1.一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，包括設(shè)置在硅片背面損傷設(shè)備出料部的支撐架和若干個(gè)設(shè)置在支撐架上用于放置片盒（2）的片臺(tái)（1），所述片盒（2）一端設(shè)置有尾部卡槽，另一端開(kāi)設(shè)有進(jìn)料口，且進(jìn)料口的兩個(gè)側(cè)壁外翻形成凸緣，其特征在于：所述片盒（2）通過(guò)兩個(gè)側(cè)角卡具（3）以及一個(gè)尾部卡具（4）固定安裝在片臺(tái)（1）上，兩個(gè)側(cè)角卡具（3）沿片盒（2）長(zhǎng)度方向?qū)ΨQ(chēng)設(shè)置在片盒（2）進(jìn)料口的兩個(gè)頂角處，所述側(cè)角卡具（3）包括連接塊（301）和片盒固定卡條（302），該片盒固定卡條（302）設(shè)置在連接塊（301）的上表面且通過(guò)連接塊（301）與片臺(tái)（1）固定連接，所述片盒固定卡條（302）一端具有加強(qiáng)塊（303），片盒固定卡條（302）的另一端延伸出連接塊（301）的側(cè)邊緣以擋住片盒（2）的凸緣，防止因水流的沖擊造成片盒（2）移位；所述尾部卡具（4）包括固定擋塊（401），在固定擋塊（401）的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)置有呈臺(tái)階狀分布的多個(gè)卡臺(tái)，且處于同一高度的兩側(cè)卡臺(tái)與不同尺寸的片盒（2）尾部卡槽配合卡接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，其特征在于：所述加強(qiáng)塊（303）一端的側(cè)面與連接塊（301）一端的側(cè)面相平齊。
3.如權(quán)利要求1所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，其特征在于：所述側(cè)角卡具（3）還包括若干個(gè)螺絲a，所述連接塊（301）上沿其長(zhǎng)度方向設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲a相配合的螺絲通孔a，在片臺(tái)（1）上設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲通孔a位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔a，所述螺絲a一端穿過(guò)螺絲通孔a并置于螺絲孔a內(nèi)。
4.如權(quán)利要求1所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，其特征在于：所述尾部卡具（4）還包括若干個(gè)螺絲b，所述固定擋塊（401）上沿其厚度方向設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲b相配合的螺絲通孔b，在片臺(tái)（1）上設(shè)置有若干個(gè)與所述螺絲通孔b位置相對(duì)應(yīng)的螺絲孔b，所述螺絲b一端穿過(guò)螺絲通孔b并置于螺絲孔b內(nèi)。
5.如權(quán)利要求3所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，其特征在于：所述螺絲a、螺絲通孔a和螺絲孔a均為兩個(gè)。
6.如權(quán)利要求4所述的一種用于硅片背面損傷設(shè)備的片盒架，其特征在于：所述螺絲b、螺絲通孔b和螺絲孔b均為兩個(gè)。