo)體制造 設(shè)備1排出的蝕刻排氣中所含的酸性氣體的堿洗滌器。
[0044] <過(guò)氟化物處理裝置的構(gòu)成的說(shuō)明>
[0045] 以下對(duì)過(guò)氟化物處理裝置2進(jìn)一步詳細(xì)地說(shuō)明。
[0046] 圖2是對(duì)本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置2的概略構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明的圖。
[0047] 如圖所示，過(guò)氟化物處理裝置2具備：預(yù)處理裝置21，其對(duì)被導(dǎo)入的裝置入口排氣 (蝕刻排氣)進(jìn)行預(yù)處理；過(guò)氟化物分解裝置22,其對(duì)在預(yù)處理裝置21中被預(yù)處理了的裝置 入口排氣中所含的過(guò)氟化物進(jìn)行分解；和HF吸附裝置23,其通過(guò)吸附在過(guò)氟化物分解裝置 22中分解過(guò)氟化物時(shí)所生成的含有HF(氟化氫)的分解氣體來(lái)將其干式除去。而且，利用所 述的各裝置來(lái)處理裝置入口排氣進(jìn)行無(wú)害化后，作為排氣排出到過(guò)氟化物處理裝置2外。
[0048] 圖3是表示構(gòu)成本實(shí)施方式的過(guò)氟化物處理裝置2的各設(shè)備的圖。
[0049] 如在圖2中說(shuō)明的那樣，過(guò)氟化物處理裝置2主要具備預(yù)處理裝置21、過(guò)氟化物分 解裝置22、和HF吸附裝置23。另外，如圖所示，過(guò)氟化物處理裝置2具備控制裝置24,進(jìn)行 過(guò)氟化物處理裝置2中所具備的各設(shè)備以及閥(未圖示）等的控制。
[0050] 預(yù)處理裝置21具備進(jìn)行裝置入口排氣的預(yù)熱的入口加熱器211、和進(jìn)行微粒子的 除去的過(guò)濾器212。
[0051] 入口加熱器211通過(guò)對(duì)裝置入口排氣進(jìn)行預(yù)熱而使在裝置入口排氣中所含的微 小的水滴(霧)蒸發(fā)。入口加熱器211在裝置入口排氣通過(guò)的配管的周圍具備加熱器211a。 而且，裝置入口排氣在通過(guò)入口加熱器211時(shí)被加熱器211a加熱，被預(yù)熱到霧蒸發(fā)的溫度。 此時(shí)，被預(yù)熱的裝置入口排氣的溫度可設(shè)為例如60°C。由此，在接下來(lái)的過(guò)濾器212中能夠 抑制過(guò)濾器被霧堵塞。
[0052] 過(guò)濾器212進(jìn)行在裝置入口排氣中所含的作為固體成分的微粒子的除去。在半導(dǎo) 體制造設(shè)備1中產(chǎn)生上述的在進(jìn)行干式蝕刻時(shí)被削除的氧化硅等的微粒子。而且，由于該 微粒子混入到裝置入口排氣中，所以利用過(guò)濾器212進(jìn)行除去。過(guò)濾器212如果是能夠使 裝置入口排氣通過(guò)并且捕集微粒子的過(guò)濾器，就沒(méi)有特別限定，例如能夠使用網(wǎng)式過(guò)濾器 (mesh filter)等。
[0053] 再者，在本實(shí)施方式中，在入口加熱器211與過(guò)濾器212之間導(dǎo)入空氣。為了在接 下來(lái)的過(guò)氟化物分解裝置22中抑制一氧化碳的生成，有時(shí)需要氧，因此在該階段將空氣與 裝置入口排氣混合。
[0054] 另外，在本實(shí)施方式中，在后面詳細(xì)敘述，通過(guò)過(guò)濾器212后的裝置入口排氣暫且 進(jìn)入到熱交換器231。然后，通過(guò)熱交換器231中的熱交換，裝置入口排氣被加熱。進(jìn)而，以 液體的狀態(tài)添加此時(shí)用于在接下來(lái)的過(guò)氟化物分解裝置22中分解過(guò)氟化物的反應(yīng)所需要 的水。該水在熱交換器231中與裝置入口排氣一起被加熱，變成氣體的水蒸氣。然后，一邊 與裝置入口排氣混合一邊被移送。在本實(shí)施方式中，作為水使用純水，添加量是與后述的反 應(yīng)式相稱的量，為例如350mL/min。另外，該水也可以預(yù)先加熱作為水蒸氣而添加到熱交換 器231中。
[0055] 過(guò)氟化物分解裝置22,是對(duì)裝置入口排氣以及水進(jìn)行加熱、并且利用預(yù)先確定的 催化劑水解過(guò)氟化物而生成含有酸性氣體的分解氣體的加熱單元的一例。而且，過(guò)氟化物 分解裝置22具備第1加熱器221和第2加熱器222這兩個(gè)加熱器。
[0056] 第1加熱器221在內(nèi)部配置有加熱器221a，通過(guò)該加熱器221a對(duì)裝置入口排氣以 及在熱交換器231中被添加而成為水蒸氣的水進(jìn)行加熱。通過(guò)第1加熱器221后的裝置入 口排氣，變?yōu)槔?50°C?500°C。在本實(shí)施方式中，將第1加熱器221設(shè)為裝置入口排氣 的流路成為水平方向的臥式的加熱器。
[0057] 第2加熱器222從上方導(dǎo)入裝置入口排氣，首先利用在內(nèi)部具備的加熱器222a對(duì) 裝置入口排氣和水蒸氣進(jìn)一步加熱。由此，裝置入口排氣被加熱到例如750°C。
[0058] 然后，被進(jìn)一步加熱了的裝置入口排氣，在配置于第2加熱器222的下方的催化劑 層222b中與混合在裝置入口排氣中的水(水蒸氣）發(fā)生反應(yīng)，并被分解。
[0059] 作為此時(shí)的分解反應(yīng)，采取作為過(guò)氟化物的CF4、CHF3、C 2F6和SF6的情況為例，以下 示出反應(yīng)式。
[0060] CF4+2H20 - C02+4HF... (1)
[0061] CHF3+ (1/2) 02+H20 - C02+3HF…（2)
[0062] C2F6+3H20+ ( 1/2) 02 - 2C02+6HF... (3)
[0063] SF6+3H20 - S03+6HF…（4)
[0064] 從上述（1)式?（4)式可知，過(guò)氟化物通過(guò)水解反應(yīng)而變?yōu)楹凶鳛樗岢煞值腍F (氟化氫）的分解氣體。另外，在這種情況下，HF也能夠作為包含在分解氣體中的酸性氣體 來(lái)捕獲。
[0065] 圖4是說(shuō)明反應(yīng)溫度與過(guò)氟化物的分解率的關(guān)系的圖。
[0066] 在此，作為包含在蝕刻排氣中的過(guò)氟化物，例示出CF4、CHF3、C 2F6、C3F8、C4F8、C 5F8、 sf6、nf3。另外，雖然不是過(guò)氟化物，但作為從半導(dǎo)體制造設(shè)備1排出的氣體中所含的成分， C0也一并圖示出。
[0067] 如圖所示，任一成分都在750°C附近達(dá)到大致100%的分解率，因此，通過(guò)使其在 750°C的溫度反應(yīng)，能夠大致除去過(guò)氟化物等。
[0068] 另外，作為構(gòu)成催化劑層222b的催化劑，在本實(shí)施方式中，可使用在A120 3 (氧化 鋁）中包含 Zn (鋅)、Ni (鎳)、Ti (鈦)、F (氟)、Sn (錫)、Co (鈷)、Zr (鋯）、Ce (鈰)、Si (硅） 等的氧化物的催化劑。更具體來(lái)說(shuō)，例如可使用包含A1203 (氧化鋁）為80重量％、NiO (氧 化鎳）為20重量％的組成的催化劑。
[0069] 用第2加熱器222分解過(guò)氟化物之后的包含HF的分解氣體，從第2加熱器222的 下方被排出，并被送到接下來(lái)的HF吸附裝置23。再者，此時(shí)，從第2加熱器222排出的分解 氣體的溫度是600°C?700°C左右。
[0070] HF吸附裝置23具備：作為熱交換單元的一例的熱交換器231，其被配置在第1加 熱器221和第2加熱器222的前段以及后段，在流入第1加熱器221之前的裝置入口排氣 與從第2加熱器222流出后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換；作為酸成分除去單元的一例的酸 成分除去裝置232,其通過(guò)使酸成分與作為藥劑的鈣鹽反應(yīng)而將其從自熱交換器231流出 后的分解氣體干式除去；和作為排氣排出單元的一例的排出器233,其排出利用酸成分除 去裝置232干式除去酸成分后的排氣。
[0071] 另外，HF吸附裝置23還具備：作為藥劑供給單元的一例的藥劑供給裝置234,其從 酸成分除去裝置232的上方供給用于干式除去HF的作為藥劑的鈣鹽；作為藥劑排出單元的 一例的藥劑排出裝置235,其從酸成分除去裝置232的下方排出使用過(guò)的鈣鹽；作為濃度檢 測(cè)單元的一例的HF濃度傳感器236,其檢測(cè)從酸成分除去裝置232流出的排氣中所含的HF 的濃度；和粉末捕集器237,其被配置在HF濃度傳感器236與排出器233之間，除去在酸成 分除去裝置232中產(chǎn)生的固體成分。
[0072] 熱交換器231，在從第2加熱器222排出后的高溫的分解氣體與導(dǎo)入第1加熱器 221之前的前述的低溫的裝置入口排氣之間進(jìn)行熱交換。由此，在分解氣體的溫度下降的同 時(shí)，導(dǎo)入第1加熱器221之前的裝置入口排氣的溫度上升。另外，如前述這樣，添加到熱交 換器231中的水蒸發(fā)而變?yōu)樗魵狻?br> [0073] 通過(guò)熱交換器231后的分解氣體的溫度下降到300°C?500°C左右，通過(guò)熱交換器 231后的裝置入口排氣的溫度上升到200°C?300°C左右。
[0074] 作為熱交換器231，不作特別限定，可使用板型熱交換器、殼管型熱交換器，板型熱 交換器是交替配置2張板而在該板間構(gòu)成流路，來(lái)進(jìn)行裝置入口排氣與分解氣體的熱交換 的熱交換器，殼管型熱交換器是在殼(圓筒）與多個(gè)管(傳熱管）之中分別流通裝置入口排氣 和分解氣體并在相互之間進(jìn)行熱交換的熱交換器。另外，也可以是雙重管式熱交換器，即做 成雙重管構(gòu)造，在內(nèi)管流動(dòng)高溫的分解氣體，在外管流動(dòng)低溫的裝置入口排氣。另外，裝置 入口排氣和分解氣體既可以對(duì)向流動(dòng)，也可以并行流動(dòng)。在本實(shí)施方式中使用雙重管式熱 交換器，裝置入口排氣和分解氣體對(duì)向流動(dòng)。
[0075] 酸成分除去裝置232,在內(nèi)部填充有包含鈣鹽的藥劑層232a，在分解氣體中所含 的HF，通過(guò)與該鈣鹽發(fā)生吸附反應(yīng)而被干式除去。作為鈣鹽，可使用CaC03 (碳酸鈣)、Ca (〇H)2 (氫氧化鈣)、CaO (氧化鈣）等。另外，作為鈣鹽的形狀，可以是粉末狀，但從操作的容 易度出發(fā)，優(yōu)選為成型為圓柱形狀或球狀等的粒料（pellet)。在本實(shí)施方式中，例如使用 CaC03 :Ca (0H)2 = 50 重量 ％ ?80 重量 ％ :20 重量 ％ ?50 重量 ％ 的、Ca (0H) 2 和 CaC03 的 混合物。在這種情況下，成型性良好，在做成粒料時(shí)能夠抑制粉化。另外，在本實(shí)施方式中， 將該混合物做成底面的直徑為3_左右、高度為8_左右的圓柱形狀的粒料來(lái)使用。
[0076] 作為此時(shí)的吸附反應(yīng)，以作為鈣鹽使用CaC03和/或Ca (0H) 2的情況為例，以下 示出反應(yīng)式。
[0077] CaC03+2HF - CaF2+C02+H20··· (5)
[0078] Ca (0H)2+2HF -CaF2+2H20... (6)
[0079] 從上述（5)式?（6)式可知，HF與鈣鹽發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生CaF2 (氟化鈣(螢石)）、C02 (二氧化碳）以及H20 (水)。
[0080] 在排出器233上連接使壓縮空氣流入的壓縮空氣配管，利用通過(guò)使該壓縮空氣以 高速流動(dòng)而產(chǎn)生的負(fù)壓來(lái)抽吸排氣，與壓縮空氣一起排出到過(guò)氟化物處理裝置2外。由此， 排氣的溫度進(jìn)一步降低，并被排出。從酸成分除去裝置232排出后的排氣為例如200°C左 右，而從排出器233排出的排氣變成例如100°C以下。
[0081] 另外，分解氣體從酸成分除去裝置232的下方導(dǎo)入，并且從酸成分除去裝置232的 上方排出。而且，在分解氣體從酸成分除去裝置232的下方向上方流動(dòng)的期間，發(fā)生用上述 (5)式?（6)式例示的HF與鈣鹽的反應(yīng)，HF被干式除去。此時(shí)，鈣鹽變成CaF 2，由于不會(huì)再 發(fā)生反應(yīng)，所以需要依次進(jìn)行更換。
[0082] 因此，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有向酸成分除去裝置232供給鈣鹽的藥劑供給裝置 234、和從酸成分除去裝置232排出使用過(guò)的鈣鹽的藥劑排出裝置235。
[0083] 在本實(shí)施方式中，利用HF濃度傳感器236監(jiān)視HF的濃度，在HF的濃度達(dá)到了例 如lOOppm時(shí)，判斷為達(dá)到了鈣鹽的更換時(shí)期。然后，進(jìn)行設(shè)置于藥劑排出裝置235中的回 轉(zhuǎn)閥（未圖示）等的開(kāi)閉，排出規(guī)定量的使用過(guò)的鈣鹽。另外，排出使用過(guò)的鈣鹽之后，進(jìn)行 設(shè)置在藥劑供給裝置234中的回轉(zhuǎn)閥（未圖示）等的開(kāi)閉，供給已排出的量的新的鈣鹽。這 樣地操作，酸成分除去裝置232、藥劑排出裝置235內(nèi)的鈣鹽被依次更換。再者，該一連串的 步驟，通過(guò)控制裝置24取得從HF濃度傳感器236傳送的與HF的濃度相關(guān)的信息，而且在 HF的濃度達(dá)到了例如lOOppm時(shí)，進(jìn)行設(shè)置在藥劑供給裝置234和/或藥劑排出裝置235中 的回轉(zhuǎn)閥的開(kāi)閉的控制來(lái)自動(dòng)地進(jìn)行。另外，此時(shí)，鈣鹽也可以全部更換，但通常僅一部分 進(jìn)行更換。作為鈣鹽的更換量，是例如40kg/h。
[0084] 圖5是顯示酸成分除去裝置232的底部的圖。圖5中，示出從上方觀察酸成分除 去裝置232的底部的情況。另外，圖6是從圖5的VI方向觀察酸成分除去裝置232的底部 的圖。即，圖6示出從水平方向觀察酸成分除去裝置232的底部的情況。此外，圖7是從圖 6的VII方向觀察酸成分除去裝置232的底部的圖。即，圖7示出從下方觀察酸成分除去裝 置232的底部的情況，示出從背面觀察圖5所示的酸成分除去裝置232的底部的情況。
[0085] 以下使用圖5?圖7對(duì)酸成分除去裝置232的底部的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0086] 酸成分除去裝置232的底部具備：進(jìn)行鈣鹽的取出的閘門251a、251b、251c、251d、 251e、和進(jìn)行分解氣體的導(dǎo)入的狹縫部252。再者，以下在不區(qū)別閘門251a、251b、251c、 251d、251e的情況下，有時(shí)總稱為閘門251。
[0087] 如圖所示，閘門251和狹縫部252交替地排列成列狀。由此，在圖5以及圖6中， 狹縫部252位于5個(gè)閘門251a、251b、251c、251d、251e的兩側(cè)。
[0088] 閘門251，作為能夠開(kāi)閉，并在從關(guān)閉了的狀態(tài)變?yōu)榇蜷_(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的 鈣鹽的藥劑取出部、即藥劑排出裝置235的一部分發(fā)揮功能。
[0089] 在此，閘門251呈圓弧狀，該閘門251通過(guò)沿著預(yù)先確定的旋轉(zhuǎn)中心移動(dòng)來(lái)進(jìn)行 開(kāi)閉動(dòng)作。該動(dòng)作，通過(guò)軸253a、253b、253c、253d、253e (以下有時(shí)總稱為「軸253」）、和相 對(duì)于所述各個(gè)軸連動(dòng)旋轉(zhuǎn)的安裝部254a、254b、254c、254d、254e (以下有時(shí)總稱為「安裝部 254」）來(lái)實(shí)現(xiàn)。也就是說(shuō)，在安裝部254安裝有閘門251，因此當(dāng)軸253旋轉(zhuǎn)時(shí)，借助于安裝 部254,閘門251也以軸253為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由此，閘門251能夠進(jìn)行開(kāi)閉動(dòng)作。再 者，圖5?圖7中，閘門251顯示了「閉」的狀態(tài)。
[0090] 另外，在安裝部254還安裝有連結(jié)臂255a、255b、255c、255d。在此，連結(jié)臂255a將 安裝部254a和安裝部254b連結(jié)，連結(jié)臂255b將安裝部254b和安裝部254c連結(jié)。此外， 連結(jié)臂255c將安裝部254c和安裝部254d連結(jié)，連結(jié)臂255d將安裝部254d和安裝部254e 連結(jié)。
[0091] 另外，橫臂256的一端安裝在安裝部254a，在該橫臂256的另一端進(jìn)而連接縱臂 257的一端。而且，在縱臂257的另一端連接連結(jié)棒258的一端。
[0092] 縱臂257能夠以中心部257a為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。另外，連結(jié)棒258,另一端延伸到 酸成分除去裝置232的外部，用于從外部操作閘門251。該連結(jié)棒258被構(gòu)成為能夠沿XI 方向以及X2方向移動(dòng)。而且，若使連結(jié)棒258沿XI方向移動(dòng)(牽拉)，則縱臂257以中心部 257a為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，縱臂257,上部隨著連結(jié)棒258在XI方向移動(dòng)，并且旋轉(zhuǎn)，并 且，下部在X2方向移動(dòng)并且旋轉(zhuǎn)。因此，與縱臂257的下部連接的橫臂256也沿X2方向移 動(dòng)。
[0093] 而且，當(dāng)橫臂256沿X2方向移動(dòng)時(shí)，與橫臂256連接的安裝部254a以軸253a為 中心沿R1方向旋轉(zhuǎn)，因此閘門251a也沿R1方向旋轉(zhuǎn)。由此，閘門251a從「閉」的狀態(tài)變 為「開(kāi)」的狀態(tài)。
[0094] 另外，當(dāng)安裝部254a沿R1方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，隨著該旋轉(zhuǎn)，連結(jié)臂255a沿XI方向移動(dòng)， 由此，安裝部254b沿R1方向旋轉(zhuǎn)。由此，閘門251b也從「閉」的狀態(tài)變?yōu)椤搁_(kāi)」的狀態(tài)。
[0095] 進(jìn)而，當(dāng)安裝部254b沿R1方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，連結(jié)臂255b沿X3方向移動(dòng)，本次，安裝部 254c沿R2方向旋轉(zhuǎn)。由此，閘門251c沿R2方向旋轉(zhuǎn)，從「閉」的狀態(tài)變?yōu)椤搁_(kāi)」的狀態(tài)。
[0096] 而且，當(dāng)安裝部254c沿R2方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，連結(jié)臂255c、255d沿X2方向移動(dòng)，安裝部 254d、254e沿R2方向旋轉(zhuǎn)。因此，閘門251d、251e沿R2方向旋轉(zhuǎn)，從「閉」的狀態(tài)變?yōu)椤搁_(kāi)」 的狀態(tài)。
[0097] 通過(guò)如以上那樣使連結(jié)棒258沿XI方向移動(dòng)，能夠使全部的閘門251從「閉」的 狀態(tài)成為「開(kāi)」的狀態(tài)。而且，當(dāng)閘門251變?yōu)椤搁_(kāi)」的狀態(tài)時(shí)，鈣鹽從迄今被閘門251關(guān)閉 的間隙落下，由此，能夠取出鈣鹽。
[0098] 再者，要使閘門251從「開(kāi)」變?yōu)椤搁]」的狀態(tài)，只要進(jìn)行與上述的情況相反的操作 即可。也就是說(shuō)，當(dāng)使連結(jié)棒258沿X2方向移動(dòng)時(shí)(壓入)，縱臂257的下部一面沿XI方向 移動(dòng)一面旋轉(zhuǎn)。而且，由此，橫臂256沿XI方向移動(dòng)，連結(jié)臂255a沿X2方向移動(dòng)。而且， 連結(jié)臂255b沿X4方向移動(dòng)，連結(jié)臂255c、255d沿XI方向移動(dòng)。由此，軸253a、253b、安裝 部 254a、254b 沿 R2 方向旋轉(zhuǎn)，軸 253(：、253(1、2536、安裝部254(3、254(1、2546沿1?1方向旋轉(zhuǎn)。 由此，全部的閘門251從「開(kāi)」的狀態(tài)變?yōu)椤搁]」的狀態(tài)。
[0099] 另外，橫臂256的一端，可以安裝于例如安裝部254c，也可以以254c為起點(diǎn)，通過(guò) 連結(jié)臂255a、255b、255c、255d，使安裝部254a、254b和安裝部254d、254e沿分別相反方向旋 轉(zhuǎn)，來(lái)使閘門251開(kāi)閉。
[0100] 狹縫部252作為分解氣體導(dǎo)入部發(fā)揮功能，其配置于閘門251之間，具有從上方 朝向閘門251的斜面，并且在該斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使鈣鹽通過(guò)的大小的開(kāi)口 部。
[0101] 即，如圖5以及圖6所示，狹縫部252具有斜面S1、S2。該斜面S1和斜面S2,相互 朝向相反方向，在上部接合而形成頂部P。也就是說(shuō)，狹縫部252在閘門251之間呈山峰形， 從頂部P朝向兩側(cè)的閘門251延伸。
[0102] 在斜面SI、S2上，形成有作為開(kāi)口部的一例的、狹縫252a。而且，該狹縫252a，作 為不使例如粒料狀的鈣鹽通過(guò)的寬度而形成。由此，分解氣體能夠通過(guò)狹縫252a而導(dǎo)入到 酸成分除去裝置232的內(nèi)部，但鈣鹽不能通過(guò)。因此，只要不被從上述的閘門251取出，就 留在酸成分除去裝置232內(nèi)。
[0103] 通過(guò)使狹縫部252為具有斜面SI、S2的構(gòu)成，能夠增加向酸成分除去裝置232內(nèi) 導(dǎo)入分解氣體的部位的面積。因此，分解氣體的導(dǎo)入難以被阻礙。另外，例如粒料狀的鈣鹽， 能夠從該斜面S1、S2滑落，而且到達(dá)至閘門251的上部。因此，能夠從閘門251的部位更順 利地取出鈣鹽，難以產(chǎn)生鈣鹽堵塞等的現(xiàn)象。
[0104] 再者，排出上述的鈣鹽的回轉(zhuǎn)閥，存在于比圖示的部位更靠下方，從閘門251取出 的鈣鹽，從該回轉(zhuǎn)閥最終地排出。另外，閘門251的開(kāi)閉動(dòng)作，與回轉(zhuǎn)閥的動(dòng)作連動(dòng)地進(jìn)行。 也就是說(shuō)，在從回轉(zhuǎn)閥排出鈣鹽時(shí)，通過(guò)控制裝置24的控制，使連結(jié)棒258沿XI方向移動(dòng)， 使閘門251成為「開(kāi)」的狀態(tài)，來(lái)進(jìn)行取出鈣鹽的處理。另外，規(guī)定量的鈣鹽通過(guò)閘門251 之后，使連結(jié)棒258沿X2方向移動(dòng)，使閘門251成為「閉」的狀態(tài)，停止取出鈣鹽的處理。
[0105] 粉末捕集器237是為了除去在更換鈣鹽時(shí)等在酸成分除去裝置232中產(chǎn)生的鈣鹽 的粉末等而設(shè)置的。作為粉末捕集器237,能夠使用金屬網(wǎng)式過(guò)濾器等。
[0106] <過(guò)氟化物處理裝置的動(dòng)作的說(shuō)明>
[0107] 圖8是對(duì)過(guò)氟化物處理裝置2的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明的流程圖。
[0108] 以下使用圖3以及圖8對(duì)過(guò)氟化物處理裝置2的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
[0109] 首先，裝置入口排氣通過(guò)預(yù)處理裝置21的入口加熱器211而被進(jìn)行預(yù)熱(步驟 101)。由此，裝置入口排氣中所含的霧蒸發(fā)。
[0110] 接著，向被預(yù)熱了的裝置入口排氣中導(dǎo)入空氣，利用預(yù)處理裝置21的過(guò)濾器212 除去微粒子(步驟102)。
[0111] 然后，裝置入口排氣通過(guò)采用熱交換器231進(jìn)行的熱交換而被加熱(步驟103)。另 夕卜，此時(shí)，添加過(guò)氟化物的分解反應(yīng)所需的水(步驟104)。
[0112] 通過(guò)了熱交換器231的裝置入口排氣，首先被第1加熱器221加熱(步驟105)，進(jìn) 而被第2加熱器222進(jìn)一步加熱到過(guò)氟化物分解所需的溫度(步驟106)。然后，在通過(guò)第2 加熱器222的催化劑層222b時(shí)，過(guò)氟化物分解，裝置入口排氣變成含有HF的分解氣體(步 驟 107)。
[0113] 分解氣體再次進(jìn)入熱交換器231，在其與前述的裝置入口排氣之間進(jìn)行熱交換(步 驟 108)。
[0114] 然后，分解氣體在酸成分除去裝置232中與鈣鹽發(fā)生反應(yīng)，HF被干式除去（步驟 109)。另外，此時(shí)，控制裝置24判斷由HF濃度傳感器236取得的HF濃度是否達(dá)到了規(guī)定 的值以上(步驟110)。然后，在達(dá)到了規(guī)定的值以上時(shí)(在步驟110中為是)，使藥劑排出裝 置235和藥劑供給裝置234進(jìn)行動(dòng)作，進(jìn)行鈣鹽的更換(步驟111)。另外，在小于規(guī)定的值 時(shí)(在步驟110中為否)，不進(jìn)行鈣鹽的更換，進(jìn)入到接下來(lái)的步驟112。
[0115] HF被干式除去后的排氣，被粉末捕集器237除去粉末后（步驟112)，利用排出器 233排出到過(guò)氟化物處理裝置2外(步驟113)。
[0116] 以上詳細(xì)敘述的過(guò)氟化物處理裝置2,具有以下那樣的特征。
[0117] (i)由于利用催化劑層222b進(jìn)行過(guò)氟化物的分解，所以能夠處理大量的蝕刻排 氣，并且能夠降低運(yùn)行成本。
[0118] (ii)通過(guò)與鈣鹽的吸附反應(yīng)而將分解氣體中所含的HF干式除去，由此，相對(duì)于以 往的使HF溶解于水中來(lái)除去HF的方法，不會(huì)產(chǎn)生含有HF的排水。另外，吸附反應(yīng)后生成 的CaF 2是無(wú)害的，并且操作容易。而且，CaF2成為制造 HF的原料，因此是有價(jià)值物。也就 是說(shuō)，能夠從對(duì)地球環(huán)境有害的蝕刻排氣制造作為有價(jià)值物的CaF2。
[0119] (iii)通過(guò)利用熱交換器231在裝置入口排氣與分解氣體之間進(jìn)行熱交換，能量 的利用效率上升。另外，與以往的利用水冷卻分解氣體的方式相比，不會(huì)產(chǎn)生排水。因此， 不需要排水處理工序，能夠減少過(guò)氟化物處理裝置2的運(yùn)行成本。
[0120] (iv)通過(guò)組入配置于酸成分除去裝置232的上方的藥劑供給裝置234和在下方具 有藥劑排出裝置235的藥劑層232a，能夠采用僅打開(kāi)閥來(lái)利用重力落入這一簡(jiǎn)便的系統(tǒng)來(lái) 進(jìn)行鈣鹽的更換。另外，在本實(shí)施方式中，從下方導(dǎo)入分解氣體，從上方排氣，并且通過(guò)設(shè)置 HF濃度傳感器236,監(jiān)視HF的濃度來(lái)進(jìn)行鈣鹽的更換時(shí)期的判斷。由此，藥劑層232a的上 層部不被排出，而僅排出下層部的反應(yīng)過(guò)的鈣鹽，因此幾乎不產(chǎn)生未反應(yīng)的鈣鹽，能夠使鈣 鹽的浪費(fèi)的消耗量較少。
[0121] (v)另外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)將酸成分除去裝置232的底部作成圖5?圖7中 所示的結(jié)構(gòu)，在從酸成分除去裝置232的下方導(dǎo)入分解氣體時(shí)難以被阻礙，在從酸成分除 去裝置232的下方取出鈣鹽時(shí)也能夠順利地進(jìn)行。也就是說(shuō)，本實(shí)施方式的酸成分除去裝 置232成為下述結(jié)構(gòu)：能夠從同一裝置底部進(jìn)行分解氣體的導(dǎo)入和鈣鹽的取出，并且分解 氣體的流通和鈣鹽的流通難以相互給予影響。
[0122] <實(shí)際的過(guò)氟化物處理裝置的說(shuō)明>
[0123] 圖9是從上方觀察實(shí)際制造成的過(guò)氟化物處理裝置2的圖。另外，圖10是從圖9 的VII方向觀察實(shí)際制造成的過(guò)氟化物處理裝置2的圖。而且，圖11是圖9的X-X截面圖。 艮P，圖10、圖11為從水平方向觀察過(guò)氟化物處理裝置2的圖。
[0124] 如圖所示，實(shí)際的過(guò)氟化物處理裝置2,在從上方觀察的情況下，大致全部的設(shè)備 配置在矩形區(qū)域的內(nèi)部。再者，控制裝置24被配置在矩形區(qū)域的外部。再者，所謂本實(shí)施 方式中的矩形，雖然長(zhǎng)方形為基本形狀，但與長(zhǎng)方形接近的梯形、平行四邊形、橢圓形等也 在不脫離本實(shí)施方式的特征的范圍內(nèi)包括在矩形中。
[0125] 接著，進(jìn)行圖9?圖11中的過(guò)氟化物處理裝置2的各設(shè)備的說(shuō)明。再者，以下，使 控制裝置24所設(shè)置的位置從上方觀察時(shí)處于過(guò)氟化物處理裝置2的左下側(cè)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
[0126] 裝置入口排氣從過(guò)氟化物處理裝置2的左下側(cè)被導(dǎo)入。然后，經(jīng)由多個(gè)配管向圖 9中的右方向流動(dòng)，并通過(guò)設(shè)置在過(guò)氟化物處理裝置2的下側(cè)的入口加熱器211。然后，此 時(shí)，利用配置在入口加熱器211中的加熱器211a (參照?qǐng)D3)進(jìn)行預(yù)熱。由此，裝置入口排 氣中所含的霧蒸發(fā)。另外，通過(guò)了入口加熱器211的裝置入口排氣進(jìn)一步向圖9中的右方 向流動(dòng)而被導(dǎo)入到過(guò)濾器212,裝置入口排氣中所含的微粒子被除去。另外，雖然未圖示，但 向通過(guò)入口加熱器211后的裝置入口排氣中導(dǎo)入空氣。
[0127] 再者，在本實(shí)施方式中，作為過(guò)濾器，不僅有過(guò)濾器212,還具備預(yù)過(guò)濾器212a。 艮P，在過(guò)濾器212因堵塞等的原因而需要更換的情況下，通過(guò)操作設(shè)置在與過(guò)濾器212連 接的配管上的閥等，切換裝置入口排氣流通的配管，而使裝置入口排氣向預(yù)過(guò)濾器212a流 入。由此，能夠在過(guò)濾器212的更換作業(yè)中利用預(yù)過(guò)濾器212a進(jìn)行微粒子的除去，能夠不 停止過(guò)氟化物處理裝置2的運(yùn)行且實(shí)現(xiàn)過(guò)濾器212的更換作業(yè)。
[0128] 通過(guò)過(guò)濾器212后的裝置入口排氣，通過(guò)配管P1向箭頭A方向流動(dòng)，進(jìn)入到設(shè)置 在過(guò)氟化物處理裝置2的上側(cè)的熱交換器231。然后，裝置入口排氣通過(guò)由熱交換器231進(jìn) 行的熱交換而被加熱。另外，雖然未圖示，但此時(shí)在熱交換器231中添加有水，該水變?yōu)樗?蒸氣而與裝置入口排氣一起被輸送。
[0129] 從熱交換器231排出的裝置入口排氣，通過(guò)配管P2向箭頭B方向流動(dòng)，進(jìn)入到設(shè) 置在過(guò)氟化物處理裝置2的右下側(cè)的第1加熱器221中。第1加熱器221是臥式的加熱器， 從圖9中的左側(cè)流入裝置入口排氣，從圖9中的右側(cè)排出裝置入口排氣。而且，第1加熱器 221在內(nèi)部配置有加熱器221a (參照?qǐng)D3)，在裝置入口排氣在第1加熱器221內(nèi)部從左側(cè) 向右側(cè)移動(dòng)時(shí)被進(jìn)行加熱。
[0130] 接著，從第1加熱器221排出的裝置入口排氣，通過(guò)配管P3向箭頭C方向流動(dòng)，進(jìn) 入到設(shè)置在過(guò)氟化物處理裝置2的右上側(cè)的第2加熱器222中。第2加熱器222是立式的 加熱器，在上方配置有加熱器222a (參照?qǐng)D3)，在下方配置有催化劑層222b (參照?qǐng)D3)。 而且，裝置入口排氣從第2加熱器222的上方流入，被加熱器222a加熱到過(guò)氟化物的分解 溫度，并且流向第2加熱器222的下方。然后，在催化劑層222b中，過(guò)氟化物與和裝置入口 排氣混合了的水(水蒸氣）反應(yīng)，被分解。然后，成為作為分解后的生成物的含有HF的酸性 的分解氣體，從第2加熱器222的下方排出。
[0131] 然后，從第2加熱器222排出的分解氣體，通過(guò)配管P4向箭頭D方向流動(dòng)，再次進(jìn) 入到熱交換器231中。然后，在熱交換器231中，在高溫的分解氣體與低溫的裝置入口排氣 之間進(jìn)行熱交換。
[0132] 從熱交換器231排出的分解氣體，通過(guò)配管P5向箭頭E方向（圖9中的左方向)流 動(dòng)，進(jìn)入到設(shè)置在過(guò)氟化物處理裝置2的上側(cè)的酸成分除去裝置232中。此時(shí)，從圖11可 知，分解氣體從酸成分除去裝置232的下方流入，向酸成分除去裝置232的上方流動(dòng)。然后， 此時(shí)，在包含鈣鹽的藥劑層232a (參照?qǐng)D3)中，分解氣體中所含的HF產(chǎn)生吸附反應(yīng)，被干 式除去。然后，成為無(wú)害化的排氣，從酸成分除去裝置232的上方排出。
[0133] 另外，在酸成分除去裝置232中，在酸成分除去裝置232的上部設(shè)置有藥劑供給裝 置234,在酸成分除去裝置232的下部設(shè)置有藥劑排出裝置235。而且，在由HF濃度傳感器 236檢測(cè)的HF的濃度達(dá)到了預(yù)先確定的濃度以上時(shí)，控制裝置24進(jìn)行設(shè)置在藥劑排出裝置 235中的回轉(zhuǎn)閥R 〇2的開(kāi)閉，排出規(guī)定量的使用過(guò)的鈣鹽。另外，此時(shí)，閘門251成為「開(kāi)」 的狀態(tài)。而且在排出使用過(guò)的鈣鹽后，控制裝置24進(jìn)行設(shè)置在藥劑供給裝置234中的回轉(zhuǎn) 閥Rol的開(kāi)閉，供給已排出的量的新的鈣鹽。
[0134] 從酸成分除去裝置232排出的排氣，通過(guò)配管P6向箭頭F方向（圖9中的左方向） 流動(dòng)，進(jìn)入到設(shè)置在過(guò)氟化物處理裝置2的左上側(cè)的粉末捕集器237。然后，由粉末捕集器 237除去鈣鹽的粉末等。再者，在配管P6的途中配置有HF濃度傳感器236,來(lái)測(cè)定排氣中 所含的HF的濃度。另外，配管P6在本實(shí)施方式中設(shè)為較長(zhǎng)，在周圍具備散熱翅片。這也可 以換言為：與酸成分除去裝置232連接、且趨向排出器233的配管P6沿著矩形區(qū)域的另一 長(zhǎng)邊側(cè)配置，具備冷卻排氣的散熱翅片。由此，能夠使排氣的溫度進(jìn)一步降低。
[0135] 然后，從粉末捕集器237排出的排氣，最后被設(shè)置在過(guò)氟化物處理裝置2的左上側(cè) 的排出器233抽吸，通過(guò)配管P7向箭頭G方向（圖9中的上方向)流動(dòng)，被排出到裝置外部。
[0136] 另外，在上述的例子中，說(shuō)明了處理在半導(dǎo)體制造車間中排出的蝕刻排氣中所含 的過(guò)氟化物的情況，但當(dāng)然不限于此。例如，也可以是處理從液晶制造車間等排出的蝕刻排 氣和/或清洗排氣中所含的過(guò)氟化物的情況。
【權(quán)利要求】
1. 一種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具有酸成分除去單元，該酸成分除去單元具 備： 藥劑取出部，其能夠開(kāi)閉，在從關(guān)閉了的狀態(tài)變?yōu)榇蜷_(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑； 和 分解氣體導(dǎo)入部，其配置于所述藥劑取出部之間，具有從上方朝向該藥劑取出部的斜 面，并且，在該斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的大小的開(kāi)口部。
2. -種過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，具備： 加熱單元，其對(duì)含有過(guò)氟化物的氣體以及水進(jìn)行加熱，并且利用預(yù)先確定的催化劑水 解過(guò)氟化物，生成含有酸性氣體的分解氣體； 熱交換單元，其被配置在所述加熱單元的前段以及后段，在流入該加熱單元之前的含 有過(guò)氟化物的氣體以及水與從該加熱單元流出后的分解氣體之間進(jìn)行熱交換；和 酸成分除去單元，其通過(guò)使酸成分與藥劑反應(yīng)而將其從自所述熱交換單元流出后的分 解氣體干式除去， 所述酸成分除去單元在裝置底部具備： 藥劑取出部，其能夠開(kāi)閉，在從關(guān)閉了的狀態(tài)變?yōu)榇蜷_(kāi)了的狀態(tài)時(shí)取出反應(yīng)后的藥劑； 和 分解氣體導(dǎo)入部，其配置于所述藥劑取出部之間，具有從上方朝向該藥劑取出部的斜 面，并且，在該斜面上具有使分解氣體通過(guò)而不使藥劑通過(guò)的大小的開(kāi)口部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，所述藥劑取出部和所述分 解氣體導(dǎo)入部交替地排列成列狀。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，所述分解氣體導(dǎo)入部 的所述斜面包含相互朝向相反方向的2個(gè)斜面。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于，所述藥劑取出部為圓 弧狀的閘門，該閘門通過(guò)沿著預(yù)先確定的旋轉(zhuǎn)中心移動(dòng)而進(jìn)行開(kāi)閉動(dòng)作。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2或者3所述的過(guò)氟化物處理裝置，其特征在于， 進(jìn)一步具備從所述酸成分除去單元的上方供給藥劑的藥劑供給單元， 向所述酸成分除去單元導(dǎo)入的分解氣體，從該酸成分除去單元的上方排出。
【文檔編號(hào)】B01D53/68GK104107623SQ201410152775
【公開(kāi)日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年4月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月22日
【發(fā)明者】鳥(niǎo)巢純一, 早坂裕二, 加藤健一 申請(qǐng)人:昭和電工株式會(huì)社