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一種硅片用清洗裝置的制作方法

文檔序號:12532935閱讀:433來源:國知局

本實用新型涉及清洗裝置技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種硅片用清洗裝置。



背景技術(shù):

太陽能光伏行業(yè)晶體硅電池的制作過程中會產(chǎn)生含有較高磷濃度的硅氧化層,被稱為磷硅玻璃,簡稱PSG,在硅電池生產(chǎn)時,要進(jìn)行酸洗將該硅氧化層去除,簡稱去PSG。目前,傳統(tǒng)的清洗設(shè)備在清洗時,每個清洗槽內(nèi)都需要使用純水,對硅片進(jìn)行清洗,因此累計使用純水的量較大,水浪費嚴(yán)重,也提高了生產(chǎn)成本。

根據(jù)中國專利申請?zhí)枮?01320306796.4公布的一種硅片清洗槽,包括清洗槽本體和水泵,所述清洗槽本體的側(cè)壁內(nèi)部成型有腔體,所述腔體內(nèi)設(shè)有垂直隔板,所述垂直隔板將所述腔體隔成內(nèi)腔和外腔,所述垂直隔板的頂部設(shè)有缺口,所述內(nèi)腔和外腔通過所述缺口連通,所述外腔的底部開設(shè)有出水口,所述水泵安裝在所述出水口上,所述清洗槽本體的內(nèi)壁開設(shè)有篩孔,所述清洗槽本體的底部開設(shè)有排污口,所述排污口上設(shè)有閥。這種結(jié)構(gòu)的硅片清洗槽結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜,制作成本較高。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種硅片用清洗裝置。

本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):

一種硅片用清洗裝置,包括底座,在所述底座的上表面上加工有若干個用于放置硅片的清洗槽,并在所述底座的上表面上設(shè)置有一個用于握持的圓柱桿,在所述底座的下表面設(shè)置有多個支撐短柱。

作為本實用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,所述底座為圓柱形底座,每個清洗槽的深度相同,其深度為底座厚度的二分之一。

作為本實用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,支撐短柱的數(shù)量為三個,且均勻分布在所述底座的下表面上,每個支撐短柱均采用彈性材料制成。

作為本實用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,每個清洗槽之間相互平行。

作為本實用新型優(yōu)選的技術(shù)方案,所述底座和支撐短柱均采用不銹鋼材料制成。

與現(xiàn)有的技術(shù)相比,本實用新型的有益效果是:本實用新型在對硅片進(jìn)行清洗時,將硅片放置在底座上的清洗槽中,排列放好,然后手持圓柱桿將整個底座放置在水箱中進(jìn)行清洗,通過設(shè)置有支撐短柱,便于放置在水箱中,且結(jié)構(gòu)簡單,減少了生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

請參閱圖1,圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

所述一種硅片用清洗裝置,包括底座1,在所述底座1的上表面11上加工有若干個用于放置硅片的清洗槽2,所述底座1為圓柱形底座,每個清洗槽2的深度相同,其深度為底座1厚度的二分之一,且每個清洗槽2之間相互平行。

在所述底座1的上表面11上設(shè)置有一個用于握持的圓柱桿3,所述底座1和圓柱桿3均采用不銹鋼材料制成。

在所述底座1的下表面12設(shè)置有三個支撐短柱4,且均勻分布在所述底座1的下表面12上,每個支撐短柱4均采用彈性材料制成。

在對硅片進(jìn)行清洗時,將硅片放置在底座1上的清洗槽2中,排列放好,然后手持圓柱桿3將整個底座1放置在水箱中進(jìn)行清洗,通過設(shè)置有支撐短柱4,便于放置在水箱中,且結(jié)構(gòu)簡單,減少了生產(chǎn)成本。

上述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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