專利名稱：：間歇式膜成形裝置及間歇式膜成形方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種將例如巻成巻狀的狀態(tài)的連續(xù)的膜依次開巻、同時供給到成形裝置，從而在該膜表面間歇進行沖壓成形而形成微細凹凸形狀的成形裝置和成形方法。尤其涉及能夠將沖壓成形后的膜與模具良好地脫模、并將接下來要沖壓的膜順利地供給到模具表面的間歇式膜成形裝置和間歇式膜成形方法。
背景技術：
：作為制造導光板、光擴散板、透鏡等的光學膜的手段，以往就公知有在膜的表面轉印微細凹凸圖案的方法，例如提出了對巻狀的長條形的膜間歇地形成微細凹凸圖案的裝置及方法(專利文獻1、專利文獻2)。在這些裝置和方法中，通過對從退繞輥向沖壓裝置內供給的膜在帶微細凹凸圖案的模具中進行沖壓轉印，從而在膜表面形成凹凸圖案。進行沖壓轉印時，將模具加熱到膜的玻璃化轉變點以上的溫度。轉印完成后，繼續(xù)沖壓，同時在一定條件下將模具冷卻。若冷卻進行到膜的玻璃化轉變點以下，則釋放沖壓壓力，并僅通過對膜施加一定張力來使其與模具脫模。但是，在這種脫模方法中，由于所應用的樹脂的特性、模具表面的脫模材料的消耗，會發(fā)生膜貼附在模具上而不能剝下來的問題。而且，若勉強剝離，會發(fā)生將模具表面損傷、或在膜轉印面上殘留傷痕那樣的脫模痕跡的問題。還提出如下的方法(專利文獻3):預先在模具上設置翹曲，在釋放對模具的壓力的同時，利用成形體自身要回復成平坦的彈力來自動脫模。但是，這種方法中可適用的成形體受其彈性特性限定，例如，厚度為0.3mm以下的樹脂膜的彈力不夠，因此難以適用。另一方面，還提出過這樣的裝置(專利文獻4):該裝置不是膜成形裝置，但作為將緊貼在基板面上的膜剝離的裝置，是從貼合了形成有電路圖案的膜的增強板剝掉該膜的裝置。但是，在該裝置中，是通過使把持著膜端部的具有圓弧形狀的剝離構件沿著圓弧在貼合面上旋轉，從而將膜脫模。但是，該裝置是把持膜端部等，不適用連續(xù)體的巻狀膜，在將該裝置應用于沖壓等成形裝置上時，從設計角度考慮，難以在沖壓成形區(qū)域配設具有圓弧形狀的剝離構件。還提出過這樣的裝置(專利文獻5):該裝置不是膜成形裝置，但作為將粘著的膜剝離的裝置，是通過一邊把持著膜端部一邊使輥在粘著面上旋轉，從而沿輥剝離膜的裝置。但是，該專利文獻5提出的裝置與專利文獻4提出的裝置相同，存在必須把持膜端部這樣的制約，因此不適用于連續(xù)體的巻狀膜。專利文獻1:日本特開2005-199455號公報專利文獻2:日本特開2005-310286號公報專利文獻3:日本特開2004-288845號公報專利文獻4:日本特開2006-32400號公報專利文獻5:日本特開2002-104726號公報。
發(fā)明內容本發(fā)明是為解決上述問題而進行了深入研究得到的，目的在于提供一種能在不損壞膜轉印面及模具表面的品質的情況下將巻狀的膜從配設于沖壓裝置上的模具表面脫模，并能夠迅速供給接下來要轉印的膜的間歇式膜成形裝置、間歇式膜成形方法。解決上述問題的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置具有如下(1)的構成。(1)一種間歇式膜成形裝置，至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具的表面上的沖壓裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具的表面脫模的脫模裝置，其特征在于，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離的剝離輥、用于驅動剝離輥旋轉的剝離輥驅動機構、隔著膜行進線而與剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件。本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置中，更具體的優(yōu)選方案由以下(2)~(5)中任一項構成。(2)在上述(1)記栽的間歇式膜成形裝置中，包括用于使上述剝離輥在上述模具表面附近與該模具表面平行地移動的驅動機構。(3)在上述(1)或(2)記載的間歇式膜成形裝置中，上述剝離輥表面的膜接觸部由橡膠構成，橡膠硬度是40-70，表面的中心線平均粗糙度在0.01pm~1.0|am的范圍內。(4)在上述(1)~(3)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，上述輔助輥表面的膜接觸部由橡膠構成，橡膠硬度是40-70，表面的中心線平均粗糙度在0.01|am~1.0^im的范圍內。(5)在上述(1)~(4)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，上述剝離輥的直徑在50mm200mm的范圍內。解決上述問題的本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置具有如下(6)的構成。(6)—種間歇式膜成形裝置，至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具的表面上的沖壓裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具的表面脫模的脫模裝置，其特征在于，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離且被旋轉自如地保持的剝離輥、隔著膜行進線而與該剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在該剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、用于使上述剝離輥在上述模具表面附近與該模具表面平行地移動的驅動機構、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件、在比上述剝離輥更靠膜輸送方向下游側處對膜施加張力的張力施加機構。本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置中，更具體的優(yōu)選方案由以下(7)~(14)中任一項構成。(7)在上述(6)記栽的間歇式膜成形裝置中，上述張力施加機構利用借助旋轉驅動機構而旋轉的輔助輥的表面與膜表面之間的摩擦力。(8)在上述(6)記載的間歇式膜成形裝置中，上述輔助輥被旋轉自如地保持，上述張力施加機構設置于該輔助輥的膜輸送方向下游側。(9)在上述(6)~(8)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，在上述剝離輥與上述張力施加機構之間設置膜張力檢測機構，基于該平。^a'、本發(fā)明的第1或第2間歇式膜成形裝置中，更具體的優(yōu)選方案由以下(10)~(14)中任一項構成。(10)在上述(1)(9)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，膜脫模時的上述剝離輥與上述模具表面之間的距離為0.1mm10mm的范圍內。(11)在上述(1)~(10)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，具有對上述模具加熱、冷卻的調溫機構。(12)在上述(1)~(11)中任一項記栽的間歇式膜成形裝置中，具有對上述剝離輥施加振動的振動施加才幾構。(13)在上述(1)~(12)中任一項記載的間歇式膜成形裝置中，具有用于將上述剝離輥調溫至大致恒定溫度的剝離輥調溫機構。(14)在上述(1)(13)中任一項記栽的間歇式膜成形裝置中，具有用于將上述輔助輥調溫至大致恒定溫度的輔助輥調溫機構。解決上述問題的本發(fā)明的間歇式膜成形方法由如下(15)、(16)、或(17)的工序構成。(15)—種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在完成膜的成形之后，使剝離輥和與剝離輥大致平行地配置的輔助輥這兩個輥旋轉，同時以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向下游側向上游側移動，從而將該膜從模具表面脫模。(16)—種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在膜成形后，進而在將膜從模具表面脫模之后，使與模具表面大致平行地配置的剝離輥和輔助輥保持上述兩個輥的相對位置關系，并在停止了上述兩個輥的旋轉的狀態(tài)下，以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向上游側向下游側移動，從而向模具表面附近間歇地供給膜。8(17)—種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在完成膜的成形之后，使剝離輥和與剝離輥大致平行地配置的輔助輥這兩個輥旋轉，同時以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向下游側向上游側移動，從而將該膜從模具表面脫模，然后，保持上述兩個輥的相對位置關系，并在停止了上述兩個輥的旋轉的狀態(tài)下，以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向上游側向下游側移動，從而向模具表面附近間歇地供給膜。在上述(15)~(17)中任一項記栽的本發(fā)明的間歇式膜成形方法中，優(yōu)選是具有下述(18)或(19)的具體工序。(18)在上述(15)~(17)中任一項記載的間歇式膜成形方法中，在通過使上述剝離輥從膜輸送下游側向上游側移動而將該膜從模具表面脫模時，上述剝離輥從動旋轉。(19)在上述(15)~(18)中任一項記載的間歇式膜成形方法中，在向表面形成有上述微細凹凸的模具表面的附近間歇供給膜時，將膜供給到調溫后的該模具。根據本發(fā)明的間歇式膜成形裝置和成形方法，如下所述，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有微細凹凸形狀的良好的成型膜。(i)根據上述(1)記載的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置，利用剝離輥和輔助輥的配置結構產生總是朝上的剝離方向，且借助剝離輥的旋轉驅動機構利用剝離輥與膜之間的摩擦力而能夠總是從恒定方向(剝離方向)施加恒定剝離力，因此，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(ii)根據上述(2)記載的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置，通過對剝離輥強制施加順暢的直進動作，從而能夠更可靠地總是施加恒定剝離力，因此，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(iii)尤其是根據上述(3)或(4)記載的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置，通過限定剝離輥和輔助輥的表面性狀，能夠在輥與膜之間產生穩(wěn)定的摩擦力，因此，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(iv)尤其是根據上述(5)記載的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置，通過將剝離輥的直徑限定在適當范圍內，在現實的裝置結構的范圍內，能夠確保產生足夠進行脫模的摩擦力所必需的膜與脫模輥之間的接觸面積，因此，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(v)根據上述(6)記載的本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置，利用剝離輥和輔助輥的配置結構產生總是朝上的剝離方向，且借助張力施加機構而能夠總是從恒定方向(剝離方向)施加恒定剝離力，因此，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(vi)尤其是根據上述(7)或(8)記載的本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置，在可獲得穩(wěn)定剝離力的方面更優(yōu)選，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(vi)尤其是根據上述(9)記載的本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置，能夠嚴格控制膜張力來高精度控制膜剝離力，因此，能實現穩(wěn)定性更高的脫模動作，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(viii)尤其是根據上述(10)記載的本發(fā)明的第1或第2間歇式膜成形裝置，不會損傷模具表面，而且使剝離方向恒定，可進行更穩(wěn)定的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(ix)尤其是根據上述(11)記載的本發(fā)明的第1或第2間歇式膜成形裝置，能夠制造在由熱塑性樹脂構成的膜表面高精度地成形所希望的微細凹凸形狀的成形膜。(x)尤其是根據上述(12)記載的本發(fā)明的第1或第2間歇式膜成形裝置，能夠增大剝離力，因此，在難以剝離的情況下使用該裝置，能夠實現穩(wěn)定性高的、更順暢的脫模動作，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(xi)尤其是根據上述(13)或(14)記栽的本發(fā)明的第l或第2間歇式膜成形裝置，能夠將剛剝離后的膜冷卻，因此，可實現膜成形后的穩(wěn)定的輸送、巻取，能夠制造巻取狀態(tài)良好、且?guī)喨r的圖案形狀變形小的成形膜。(xii)根據上述(15)、(16)或(17)記載的本發(fā)明的間歇式膜成形方法，能夠施加穩(wěn)定的剝離力，不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(xiii)尤其是根據上述(18)記載的本發(fā)明的間歇式膜成形方法，脫模時的剝離輥的直進動作穩(wěn)定，因此不會產生剝離痕跡，能夠進行良好的膜脫模，能夠制造在表面具有所希望的微細凹凸形狀的優(yōu)良成形膜。(xiv)尤其是根據上述(19)記載的本發(fā)明的間歇式膜成形方法，能夠制造在由熱塑性樹脂構成的膜表面高精度地成形所希望的微細凹凸形狀的成形膜。采用上述本發(fā)明的間歇式膜成形裝置，對于通過在模具上沖壓而在表面上成形了微細凹凸的膜，不會有損其外觀，以很短時間將膜從模具脫模，而且快速供給接下來要轉印的膜，從而能夠以高生產率成形高品質的成形膜。采用上述本發(fā)明的間歇式膜成形方法，對于通過在模具上沖壓而在表面上成形了微細凹凸的膜，不會有損其外觀，以很短時間將膜從模具脫模，而且快速供給接下來要轉印的膜，從而能夠以高生產率成形高品質的成形膜。進而，在實施本發(fā)明的間歇式膜成形裝置、成形方法時，如果使用調溫后的該模具，則能夠制造在由熱塑性樹脂構成的膜表面高精度地成形所希望的微細凹凸形狀的成形膜。圖1是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的概略剖視圖。圖2是從膜行進方向(巻取側)觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的脫模單元的概略剖視圖。圖3是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的脫模單元的動作的概略剖視圖。圖4是用于說明本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的膜的間歇式成形方法的工藝圖，是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的狀態(tài)的概略剖視圖。圖5是用于說明本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的膜的間歇式成形方法的工藝圖，是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置的狀態(tài)的概略剖視圖。圖6是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的概略剖視圖。圖7是從膜行進方向(巻取側)觀察本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的脫模單元的概略剖視圖。圖8是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的脫模單元的動作的概略剖視圖。圖9是用于說明本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的膜的間歇式成形方法的工藝圖，是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的狀態(tài)的概略剖視圖。圖IO是用于說明本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的膜的間歇式成形方法的工藝圖，是從膜寬度方向觀察本發(fā)明第2間歇式膜成形裝置的狀態(tài)的概略剖視圖。附圖標記的說明1本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置2膜3模具10沖壓單元11支柱12沖壓缸13升降引導件14a、b加壓板(上)、(下)15a、b調溫板(上)、(下)16框架17彈性板20脫模單元21剝離輥22輔助輥22p待機位置23剝離輥旋轉才幾構24輔助輥旋轉才幾構25剝離輥直動引導件26托架27剝離點30加熱單元40冷卻單元50退繞單元51退繞輥旋轉機構52a~d引導輥53拉出緩沖部54膜固定部55盒56吸引排氣機構57a、b傳感器60巻取單元61巻取輥旋轉機構62a~d引導輥63巻取緩沖部64輸送驅動輥65膜固定部66盒67吸引排氣機構68a、b傳感器71引導輥72張力檢測用輥73張力檢測才幾構H間隙101本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置120脫模單元121剝離輥122輔助輥122p待才幾位置123剝離輥直動用馬達124輔助輥旋轉才幾構125剝離輥直動引導件126托架127剝離點128滾珠絲杠129螺母A退繞側B巻取側具體實施例方式以下，參照附圖詳細i兌明本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置1是至少包括如下部分的間歇式膜成形裝置，即在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具表面上的沖壓裝置、用于將該模具加熱、冷卻的調溫裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具表面脫模的脫模裝置，其中，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離的剝離輥、用于驅動剝離輥旋轉的剝離輥驅動機構、隔著膜行進線而與剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、使剝離輥和輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件。圖l表示從膜寬度方向觀察本發(fā)明第1間歇式膜成形裝置1的概略剖視圖。圖2表示從膜行進方向(巻取側)觀察將膜從模具脫模的脫模單元的概略剖視圖。圖3(a)~(f)表示從膜寬度方向觀察的脫模單元的動作的概略剖視圖。如圖1所示，本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置1由作為上述沖壓裝置的沖壓單元IO、作為上述脫模裝置的脫模單元20、作為上述調溫裝置的加熱單元30、作為上述調溫裝置的冷卻單元40、退繞單元50、巻取單元60構成。在退繞單元50將巻繞成巻狀的膜2退繞，在沖壓單元10將退繞的膜壓靠于模具3的加工有微細凹凸形狀的表面3a上，在膜的成形面2a上轉印成形微細凹凸形狀，由巻取單元60將其巻取成巻狀。退繞單元50和巻取單元60是上述膜的輸送裝置。間歇地依次反復進行該退繞和轉印成形加工。沖壓單元10與沖壓缸12連接，以使加壓板(上)14a能夠以支柱11為引導而升降移動。支柱ll被框架(上)16a和框架(下)16b夾持地配設。加壓板(上)14a的下表面安裝有調溫板(上)15a。另一方面，加壓板(下)14b的上表面安裝有調溫板(下)15b。各調溫板分別通過配管、配線等與加熱單元30、冷卻單元40連接。并且，模具3安裝于調溫板(下)15b的上側表面，通過下側調溫板被控制加熱、冷卻。另外，模具3也可以安裝于調溫板(上)15a的下表面。另外，各板的膜按壓面?zhèn)鹊钠矫娑葍?yōu)選是lOjim以下，更優(yōu)選是5fim以下。另外，成形加工不限于加熱成形方式，例如也能以利用光的成形方式進行。在不采用加熱成形方式的情況下，在本發(fā)明的裝置、方法中，不需要作為調溫裝置的加熱單元30、冷卻單元40。沖壓缸與未圖示的液壓泵、油罐連接。由液壓泵進行加壓板(上)14a的升降動作和加壓力的控制。此外，在本實施方式中，應用液壓方式的沖壓缸，但只要是能控制加壓力的機構，可以是任意機構。壓力范圍優(yōu)選是能夠控制在O.lMPa~20MPa的范圍內，更優(yōu)選是能夠控制在IMPa~lOMPa的范圍內。沖壓缸的升壓速度優(yōu)選是能夠控制在0.01MPa/slMPa/s的范圍，更優(yōu)選是能夠控制在0.05MPa/s~0.5MPa/s的范圍內。說明本發(fā)明所使用的模具3。模具的轉印面具有微細圖案，作為在模具上形成該圖案的方法，有機械加工、激光加工、光刻、電子線描繪方法等。在此，形成于模具上的"微細凹凸形狀"是指高度10nm-lmm、周期10nm-lmm的周期性反復的凸出形狀。凸出形狀的高度更優(yōu)選是lfim~lOOjim,周期更優(yōu)選是lnm-100nm。作為凸出形狀的例子有以離散狀、點狀配置三棱錐、圓錐、四棱柱、透鏡形狀等所代表的任意形狀突起物而成的形狀、將截面是三角形、四邊形、梯形、半圓、橢圓等所代表的任意形狀突起物配置成條紋狀而成的形狀等。作為模具的材質，只要能獲得所希望的沖壓時強度、圖案加工精度、膜的脫模性的即可，例如優(yōu)選使用不銹鋼、含有鎳、銅等的金屬材料、硅、玻璃、陶瓷、樹脂或在這些材質的表面上覆蓋用于提高脫模性的有機膜而成的材料。該模具的微細圖案是與想要賦予膜表面的微細凹凸圖案對應形成的。此外，為了能以即使膜上有一定程度的厚度不均但整個面來說沒有不均的程度成形，在使用調溫板時，優(yōu)選在調溫板(上)15a與膜2之間設置具有130C以上耐熱溫度的彈性板17。作為該彈性板17，例如可優(yōu)選使用厚度為0.3mm~1.0mm的三元乙丙橡膠(EPDM)、硅橡膠或氟橡膠等，更優(yōu)選是對表面實施了易滑處理的材料。在此，耐熱溫度是指在該溫度下放置24小時時的抗拉強度變化率超過10%時的溫度。接著，說明作為上述脫模裝置的脫模單元20。如圖2所示，脫模單元由剝離輥21和輔助輥22構成，剝離輥21與剝離輥旋轉才幾構23連接，被以指定的轉速旋轉控制。剝離輥旋轉機構23只要是能控制轉速的機構即可，但為了嚴格控制旋轉量，更優(yōu)選伺服馬達。此外，剝離輥21經由托架26與作為上述導向引導件的剝離輥直動引導件25連接，以使剝離輥21—邊旋轉一邊與模具3的表面大致平行地順滑移動。剝離輥直動引導件25安裝在加壓板(下)14b的上表面。另一方面，輔助輥22與作為上述輔助輥移動機構的輔助輥旋轉機構24連接，以使該輔助輥22在圖3(a)所示的待機位置22p沿剝離輥21的外表面旋轉。輔助輥旋轉機構24只要是電磁馬達、利用空氣壓力的致動器等可使輔助輥在剝離輥的周邊沿其外周升降移動的機構即可，可以是任意機構。并且，輔助輥的兩端被安裝成能夠以輥軸心為中心而自由旋轉。另外，圖2表示利用輔助輥旋轉機構24使輔助輥旋轉移動到剝離輥21的大致上側的狀態(tài)。剝離輥、輔助輥的膜接觸部可以是由具有一定彈性和粘著性的橡膠材質構成，例如橡膠硬度(JISK6253)優(yōu)選是40-70，更優(yōu)選是50~60，表面的中心線平均粗糙度(JISB0601)優(yōu)選是在0.01nm~1.0|am的范圍內，更優(yōu)選是在0.0^m~0.5|iim的范圍內。作為適合的材質，有EPDM、硅橡膠、氟橡膠等。在各輥的橡膠硬度大于70、或中心線平均粗糙度大于lnm時，有時膜與輥之間的緊貼性不充分，在脫模時在膜與輥之間打滑，引起由膜張力的降低而導致的剝離力的降低，另一方面，橡膠硬度小于40時，脫模動作時的橡膠變形變大，因此有時脫模動作不穩(wěn)定，有時造成在膜面產生脫模痕跡，因此需要注意。此外，若中心線平均粗糙度小于0.01pm,則在制造上存在困難。另外，盡管脫模動作時對膜施加的適當張力還取決于所使用的膜材質、脫模時的溫度，但優(yōu)選是大致l-100N，更優(yōu)選是550N。此外，各輥的表面材質優(yōu)選是耐熱溫度為IOO"C以上、更優(yōu)選是為130"C以上的材質。由于是對高溫的膜進行處理，這樣選擇是為了防止出現因長時間使用后尺寸變差、強度變差導致的脫模動作不良。在此，耐熱溫度的定義如上所述。參照圖2、圖3說明實際將膜從模具表面脫模，并供給接下來要成形的膜的供給動作。脫模動作前，脫模單元在圖3(a)所示的待機位置22p待機。在圖3中，箭頭A是退繞側，箭頭B是巻取側。在開始脫模動作時，如圖3(b)、(c)所示，驅動輔助輥旋轉機構，使輔助輥22移動到剝離輥21的大致上方。其后，如圖3(d)所示，由剝離輥旋轉機構23使剝離輥旋轉。剝離輥一邊旋轉一邊沿著模具3的表面向膜退繞側直進移動，同時使貼附于模具上的膜在環(huán)抱著剝離輥的同時逐漸脫模。如圖3(e)所示，當在模具的整個區(qū)域完成了膜的脫模時，施加制動以使剝離輥不旋轉，同時使位于下游側的輸送驅動輥旋轉而牽拉膜。于是，圖3(f)所示，在膜環(huán)抱著剝離輥和輔助輥的狀態(tài)下，剝離輥和輔助輥的單元向膜巻取側直進移動。以上的直進移動都是沿剝離輥直動引導件25移動。即，作為上述導向引導件的剝離輥直動引導件25具有如下作用(圖3(c)(f)):在剝離輥和輔助輥保持著使膜環(huán)抱該剝離輥的相對位置關系的狀態(tài)下，使剝離輥和輔助輥與模具表面平行地在該模具表面附近往復移動。剝離輥返回到巻取側一端位置時，借助輔助輥旋轉機構使輔助輥旋轉移動到剝離輥的大致下方，釋放膜。上述的剝離動作依賴于剝離輥的旋轉速度，剝離速度以與輥的周速大致相同的速度進行。因此，可嚴格控制剝離動作，能夠容易地創(chuàng)造出對于所有成形材料、條件都會順暢剝離的剝離條件。說明脫模單元的另一實施方式。除了上述說明的結構之外，還在剝離輥上連接線性馬達、電磁壓力缸、空氣壓力缸等剝離輥直動機構。在剝離膜時，使剝離輥旋轉機構保持恒定轉矩，同時驅動剝離輥直動機構，使脫模單元一邊向退繞側移動一邊進行剝離。若剝離動作完成，則與上述同樣地停止剝離輥的旋轉，在該狀態(tài)下使位于下游側的輸送驅動輥旋轉來牽拉膜。在膜脫模時，剝離輥與模具表面也可以接觸。此時，優(yōu)選是在剝離輥的膜寬度方向兩端附近配設氣缸、彈簧等彈性構件等，從而能夠控制剝離輥按壓模具表面的力。此外，在模具的表面凹凸圖案為極微細圖案等容易因與剝離輥的接觸而受損傷的情況下，圖2所示的剝離輥與模具表面之間距離(間隙)H可以是0.1mm10mm，優(yōu)選是0.1mm5mm，更優(yōu)選是0.1mm1.0mm。當間隙H小于10mm時，膜的剝離點27(參照圖3(d))位于剝離輥的正下方附近，隨著剝離輥的移動，剝離點27也連續(xù)移動，因此較優(yōu)選。另一方面，若增大間隙H，以高速脫模時，剝離點27顯示出停止、或以大于等于剝離輥的周速的速度向退繞側移動這樣的斷續(xù)動作。在停止的部位，沿膜的寬度方向出現線狀剝離痕跡的可能性較高。本發(fā)明人對優(yōu)選的間隙H的值進行了研究，發(fā)現間隙值在0.1mm10mm的范圍內時適于進行順暢的剝離。間隙H小于O.lmm時，模具表面與剝離輥可能會接觸，也可能出現破壞模具的圖案形狀的情況，因此并不優(yōu)選。另一方面，若間隙H大于10mm，則隨著剝離速度的加速，會產生斷續(xù)的剝離動作，有時會在成形面殘留剝離痕跡，因此不優(yōu)選。此外，剝離輥與模具表面的平行度可以是0.5mm以下，優(yōu)選是O.lmm以下。在此，"平行度，，是以模具表面為基準面而由安裝于膜寬度方向的兩端面上的位移傳感器測定的。即，將剝離輥配置于該位移傳感器的正上方時在兩端處分別測定的模具表面與輥外表面之間距離的差為平行度。此外，優(yōu)選是在剝離輥、輔助輥上增設冷卻水循環(huán)機構等，將各輥調節(jié)成恒定溫度。由于膜在剛脫模后的溫度較高，因此，優(yōu)選是將在剛脫模后即與膜接觸的剝離輥、輔助輥調節(jié)溫度成恒定。此外，也具有降低脫模時和剛脫模后的膜溫度的效果，對于沖壓成形后的穩(wěn)定輸送、巻取也有效。此外，優(yōu)選在剝離輥上增設使該剝離輥沿橫向微細振動的振動機構。作為振動機構，可以使用利用電磁致動器的機構、利用線性致動器的機構、利用超聲波振子的機構。而且，也可以是僅使剝離輥的外表面振動的機構。剝離輥自身或外表面發(fā)生振動，則經所巻繞的膜傳遞到剝離點，有助于膜的順暢剝離。另外，為了進行穩(wěn)定的剝離動作，需要在剝離輥與膜之間產生適于脫模的摩擦力，為此，優(yōu)選是可將膜與剝離輥在膜行進方向上的接觸長度設定為30mm300mm的范圍。并且，在本發(fā)明的裝置中，為了達成該接觸條件，可以使剝離輥的直徑為50mm200mm的范圍。若直徑小于50mm,則剝離輥與膜之間的接觸面積變小，不會在接觸面上產生充分的摩擦力，不能達到充分的剝離力，而且，還有剝離輥空轉的可能性，因此不優(yōu)選。而且，若直徑小于50mm，則剛脫模后的膜的順沿于形狀的曲率變得過大，膜有可能出現巻曲等變形。另一方面，若直徑大于200mm，則需要取得較大的用于剝離動作的空間，有時在設計上難以在沖壓裝置內確保這樣的大空間，因此不優(yōu)選。接著，說明加熱單元30。加熱單元30可以是用鋁合金制成調溫板(上)15a、(下)15b，由澆鑄在板內的電熱加熱器進行控制。此外，也可以通過在澆鑄在調溫板內的銅或不銹鋼配管、或通過機械加工加工出的孔的內部流過被調溫的熱介質，來進行加熱控制。而且，也可以是將二者組合而成的裝置結構。作為熱介質，可以是BarrelTherm(松村石油(林))、NeoSK-OIL(綜研亍夕二、;/夕7(林))等，而且，可以使加熱到100。C以上的水循環(huán)。并且，為了能高效率地傳熱，優(yōu)選是配管內部的雷諾數為l.Ox1()412xl04的范圍。在做成澆鑄加熱器、筒形加熱器等的情況下，優(yōu)選是能夠分割控制調溫板。在升溫中、降溫中、恒溫調溫中這所有調溫中，調溫板優(yōu)選將其溫度偏差控制為，以范圍表示為iot:以內、更優(yōu)選為5t:以內。也可以對模具直接加工熱介質配管管線，來對模具直接調溫。接著，說明冷卻單元40。冷卻單元40是通過在澆鑄在調溫板(上)15a、(下)15b內的銅或不銹鋼配管、或通過才幾械加工加工出的孔的內部流過被調溫的冷介質，來進4亍冷卻控制。作為冷介質，水最適合，但也可以是乙二醇溶液等。溫度優(yōu)選是10"C50t:的范圍，為了能高效率地傳熱，優(yōu)選是配管內部的雷諾數為1.0x10412x104的范圍。說明作為上述膜輸送裝置的退繞單元50、巻取單元60。退繞單元50由退繞輥旋轉機構51、輸送輥52a52d、拉出緩沖部53、膜固定部54構成。巻取單元60由巻取輥旋轉機構61、輸送輥62a62d、巻取緩沖部63、輸送驅動輥64、膜固定部65構成。拉出緩沖部53、巻取緩沖部63分別由盒55、66和與盒連接的吸引排氣機構56、67構成。吸引排氣機構56、67只要是真空泵等能夠吸引空氣并排氣的機構即可，通過將盒內的空氣排出而對插入到盒內的膜的正反兩面賦予壓力差，從而賦予恒定張力，并使膜在盒內松弛地將其保持。對于插入到盒內的膜的長度，適當的是相當于在成形膜前后間歇輸送的膜長度。而且，在盒55、66內安裝了傳感器57a、57b、68a、68b。傳感器只要是能在規(guī)定位置檢測膜的機構即可。由上述的脫模單元將膜脫模、輸送，在盒內膜偏離了傳感器檢測位置時，驅動上下游的退繞輥旋轉機構51或巻取輥旋轉機構61而將膜退繞或巻取，能夠總是使膜在盒內于規(guī)定位置松弛。此外，膜固定部54、65優(yōu)選是表面上形成有吸引孔的平板，但還可以是用夾持器夾持膜的機構、或將平板和上述機構組合而成的機構。在進行沖壓動作時，膜固定部54、65這二者都進行工作。并且，在將膜脫模時，優(yōu)選是使膜固定部54工作來將膜固定，打開膜固定部65。此外，在供給膜時，優(yōu)選是將膜固定部54、65這二者都打開。雖然未圖示，輸送驅動輥64與馬達等旋轉驅動機構連接，在膜輸送時，夾持輥64a向輸送驅動輥64接近，夾持膜，由輸送驅動輥64進行轉矩控制，同時在恒定張力下輸送膜。接著，說明本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置1的一系列的膜成形動作。圖4和圖5是從膜寬度方向觀察利用本發(fā)明的裝置進行的間歇成形巻狀連續(xù)膜的動作的概略剖視圖，按以下說明的工藝(A)(K)的流程進行成形。(A)預先將模具3設置在沖壓單元IO后，將膜2設置在退繞單元50，拉出膜2的退繞部，經由引導輥而沿沖壓單元內的模具表面行進，并進一步經由脫模單元20而由巻取單元60巻取(參照圖4(a))。(B)接著，使加熱單元工作，利用調溫板(上)15a、調溫板(下)15b使溫度上升至成形溫度。(C)使沖壓單元10工作，使調溫板(上)15a下降，以在模具3的表面和調溫板(上)之間夾持膜的方式進行沖壓。此時，使膜固定部54和65工作而將膜固定。溫度、沖壓壓力、升壓速度、加壓時間等條件依賴于膜的材質、轉印形狀、尤其是凹凸的縱橫比等。大致上成形溫度設定在100180t;,沖壓壓力設定在110MPa,成形時間設定在1秒~60秒，升壓速度設定在0.05MPa/s~lMPa/s的范圍內(參照圖4(b))。(D)完成了加熱的同時進行的沖壓后，使冷卻單元工作，使調溫板(上)15a、調溫板(下)15b降溫。另外，優(yōu)選是在冷卻中也繼續(xù)沖壓。將冷卻溫度設定為將模具表面的溫度冷卻到足夠將膜脫模。例如，可以進行冷卻直到模具3的表面溫度為膜的玻璃化轉變點以下。(E)冷卻完成后，釋放沖壓壓力，使調溫板(上)15a上升到能夠確保足夠使脫模單元20在沖壓裝置內水平移動的空間的位置(參照圖4(c))。(F)調溫板(上)15a完成了上升后，打開膜固定部65，驅動輔助輥旋轉機構，使輔助輥22旋轉移動到剝離輥21的上部，使膜2環(huán)抱著剝離輥21、輔助輥22(參照圖4(d))。(G)其后，使剝離輥21在膜表面上向23a的方向旋轉。剝離輥21在其與膜表面的摩擦力的作用下隨著旋轉同時向23b的方向移動。剝離輥21的移動是被設于沖壓裝置的加壓板上的剝離輥直動引導件導向著移動。此時，緊貼于模具表面上的膜被良好地脫模(參照圖5(e))。(H)當剝離到模具3的退繞側端部而完成了剝離時，停止剝離輥的旋轉(參照圖5(f))。(I)其后，施加制動以使剝離輥不旋轉，打開膜固定部54，使輸送驅動輥64旋轉，從而以剝離輥21和輔助輥22維持著相對位置不變的狀態(tài)向巻取側移動。此時，從退繞側拉出新的膜，并將成形后的膜送出到巻取側(參照圖5(g))。(J)當膜的拉出結束時，由膜固定部54固定了膜之后，輔助輥旋轉返回到原來位置，由膜固定部65固定膜。通過供給新的膜，從而將預先在拉出緩沖部53中松弛了的膜拉出到巻取側，使退繞輥旋轉機構工作，從退繞輥向拉出緩沖部供給新的膜，直到傳感器57b檢測到膜的位置為止。另一方面，完成了成形的膜被送出時，相當于所送出長度的膜暫時被巻取緩沖部63保留，使巻取輥旋轉機構工作，直到傳感器68a檢測不到膜為止，即巻取長度相當于新積存的膜長度的膜(參照圖5(h))。(K)在膜完成脫模的同時或將要完成脫模之前，開始調溫板(上)(下)的加熱。并且，使沖壓單元10工作，使調溫板(上)下降到膜的上表面附近。在升溫完成后進行沖壓成形，反復上述(C)起的動作。通過上述(F)~(H)的動作，可在間歇式膜的成形循環(huán)中編入順暢的脫模動作，能夠生產脫模痕跡少的高品質的成形膜。此外，通過上述(I)的動作，能夠迅速將要在下一循環(huán)中成形的膜供給到沖壓單元內，因此能夠以高生產率實現間歇式膜成形。并且，通過組合膜的脫模動作、供給動作這二者，能夠以高生產率生產高品質的成形膜。接著，參照本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置101。本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置101至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具表面上的沖壓裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具表面脫模的脫模裝置，其中，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離且被旋轉自如地保持的剝離輥、隔著膜行進線而與該剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在該剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、用于使上述剝離輥在上述模具表面附近與該表面平行地移動的驅動機構、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件、在上述剝離輥的膜輸送方向下游側對膜施加張力的張力施加才幾構。如圖6所示，本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置101由作為上述沖壓裝置的沖壓單元10、作為上述脫模裝置的脫模單元120、作為上述調溫裝置的加熱單元30、作為上述調溫裝置的冷卻單元40、退繞單元50、巻取單元60構成。在退繞單元50將巻繞成巻狀的膜2依次退繞，在沖壓單元10將退繞的膜壓靠于模具3的加工有微細凹凸形狀的表面3a上，在膜的成形面2a上轉印成形微細凹凸形狀，由巻取單元60將其巻取成巻狀。退繞單元50和巻取單元60是上述膜的輸送裝置。間歇地依次反復進行該退繞和轉印成形加工。脫模單元120以外的結構與上述說明的本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置相同，因此省略說明。說明作為上述脫模裝置的脫模單元120。如圖6、圖7所示，脫模單元由剝離輥121和輔助輥122構成，剝離輥121被剝離輥保持機構旋轉自如地保持著，剝離輥121隨著直動用馬達123產生的移動而從動旋轉。剝離輥保持機構只要是能以可從動旋轉的方式進行保持的機構即可。此外，為了使剝離輥121在從動旋轉的同時能夠與模具3的表面大致平行地順暢移動，該剝離輥121借助托架126與作為上述導向引導件的剝離輥直動引導件125連接。剝離輥直動引導件125安裝于加壓板(下)14b的上表面。另一方面，如圖7所示，輔助輥122與作為上述輔助輥移動機構的輔助輥旋轉機構124連接，以使該輔助輥122能在圖8(a)所示的待機位置122p沿剝離輥121的外表面旋轉。輔助輥旋轉機構124只要是電磁馬達、利用空氣壓力的致動器等可使輔助輥在剝離輥的周邊沿其外周升降移動的機構即可，可以是任意機構。并且，輔助輥的兩端被安裝成能夠以輥軸心為中心而自由旋轉。另外，圖7表示利用輔助輥旋轉機構124使輔助輥旋轉移動到剝離輥121的大致上側的狀態(tài)。在比剝離輥121靠膜輸送方向下游側的位置設有對膜適當施加張力的張力施加機構，例如，該張力施加機構優(yōu)選是由圖6所示那樣的輸送驅動輥64、引導輥71、張力檢測用輥72、張力檢測機構73構成。尤其是，作成該結構，優(yōu)選是基于該張力檢測機構73所檢測到的值，由輸送驅動輥64控制上述張力施加機構的張力施加水平。剝離輥、輔助輥的膜接觸部可以是由具有一定彈性和粘著性的橡膠材質構成，例如橡膠硬度(JISK6253)優(yōu)選是40-80，更優(yōu)選是50-80,表面的中心線平均粗糙度(JISB0601)優(yōu)選是0.01pm5(Hun的范圍，更優(yōu)選是0.01nm30nm的范圍。作為適合的材質，有EPDM、硅橡膠、氟橡膠等。在各輥的橡膠硬度大于80、或中心線平均粗糙度大于5(Him時，膜與輥之間的緊貼性不充分，另外，橡膠硬度小于40時，脫模動作時的橡膠變形變大，因此有時脫模動作不穩(wěn)定，有時造成在膜面產生脫模痕跡，因此需要注意。此外，若中心線平均粗糙度小于O.Olpm，則在制造上存在困難。另外，在脫模動作時對膜施加的適當張力還取決于所使用的膜材質，加熱成形時還取決于脫模時的溫度，但優(yōu)選是大致l-100N，更優(yōu)選是550N。此外，各輥的表面材質優(yōu)選是耐熱溫度為IOOC以上、更優(yōu)選是為13(TC以上的材質。由于是對高溫的膜進行處理，這樣設計是為了防止出現因長時間使用后尺寸變差、強度變差導致的脫模動作不良。在此，耐熱溫度的定義如上所述。參照圖7、圖8說明實際將膜從模具表面脫模，并供給接下來要成形的膜的供給動作。脫模動作前，脫模單元在圖8(a)所示的待機位置122p待機。在圖8中，箭頭A是退繞側，箭頭B是巻取倒。在開始脫模動作時，如圖8(b)、(c)所示，驅動輔助輥旋轉機構，使輔助輥122移動到剝離輥121的大致上方。其后，如圖8(d)所示，借助剝離輥直動用馬達123使剝離輥向退繞側直進。同時，借助下游側的輸送驅動輥64對膜施加張力。剝離輥在直進的同時，在模具3的表面旋轉，同時使貼附在模具上的膜環(huán)抱著剝離輥逐漸脫模。如圖8(e)所示，當在模具的整個區(qū)域完成了膜的脫模時，如圖8(f)所示那樣驅動剝離輥直動用馬達123，使剝離輥向巻取側直進。此時，施加制動以使剝離輥成為不旋轉的狀態(tài)，同時由輸送驅動輥64施加一定張力。于是，在膜環(huán)抱著剝離輥和輔助輥的狀態(tài)下，剝離輥和輔助輥的單元向膜巻取側直進移動。以上的直進移動都是沿剝離輥直動引導件125移動。即，作為上述導向引導件的剝離輥直動引導件125具有如下作用(圖8(c)(f)):在剝離輥和輔助輥保持著使膜環(huán)抱著該剝離輥的相對位置關系的狀態(tài)下，使剝離輥和輔助輥與模具表面平行地在該模具表面附近往復移動。剝離輥返回到巻取側一端位置時，借助輔助輥旋轉機構使輔助輥旋轉移動到剝離輥的大致下方，釋放膜。上述的剝離動作的剝離速度以與剝離輥的從動旋轉的輥周速大致相同的速度進行。剝離輥直動用馬達123是用于使剝離輥在模具表面附近與該表面平行地移動的驅動機構，優(yōu)選是伺服馬達、線性馬達等。還可以利用電磁壓力缸、空氣壓力缸等作為直動源。在膜的脫模時，剝離輥與模具表面也可以接觸。此時，優(yōu)選是在剝離輥的膜寬度方向兩端附近配設汽缸、彈簧等彈性構件等，從而能夠控制剝離輥按壓模具表面的力。此外，在模具的表面凹凸圖案為極微細圖案等容易因與剝離輥的接觸而受損傷的情況下，圖2所示的剝離輥與模具表面之間距離(間隙)H可以是0.1mm~10mm，優(yōu)選是0.1mm5mm，更優(yōu)選是0.1mm1.0mm。當間隙H小于10mm時，膜的剝離點127(參照圖3(d))位于剝離輥的正下方附近，隨著剝離輥的移動，剝離點127也連續(xù)移動，因此較優(yōu)選。另一方面，若增大間隙H,以高速脫模時，剝離點127顯示出停止、或以大于等于剝離輥的周速的速度向退繞側移動這樣的斷續(xù)動作。在停止的部位，沿膜的寬度方向出現線狀剝離痕跡的可能性較高。本發(fā)明人對優(yōu)選的間隙H的值進行了研究，發(fā)現間隙值為0.1mm10mm的范圍時適于進4亍順暢的剝離。間隙H小于O.lmm時，模具表面與剝離輥可能會接觸，也可能出現破壞模具的圖案形狀的情況，因此并不優(yōu)選。另一方面，若間隙H大于10mm,則隨著剝離速度的加速，會產生斷續(xù)的剝離動作，有時會在成形面殘留剝離痕跡，因此不優(yōu)選。此外，剝離輥與模具表面的平行度可以是0.5mm以下，優(yōu)選是O,lmm以下。在此，"平行度，，是以模具表面為基準面，能通過安裝于膜寬度方向的兩端面上的位移傳感器測定。即，將剝離輥配置于該位移傳感器的正上方時在兩端處分別測定的模具表面與輥外表面之間距離的差為平行度。此外，優(yōu)選是在剝離輥、輔助輥上增設冷卻水循環(huán)機構等，將各輥調溫成恒定溫度。在加熱成形時，由于膜在剛脫模后的溫度較高，因此，優(yōu)選是將在剛脫模后即與膜接觸的剝離輥、輔助輥調節(jié)溫度成恒定。此外，也具有降低脫模時和剛脫模后的膜溫度的效果，對于沖壓成形后的穩(wěn)定輸送、巻取也有效。此外，優(yōu)選在剝離輥上增設使該剝離輥沿橫向微細振動的振動機構。作為振動機構，可以使用利用電磁致動器的機構、利用線性致動器的機構、利用超聲波振子的機構。而且，也可以是僅使剝離輥的外表面振動的機構。剝離輥自身或外表面發(fā)生振動，則經所巻繞的膜傳遞到剝離點，有助于膜的順暢剝離。另外，為了進行穩(wěn)定的剝離動作，可以使剝離輥的直徑為50mm200mm的范圍。若直徑小于50mm,則剛脫模后的膜的順沿于形狀的曲率變得過大，有可能出現膜巻曲等變形。另一方面，若直徑大于200mm，則需要取得較大的用于剝離動作的空間，有時在設計上難以在沖壓裝置內確保這樣的大空間，因此不優(yōu)選。參照圖9、圖IO說明本發(fā)明的第2間歇式膜成形裝置101的一系列的膜成形動作。與上述本發(fā)明的第1間歇式膜成形裝置1的一系列的膜成形動作((A)~(K))不同的部分是將膜從模具脫模后供給接下來要成形的膜的步驟((G)~(I))。由以下的(G，)~(1，)僅對該部分進行i兌明。(G，)通過與輸送驅動輥64大致同時地驅動剝離輥直動用馬達123，從而使剝離輥121在膜表面向123a的方向從動旋轉，同時向123b的方向移動。該移動是受設于沖壓裝置的加壓板上的剝離輥直動引導件導向著移動。此時，緊貼在模具表面的膜被良好地脫模(參照圖10(e))。(H，)當剝離到模具3的退繞側端部而完成了剝離時，停止剝離輥的旋轉(參照圖10(f))。(1，)其后，施加制動以使剝離輥不旋轉，打開膜固定部54，使輸送驅動輥64旋轉，從而在剝離輥121和輔助輥122維持著相對位置不變的狀態(tài)下，驅動剝離輥直動用馬達123，向巻取側移動。此時，從退繞側拉出接下來要成形的新的膜部分，并將成形后的膜送出到巻取側(參照圖10(g))。通過本脫模動作，可在間歇式膜的成形循環(huán)中編入順暢的脫模動作，能夠生產脫模痕跡少的高品質的成形膜。此外，通過上述(I，)的動作，能夠迅速將要在下一循環(huán)中成形的膜供給到沖壓單元內，因此能夠以高生產率實現間歇式膜成形。并且，通過組合膜的脫模動作、供給動作這二者，能夠以高生產率生成高品質的成形膜。本發(fā)明的間歇式膜成形裝置所適用的膜2是玻璃化轉變溫度Tg優(yōu)選為40~180t:、更優(yōu)選為50~160"C、最優(yōu)選為50120"C的以熱塑性樹脂為主要成分的膜。若玻璃化轉變溫度Tg小于該范圍，則成形品的耐熱性變低，形狀隨使用時間發(fā)生變化，因此不優(yōu)選。此外，若超過該范圍，則成形溫度不得不變高，從能源方面考慮是無效率的，而且有時出現如下等狀況膜的加熱/冷卻時的體積變動變大，膜夾入模具中而無法脫模，或即使能夠脫模而圖案的轉印精度降低、或圖案局部欠缺而形成缺陷，出于上述理由，超過該范圍的膜并不優(yōu)選。本發(fā)明所適用的以熱塑性樹脂為主要成分的膜2優(yōu)選是具體為由聚對苯二曱酸乙二醇酯、聚2、6-萘二曱酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丙二醇酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯等聚酯系樹脂、聚乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚異丁烯、聚丁烯、聚甲基戊烯等聚烯烴系樹脂、聚酰胺系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、聚醚系樹脂、聚酯酰胺系樹脂、聚醚酯系樹脂、丙烯酸系樹脂、聚氨酯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂或聚氯乙烯系樹脂等構成。其中共聚的單體種類多樣，且因此容易調整材料的物性，出于這些理由，尤其優(yōu)選是以聚酯系樹脂、聚烯烴系樹脂、聚酰胺系樹脂、丙烯酸系樹脂或自這些的混合物中選擇的熱塑性樹脂為主而形成，更優(yōu)選是50重量％以上為上述熱塑性樹脂。本發(fā)明的膜成形裝置和成形方法所適用的被加工膜可以是由上述樹脂的單體構成的膜，也可以是由多個樹脂層構成的層疊體。此時，與單體片相比，能夠賦予易滑性、耐摩擦性等表面特性、機械強度、耐熱性。如此作成由多個樹脂層構成的層疊體時，優(yōu)選是片整體滿足上述條件，但即便作為膜整體來說不滿足上述條件，只要至少在表層形成滿足上述條件的層，就能容易地成形表面。此外，本發(fā)明所適用的膜的優(yōu)選厚度(厚度、膜厚)，優(yōu)選是0.01~lmm的范圍。若小于0.01mm，則沒有對于成形來說足夠的膜厚，若大于lmm，則由于膜的剛性，通常難以輸送。作為本發(fā)明所適用的膜的形成方法，例如為單體片時，可例舉出將片形成用材料在擠壓機內加熱熔融，從擠出頭擠出到冷卻的澆鑄滾筒上來加工成片狀的方法(熔融澆鑄法)。作為其它方法可例舉出使片形成用材料溶解在溶劑中，將該溶液從擠出頭擠出到澆鑄滾筒、環(huán)狀帶等支承體上而制成膜狀，接著，從該膜層干燥除去溶劑而加工成片狀的方法(溶液澆鑄法)等。此外，作為層疊體的制造方法，可例舉出如下方法等將兩種不同的熱塑性樹脂放入兩臺擠壓機，熔融后從擠出頭一并擠出到冷卻的澆鑄滾筒上而加工成片狀的方法(共擠出法)；將覆蓋層原料放入擠壓機熔融擠出，邊從擠出頭擠出邊層壓于由單膜制作的片上(熔融層壓法)；分別以單膜形式制造由單膜制作出的片和容易表面賦形性片，利用加熱后的輥組等將它們熱壓接(熱層壓法)；其它，使片形成用材料溶解于溶劑中而在片上涂布該溶液(涂覆法)。此外，對于容易表面賦形性片層疊體，也可以使用上述的熔融層壓法、熱層壓法、涂覆法等。該基材可以是基底調整材料、底涂材料等實施了處理的材料。還優(yōu)選是作成與具有其它功能的基材復合而成的復合體的結構。此外，本發(fā)明所適用的膜中可以在聚合時或聚合后添加各種添加劑。作為能夠添加配合的添加劑的例子，例如有有機微粒、無機微粒、分散劑、染料、熒光增白劑、防氧化劑、耐風化劑、防帶電劑、脫模劑、增粘劑、增塑劑、pH調整劑以及鹽等。尤其是作為脫模劑，優(yōu)選是在聚合時添加少量的長鏈羧酸或長鏈羧酸鹽等表面張力低的羧酸或其衍生物、以及長鏈乙醇或其衍生物、改性硅油等表面張力低的乙醇化合物等。本發(fā)明所適用的膜，優(yōu)選是在成形層的表面再層疊脫模層的結構。通過在膜的最表面、即與模具接觸的面上預先設置脫模層，能夠提高形成于模具表面的脫模涂層的耐久性(反復使用次數)，即使在使用局部失去脫模效果的模具時，也能夠無問題地均勻脫模。而且，即使不對模具實施脫模處理，通過在膜側預先形成脫模層，也能夠脫模，可減少模具脫模處理成本，因此優(yōu)選。此外，能夠防止因將成形片從模具脫模時的樹脂粘著而損壞成形圖案，可進行更高溫度下的脫模，可縮短循環(huán)時間，因此，在成形精度、生產率方面也是優(yōu)選的。而且，通過提高成形片表面的滑動性，提高了耐刮傷性，可減少在制造工序等中產生的缺陷，因此優(yōu)選。成形層以支承層為中心而層疊于兩最外層時，無論在哪方的成形層表面設置脫模層均可，也可以在兩最外層上設置脫模層。構成脫模層的樹脂并無特別限定，但優(yōu)選是以硅系樹脂、氟系樹脂、脂肪酸系樹脂、聚酯系樹脂、烯烴系樹脂、密胺系樹脂為主要成分來構成，這些樹脂中，更優(yōu)選硅系樹脂、氟系樹脂、脂肪酸系樹脂。此外，在脫模層中除了上述樹脂以外還可以配合例如丙烯酸樹脂、聚氨酯樹脂、環(huán)氧樹脂、尿素樹脂、酚醛樹脂等，也可以配合各種添加劑，例如防帶電劑、界面活性劑、防氧化劑、耐熱穩(wěn)定劑、耐風化穩(wěn)定劑、紫外線吸收劑、顏料、染料、有機或無機微粒、填充劑、成核劑、交聯劑等。此外，脫模層的厚度并無特別限定，優(yōu)選是O.Ol5(im。該脫模層的厚度小于O.Olnm時，有時上述脫模性提高效果降低。作為形成脫模層的方法，并無特別限定，可以使用各種涂布方法，例如逆轉涂覆法、照相凹版涂覆法、棒式涂覆法、條式涂覆法、模具涂覆法或噴涂法。并且，從生產率、涂布均勻性方面考慮，優(yōu)選采用在制膜同時進行上述涂布的在線涂覆。實施例1(1)模具制作并使用以下所示的模具。模具尺寸500mm(膜寬度方向)x800mm(膜行進方向)x20mm(厚度)。模具材質銅。微細形狀間距5(Him、凸部寬度25fim、凸部高度50nm，從膜行進方向看時的截面是矩形形狀。(2)沖壓裝置能夠加壓到最大3000kN，因此，由液壓泵進行加壓。在沖壓裝置內上下安裝2片由鋁合金制的、尺寸為700mm(膜寬度方向)x1000mm(膜行進方向)的調溫板，2片調溫板分別與加熱裝置、冷卻裝置連接。另外，模具安裝在下側調溫板上。加熱裝置是熱介質循環(huán)裝置，熱介質使用BarrelTherm#400(松村石油林式會社制)，使加熱到150€的熱介質以100L/min的流量流動。此外，冷卻裝置是冷卻水循環(huán)裝置，4吏冷卻到20"C的水以150L/min的流量流動。(3)脫模裝置使用以與圖2所示脫模裝置相同的結構組合剝離輥和輔助輥而成的裝置。剝離輥的外徑是150mm，表面被橡膠硬度為60(JISK6253)、表面的中心線平均粗糙度為0.5pm(JISB0601)的硅橡膠覆蓋，與由伺服馬達構成的旋轉驅動機構連接。輔助輥的外徑是50mm，表面被橡膠硬度為60(JISK6253)、表面的中心線平均粗糙度為0.5nm(JISB0601)的硅橡膠覆蓋，被安裝成旋轉自如的形式。此外，剝離輥與模具表面的距離(間隙)是15mm。(4)膜由聚對苯二甲酸乙二醇酯構成，厚度為lOOjLim(厚度偏差±10pm)，寬度為520mm。該膜被隔著沖壓裝置而相對設置的退繞、巻取裝置送出或巻取。(5)工作方法使用上述裝置，如下述那樣間歇地進行成形。預先使膜從退繞裝置經由沖壓裝置到達巻取裝置。接著，將上下的調溫板都加熱到110。C后，使上側板下降，開始膜的沖壓。用模具表面以5MPa、實施30秒沖壓。其后，保持繼續(xù)沖壓的狀態(tài)，使上下調溫板都冷卻。在各調溫板減低到60C時停止冷卻。若上下都完成了冷卻，則釋放沖壓。使上側板上升到上限，驅動脫模裝置。使輔助輥移動到剝離輥的上側，巻繞上膜后，使剝離輥以周速為10m/分鐘的方式旋轉。隨著剝離輥的旋轉，剝離輥向退繞側移動，同時將膜從模具脫模。將膜全部從模具脫模后，對剝離輥的旋轉方向施加制動，同時利用巻取裝置側的輸送驅動輥對膜施加張力，以連同脫模單元一起向下游側拉的方式以20m/分鐘移動到沖壓裝置的巻取側端部，接著將接下來要成形的膜面設置于模具表面。其后，輔助輥旋轉移動，返回到原來位置。反復上述動作，制作出10片成形膜。目視評價成形面，結果完全沒有發(fā)現剝離痕跡，得到整個面均勻的成形膜。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是25秒。表l、表2、表3表示條件和結果。實施例2除了將使膜從模具脫模時的剝離輥的周速增加為20m/分鐘之外，其余以與上述實施例1完全相同的裝置和條件實施了IO片膜的成形。目視評價成形面，結果得到大致良好的外觀，但在TD方向稍能看見有線狀剝離痕跡。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是15秒。表l、表2、表3表示條件和結果。實施例3除了將剝離輥與模具表面的間隙縮小為2mm之外，其余以與上述實施例1完全相同的裝置和條件實施了IO片膜的成形。目視評價成形面，結果完全沒有發(fā)現剝離痕跡，得到整個面均勻的成形膜。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是15秒。表l、表2、表3表示條件和結果。實施例4(1)模具制作并使用以下所示的模具。模具尺寸500mm(膜寬度方向)x800mm(膜行進方向)x20mm(厚度)。模具材質銅。微細形狀間距50nm、凸部寬度25nm、凸部高度50nm，從膜行進方向看時的截面是矩形形狀。(2)沖壓裝置能夠加壓到最大3000kN，因此，由液壓泵進行加壓。在沖壓裝置內上下安裝2片由鋁合金制的、尺寸為700mm(膜寬度方向)x1000mm(膜行進方向)的調溫板，2片調溫板分別與加熱裝置、冷卻裝置連接。另外，模具安裝在下側調溫板上。加熱裝置是熱介質循環(huán)裝置，熱介質使用BarrelTherm^400(松村石油林式會社制)，使加熱到150。C的熱介質以100L/min的流量流動。此外，冷卻裝置是冷卻水循環(huán)裝置，^使冷卻到20X:的水以150L/min的流量流動。(3)脫模裝置使用以與圖7所示相同的結構組合剝離輥和輔助輥而成的裝置。剝離輥的外徑是150mm，表面被橡膠硬度為60(JISK6253)、表面的中心線平均粗糙度為5pm(JISB0601)的硅橡膠覆蓋，被安裝成旋轉自如。輔助輥的外徑是50mm,表面被橡膠硬度為60(JISK6253)、表面的中心線平均粗糙度為5pm(J1SB0601)的硅橡膠覆蓋，被安裝成旋轉自如。此外，剝離輥與模具表面的距離(間隙)是15mm。剝離輥與由伺服馬達構成的剝離輥直動移動單元連接，以能夠邊控制該剝離輥在膜行進方向上的速度邊進行往復移動。(4)膜由聚對苯二甲酸乙二醇酯構成，厚度為100pin(厚度偏差±10nm)，寬度為520mm。該膜被隔著沖壓裝置而相對設置的退繞、巻取裝置送出或巻取。(5)張力施加機構使用在膜脫模單元與巻取單元之間配置夾持輸送輥來對膜施加張力的機構。具體而言，在作為張力施加機構的一部分的輸送驅動輥64和剝離輥21之間設置張力檢測機構，該張力檢測機構由張力檢測用引導輥72和張力計73構成。在膜的脫模中，控制輸送驅動輥64的驅動用馬達，以使由張力計73檢測的張力值恒定，該張力計是利用設于張力檢測用引導輥72的兩端的軸承的支承部上的負載傳感器進行檢測的。此時，優(yōu)選是張力檢測用引導輥保持為旋轉自如的形式，極力減小在軸承部的機械損失。(6)工作方法使用上述裝置，如下述那樣間歇地進行成形。預先使膜從退繞裝置經由沖壓裝置到達巻取裝置。接著，將上下的調溫板都加熱到110匸后，使上側板下降，開始膜的沖壓。用模具表面以5MPa、實施30秒沖壓。其后，保持繼續(xù)沖壓的狀態(tài)，使上下調溫板都冷卻。在各調溫板減低到60t:時停止冷卻。若上下都完成了冷卻，則釋放沖壓。使上側板上升到上限，驅動脫模裝置。使輔助輥移動到剝離輥的上側，巻繞上膜后，驅動剝離輥直動單元，使剝離輥以10m/分鐘的速度向退繞側移動。用張力施加機構對膜整個寬度均勻地施加9.8N的張力。接著，隨著剝離輥的旋轉，將膜從模具脫模。將膜全部從模具脫模后，對剝離輥的旋轉方向施加制動，驅動剝離輥直動單元，使剝離輥以20m/分鐘的速度向巻取側移動。另外，用輸送輥施加9,8N的張力。其后，輔助輥旋轉移動，返回到原來位置。反復上述動作，制作出10片成形膜。目視評價成形面，結果完全沒有發(fā)現剝離痕跡，得到整個面均勻的成形膜。此外，從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是25秒。表l、表2、表3表示條件和結果。實施例5除了將使膜從模具脫模時的剝離輥向退繞側的移動速度增加為20m/分鐘之外，其余以與上述實施例4完全相同的裝置和條件實施了IO片膜的成形。目視評價成形面，結果得到大致良好的外觀，但在TD方向稍能看見有線狀剝離痕跡。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是15秒。表l、表2、表3表示條件和結果。實施例6除了將剝離輥與模具表面的間隙縮小為2mm之外，其余以與上述實施例5完全相同的裝置和條件實施了IO片的成形膜。目視評價成形面，結果完全沒有發(fā)現剝離痕跡，得到整個面均勻的成形膜。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是15秒。表l、表2、表3表示條件和結果。比較例1不用實施例16所應用的膜的脫模裝置，而僅用在巻取側施加的張力，進行將膜脫模、然后供給新的要成形的膜的動作，除此之外，以與實施例1完全相同的裝置和條件實施了10片膜的成形。目視評價成形面，結果是2片在從模具脫模時產生膜破裂，其余8片在TD方向能看見有很多線狀剝離痕跡。從開始膜的脫模動作，到完成供給新膜為止的時間是35秒。另外，在欲以35秒以下的時間實施脫模動作而提高了對膜的張力時，脫模時出現很多膜破裂。表l、表2、表3表示條件和結果。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>權利要求1.一種間歇式膜成形裝置，至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具的表面上的沖壓裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具的表面脫模的脫模裝置，其特征在于，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離的剝離輥、用于驅動剝離輥旋轉的剝離輥驅動機構、隔著膜行進線而與剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件。2.根據權利要求1所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，包括用于使上述剝離輥在上述模具表面附近與該模具表面平行地移動的驅動機構。3.根據權利要求1所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，上述剝離輥表面的膜接觸部由橡膠構成，橡膠硬度是40-70,表面的中心線平均粗糙度在0.01nm~L0|am的范圍內。4.根據權利要求1所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，上述輔助輥表面的膜接觸部由橡膠構成，橡膠硬度是4070,表面的中心線平均粗糙度在0.01jLim~1.0|Lim的范圍內。5.根據權利要求1所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，上述剝離輥的直徑在50mm200mm的范圍內。6.—種間歇式膜成形裝置，至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具、將膜按壓于該模具的表面上的沖壓裝置、用于輸送該膜的輸送裝置、用于使膜從該模具的表面脫模的脫模裝置，其特征在于，上述脫模裝置至少包括用于將膜剝離且被旋轉自如地保持的剝離輥、隔著膜行進線而與該剝離輥大致平行地配置的輔助輥、使輔助輥在該剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構、用于使上述剝離輥在上述模具表面附近與該模具表面平行地移動的驅動機構、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件、在比上述剝離輥更靠膜輸送方向下游側處對膜施加張力的張力施加機構。7.根據權利要求6所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，上述之間的摩擦力。8.根據權利要求6所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，上述輔助輥被旋轉自如地保持，上述張力施加機構設置于該輔助輥的膜輸送方向下游側。9.根據權利要求6所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，在上述剝離輥與上述張力施加機構之間設置膜張力檢測機構，基于該膜張10.根據;fT利要求l或6所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，膜脫模時的上述剝離輥與上述模具表面之間距離為0.1mm10mm的范圍內。11.一種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在完成膜的成形之后，使剝離輥和與剝離輥大致平行地配置的輔助輥這兩個輥旋轉，同時以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向下游側向上游側移動，從而將該膜從模具表面脫模。12.—種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在膜成形后，進而在將膜從模具表面脫模之后，使與模具表面大致平行地配置的剝離輥和輔助輥保持上述兩個輥的相對位置關系，并在停止了上述兩個輥的旋轉的狀態(tài)下，以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向上游側向下游側移動，從而向模具表面附近間歇地供給膜。13.—種間歇式膜成形方法，將膜間歇地供給到表面形成有微細凹凸的模具表面的附近后，將該膜按壓在該模具上，從而在膜表面成形出微細凹凸，其特征在于，在完成膜的成形之后，使剝離輥和與剝離輥大致平行地配置的輔助輥這兩個輥旋轉，同時以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向下游側向上游側移動，從而將該膜從模具表面脫模，然后，保持上述兩個輥的相對位置關系，并在停止了上述兩個輥的旋轉的狀態(tài)下，以使膜環(huán)抱著上述兩個輥的狀態(tài)使該兩個輥與模具表面大致平行地在該模具表面附近從膜輸送方向上游側向下游側移動，從而向模具表面附近間歇地供給膜。14.根據權利要求1113中任一項所述的間歇式膜成形裝置，其特征在于，在通過使上述剝離輥從膜輸送下游側向上游側移動而將該膜從模具表面脫模時，上述剝離輥從動旋轉。全文摘要本發(fā)明提供一種間歇式膜成形裝置及間歇式膜成形方法，該間歇式膜成形裝置至少包括在表面形成有微細凹凸形狀的模具(3)、將膜按壓于該模具表面上的沖壓裝置(10)、用于輸送該膜的輸送裝置(50、60)、用于使膜從該模具表面脫模的脫模裝置(20)，該間歇式膜成形裝置至少還包括用于將膜從上述脫模裝置剝離的剝離輥(21)、用于驅動剝離輥旋轉的剝離輥驅動機構(23)、隔著膜行進線而與剝離輥大致平行地配置的輔助輥(22)、使輔助輥在剝離輥周邊移動以使膜環(huán)抱剝離輥的輔助輥移動機構(24)、使上述剝離輥和上述輔助輥保持著使膜環(huán)抱剝離輥的相對位置關系而與模具表面平行地在該模具表面附近移動的導向引導件(25)。文檔編號B29C59/02GK101528442SQ20078003581公開日2009年9月9日申請日期2007年9月26日優(yōu)先權日2006年9月27日發(fā)明者千木良宣嗣,箕浦潔,野村文保申請人:東麗株式會社