一種循環(huán)烘干系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種循環(huán)烘干系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體材料烘干【技術(shù)領(lǐng)域】。循環(huán)烘干系統(tǒng)包括：密閉腔體、設(shè)于密閉腔體內(nèi)的散熱器和貫流風(fēng)葉，所述貫流風(fēng)葉與密閉腔體外側(cè)的烘干電機(jī)連接，烘干電機(jī)帶動(dòng)貫流風(fēng)葉轉(zhuǎn)動(dòng)，所述散熱器與提供循環(huán)熱源的模溫機(jī)連接。本實(shí)用新型利用模溫機(jī)加熱散熱器來(lái)提供熱源，再利用貫流風(fēng)葉使熱氣快速循環(huán)流動(dòng)于密封腔體內(nèi)，加熱安全性高，且溫度容易控制，烘干效率高。
【專利說(shuō)明】一種循環(huán)烘干系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料烘干【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地涉及一種用于硅片的循環(huán)烘干系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]硅片材料作為重要的半導(dǎo)體器件，在清洗設(shè)備或濕法處理設(shè)備中清洗完后，都需要進(jìn)行烘干工藝處理，以方便硅片材料的收集。而現(xiàn)有的硅片烘干設(shè)備一般采用電加熱提供熱源，或采用紅外線加熱提供熱源，所有熱源均設(shè)在烘干設(shè)備的內(nèi)部而構(gòu)成一體化設(shè)計(jì)，在操作不當(dāng)或加熱系統(tǒng)出現(xiàn)故障時(shí)容易引發(fā)火災(zāi)，因此，內(nèi)部熱源設(shè)計(jì)成為安全隱患；通電加熱進(jìn)行烘干處理，采用常規(guī)的烘干設(shè)備進(jìn)行烘干，靠近內(nèi)部加熱器的硅片很快就烘干，而反之，遠(yuǎn)離的硅片則不易烘干，導(dǎo)致設(shè)備腔體內(nèi)的溫度不易控制，烘干硅片的受熱會(huì)不均勻，烘干效率不高，能耗高。
[0003]因此，如何提出一種熱源安全性好、烘干效率高的循環(huán)烘干系統(tǒng)，是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型的目的是為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，提出一種利用模溫機(jī)加熱散熱器來(lái)提供熱源、再利用貫流風(fēng)葉使熱氣快速流動(dòng)于密封腔體內(nèi)的循環(huán)烘干系統(tǒng)，加熱安全性高，且溫度容易控制，烘干效率高，能夠靈活充入合適的加熱媒介，如氮?dú)?、壓縮空氣或其他氣源。
[0005]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案是:一種循環(huán)烘干系統(tǒng)，包括密閉腔體、設(shè)于密閉腔體內(nèi)的散熱器，其特征在于，還包括設(shè)于密閉腔體內(nèi)的貫流風(fēng)葉，所述貫流風(fēng)葉與密閉腔體外側(cè)的烘干電機(jī)連接，烘干電機(jī)帶動(dòng)貫流風(fēng)葉轉(zhuǎn)動(dòng)，所述散熱器與提供循環(huán)熱源的模溫機(jī)連接。
[0006]所述模溫機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)有導(dǎo)熱介質(zhì)，模溫機(jī)的導(dǎo)熱介質(zhì)輸出口與散熱器的入口連通、導(dǎo)熱介質(zhì)回流口與散熱器的出口連通，導(dǎo)熱介質(zhì)通過(guò)模溫機(jī)內(nèi)的加熱器及冷卻器調(diào)控加溫。
[0007]所述密閉腔體上設(shè)有氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)氣口和氣體檢測(cè)裝置。
[0008]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果:代替?zhèn)鹘y(tǒng)的加熱熱源，利用模溫機(jī)熱交換給腔體內(nèi)的散熱器加熱，進(jìn)行烘干硅片，減少安全隱患，能耗低；且模溫機(jī)可精確的控制、調(diào)節(jié)流經(jīng)散熱器的導(dǎo)熱介質(zhì)溫度，使烘干效果更優(yōu)良。利用烘干電機(jī)帶動(dòng)貫流風(fēng)葉使腔體內(nèi)的熱氣流形成回流，便于熱氣流與腔體內(nèi)的硅片充分接觸，達(dá)到均勻烘干目的，加速烘干速度。同時(shí)，通過(guò)進(jìn)氣口能夠靈活選擇合適的充入加熱媒介，如氮?dú)?、壓縮空氣或其他氣源，保證加熱環(huán)境利于均勻烘干。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1和圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中，1-密閉腔體，2-氣體檢測(cè)裝置，3-進(jìn)氣口，4-貫流風(fēng)葉，5-散熱器，6-烘干電機(jī)。

【具體實(shí)施方式】
[0011]請(qǐng)參見(jiàn)圖1和圖2，本實(shí)用新型涉及一種循環(huán)烘干系統(tǒng)，包括密閉腔體1，設(shè)于該密閉腔體I上的進(jìn)氣口 3和氣體檢測(cè)裝置2，設(shè)于該密閉腔體I內(nèi)的散熱器5和貫流風(fēng)葉4，設(shè)于該密閉腔體I外側(cè)的烘干電機(jī)6，以及提供熱源與散熱器5連接的模溫機(jī)。密閉腔體I裝入硅片材料處于可靠的密封狀態(tài)，能夠更好地保證烘干效果，同時(shí)減少腔體內(nèi)保護(hù)氣體的損失。兩個(gè)散熱器5設(shè)于密閉腔體I內(nèi)的兩側(cè)，模溫機(jī)設(shè)置在密閉腔體I外側(cè)，模溫機(jī)的導(dǎo)熱介質(zhì)通過(guò)管道流經(jīng)散熱器5，模溫機(jī)提供動(dòng)力使得導(dǎo)熱介質(zhì)循環(huán)流動(dòng)，給散熱器5提供源源不斷的熱源，以此徹底改變了烘干設(shè)備內(nèi)部熱源的構(gòu)造設(shè)計(jì)，杜絕了安全隱患。每個(gè)散熱器5上方設(shè)有一個(gè)貫流風(fēng)葉4，密閉腔體I的外側(cè)設(shè)有烘干電機(jī)6，烘干電機(jī)6通過(guò)固定板固定，烘干電機(jī)6連接貫流風(fēng)葉4帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)，使得散熱器5的熱氣在密閉腔體I內(nèi)循環(huán)流動(dòng)，左側(cè)貫流風(fēng)葉帶動(dòng)熱氣逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)、右側(cè)貫流風(fēng)葉帶動(dòng)熱氣順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，吹向硅片材料表面，達(dá)到均勻烘干的效果，提高了烘干效率。為了保證烘干環(huán)境利于均勻烘干，密閉腔體I內(nèi)要充入氮?dú)饣驂嚎s空氣，氣源通過(guò)進(jìn)氣口 3排入密閉腔體I內(nèi)，氣體檢測(cè)裝置2用來(lái)檢測(cè)密閉腔體I內(nèi)的充入氣體濃度，判斷是否滿足當(dāng)前需求，從而及時(shí)作出調(diào)整。
[0012]模溫機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)有導(dǎo)熱介質(zhì)，導(dǎo)熱介質(zhì)選用煤油或水；模溫機(jī)設(shè)置有導(dǎo)熱介質(zhì)輸出口、導(dǎo)熱介質(zhì)回流口、導(dǎo)熱介質(zhì)循環(huán)泵、及管道，導(dǎo)熱介質(zhì)輸出口與散熱器5的入口連通，導(dǎo)熱介質(zhì)回流口與散熱器5的出口連通，導(dǎo)熱介質(zhì)通過(guò)管道流經(jīng)散熱器5再回流到模溫機(jī)中，從而把熱量源源不斷的傳輸給散熱器5，回流的導(dǎo)熱介質(zhì)再通過(guò)模溫機(jī)內(nèi)加熱器及冷卻器重新加溫，加熱器和冷卻器能夠精確的控制、調(diào)節(jié)導(dǎo)熱介質(zhì)的溫度，從而可以有效控制密閉腔體I內(nèi)的烘干溫度，使烘干效果更好。
[0013]以上具體實(shí)施例僅用以舉例說(shuō)明本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的構(gòu)思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種循環(huán)烘干系統(tǒng)，包括密閉腔體、設(shè)于密閉腔體內(nèi)的散熱器，其特征在于，還包括設(shè)于密閉腔體內(nèi)的貫流風(fēng)葉，所述貫流風(fēng)葉與密閉腔體外側(cè)的烘干電機(jī)連接，烘干電機(jī)帶動(dòng)貫流風(fēng)葉轉(zhuǎn)動(dòng)，所述散熱器與提供循環(huán)熱源的模溫機(jī)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的循環(huán)烘干系統(tǒng)，其特征在于，所述模溫機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)有導(dǎo)熱介質(zhì)，模溫機(jī)的導(dǎo)熱介質(zhì)輸出口與散熱器的入口連通、導(dǎo)熱介質(zhì)回流口與散熱器的出口連通，導(dǎo)熱介質(zhì)通過(guò)模溫機(jī)內(nèi)的加熱器及冷卻器調(diào)控加溫。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的循環(huán)烘干系統(tǒng)，其特征在于，所述密閉腔體上設(shè)有氮?dú)饣驂嚎s空氣進(jìn)氣口和氣體檢測(cè)裝置。
【文檔編號(hào)】F26B9/00GK204187923SQ201420625012
【公開(kāi)日】2015年3月4日 申請(qǐng)日期:2014年10月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月27日
【發(fā)明者】左國(guó)軍, 齊龍 申請(qǐng)人:常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司