專利名稱：臭氧氣體的濃縮方法及其裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向半導(dǎo)體制造設(shè)備等臭氧消耗設(shè)備供給濃縮到規(guī)定濃度范圍的臭氧氣體的方法及其裝置，尤其涉及對在臭氧發(fā)生器中產(chǎn)生的臭氧氣體進(jìn)行提純并作為規(guī)定濃度范圍的濃縮臭氧氣體進(jìn)行供給的方法及其裝置。
背景技術(shù)：
一般而言，通過將來自氧氣瓶的氧氣和從大氣中分離出的氧氣供給至臭氧發(fā)生器來產(chǎn)生臭氧氣體，但即使利用來自氧氣瓶的氧氣來產(chǎn)生臭氧氣體，臭氧氣體在氧氣中的濃度也只會達(dá)到5 10vol%左右。而且，因?yàn)槌粞鯕怏w的自分解性強(qiáng)，所以臭氧氣體在臭氧氣體供給路徑中進(jìn)行自我分解，在向臭氧氣體消耗設(shè)備供給的階段中，濃度變得更低，而且臭氧氣體的供給濃度不穩(wěn)定。近年來，在半導(dǎo)體的制造領(lǐng)域中，在基板等上形成氧化膜時利用臭氧的氧化能力的情況逐漸增加，此時希望供給穩(wěn)定的中濃度的臭氧氣體，以便在短時間內(nèi)穩(wěn)定地形成恰當(dāng)厚度的氧化膜。因此，本申請的申請人以前提出了如下的技術(shù)(專利文獻(xiàn)1)，即，先將來自臭氧發(fā)生器的臭氧及氧氣混合氣體供給至填充有非冷卻狀態(tài)的臭氧吸附劑的吸附筒，來使吸附劑選擇性地吸附臭氧氣體，并且在進(jìn)行臭氧氣體脫離操作時使吸附筒形成真空來使臭氧氣體從吸附劑脫離的技術(shù)。另外，提出了在從吸附筒導(dǎo)出臭氧氣體的脫離臭氧氣體導(dǎo)出路上安裝平滑化容器，并在該平滑化容器的下游側(cè)配置有減壓單元的技術(shù)(專利文獻(xiàn)2)。專利文獻(xiàn)1:國際公開2008-062534號公報；專利文獻(xiàn)2 :日本特開昭61-72602號公報。在所述專利文獻(xiàn)I所公開的臭氧濃縮技術(shù)中，通過反復(fù)向非冷卻狀態(tài)的吸附劑吸附臭氧氣體及使臭氧氣體從吸附劑脫離，能夠?qū)⒊粞鯕怏w濃縮為三倍左右，但根據(jù)實(shí)施例可知，其吸附壓力為 3. 4kPa · G、7.1kPa · G 及 12. 3kPa · G?！愣?，越以高的壓力吸附，臭氧氣體的吸附量越多，但在以高壓吸附時，在剛剛開始脫離之后，在濃縮臭氧在取出配管中壓力急劇上升。伴隨與此，在配管內(nèi)或減壓單元(真空泵)內(nèi)臭氧容易發(fā)生自我分解。由此可知，難以通過單純的提高壓力來增加吸附量。另一方面，在從吸附筒導(dǎo)出臭氧氣體的脫離臭氧氣體導(dǎo)出路上安裝有平滑化容器并且在該平滑化容器的下游側(cè)配置有減壓單元的專利文獻(xiàn)2的技術(shù)中，能夠抑制在剛剛開始脫離后在脫離臭氧氣體導(dǎo)出路中壓力急劇上升，但在吸附筒中的臭氧氣體脫離操作中不能發(fā)揮減壓發(fā)生單元的性能，從而脫離壓力不能充分地變低，所以存在不能充分地進(jìn)行臭氧氣體的高濃度化這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明著眼于這些問題而作出的，其目的在于，提供一種臭氧濃縮方法及其裝置，使得通過追加簡易的配管及配管設(shè)備，就能夠預(yù)防在剛剛開始脫離后在裝置內(nèi)壓力急劇上升，并實(shí)現(xiàn)吸附壓力的高壓化，由此能夠以較高的濃縮率取出濃縮臭氧氣體。
為了達(dá)成上述目的，技術(shù)方案I所述的本發(fā)明是一種臭氧氣體濃縮方法，并列配置向內(nèi)部填充非冷卻狀態(tài)的吸附劑而成的至少兩個吸附筒，使容置在各吸附筒內(nèi)的非冷卻狀態(tài)的吸附劑在臭氧及氧氣混合氣體中作用而選擇性地吸附臭氧氣體，并且在進(jìn)行臭氧氣體脫離操作時，通過對各吸附筒進(jìn)行減壓處理來使臭氧氣體從吸附劑脫離，由此濃縮提純臭氧氣體，另外，控制上述至少兩個吸附筒，使至少兩個吸附筒分別交替反復(fù)進(jìn)行吸附工序和脫離工序，并且在一個吸附筒處于吸附工序時使另一個吸附筒處于脫離工序，該臭氧氣體濃縮方法的特征在于，在從臭氧氣體的吸附工序要向脫離工序切換時經(jīng)由壓力均等化工序，在壓力均等化工序中，使結(jié)束了吸附工序的吸附筒和結(jié)束了脫離工序的吸附筒相連通，使得內(nèi)部的壓力均等化，另外在進(jìn)行了壓力均等化工序之后，使所述結(jié)束了吸附工序的吸附筒與減壓發(fā)生單元相連通，來使臭氧氣體從吸附劑脫離。另外，提供一種臭氧氣體濃縮方法，并列配置向內(nèi)部填充非冷卻狀態(tài)的吸附劑而成的至少兩個吸附筒，使容置在各吸附筒內(nèi)的非冷卻狀態(tài)的吸附劑在臭氧及氧氣混合氣體中作用而選擇性地吸附臭氧氣體，并且在進(jìn)行臭氧氣體脫離操作時，通過對各吸附筒進(jìn)行減壓處理來使臭氧氣體從吸附劑脫離，由此濃縮提純臭氧氣體，另外，控制上述至少兩個吸附筒，使至少兩個吸附筒分別交替反復(fù)進(jìn)行吸附工序和脫離工序，并且在一個吸附筒處于吸附工序時使另一個吸附筒處于脫離工序，該臭氧氣體濃縮方法的特征在于，在從臭氧氣體的吸附工序要向脫離工序切換時，使過去處于吸附工序的吸附筒和處于脫離結(jié)束階段的吸附筒相連通，使得內(nèi)部的壓力均等化，之后，使過去處于吸附階段的吸附筒與減壓發(fā)生單元相連通，來使臭氧氣體從吸附劑脫離。技術(shù)方案2所述的本發(fā)明的臭氧氣體濃縮方法的特征在于，控制壓力均等化工序的結(jié)束時刻，使得壓力均等化工序在高壓側(cè)吸附筒的內(nèi)壓和低壓側(cè)吸附筒的內(nèi)壓之間的壓差達(dá)到壓力均等化工序的開始時的壓差的40%以下的壓力的階段結(jié)束。技術(shù)方案3所述的本發(fā)明的臭氧氣體濃縮方法的特征在于，在壓力均等化工序即將開始之前，關(guān)閉所述結(jié)束了吸附工序的吸附筒的臭氧氣體入口側(cè)的閥并開啟出口側(cè)的閥，來降低吸附筒內(nèi)壓。技術(shù)方案4所述的本發(fā)明是一種臭氧氣體濃縮裝置，其特征在于，并列配置有向內(nèi)部填充吸附劑而成的至少兩個吸附筒，在各吸附筒上分別安裝有氣體導(dǎo)入閥、氣體導(dǎo)出閥及氣體排出閥，所述氣體導(dǎo)入閥與安裝有臭氧發(fā)生器的氣體導(dǎo)入路相連接，氣體導(dǎo)出閥與安裝有真空泵的濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路相連接，氣體排出閥與安裝有臭氧分解器的氣體排出路相連接，控制安裝在各吸附筒上的氣體導(dǎo)入閥和氣體排出閥以能夠同步進(jìn)行開閉動作，并且使安裝在同一吸附筒上的氣體導(dǎo)入閥和氣體導(dǎo)出閥以擇一的方式進(jìn)行開啟動作，對各閥進(jìn)行切換控制，以使各吸附筒交替反復(fù)進(jìn)行與氣體導(dǎo)入路相連通的吸附工序和與濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路相連通的脫離工序，并且使至少兩個吸附筒中的一個吸附筒處于吸附工序而另外的吸附筒處于脫離工序，在各閥的吸附筒側(cè)配置有使吸附筒內(nèi)部彼此連通的至少一個系統(tǒng)的連通路，并且在該連通路上安裝有流路開閉閥，對該流路開閉閥進(jìn)行開閉控制，使得該流路開閉閥與所述氣體導(dǎo)入閥及氣體導(dǎo)出閥的開閉動作同步。在上述內(nèi)容中，吸附工序是指進(jìn)行吸附作業(yè)的工序，表示吸附作業(yè)中；脫離工序是指進(jìn)行脫離作業(yè)的工序，表示脫離作業(yè)中；吸附階段是指吸附劑上吸附著臭氧氣體的階段，包括吸附工序開始后至脫離工序開始之前的各個工序(包括吸附工序、吸附工序后的壓力均等化工序、技術(shù)方案3記載的工序)；脫離結(jié)束階段是指脫離結(jié)束工序結(jié)束后至下一次吸附工序開始前的階段。在本發(fā)明中，通過壓力均等化來將吸附后的高壓的吸附筒內(nèi)壓減壓到大氣壓左右，因而能夠防止剛剛開始脫離后的配管及減壓發(fā)生單元中壓力急劇上升，從而能夠預(yù)防臭氧氣體的自我分解以及于此伴隨的設(shè)備的破損。其結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)吸附筒內(nèi)的吸附壓力的高壓化，能夠提高臭氧濃縮率，此外能夠使減壓發(fā)生單元的吸引力直接作用于吸附筒內(nèi)，從而能夠進(jìn)一步降低吸附筒內(nèi)的壓力，因而能夠增加臭氧的取出量。進(jìn)而，在安裝在與吸附筒相連通的氣體通路上的各閥的吸附筒側(cè)配置使吸附筒內(nèi)部彼此相連通的連通路，并且僅在該連通路上安裝流路開閉閥，所以能夠在不需要增加設(shè)備、大幅擴(kuò)充與地面接觸的空間的情況下，通過追加簡易的配管及配管設(shè)備就能夠使臭氧氣體更加高濃度化。


圖1是示出了本發(fā)明的實(shí)施方式的一個例子的系統(tǒng)圖。圖2是示出了壓力均等化時間與臭氧濃度、臭氧量及流量之間的關(guān)系的曲線圖。圖3是示出了吸附筒內(nèi)部的壓力變化和經(jīng)過時間之間的關(guān)系的曲線圖。圖4是示出了吸附筒內(nèi)部的壓力變化和經(jīng)過時間之間的關(guān)系的曲線圖。圖5是示出了降壓時間與臭氧濃度、臭氧量及流量之間的關(guān)系的曲線圖。附圖標(biāo)記說明I吸附劑，2吸附筒，4氣體導(dǎo)入路，5濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路，6氣體排出路，7氣體導(dǎo)入閥，8臭氧發(fā)生器，10氣體導(dǎo)出閥，11減壓發(fā)生單元(真空泵)，18氣體排出閥，19臭氧分解器，20流路開閉閥，21連通路
具體實(shí)施例方式圖1是示出了本發(fā)明的實(shí)施方式的一個例子的系統(tǒng)圖。該臭氧氣體濃縮裝置具有吸附筒2，其內(nèi)部填充有用于選擇性地吸附臭氧氣體的硅膠等吸附劑I ;氣體導(dǎo)入路4，其使氧氣貯藏容器等的臭氧原料氣體源3和吸附筒2相連通連接；濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路5，其從吸附筒2導(dǎo)出；通過氣體(through gas)的氣體排出路6，其從吸附筒2導(dǎo)出。此外，在本實(shí)施方式中，并列配置兩個吸附筒2，在一個吸附筒處于吸附工序時另一個吸附筒處于脫離工序。氣體導(dǎo)入路4分別經(jīng)由氣體導(dǎo)入閥7與各吸附筒2相連接，在該氣體導(dǎo)入路4上從上游側(cè)起依次配置有臭氧發(fā)生器8及質(zhì)量流量控制器(MFC :mass flow control) 90并且，通過氣體導(dǎo)入閥7的切換控制，使在臭氧發(fā)生器8中產(chǎn)生的臭氧及氧氣混合氣體以恒定流量以擇一的方式供給至各吸附筒2。另一方面，濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路5經(jīng)由氣體導(dǎo)出閥10與各吸附筒2相連接，并且，在該濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路5上，從吸附筒側(cè)起依次配置有作為減壓發(fā)生單元的隔膜式真空泵11、緩沖罐13、質(zhì)量流量控制器14以及流路開閉閥15。并且，通過氣體導(dǎo)出閥10的切換控制，吸附筒2與隔膜式真空泵11以擇一的方式相連通。另外，通過切換流路切換閥12，在真空泵11的吐出口 Ilb和緩沖罐13相連通的狀態(tài)和真空泵11的吐出口 Ilb經(jīng)由連接路16與所述排出路6相連通的狀態(tài)之間，以擇一的方式進(jìn)行切換。此外，所述氣體導(dǎo)入路4和濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路5在比安裝有氣體導(dǎo)入閥7及氣體導(dǎo)出閥10的部位更靠近吸附筒側(cè)的部分合流并且其合流路17與吸附筒2相連接。進(jìn)而，氣體排出路6經(jīng)由氣體排出閥18與各吸附筒2相連接，并且在該氣體排出路6上配置有臭氧分解器19，該臭氧分解器19的出口與氣體導(dǎo)入路4上的臭氧發(fā)生器8的上游側(cè)相連通連接。并且，安裝在該各吸附筒2上的氣體排出閥18與安裝在同一吸附筒2上的氣體導(dǎo)入閥7的開閉動作連動地進(jìn)行開閉，在向吸附筒2內(nèi)供給臭氧及氧氣混合氣體時開啟該氣體排出閥18，由此將未吸附到吸附劑I的氧氣和一部分吸附后剩余的臭氧氣體供給至臭氧分解器19。并且，與各吸附筒2相連接的氣體排出路6上的氣體排出閥18的上游側(cè)(吸附筒側(cè))部分通過中途安裝有流路開閉閥20的連通路21而相連通連接。另外，與吸附筒2相連接的所述合流路17彼此也通過中途安裝有流路開閉閥20的連通路21而相連通連接。該連通路21的總的通路橫截面面積構(gòu)成為能夠使比臭氧及氧氣混合氣體的供給流量更大的流量流過。此時，在將連通路21設(shè)置在吸附筒2的排出側(cè)或合流路17側(cè)中的一方的情況下，僅該一方的連通路21的通路橫截面面積成為對象。在圖1中，附圖標(biāo)記22是在氣體排出路6上安裝在臭氧分解器19的入口部分上的臭氧濃度檢測器，附圖標(biāo)記23是在濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路5上安裝在質(zhì)量流量控制器14的出口側(cè)的臭氧濃度檢測器，附圖標(biāo)記24是顯示吸附筒2及緩沖罐13的內(nèi)壓的壓力計(PIA)，附圖標(biāo)記25是使配置在氣體導(dǎo)入路4上的質(zhì)量流量控制器9的下游側(cè)和氣體排出路6上的臭氧濃度檢測器22的入口部分相連通連接的旁通路，附圖標(biāo)記26是安裝在該旁通路25上的流路切斷閥。在這樣構(gòu)成的臭氧濃縮裝置中，在開啟氣體導(dǎo)入閥7和氣體排出閥18并且關(guān)閉氣體導(dǎo)出閥10的狀態(tài)下，將在臭氧發(fā)生器8中產(chǎn)生的臭氧及氧氣混合氣體向一個吸附筒2供給，并使該混合氣體在吸附筒2內(nèi)流通。此時，不從外部對吸附劑I供給用于加熱或冷卻的熱能，而保持所謂常溫狀態(tài)(自然放置狀態(tài))。供給至吸附筒2的臭氧及氧氣混合氣體中的臭氧氣體成分被吸附到吸附劑I上，而吸附后剩余的一部分臭氧氣體和作為載氣的氧氣從氣體排出路6向臭氧分解器19送入。在使臭氧及氧氣混合氣體向吸附筒2流入規(guī)定時間后吸附劑I上的吸附量成為規(guī)定量時，關(guān)閉至此流入了臭氧及氧氣混合氣體的吸附筒2上的氣體導(dǎo)入閥7和氣體排出閥18，并且關(guān)閉處于脫離工序的吸附筒2上的氣體導(dǎo)出閥10，而且開啟使氣體排出路6彼此相連接的連通路21和使合流路17彼此相連接的連通路21中的任一個通路或兩個通路上的流路開閉閥20，使結(jié)束了吸附工序的高壓側(cè)的吸附筒2和結(jié)束了脫離工序的低壓側(cè)的吸附筒2相連通，使兩個吸附筒22的內(nèi)壓均等化。在該均壓化作業(yè)中，從臭氧發(fā)生器8至吸附筒2的氣體導(dǎo)入路4將要被封閉，但此時，通過開啟旁通路25的流路切斷閥26，來使臭氧及氧氣混合氣體從旁通路25向氣體排出路6側(cè)流動，因而能夠防止氣體導(dǎo)入路4被封閉。關(guān)閉流路開閉閥20，接著，開啟過去處于吸附工序的吸附筒2的氣體導(dǎo)出閥10，來使吸附筒2內(nèi)與真空泵11相連通，由此對吸附筒2內(nèi)進(jìn)行減壓而使臭氧成分從吸附劑I真空脫離。此時，通過開啟至此處于脫離工序的吸附筒2的氣體導(dǎo)入閥7和氣體排出閥18，來將在臭氧發(fā)生器8中產(chǎn)生的臭氧及氧氣混合氣體向另一個吸附筒2供給，使混合氣體在吸附筒2內(nèi)流通而使臭氧氣體吸附到吸附劑I上。通過將從吸附筒2脫離的濃縮臭氧氣體暫時蓄積到緩沖罐13中，即使從吸附筒2脫離的臭氧氣體的濃度產(chǎn)生濃度變化，也能夠在緩沖罐13內(nèi)使其濃度平均化，從而能夠以維持了恒定范圍內(nèi)的濃度的狀態(tài)向臭氧消耗設(shè)備等供給。此時，送至緩沖罐13的濃縮臭氧氣體是在通過壓力均等化處理優(yōu)先使吸附在吸附劑I上的氧氣成分脫離并轉(zhuǎn)送至另一吸附筒中之后而脫離出的臭氧氣體成分，因而成為純度高的臭氧氣體。由此，能夠使蓄積至緩沖罐13內(nèi)的臭氧氣體的濃度達(dá)到20至90vol%的中高純度。在該一個吸附筒2進(jìn)行脫離動作期間另一個吸附筒2進(jìn)行吸附動作，通過兩個吸附筒22交替進(jìn)行吸附及脫離動作，由此連續(xù)取出濃縮臭氧氣體。此外，可以設(shè)置多對該吸附筒2，由此能夠通過控制多對吸附筒2上的各閥的切換時刻，來連續(xù)取出濃縮臭氧氣體。另外，作為此時的吸附劑，優(yōu)選金屬成分少的高純度硅膠，但也可以是一般的硅膠或沸石等吸附劑。此外，在臭氧使用設(shè)備側(cè)容許在恒定濃度范圍內(nèi)臭氧氣體濃度變動的情況下，也可以省略所述緩沖罐13而直接將通過真空泵11吸引排出的濃縮臭氧氣體向臭氧使用設(shè)備供給。第一實(shí)施例并列配置填充有650g作為臭氧氣體吸附劑I的高純度硅膠的內(nèi)容積為IL的兩個吸附筒2，使用口徑為3/8英寸的連通路21來使兩個吸附筒2的氣體排出路6彼此相連通并且使兩個吸附筒2的合流路17彼此相連通，以14. 71slm供給量從氣體導(dǎo)入路4向吸附筒2供給臭氧及氧氣混合氣體，并且在吸附筒2內(nèi)的吸附壓力為IOOkPa *G，脫離時的到達(dá)壓力為_90kPa · G的狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)。在表1、圖2及圖3示出了以40秒為周期切換吸附和脫離，并通過以不進(jìn)行壓力均等化工序(O秒)、進(jìn)行O. 5秒、I秒、1. 5秒的壓力均等化工序而濃縮臭氧的結(jié)果。表I
權(quán)利要求
1.一種臭氧氣體濃縮方法，并列配置向內(nèi)部填充非冷卻狀態(tài)的吸附劑(I)而成的至少兩個吸附筒(2)，使容置在各吸附筒(2)內(nèi)的非冷卻狀態(tài)的吸附劑(I)在臭氧及氧氣混合氣體中選擇性地吸附臭氧氣體，并且在進(jìn)行臭氧氣體脫離操作時，通過對各吸附筒(2)進(jìn)行減壓處理來使臭氧氣體從吸附劑(I)脫離，由此濃縮提純臭氧氣體，另外，控制上述至少兩個吸附筒(2)，使至少兩個吸附筒(2)分別交替反復(fù)進(jìn)行吸附工序和脫離工序，并且在一個吸附筒(2)處于吸附工序時使另外的吸附筒(2)處于脫離工序，該臭氧氣體濃縮方法的特征在于，在從臭氧氣體的吸附工序向脫離工序切換時經(jīng)由壓力均等化工序，在壓力均等化工序中，使結(jié)束了吸附工序的吸附筒(2)和結(jié)束了脫離工序的吸附筒(2)相連通，使得吸附筒的內(nèi)部的壓力均等化，另外在進(jìn)行了壓力均等化工序之后，使所述結(jié)束了吸附工序的吸附筒(2 )與減壓發(fā)生單元(11)相連通，來使臭氧氣體從吸附劑(I)脫離。
2.如權(quán)利要求1所述的臭氧氣體濃縮方法，其特征在于，控制壓力均等化工序的結(jié)束時刻，使得壓力均等化工序在高壓側(cè)吸附筒的內(nèi)壓和低壓側(cè)吸附筒的內(nèi)壓之間的壓差達(dá)到壓力均等化工序的開始時的壓差的40%以下的壓力的階段結(jié)束。
3.如權(quán)利要求1或2所述的臭氧氣體濃縮方法，其特征在于，在壓力均等化工序即將開始之前，關(guān)閉所述結(jié)束了吸附工序的吸附筒的臭氧氣體入口側(cè)的閥(7)并開啟出口側(cè)的閥(18)，來降低吸附筒的內(nèi)壓。
4.一種臭氧氣體濃縮裝置，其特征在于，并列配置有向內(nèi)部填充吸附劑(I)而成的至少兩個吸附筒(2)，在各吸附筒(2)上分別安裝有氣體導(dǎo)入閥(7)、氣體導(dǎo)出閥(10)及氣體排出閥(18)，所述氣體導(dǎo)入閥(7)與安裝有臭氧發(fā)生器(8)的氣體導(dǎo)入路(4)相連接，氣體導(dǎo)出閥(10)與安裝有減壓發(fā)生單元(11)的濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路(5)相連接，氣體排出閥(18)與安裝有臭氧分解器(19)的氣體排出路(6)相連接，控制安裝在各吸附筒(2)上的氣體導(dǎo)入閥(7)和氣體排出閥(18)以能夠同步進(jìn)行開閉動作，并且使安裝在同一吸附筒(2)上的氣體導(dǎo)入閥(7)和氣體導(dǎo)出閥(10)以擇一的方式進(jìn)行開啟動作，對各閥(7、10、18)進(jìn)行切換控制，以使各吸附筒(2)交替反復(fù)進(jìn)行與氣體導(dǎo)入路(4)相連通的吸附工序和與濃縮臭氧氣體導(dǎo)出路(5)相連通的脫離工序，并且使至少兩個吸附筒(2)中的一個吸附筒處于吸附工序而另外的吸附筒處于脫離工序，在各閥(7、10、18)的吸附筒(2)側(cè)配置有使吸附筒(2)的內(nèi)部彼此連通的至少一個系統(tǒng)的連通路(21)，并且在該連通路(21)上安裝有流路開閉閥(20 )，對該流路開閉閥(20 )進(jìn)行開閉控制，使得該流路開閉閥(20)與所述氣體導(dǎo)入閥(7)及氣體導(dǎo)出閥(10)的開閉動作同步。
全文摘要
一種臭氧氣體濃縮方法，并列配置向內(nèi)部填充非冷卻狀態(tài)的吸附劑而成的至少兩個吸附筒，使容置在各吸附筒內(nèi)的非冷卻狀態(tài)的吸附劑在臭氧及氧氣混合氣體中選擇性地吸附臭氧氣體，且在進(jìn)行臭氧氣體脫離操作時，通過對各吸附筒進(jìn)行減壓處理來使臭氧氣體從吸附劑脫離，由此濃縮提純臭氧氣體，另外，控制上述至少兩個吸附筒，使兩個吸附筒交替反復(fù)進(jìn)行吸附工序和脫離工序，且在一個吸附筒處于吸附工序時使另一個吸附筒處于脫離工序。在從臭氧氣體的吸附工序要向脫離工序切換時，使處于吸附工序的吸附筒和處于脫離結(jié)束階段的吸附筒相連通，使得吸附筒內(nèi)部的壓力的均等化，之后，使處于吸附階段的吸附筒與減壓發(fā)生單元相連通，來使臭氧氣體從吸附劑脫離。
文檔編號B01D53/04GK102989262SQ20121033145
公開日2013年3月27日 申請日期2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月9日
發(fā)明者牧平尚久, 中村貞紀(jì), 井上吾一, 小池國彥 申請人:巖谷產(chǎn)業(yè)株式會社