專(zhuān)利名稱(chēng):基板快速均溫裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種基板快速均溫裝置，其包含一空調(diào)機(jī)；一給氣室，該給氣室經(jīng)由一循環(huán)管路與該空調(diào)機(jī)相連接，該給氣室設(shè)置于一無(wú)塵室內(nèi)的頂棚或其他適當(dāng)位置，該給氣室內(nèi)設(shè)有一容置空間；以及至少一個(gè)氣流板，該氣流板固設(shè)于該給氣室下方的該開(kāi)口處，該氣流板上設(shè)有多個(gè)氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，該夾角的角度小于90度，且該每一氣流孔兩端分別于該氣流板的上表面與下表面形成一進(jìn)氣口與一出氣口，使氣流經(jīng)由氣孔吹出至基板，可達(dá)到基板整體快速均溫，并可使基板中心區(qū)域均溫速度緩慢問(wèn)題獲得顯著改善，藉本實(shí)用新型可達(dá)到提升制程產(chǎn)能速度及提升產(chǎn)品良率的功效。
【專(zhuān)利說(shuō)明】基板快速均溫裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型是有關(guān)于一種基板快速均溫裝置，尤指一種可使其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，可降低玻璃基板中心降溫不均所產(chǎn)生的制程誤差，進(jìn)而使本實(shí)用新型達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。

【背景技術(shù)】
[0002]常見(jiàn)使用于顯示器的玻璃基板，其于顯示器制造中某些制程，如曝光、涂布、測(cè)長(zhǎng)、貼合制程等，會(huì)因玻璃基板本身的溫度不正確或是溫度不均，使得基板產(chǎn)生熱脹冷縮現(xiàn)象而產(chǎn)生尺寸偏差、導(dǎo)致制程良率下降的問(wèn)題。因此于前述對(duì)于溫度變化較敏感的制程，會(huì)特別關(guān)切玻璃基板本身的均溫性以及溫度正確性，常見(jiàn)顯示器制程設(shè)定溫度為23°C ;且要求于上述制程中，玻璃本身的溫度誤差需控制在±0.2或±0.1°C以?xún)?nèi)；目前對(duì)玻璃均溫習(xí)用的作法為對(duì)玻璃本身吹送一經(jīng)過(guò)溫控的清凈空氣，此空氣對(duì)基板的作用可為降溫或升溫，視玻璃本身送至控制氣流時(shí)的溫度是高于或是低于設(shè)定溫度本身而定，本文中以降溫為例，在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)于升溫或是降溫皆有相同的功效。對(duì)此，中國(guó)臺(tái)灣專(zhuān)利第1431229號(hào)揭露了一種「清凈室」，請(qǐng)參閱圖1，其包含一空調(diào)機(jī)10、一循環(huán)路11、一高性能過(guò)濾器12、至少一給氣室13、至少一噴嘴板14、一清凈室15以及一基板17，該給氣室13連接該高性能過(guò)濾器12，且該高性能過(guò)濾器12經(jīng)由該循環(huán)路11與該空調(diào)機(jī)10連接，該噴嘴板14設(shè)置于該給氣室13下方，且該噴嘴板14具有多個(gè)噴嘴140，且該清凈室15具有一清凈區(qū)域16。
[0003]前述「清凈室」的揭露，基于此一技術(shù)方案雖可使該清凈區(qū)域16內(nèi)的該噴嘴板14輸出清凈空氣，且可以自由地選用從該噴嘴板14的該等噴嘴140吹出溫控過(guò)的清凈空氣與能調(diào)整其風(fēng)速以及到達(dá)距離，其中，當(dāng)該基板17運(yùn)送于該清靜區(qū)域16的該等噴嘴140下方時(shí)，其該等噴嘴140為朝下的設(shè)置，故請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2與圖3，其中將進(jìn)行該基板17的25°C下降至23°C的降溫制程，其中曲線為該基板17降溫時(shí)的中心周?chē)鷾囟?，藉由該空調(diào)機(jī)10的馬力輸送清凈空氣至該給氣室13，再經(jīng)由該噴嘴板14向下輸送一垂直氣流18，該垂直氣流18觸碰到該基板17以將該基板17的熱能帶離，但其中由于該垂直氣流18觸碰到該基板17時(shí)，該垂直氣流18與該基板17中心周?chē)g將形成一中心渦流19，該基板17中心周?chē)鷾囟扔傻贗秒至第39秒的時(shí)間內(nèi)，還是無(wú)法完整將該基板17中心周?chē)鷾囟冉抵列枨蟮?3°C，由于制程容許降溫時(shí)間通常低于此時(shí)間，此一問(wèn)題將造成該基板17產(chǎn)生溫度不均而導(dǎo)致后續(xù)制程的誤差，將使產(chǎn)品良率降低。是故，如何針對(duì)上述缺失加以改進(jìn)，即為本案 申請(qǐng)人:所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)所在。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]有鑒于現(xiàn)有的清凈室，其利用垂直的噴嘴來(lái)輸出溫控后的清凈空氣以給予基板作散熱，因垂直氣流容易產(chǎn)生中心渦流，使其基板無(wú)法有效均勻散熱，而在基板上產(chǎn)生溫度不均，因此本實(shí)用新型的目的在于發(fā)展一種快速降低玻璃基板中心溫度的均溫裝置。
[0005]為達(dá)成以上的目的，本實(shí)用新型提供一種基板快速均溫裝置，其包含:一空調(diào)機(jī)；一給氣室，該給氣室經(jīng)由一循環(huán)管路與該空調(diào)機(jī)相連接，該給氣室設(shè)置于一無(wú)塵室的頂棚或其他適當(dāng)位置，該給氣室內(nèi)設(shè)有一容置空間，且該給氣室下方設(shè)有一開(kāi)口 ；以及至少一個(gè)氣流板，該氣流板固設(shè)于該給氣室下方的該開(kāi)口處，該氣流板上設(shè)有多個(gè)氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，該夾角的角度小于90度，且該每一氣流孔兩端分別于該氣流板的上表面與下表面形成一進(jìn)氣口與一出氣口。
[0006]其中，該多個(gè)氣流孔為圓柱狀、橢圓柱狀、長(zhǎng)條板狀或四邊形長(zhǎng)柱狀，且更具有至少一個(gè)濾網(wǎng)，固設(shè)于該給氣室的該容置空間內(nèi)。
[0007]藉由本實(shí)用新型采用該氣流板的該多個(gè)氣流孔，且該多個(gè)氣流孔與該氣流板的該夾角角度小于90度，其效益在于:避免由該多個(gè)氣流孔流出的調(diào)溫清凈空氣觸碰到玻璃基板時(shí)產(chǎn)生其空氣渦流，使得清凈空氣能同時(shí)順著一方向流動(dòng)，將不產(chǎn)生空氣渦流，使其迅速將玻璃基板上的熱能帶離，可達(dá)到快速均溫，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。

【附圖說(shuō)明】

[0008]圖1為習(xí)用的整體圖；
[0009]圖2為習(xí)用的風(fēng)向示意圖；
[0010]圖3為習(xí)用的基板中心周?chē)鷾囟冉禍厥疽鈭D；
[0011]圖4為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的整體圖；
[0012]圖5為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；
[0013]圖6為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的風(fēng)向示意圖；
[0014]圖7為本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的玻璃基板中心周?chē)鷾囟冉禍厥疽鈭D；
[0015]圖8為本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；
[0016]圖9為本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例的部分立體示意圖；
[0017]圖10為本實(shí)用新型第四較佳實(shí)施例的部分立體示意圖。
[0018]附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0019]〔習(xí)用〕
[0020]10-空調(diào)機(jī)；11_循環(huán)路；12_高性能過(guò)濾器；13_給氣室；14_噴嘴板；140_噴嘴；15-清凈室；16_清凈區(qū)域；17_基板；18_垂直氣流；19_中心渦流；
[0021]〔本實(shí)用新型〕
[0022]20-空調(diào)機(jī)；21-給氣室；210-容置空間;211_開(kāi)口 ;22_濾網(wǎng)；23_孔板；230-氣流孔；2301-進(jìn)氣P ；2302-出氣口 ;231_夾角；24~無(wú)塵室;25_循環(huán)管路;26_傾斜氣流；27-玻璃基板。

【具體實(shí)施方式】
[0023]為使貴審查委員能清楚了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，僅搭配【附圖說(shuō)明】

如下，敬請(qǐng)參閱。
[0024]請(qǐng)參閱圖4與圖5所示，本實(shí)用新型提供一種基板快速均溫裝置，其包含:一空調(diào)機(jī)20、一給氣室21以及至少一個(gè)氣流板23。
[0025]該給氣室21經(jīng)由一循環(huán)管路25與該空調(diào)機(jī)20相連接，該給氣室21設(shè)置于一無(wú)塵室24的頂棚或其他適當(dāng)位置，該給氣室21內(nèi)設(shè)有一容置空間210，且該給氣室21下方設(shè)有一開(kāi)口 211。于本實(shí)施例中，更具有至少一個(gè)濾網(wǎng)22，固設(shè)于該給氣室21的該容置空間210內(nèi)，以作為過(guò)濾外部空氣成為清凈空氣。
[0026]該氣流板23固設(shè)于該給氣室21下方的該開(kāi)口 211處，該氣流板23上設(shè)有多個(gè)氣流孔230，且該每一氣流孔230與該氣流板23之間具有一夾角231，又該夾角231的角度小于90度，且該每一氣流孔230兩端分別于該氣流板23的上表面與下表面形成一進(jìn)氣口2301與一出氣口 2302，于本實(shí)施例中，該多個(gè)氣流孔230為圓柱狀。
[0027]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4、圖6與圖7，其中當(dāng)一玻璃基板27輸送至該無(wú)塵室24內(nèi)進(jìn)行25°C下降至23°C的降溫制程，此時(shí)該空調(diào)機(jī)20抽送空氣經(jīng)由該循環(huán)管路25至該給氣室21內(nèi)的該容置空間210，其空氣且通過(guò)該空調(diào)機(jī)20控制送風(fēng)溫度為23°C再送至該給氣室21，通過(guò)該給氣室21內(nèi)的該濾網(wǎng)22形成清凈空氣，其清凈空氣再經(jīng)由該給氣室21下方的該開(kāi)口211輸送至該氣流板23的該多個(gè)氣流孔230內(nèi)，再經(jīng)由該多個(gè)氣流孔230吹出一傾斜氣流26至該玻璃基板27上，且當(dāng)該傾斜氣流26觸碰到該玻璃基板27時(shí)，該傾斜氣流26整體的氣流將順著同一方向前進(jìn)，再者，該傾斜氣流26碰觸到該玻璃基板27時(shí)就算產(chǎn)生反方向氣體分離，也不會(huì)產(chǎn)生渦流的氣旋，故該玻璃基板27中心周?chē)鷾囟葟牡贗秒至第39秒內(nèi)，將迅速由25°C降至趨近23°C的需求，以利后續(xù)生產(chǎn)制程。
[0028]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖6、圖8、圖9與圖10，其中為了使得該氣流板23上的該等氣流孔230吹出的清凈空氣對(duì)于該玻璃基板27產(chǎn)生不同的風(fēng)力強(qiáng)度、散熱、均溫效果，故該多個(gè)氣流孔230可為橢圓柱狀、長(zhǎng)條板狀或四邊形長(zhǎng)柱狀，以符合最佳的散熱、均溫效果。
[0029]綜合以上所述，請(qǐng)繼續(xù)參閱圖4與圖6所示，藉由本實(shí)用新型采用該氣流板23的該多個(gè)氣流孔230，且該多個(gè)氣流孔230與該氣流板23的該夾角231角度小于90度，其效益在于:避免由該多個(gè)氣流孔230流出的清凈空氣觸碰到該玻璃基板27時(shí)產(chǎn)生其空氣渦流，使得清凈空氣能同時(shí)順著一方向流動(dòng)，將不產(chǎn)生空氣渦流，使其迅速將該玻璃基板27上的熱能帶離，減少其熱應(yīng)力的發(fā)生，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升產(chǎn)品良率的功效。
[0030]上列詳細(xì)說(shuō)明是針對(duì)本實(shí)用新型的可行較佳實(shí)施例的具體說(shuō)明，該實(shí)施例并非用以限制本實(shí)用新型的專(zhuān)利范圍，而凡未脫離本實(shí)用新型技藝精神所作的等效實(shí)施或變更，均應(yīng)包含于本案的專(zhuān)利范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種基板快速均溫裝置，其特征在于，其包含: 一空調(diào)機(jī)； 一給氣室，該給氣室經(jīng)由一循環(huán)管路與該空調(diào)機(jī)相連接，該給氣室設(shè)置于一無(wú)塵室，該給氣室內(nèi)設(shè)有一容置空間，且該給氣室下方設(shè)有一開(kāi)口 ；以及 至少一個(gè)氣流板，該氣流板固設(shè)于該給氣室下方的該開(kāi)口處，該氣流板上設(shè)有多個(gè)氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，該夾角的角度小于90度，且該每一氣流孔兩端分別于該氣流板的上表面與下表面形成一進(jìn)氣口與一出氣口。2.如權(quán)利要求1所述的基板快速均溫裝置，其特征在于，該多個(gè)氣流孔為圓柱狀、橢圓柱狀、長(zhǎng)條板狀或四邊形長(zhǎng)柱狀。3.如權(quán)利要求1所述的基板快速均溫裝置，其特征在于，更具有至少一個(gè)濾網(wǎng)，固設(shè)于該給氣室的該容置空間內(nèi)。4.如權(quán)利要求1所述的基板快速均溫裝置，其特征在于，該給氣室設(shè)置于該無(wú)塵室的頂棚。
【文檔編號(hào)】F24F1-00GK204285631SQ201420693102
【發(fā)明者】柯安, 李詩(shī)雯 [申請(qǐng)人]奇鼎科技股份有限公司