一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜的制作方法
【專利摘要】本實用新型提出一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其包括上蓋板，其內(nèi)設有第一水平隔板，電路控制板固定在第一水平隔板上；第一水平隔板與底板之間設有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應氣體分析儀設置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設有多個散熱孔以及多個通氣孔，所述多個通氣孔用于連接臭氧、空氣、壓縮空氣等氣體管道；右側(cè)板上設有控制面板、開關按鈕以及多個散熱孔。所述主控制柜結(jié)構(gòu)緊湊，可將主控制柜直接固定安裝在硅片處理產(chǎn)線支架上，主控制柜和氣體噴淋組件之間僅需要較短的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
【專利說明】
一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及光伏太陽能電池制造技術領域，特別涉及一種光伏電池硅片氣體鈍化裝置主控制柜。
【背景技術】
[0002]為了應對傳統(tǒng)的石化燃料的大規(guī)模使用造成的日益嚴峻的環(huán)境問題，大力發(fā)展清潔能源如太陽能光伏發(fā)電越來越受到重視，而不斷降低光伏發(fā)電的成本，提高發(fā)電效率是其能夠得以不斷推廣的重要的因素。
[0003]目前在光伏領域使用最多的是硅基板太陽電池，為了提高其發(fā)電效率，需要對硅基板表面進行制絨處理再進行表面鈍化，目前采用比較多的工藝是采用臭氧氣體進行硅片表面鈍化，這種鈍化設備一般都包括氣體噴淋組件20以及與之相連的主控制柜10(如圖1所示)，氣體噴淋組件20—般與硅片處理產(chǎn)線結(jié)合設置，而主控制柜10落地擺放，通過線路和氣體管道與氣體噴淋組件相連，主控制柜里面一般都包括電路控制板、氣體發(fā)生器、分析儀、監(jiān)控儀表、控制面板等。這種設計方式中，主控制柜落地擺放，占用了產(chǎn)線布局空間且在維修或產(chǎn)線改造時不易移動；另外，為了便于人工操作，主控制柜的高度一般也比較高，造成其空間結(jié)構(gòu)不夠緊湊，浪費了材料成本。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]針對現(xiàn)有技術中的問題，本實用新型的目的是提供一種機構(gòu)緊湊且可以置放于產(chǎn)線支架上的硅片氣體鈍化裝置主控制置，合理利用產(chǎn)線空間，也方便操作。
[0005]為達到本實用新型的目的，本實用新型的硅片氣體鈍化裝置主控制柜大致呈長方體型構(gòu)造，其包括上蓋板，其內(nèi)設有第一水平隔板，上蓋板與第一水平隔板之間容置電路控制板，所述電路控制板固定在所述第一水平隔板上;第一水平隔板與底板之間設有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應氣體分析儀設置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設有多個散熱孔以及多個通氣孔，頂部設有多個管線接入口；右側(cè)板上設有控制面板、開關按鈕以及多個散熱孔。
[0006]優(yōu)選的，所述上蓋板為可開合式構(gòu)造。
[0007]再優(yōu)選的，所述多個通氣孔分別連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測氣體管道。
[0008]再優(yōu)選的，頂部所述多個管線接入口包括空氣、氧氣以及電力接入口。
[0009]再優(yōu)選的，所述左側(cè)板上還設有出氣口，將主控制柜中泄露的氣體排至廢氣處理
目.ο
[0010]再優(yōu)選的，所述主控制柜的底板上還設有多個螺絲固定孔。
[0011]本實用新型的有益效果是，所述氣體鈍化裝置主控制柜結(jié)構(gòu)緊湊，可將主控制柜直接固定安裝在硅片處理產(chǎn)線支架上，主控制柜和氣體噴淋組件之間僅需要較短的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
【附圖說明】
[0012]通過下面結(jié)合附圖的詳細描述，本實用新型前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點將變得顯而易見。其中:
[0013]圖1示出了現(xiàn)有的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2所示為本實用新型的一實施例的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]結(jié)合附圖本實用新型的結(jié)構(gòu)及特點詳述如下。
[0016]參照圖2所示的本實用新型的一實施例的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖，所述的主控制柜為長方體型構(gòu)造，其包括上蓋板10，其內(nèi)設有第一水平隔板12，其上固定安裝電路控制板(未圖示)；第一水平隔板12與底板40之間設有第二水平隔板14以及與第二水平隔板14垂直的第三隔板24，反應氣體發(fā)生器(未圖示)固定在第二水平隔板上，反應氣體分析儀(未圖示)設置于第二水平隔板14與底板40之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設置于第三隔板與右側(cè)板30之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板20上設有多個散熱孔22以及多個通氣孔28，多個通氣孔28用于連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測等氣體管道;頂部設有多個管線接入口 16，包括空氣、氧氣以及電力接入口等，右側(cè)板30上設有控制面板32、開關按鈕36以及多個散熱孔34。
[0017]上述的實施例中，可以較優(yōu)地將上蓋板10設為可開合式，如此，當需要對設備進行調(diào)試或維修時，可以方便操作；另外，為了避免主機柜中有氣體泄露污染環(huán)境，所述主控制柜的左側(cè)板20上還設有出氣口 26，將主控制柜中泄露的氣體通過管道排至廢氣處理裝置；再有，所述實施例中的隔板可以是整塊的板材制成的隔板，也可以是多個板條構(gòu)成的隔層。
[0018]在具體應用時，所述的主控制柜可直接置放在硅片處理產(chǎn)線氣體噴淋組件上方的固定支架上，在一優(yōu)選的實施方式中，所述主控制柜的底板40上還設有多個螺絲固定孔42，可將主控制柜與固定支架固定時操作更穩(wěn)定。如此，在主控制柜和氣體噴淋組件之間就不需要太長的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
[0019]本實用新型并不局限于所述的實施例，本領域的技術人員在不脫離本實用新型的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本實用新型的權(quán)利保護范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準。
【主權(quán)項】
1.一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，所述主控制柜大致呈長方體型構(gòu)造，其特征在于，其包括上蓋板，其內(nèi)設有第一水平隔板，上蓋板與第一水平隔板之間容置電路控制板，所述電路控制板固定在所述第一水平隔板上;第一水平隔板與底板之間設有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應氣體分析儀設置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設有多個散熱孔以及多個通氣孔;頂部設有多個管線接入口，右側(cè)板上設有控制面板、開關按鈕以及多個散熱孔。2.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述上蓋板為可開合式構(gòu)造。3.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述多個通氣孔分別連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測氣體管道。4.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，頂部所述多個管線接入口包括空氣、氧氣以及電力接入口。5.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述左側(cè)板上還設有出氣口，將主控制柜中泄露的氣體排至廢氣處理裝置。6.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述主控制柜的底板上還設有多個螺絲固定孔。
【文檔編號】H01L31/18GK205621757SQ201620467494
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年5月20日
【發(fā)明人】王振交, 艾凡凡, 韓培育
【申請人】蘇州中世太新能源科技有限公司