輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種小型且低成本的輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置，能夠在長(zhǎng)條狀工件的輸送路徑的整體范圍內(nèi)施加適當(dāng)?shù)膹埩?，能夠在不使長(zhǎng)條狀工件彎曲行進(jìn)的情況下對(duì)其進(jìn)行輸送，能夠通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件的表面的異物來防止曝光缺陷和顯影缺陷。輸送裝置將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送，其特征在于，輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥，浮動(dòng)輥位于供給卷軸與卷取卷軸之間，隨著長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降，并對(duì)長(zhǎng)條狀工件施加張力，浮動(dòng)輥在其外周面形成有異物去除單元，浮動(dòng)輥在隨著長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，使異物去除單元與長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，對(duì)長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面進(jìn)行清掃。
【專利說明】輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送的、所謂卷對(duì)卷方式的輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]一般而言，作為用于移動(dòng)電話和移動(dòng)設(shè)備等的電子電路基板(印刷電路基板)的基底材料，例如使用將厚度為0.1mm以下且長(zhǎng)度為500mm以上的長(zhǎng)條狀工件(感光性長(zhǎng)條膜(在正反的至少一面涂覆感光體而成的合成樹脂制柔軟膜))設(shè)為卷狀的工件。
[0003]作為在這樣的長(zhǎng)條狀工件形成電子電路的裝置，公知有所謂的卷對(duì)卷方式的裝置，該裝置具有供給卷軸、卷取卷軸以及位于該供給卷軸與卷取卷軸之間的曝光部，該裝置在將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送的同時(shí)，通過曝光部在長(zhǎng)條狀工件的表面曝光出圖案。
[0004]在卷對(duì)卷方式的裝置中，通常在供給卷軸與曝光部之間設(shè)置浮動(dòng)輥，該浮動(dòng)輥用于通過對(duì)長(zhǎng)條狀工件施加張力來防止長(zhǎng)條狀工件產(chǎn)生松弛或褶皺。此外，還在供給卷軸與曝光部之間設(shè)置清潔輥，該清潔輥用于通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件表面的異物(灰塵或臟東西)來防止曝光缺陷和顯影缺陷(專利文獻(xiàn)1、2)。
[0005]【專利文獻(xiàn)I】日本特開2001-125274號(hào)公報(bào)
[0006]【專利文獻(xiàn)2】日本特開2006-106097號(hào)公報(bào)
[0007]但是，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，該浮動(dòng)輥和清潔輥有時(shí)會(huì)相互帶來如下的不良影響。
[0008]例如在專利文獻(xiàn)1、2中，在浮動(dòng)輥與曝光部之間，由清潔輥夾持著長(zhǎng)條狀工件，因此浮動(dòng)輥帶來的張力調(diào)整的效果難以波及至長(zhǎng)條狀工件的清潔輥之后的部分。因此，在曝光部中，長(zhǎng)條狀工件產(chǎn)生褶皺或松弛，或者對(duì)長(zhǎng)條狀工件施加過大的張力而使其拉伸，由此期望的圖案尺寸產(chǎn)生誤差。即，即使設(shè)置用于對(duì)長(zhǎng)條狀工件施加張力的浮動(dòng)輥，其張力調(diào)整的效果在曝光部中也未被適當(dāng)?shù)匕l(fā)揮，因此設(shè)置浮動(dòng)輥的意義顯著降低。
[0009]此外，事實(shí)上很難使浮動(dòng)輥和清潔輥對(duì)長(zhǎng)條狀工件的進(jìn)給速度嚴(yán)格一致，而且通常浮動(dòng)輥和清潔輥施加到長(zhǎng)條狀工件的張力也產(chǎn)生不平衡。因此，長(zhǎng)條狀工件在輸送中彎曲行進(jìn)，由此長(zhǎng)條狀工件受到損傷，長(zhǎng)條狀工件的作業(yè)位置(曝光位置)的精度發(fā)生偏差，或者長(zhǎng)條狀工件的卷取精度惡化。
[0010]并且，由于單獨(dú)設(shè)置有浮動(dòng)輥、清潔輥以及對(duì)它們進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元，因此無法避免裝置整體的大型化和高成本化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明正是根據(jù)以上的問題點(diǎn)而完成的，其目的在于提供一種小型且低成本的輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置，能夠在長(zhǎng)條狀工件的輸送路徑的整體范圍內(nèi)施加適當(dāng)?shù)膹埩?，能夠在不使長(zhǎng)條狀工件彎曲行進(jìn)的情況下對(duì)其進(jìn)行輸送，能夠通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件的表面的異物來防止曝光缺陷和顯影缺陷。
[0012]本發(fā)明人根據(jù)現(xiàn)有裝置的問題點(diǎn)是由于浮動(dòng)輥和清潔輥的功能被明確劃分成前者進(jìn)行張力調(diào)整且后者進(jìn)行異物去除這樣的認(rèn)識(shí)，著眼于如果對(duì)調(diào)整長(zhǎng)條狀工件的張力的浮動(dòng)輥賦予去除異物的清潔輥的功能，則能夠得到克服了上述技術(shù)課題的輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置，從而完成了本發(fā)明。
[0013]本發(fā)明的輸送裝置在其一個(gè)方式中，將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送，其特征在于，所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥，該浮動(dòng)輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降，并對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件施加張力，所述浮動(dòng)輥在其外周面形成有異物去除單元，所述浮動(dòng)輥在隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，使所述異物去除單元與所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面進(jìn)行清掃。
[0014]也可以是，所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥清掃單元，該浮動(dòng)輥清掃單元位于所述浮動(dòng)輥的上方，對(duì)所述浮動(dòng)輥的外周面進(jìn)行清掃。
[0015]也可以是，所述異物去除單元由形成于所述浮動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成，所述浮動(dòng)輥清掃單元由具有比所述浮動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的浮動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成，所述浮動(dòng)輥用粘接片輥不能升降地設(shè)置在所述浮動(dòng)輥的上方，所述浮動(dòng)輥和所述浮動(dòng)輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述浮動(dòng)輥的上升端處接觸。
[0016]也可以是，所述異物去除單元由形成于所述浮動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成，所述浮動(dòng)輥清掃單元由具有比所述浮動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的浮動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成，所述浮動(dòng)輥用粘接片輥以能夠與所述浮動(dòng)輥一體升降的方式設(shè)置在所述浮動(dòng)輥的正上方位置，所述浮動(dòng)輥和所述浮動(dòng)輥用粘接片輥不論所述浮動(dòng)輥的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
[0017]本發(fā)明的輸送裝置在另一個(gè)方式中，將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送，其特征在于，所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥，該浮動(dòng)輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降，并對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件施加張力，所述輸送裝置設(shè)置有從動(dòng)輥，該從動(dòng)輥位于所述浮動(dòng)輥的下方，與所述浮動(dòng)輥之間夾持所述長(zhǎng)條狀工件且隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送而從動(dòng)于所述浮動(dòng)輥進(jìn)行升降，所述從動(dòng)輥在其外周面形成有異物去除單元，所述從動(dòng)輥在隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，使所述異物去除單元與所述長(zhǎng)條狀工件的另一個(gè)面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的另一個(gè)面進(jìn)行清掃。
[0018]也可以是，所述輸送裝置設(shè)置有從動(dòng)輥清掃單元，該從動(dòng)輥清掃單元位于所述從動(dòng)輥的下方，對(duì)所述從動(dòng)輥的外周面進(jìn)行清掃。
[0019]也可以是，所述異物去除單元由形成于所述從動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成，所述從動(dòng)輥清掃單元由具有比所述從動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的從動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成，所述從動(dòng)輥用粘接片輥不能升降地設(shè)置在所述從動(dòng)輥的下方，所述從動(dòng)輥和所述從動(dòng)輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述從動(dòng)輥的下降端處接觸。
[0020]也可以是，所述異物去除單元由形成于所述從動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成，所述從動(dòng)輥清掃單元由具有比所述從動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的從動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成，所述從動(dòng)輥用粘接片輥以能夠與所述從動(dòng)輥一體升降的方式設(shè)置在所述從動(dòng)輥的正下方位置，所述從動(dòng)輥和所述從動(dòng)輥用粘接片輥不論所述從動(dòng)輥的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
[0021]本發(fā)明的曝光裝置的特征在于，該曝光裝置具有:上述任意一個(gè)輸送裝置；以及曝光部，其位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面或另一個(gè)面曝光出圖案。
[0022]根據(jù)本發(fā)明，能夠得到一種小型且低成本的輸送裝置及具有該輸送裝置的曝光裝置，能夠在長(zhǎng)條狀工件的輸送路徑的整體范圍內(nèi)施加適當(dāng)?shù)膹埩?，能夠在不使長(zhǎng)條狀工件彎曲行進(jìn)的情況下對(duì)其進(jìn)行輸送，能夠通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件的表面的異物來防止曝光缺陷和顯影缺陷。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的曝光輸送裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
[0024]圖2是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的張力調(diào)整單元的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。
[0025]圖3是示出曝光輸送裝置進(jìn)行的曝光輸送動(dòng)作的流程圖。
[0026]圖4的㈧?圖4的(G)是示出曝光輸送裝置進(jìn)行的曝光輸送動(dòng)作的第I工序圖?第7工序圖。
[0027]圖5是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的曝光輸送裝置的整體結(jié)構(gòu)的圖。
[0028]圖6是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的張力調(diào)整單元的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。
[0029]標(biāo)號(hào)說明
[0030]1、I’:曝光輸送裝置；CV:輸送部；EX:曝光部；W:長(zhǎng)條狀工件；10:供給卷軸；20:供給導(dǎo)輥；30、30’:張力調(diào)整單元；31、31’:浮動(dòng)輥；31A、31A’:粘接層(異物去除單元)；32、32’:從動(dòng)輥；32A、32A’:粘接層(異物去除單元)；33、33’:浮動(dòng)輥用粘接片輥(浮動(dòng)輥清掃單元)；33A:支承臺(tái)；33B:支承軸；33C:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元；34、34’:從動(dòng)輥用粘接片輥(從動(dòng)輥清掃單元)；34A:支承臺(tái)；34B:支承軸；34C:旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元；35:單元?dú)んw；36:直線移動(dòng)導(dǎo)軌(導(dǎo)軌)；37:浮動(dòng)輥升降單元；37A:支承軸；37B:浮動(dòng)輥移動(dòng)單元；37C:基座；38 --從動(dòng)輥升降單元；38A:支承軸；38B:從動(dòng)輥移動(dòng)單元；39A:鋼絲繩；39B:支承輥；39C:配重；40 --第I輸送輥；50:第2輸送輥；60:卷取卷軸；70:曝光臺(tái)；75:曝光單元；80:升降單元；81:基座；82:第I升降部件；83 --第2升降部件;84、85、86、87:支承軸。

【具體實(shí)施方式】
[0031]《第I實(shí)施方式》
[0032]參照?qǐng)D1?圖4說明本發(fā)明第I實(shí)施方式的曝光輸送裝置I。曝光輸送裝置I是所謂的卷對(duì)卷方式的曝光輸送裝置，具有將長(zhǎng)條狀工件W在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送的輸送部CV、以及通過在由該輸送部CV輸送的長(zhǎng)條狀工件W的表面曝光出圖案而形成電子電路的曝光部EX。
[0033]<長(zhǎng)條狀工件W的結(jié)構(gòu)>
[0034]長(zhǎng)條狀工件W例如是將作為用于移動(dòng)電話和移動(dòng)設(shè)備等的電子電路基板(印刷電路基板)的基底材料的感光性長(zhǎng)條膜(在表面涂覆感光體而成的合成樹脂制柔軟膜)設(shè)為卷狀的工件。長(zhǎng)條狀工件W例如厚度為0.1mm以下且長(zhǎng)度為500mm以上。以下，將長(zhǎng)條狀工件W的正反面中的朝向圖中上方的面稱作“正面”、朝向圖中下方的面稱作“反面”。
[0035]<輸送部CV的結(jié)構(gòu)>
[0036]輸送部CV從長(zhǎng)條狀工件W的輸送方向的上游側(cè)朝向下游側(cè)，依次具有供給卷軸10、供給導(dǎo)輥20、張力調(diào)整單元30、第I輸送輥40、第2輸送輥50以及卷取卷軸60。供給卷軸10、供給導(dǎo)輥20、張力調(diào)整單元30以及第I輸送輥40構(gòu)成用于將長(zhǎng)條狀工件W供給到曝光部EX的工件供給系統(tǒng)。第2輸送輥50和卷取卷軸60構(gòu)成用于卷取由曝光部EX曝光后的長(zhǎng)條狀工件W的工件卷取系統(tǒng)。
[0037]供給卷軸10保持被卷繞成卷狀的長(zhǎng)條狀工件W，通過以自身的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，朝下游側(cè)供給(送出)長(zhǎng)條狀工件W。卷取卷軸60通過以自身的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，將從上游側(cè)供給來的長(zhǎng)條狀工件W卷取成卷狀并對(duì)其進(jìn)行保持。供給卷軸10和卷取卷軸60具有間歇地且以大致相同的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量對(duì)該供給卷軸10和卷取卷軸60進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)。供給卷軸10和卷取卷軸60被配置成各自的旋轉(zhuǎn)軸在水平方向上大致排列成一條直線。供給卷軸10和卷取卷軸60通過伴隨長(zhǎng)條狀工件W的輸送而使該長(zhǎng)條狀工件W的供給量和卷取量發(fā)生變化，使其外形發(fā)生變化。
[0038]供給導(dǎo)輥20、第I輸送輥40以及第2輸送輥50在供給卷軸10與卷取卷軸60之間架設(shè)長(zhǎng)條狀工件W，通過以自身的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，向卷取卷軸60輸送來自供給卷軸10的長(zhǎng)條狀工件W。
[0039]供給導(dǎo)輥20、第I輸送輥40以及第2輸送輥50被配置成各自的旋轉(zhuǎn)軸在水平方向上大致排列成一條直線。供給導(dǎo)棍20、第I輸送棍40以及第2輸送棍50被設(shè)定成其外徑比供給卷軸10和卷取卷軸60的外徑小，其鉛直方向位置比供給卷軸10和卷取卷軸60的鉛直方向位置高。
[0040]供給導(dǎo)輥20是將從供給卷軸10供給的(送出的)長(zhǎng)條狀工件W引導(dǎo)至下游側(cè)的輔助輥。供給導(dǎo)輥20可以具有防止長(zhǎng)條狀工件W在寬度方向(圖1、圖4中的紙面垂直方向，圖2中的左右方向)上偏離的凸緣(未圖示)。
[0041]第I輸送輥40和第2輸送輥50具有間歇地且以大致相同的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量對(duì)該第I輸送輥40和第2輸送輥50進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)。第I輸送輥40和第2輸送輥50具有吸附長(zhǎng)條狀工件W的反面的吸附單元(未圖示)。由此，在吸附單元吸附著長(zhǎng)條狀工件W的反面的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元間歇地且以大致相同的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量對(duì)第I輸送輥40和第2輸送輥50進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此能夠?qū)⒓茉O(shè)于供給卷軸10與卷取卷軸60之間的長(zhǎng)條狀工件W每次輸送規(guī)定長(zhǎng)度(分段進(jìn)給)。
[0042]另外，也可以在第I輸送輥40和第2輸送輥50中的至少一方設(shè)置用于長(zhǎng)條狀工件W的位置調(diào)整的輥移動(dòng)單元(未圖示)。該輥移動(dòng)單元是如下機(jī)構(gòu):其用于通過使第I輸送棍40和第2輸送棍50在軸向上移動(dòng),或使第I輸送棍40和第2輸送棍50的軸角度傾斜，在長(zhǎng)條狀工件W的輸送中，使長(zhǎng)條狀工件W在第I輸送輥40和第2輸送輥50的上方朝任意的方向錯(cuò)開，從而進(jìn)行長(zhǎng)條狀工件W的位置調(diào)整。
[0043]張力調(diào)整單元30配置于供給導(dǎo)輥20與第I輸送輥40之間。張力調(diào)整單元30具有以下功能:通過對(duì)長(zhǎng)條狀工件W施加張力，防止長(zhǎng)條狀工件W產(chǎn)生松弛或褶皺，同時(shí)，通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件W的正反面的異物(灰塵或臟東西)，防止曝光缺陷和顯影缺陷。
[0044]張力調(diào)整單元30具有浮動(dòng)輥31、從動(dòng)輥32、浮動(dòng)輥用粘接片輥(浮動(dòng)輥清掃單元)33以及從動(dòng)輥用粘接片輥(從動(dòng)輥清掃單元)34。這些輥31?34被配置成各自的旋轉(zhuǎn)軸在鉛直方向上大致排列成一條直線。
[0045]浮動(dòng)輥31隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送而升降，從而對(duì)長(zhǎng)條狀工件W施加張力。浮動(dòng)輥31在其外周面，形成有例如由硅系材料構(gòu)成的柔軟的粘接層(異物去除單元)31A。浮動(dòng)輥31在隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送而升降的同時(shí)，使粘接層31A與長(zhǎng)條狀工件W的正面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的正面。S卩，浮動(dòng)輥31通過使粘接層31A與長(zhǎng)條狀工件W的正面接觸并旋轉(zhuǎn)，利用自身的外周面的粘接層的粘接力，移除(卷除)附著在長(zhǎng)條狀工件W的正面的異物(灰塵或臟東西)。
[0046]從動(dòng)輥32位于浮動(dòng)輥31的下方。從動(dòng)輥32，在其與浮動(dòng)輥31之間夾持長(zhǎng)條狀工件W，并且隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送而從動(dòng)于浮動(dòng)輥31升降。從動(dòng)輥32在其外周面，形成有例如由硅系材料構(gòu)成的柔軟的粘接層(異物去除單元)32A。從動(dòng)輥32在隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送而升降的同時(shí)，使粘接層32A與長(zhǎng)條狀工件W的反面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的反面。S卩，從動(dòng)輥32通過使粘接層32A與長(zhǎng)條狀工件W的反面接觸并旋轉(zhuǎn)，利用自身的外周面的粘接層的粘接力，移除(卷除)附著在長(zhǎng)條狀工件W的反面的異物(灰塵或臟東西)。
[0047]浮動(dòng)輥用粘接片輥33不可升降地(鉛直方向的位置被固定)設(shè)置在浮動(dòng)輥31的上方。浮動(dòng)輥用粘接片輥33在其外周面，形成有具有比形成于浮動(dòng)輥31的外周面的粘接層3IA強(qiáng)的粘接力的粘接層。
[0048]浮動(dòng)輥用粘接片輥33通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元33C(圖2)在鉛直方向的固定位置被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。浮動(dòng)輥31和浮動(dòng)輥用粘接片輥33彼此的外周面僅在浮動(dòng)輥31的上升端接觸，在該接觸狀態(tài)下，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元33C對(duì)浮動(dòng)輥用粘接片輥33進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，浮動(dòng)輥用粘接片輥33清掃浮動(dòng)輥31的外周面(粘接層31A)。即，浮動(dòng)輥用粘接片輥33通過與浮動(dòng)輥31的外周面接觸并旋轉(zhuǎn)，利用自身的外周面的粘接層的粘接力，移除(卷除)附著在浮動(dòng)輥31的外周面的異物(灰塵或臟東西)。由此，能夠防止浮動(dòng)輥31去除的異物再次附著到長(zhǎng)條狀工件W。浮動(dòng)輥用粘接片輥33卷除的異物通過由操作人員每次切斷規(guī)定長(zhǎng)度的浮動(dòng)輥用粘接片，排出到張力調(diào)整單元30的外部。為了使得該排出作業(yè)容易進(jìn)行，張力調(diào)整單元30可具有用于將浮動(dòng)輥用粘接片輥33引出到外部的導(dǎo)軌(未圖示)。
[0049]在使用浮動(dòng)輥用粘接片輥33進(jìn)行浮動(dòng)輥31的清掃時(shí)，浮動(dòng)輥31在其上升端與長(zhǎng)條狀工件W的正面隔開。即，張力調(diào)整單元30具有使浮動(dòng)輥31在其上升端與長(zhǎng)條狀工件W的正面隔開的浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B(圖2)。此外，張力調(diào)整單元30具有制動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)，該制動(dòng)機(jī)構(gòu)在浮動(dòng)輥31與長(zhǎng)條狀工件W的正面隔開時(shí)，相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36暫且固定在此之前對(duì)長(zhǎng)條狀工件W施加負(fù)荷并且移動(dòng)的用于升降的基座37C (圖2)，從而防止浮動(dòng)輥31的下落。
[0050]從動(dòng)輥用粘接片輥34不可升降地(鉛直方向的位置被固定)設(shè)置在從動(dòng)輥32的下方。從動(dòng)輥用粘接片輥34在其外周面，形成有具有比形成于從動(dòng)輥31的外周面的粘接層32A強(qiáng)的粘接力的粘接層。
[0051]從動(dòng)輥用粘接片輥34通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元34C(圖2)在鉛直方向的固定位置被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。從動(dòng)棍32和從動(dòng)棍用粘接片棍34彼此的外周面僅在從動(dòng)棍32的下降端接觸，在該接觸狀態(tài)下，由旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元34C對(duì)從動(dòng)輥用粘接片輥34進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，從動(dòng)輥用粘接片輥34清掃從動(dòng)輥32的外周面(粘接層32A)。即，從動(dòng)輥用粘接片輥34通過與從動(dòng)輥32的外周面接觸并旋轉(zhuǎn)，利用自身的外周面的粘接層的粘接力，移除(卷除)附著在從動(dòng)輥32的外周面的異物(灰塵或臟東西)。由此，能夠防止從動(dòng)輥32去除的異物再次附著到長(zhǎng)條狀工件W。從動(dòng)輥用粘接片輥34卷除的異物通過由操作人員每次切斷規(guī)定長(zhǎng)度的從動(dòng)輥用粘接片，排出到張力調(diào)整單元30的外部。為了使得該排出作業(yè)容易進(jìn)行，張力調(diào)整單元30可具有用于將從動(dòng)輥用粘接片輥34引出到外部的導(dǎo)軌(未圖示)。
[0052]在使用從動(dòng)輥用粘接片輥34進(jìn)行從動(dòng)輥32的清掃時(shí)，從動(dòng)輥32在其下降端與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開。即，張力調(diào)整單元30具有使從動(dòng)輥32在其下降端與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開的從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B(圖2)。此外，張力調(diào)整單元30具有制動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)，該制動(dòng)機(jī)構(gòu)在從動(dòng)輥32與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開時(shí)，相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36暫且固定在此之前對(duì)長(zhǎng)條狀工件W施加負(fù)荷并且移動(dòng)的用于升降的基座37C，從而不會(huì)對(duì)從動(dòng)輥用粘接片輥34施加過剩的重量。
[0053]參照?qǐng)D2對(duì)張力調(diào)整單元30的詳細(xì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。張力調(diào)整單元30具有箱形的單元?dú)んw35。浮動(dòng)輥用粘接片輥33經(jīng)由支承軸33B被旋轉(zhuǎn)自如地支承于支承臺(tái)33A，該支承臺(tái)33A被固定于單元?dú)んw35內(nèi)部的上端部(頂部)。從動(dòng)輥用粘接片輥34經(jīng)由支承軸34B被旋轉(zhuǎn)自如地支承于支承臺(tái)34A，該支承臺(tái)34A被固定于單元?dú)んw35內(nèi)部的下端部(底部)。如上所述，浮動(dòng)輥用粘接片輥33和從動(dòng)輥用粘接片輥34通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元33C、34C被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0054]在單兀殼體35的側(cè)壁部，固定有彼此相對(duì)地在鉛直方向上延伸的一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌(導(dǎo)軌)36。在該一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌36中，旋轉(zhuǎn)自如地支承浮動(dòng)輥31的浮動(dòng)輥升降單元37和旋轉(zhuǎn)自如地支承從動(dòng)輥32的從動(dòng)輥升降單元38被相互獨(dú)立且可升降地引導(dǎo)。浮動(dòng)輥升降單元37具有:旋轉(zhuǎn)自如地支承浮動(dòng)輥31的支承軸37A ；以及支承該支承軸37A的兩端部且使浮動(dòng)輥31和支承軸37A —體地升降的浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B。從動(dòng)輥升降單元38具有:旋轉(zhuǎn)自如地支承從動(dòng)輥32的支承軸38A ;以及支承該支承軸38A的兩端部且使從動(dòng)輥32和支承軸38A —體地升降的從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B。并且，浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B和從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B被支承于一對(duì)基座37C，一對(duì)基座37C被相對(duì)于一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌36升降自如地支承。
[0055]S卩，浮動(dòng)輥31的升降是通過合成基座37C相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的升降和浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B進(jìn)行的支承軸37A的升降而執(zhí)行的。同樣，從動(dòng)輥32的升降是通過合成基座37C相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的升降和從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B進(jìn)行的支承軸38A的升降而執(zhí)行的。
[0056]在一對(duì)基座37C中的一個(gè)基座37C (圖2中右側(cè)的被直線移動(dòng)導(dǎo)軌36升降自如地支承的基座37C)上，經(jīng)由鋼絲繩39A和一對(duì)支承輥39B連結(jié)有配重39C。能夠通過調(diào)整配重39C的重量，對(duì)浮動(dòng)輥31施加到長(zhǎng)條狀工件W的張力進(jìn)行調(diào)整。
[0057]雖然省略圖示，但是，在一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的上端部和下端部分別設(shè)置有對(duì)浮動(dòng)輥升降單元37 (浮動(dòng)輥31)到達(dá)上端部(或其附近)的情況進(jìn)行檢測(cè)的上端部檢測(cè)傳感器、以及對(duì)從動(dòng)輥升降單元38 (從動(dòng)輥32)到達(dá)下端部(或其附近)的情況進(jìn)行檢測(cè)的下端部檢測(cè)傳感器。如上所述，浮動(dòng)輥31通過浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B，在基座37C相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的上升端進(jìn)一步上升一定量，由此，能夠與長(zhǎng)條狀工件W的正面隔開。此外，從動(dòng)輥32通過從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B，在基座37C相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的下降端進(jìn)一步下降一定量，由此，能夠與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開。
[0058]<曝光部EX的結(jié)構(gòu)>
[0059]曝光部EX被配置于第I輸送輥40與第2輸送輥50之間。曝光部EX具有曝光臺(tái)70和曝光單元75。
[0060]曝光臺(tái)70吸附從第I輸送輥40輸送到第2輸送輥50的長(zhǎng)條狀工件W的反面并且平坦地保持工件W。曝光單元75具有汞燈或LED光源等光源部(未圖示)，在曝光臺(tái)70平坦地保持的長(zhǎng)條狀工件W的正面曝光出圖案而形成電子電路。曝光單元75在長(zhǎng)條狀工件W的輸送停止時(shí)進(jìn)行曝光。
[0061]曝光單元75的曝光方式例如可使用以下方式等各種方式:使光掩模與工件抵接或真空緊密貼合地進(jìn)行曝光的接觸曝光方式；使光掩模與工件隔開進(jìn)行曝光的微小間隔曝光方式；使用投影光學(xué)系統(tǒng)將光掩模像投影到工件的投影曝光方式；以及使用激光掃描或DMD等光調(diào)制元件的直接曝光方式。即，曝光單元75的曝光方式有自由度，不限于特定的曝光方式。
[0062]曝光臺(tái)70能夠以在長(zhǎng)條狀工件W的輸送中(分段進(jìn)給中)不與長(zhǎng)條狀工件W產(chǎn)生干涉的方式，通過升降驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)，在曝光臺(tái)70與長(zhǎng)條狀工件W的反面接觸的上端位置和曝光臺(tái)70與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開的下端位置之間升降。此外，在直接曝光方式和投影曝光方式中，曝光臺(tái)70可以具有用于掃描或分布重復(fù)曝光的機(jī)構(gòu)。
[0063]雖然省略圖示，但是，長(zhǎng)條狀工件W具有用于劃分圖案曝光區(qū)域且能夠由曝光部EX (曝光單元75)執(zhí)行位置校正的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，曝光部EX (曝光單元75)具有用于讀取長(zhǎng)條狀工件W的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記讀取部。由此，曝光部EX (曝光單元75)能夠根據(jù)對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記讀取部讀取的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的位置數(shù)據(jù)，校正圖案曝光區(qū)域相對(duì)于長(zhǎng)條狀工件W的偏離。
[0064]<曝光輸送裝置I進(jìn)行的曝光輸送動(dòng)作>
[0065]參照?qǐng)D3的流程圖和圖4的⑷?圖4的(G)的工序圖，詳細(xì)說明曝光輸送裝置I進(jìn)行的曝光輸送動(dòng)作。
[0066]在步驟SI中，將作為加工前的新材料的卷狀的長(zhǎng)條狀工件W設(shè)置于供給卷軸10，送出長(zhǎng)條狀工件W的前端部而架設(shè)到供給導(dǎo)輥20、張力調(diào)整單元30、第I輸送輥40以及第2輸送輥50，并固定于卷取卷軸60。在該初始設(shè)置狀態(tài)下，長(zhǎng)條狀工件W被夾持在張力調(diào)整單元30的浮動(dòng)輥31與從動(dòng)輥32之間而描繪出U字形狀的輸送路徑。
[0067]在步驟S2中，起動(dòng)曝光部EX和輸送部CV。于是，第I輸送輥40和第2輸送輥50的吸附單元(未圖示)吸附長(zhǎng)條狀工件W的反面。
[0068]在步驟S3中，曝光部EX的曝光臺(tái)70吸附I段長(zhǎng)條狀工件W的反面，并且平坦地保持該工件W。然后，曝光部EX和輸送部CV同時(shí)在各自的步驟進(jìn)行動(dòng)作。
[0069]在步驟S4中，供給卷軸10的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)旋轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量，由此，供給卷軸10送出I段長(zhǎng)條狀工件W。被送出的長(zhǎng)條狀工件W經(jīng)由供給導(dǎo)輥20進(jìn)入張力調(diào)整單元30。這里，長(zhǎng)條狀工件W在下游側(cè)被曝光臺(tái)70吸附，并且第I輸送輥40和第2輸送輥50靜止，因此，進(jìn)入到張力調(diào)整單元30的長(zhǎng)條狀工件W在通過其自重和浮動(dòng)輥31保持適度張力的同時(shí)使U字形狀逐漸變深，浮動(dòng)輥31和從動(dòng)輥32 —體地下降(圖4的(A)—圖4的(B))。伴隨該下降，浮動(dòng)輥31和從動(dòng)輥32分別與長(zhǎng)條狀工件W的正面和反面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的正反面。
[0070]在步驟S5中，停止供給卷軸10對(duì)長(zhǎng)條狀工件W的送出，使浮動(dòng)輥31停止在下降端。從動(dòng)輥32通過從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B從與浮動(dòng)輥31的下降端對(duì)應(yīng)的位置起進(jìn)一步下降，由此與長(zhǎng)條狀工件W的反面隔開，與從動(dòng)輥用粘接片輥34接觸(圖4的(B)—圖4的(C))。并且，在該接觸狀態(tài)下，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元34C對(duì)從動(dòng)輥用粘接片輥34進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，從動(dòng)輥用粘接片輥34清掃從動(dòng)輥32的外周面。從動(dòng)輥32在從動(dòng)輥用粘接片輥34進(jìn)行的清掃結(jié)束后，通過從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B恢復(fù)到與浮動(dòng)輥31的下降端對(duì)應(yīng)的位置，與浮動(dòng)輥31之間夾持長(zhǎng)條狀工件W(圖4的(C)—圖4的(D))。
[0071 ] 在輸送裝置CV進(jìn)行步驟S4?步驟S5的動(dòng)作的期間，曝光部EX在步驟S6中，對(duì)準(zhǔn)曝光臺(tái)70吸附保持的長(zhǎng)條狀工件W，通過曝光單元75在長(zhǎng)條狀工件W的正面曝光出圖案而形成電子電路(圖4(B)—圖4(C))。
[0072]在步驟S7中，解除曝光臺(tái)70對(duì)長(zhǎng)條狀工件W的吸附，并且使第I輸送輥40、第2輸送棍50以及卷取卷軸60的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(未圖示)旋轉(zhuǎn)規(guī)定的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)量，由此,第I輸送輥40和第2輸送輥50送出I段長(zhǎng)條狀工件W，卷取卷軸60卷取送出的I段長(zhǎng)條狀工件W。這樣在下游側(cè)進(jìn)行長(zhǎng)條狀工件W的輸送和卷取，另一方面，供給卷軸10停止旋轉(zhuǎn)，因此張力調(diào)整單元30內(nèi)的長(zhǎng)條狀工件W在通過其自重和浮動(dòng)輥31保持適度張力的同時(shí)使U字形狀逐漸變淺，浮動(dòng)輥31和從動(dòng)輥32 —體地上升(圖4的(D)—圖4的(E))。伴隨該上升，浮動(dòng)輥31和從動(dòng)輥32分別與長(zhǎng)條狀工件W的正面和反面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的正反面。
[0073]在步驟S8中，停止卷取卷軸60對(duì)長(zhǎng)條狀工件W的卷取，使從動(dòng)輥32停止在上升端。第I輸送輥40和第2輸送輥50也同時(shí)停止旋轉(zhuǎn)。浮動(dòng)輥31通過浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B從與從動(dòng)輥32的上升端對(duì)應(yīng)的位置起進(jìn)一步上升，由此與長(zhǎng)條狀工件W的正面隔開，與浮動(dòng)輥用粘接片輥33接觸(圖4的(E)—圖4的(F))。并且，在該接觸狀態(tài)下，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元33C對(duì)浮動(dòng)輥用粘接片輥33進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，浮動(dòng)輥用粘接片輥33清掃浮動(dòng)輥31的外周面。浮動(dòng)輥31在浮動(dòng)輥用粘接片輥33進(jìn)行的清掃結(jié)束后，通過浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B恢復(fù)到與從動(dòng)輥32的上升端對(duì)應(yīng)的位置，與從動(dòng)輥32之間夾持長(zhǎng)條狀工件W(圖4的(F)—圖 4 的(G))。
[0074]在步驟S9中，每當(dāng)進(jìn)行步驟S3?S8的動(dòng)作時(shí)，判定長(zhǎng)條狀工件W的最后一段的曝光是否已結(jié)束。并且，在長(zhǎng)條狀工件W的最后一段的曝光結(jié)束之前，反復(fù)步驟S3?S8的動(dòng)作(步驟S9:否)，如果長(zhǎng)條狀工件W的最后一段的曝光結(jié)束(步驟S9:是)，則曝光輸送動(dòng)作結(jié)束，回收被卷取卷軸60卷取成卷狀的長(zhǎng)條狀工件W。
[0075]《第2實(shí)施方式》
[0076]參照?qǐng)D5、圖6說明本發(fā)明第2實(shí)施方式的曝光輸送裝置I’。曝光輸送裝置I’是在第I實(shí)施方式的曝光輸送裝置I中，替代張力調(diào)整單元30而具有輥一體移動(dòng)型的張力調(diào)整單元30’的結(jié)構(gòu)。其它結(jié)構(gòu)要素不變，因此標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)并省略說明。
[0077]張力調(diào)整單元30’具有浮動(dòng)輥31’、從動(dòng)輥32’、浮動(dòng)輥用粘接片輥(浮動(dòng)輥清掃單元)33’和從動(dòng)輥用粘接片輥(從動(dòng)輥清掃單元)34’。
[0078]浮動(dòng)輥31’在其外周面，形成有例如由硅系材料構(gòu)成的柔軟的粘接層(異物去除單元)31A’。從動(dòng)輥32’在其外周面，形成有例如由硅系材料構(gòu)成的柔軟的粘接層(異物去除單元)32A’。
[0079]浮動(dòng)輥用粘接片輥33’以能夠與浮動(dòng)輥31’ 一體升降的方式設(shè)置在浮動(dòng)輥31’的正上方位置。浮動(dòng)輥31’和浮動(dòng)輥用粘接片輥33’不論浮動(dòng)輥31’的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
[0080]從動(dòng)輥用粘接片輥34’以能夠與從動(dòng)輥32’ 一體升降的方式設(shè)置在從動(dòng)輥32’的正下方位置。從動(dòng)輥32’和從動(dòng)輥用粘接片輥34’不論從動(dòng)輥32’的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
[0081]如圖6所示，在張力調(diào)整單元30’中，旋轉(zhuǎn)自如地支承浮動(dòng)輥31’、從動(dòng)輥32’、浮動(dòng)輥用粘接片輥33’以及從動(dòng)輥用粘接片輥34’的升降單元80在垂直方向的一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌36之間被可升降地引導(dǎo)。更具體而言，升降單元80具有被相對(duì)于一對(duì)直線移動(dòng)導(dǎo)軌36升降自如地支承的一對(duì)基座81。在該一對(duì)基座81上，獨(dú)立且可升降地支承有第I升降部件82和第2升降部件83。在第I升降部件82中，旋轉(zhuǎn)自如地支承浮動(dòng)輥31’的支承軸84和旋轉(zhuǎn)自如地支承浮動(dòng)輥用粘接片輥33’的支承軸85被支承成不可相對(duì)升降。在第2升降部件83中，旋轉(zhuǎn)自如地支承從動(dòng)輥32’的支承軸86和旋轉(zhuǎn)自如地支承從動(dòng)輥用粘接片輥34’的支承軸87被支承成不可相對(duì)升降。
[0082]S卩，浮動(dòng)輥31’和浮動(dòng)輥用粘接片輥33’的升降是通過合成基座81相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的升降和第I升降部件82相對(duì)于基座81的升降而執(zhí)行的。同樣，從動(dòng)輥32’和從動(dòng)輥用粘接片輥34’的升降是通過合成基座81相對(duì)于直線移動(dòng)導(dǎo)軌36的升降和第2升降部件83相對(duì)于基座81的升降而執(zhí)行的。
[0083]通過以上的結(jié)構(gòu)，浮動(dòng)輥31’和從動(dòng)輥32’在隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，分別與長(zhǎng)條狀工件W的正反面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的正反面。與此同時(shí)，浮動(dòng)輥用粘接片輥33’和從動(dòng)輥用粘接片輥34’在與浮動(dòng)輥31’和從動(dòng)輥32’的外周面接觸的狀態(tài)下被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此，清掃浮動(dòng)輥31’和從動(dòng)輥32’的外周面。
[0084]根據(jù)曝光輸送裝置I’，不需要在第I實(shí)施方式的曝光輸送裝置I中所需的浮動(dòng)輥移動(dòng)單元37B和從動(dòng)輥移動(dòng)單元38B，并且，也不需要浮動(dòng)輥用粘接片輥33’和從動(dòng)輥用粘接片輥34’的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元(33C、34C)，因此，能夠簡(jiǎn)化曝光輸送裝置I’的結(jié)構(gòu)。此外，能夠在不受長(zhǎng)條狀工件W的輸送狀況左右的情況下自由地清掃浮動(dòng)輥31’和從動(dòng)輥32’。
[0085]由此，本實(shí)施方式的曝光輸送裝置1(1’)在浮動(dòng)輥31 (31’)的外周面形成有粘接層(異物去除單元)3認(rèn)，該浮動(dòng)輥31(31’)在隨著長(zhǎng)條狀工件W的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)使粘接層(異物去除單元)31A與長(zhǎng)條狀工件W的正面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，清掃長(zhǎng)條狀工件W的正面。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)一種小型且低成本的曝光輸送裝置1(1’)，能夠在長(zhǎng)條狀工件W的輸送路徑的整體范圍內(nèi)施加適當(dāng)?shù)膹埩?，能夠在不使長(zhǎng)條狀工件W彎曲行進(jìn)的情況下對(duì)其進(jìn)行輸送，能夠通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件W的表面的異物來防止曝光缺陷和顯影缺陷。
[0086]在以上的實(shí)施方式中，例示出張力調(diào)整單元30(30’ )具有浮動(dòng)輥31(31’)、從動(dòng)輥32(32’)、浮動(dòng)輥用粘接片輥33(33’)以及從動(dòng)輥用粘接片輥34(34’)的情況進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明的關(guān)鍵是對(duì)調(diào)整長(zhǎng)條狀工件W的張力的浮動(dòng)輥31(31’)賦予去除異物的清潔輥的功能，還能夠省略浮動(dòng)輥用粘接片輥33(33’ )和從動(dòng)輥用粘接片輥34(34’)。
[0087]在以上的實(shí)施方式中，例示對(duì)浮動(dòng)輥31(31’ )和從動(dòng)輥32(32’ )雙方賦予去除異物的清潔輥的功能的情況進(jìn)行了說明，但是，也可以是僅對(duì)浮動(dòng)輥31(31’ )和從動(dòng)輥32(32’ )中的任意一方賦予清潔輥的功能的方式。
[0088]在以上的實(shí)施方式中，例示出在供給導(dǎo)輥20與第I輸送輥40之間配置有張力調(diào)整單元30的情況進(jìn)行了說明，但是，除此以外，也可以是在第2輸送輥50與卷取卷軸60之間配置與張力調(diào)整單元30獨(dú)立的張力調(diào)整單元的方式。由此，能夠更顯著地得到以下的作用效果:能夠在長(zhǎng)條狀工件W的輸送路徑的整體范圍內(nèi)施加適當(dāng)?shù)膹埩?，能夠在不使長(zhǎng)條狀工件W彎曲行進(jìn)的情況下對(duì)其進(jìn)行輸送，能夠通過去除附著在長(zhǎng)條狀工件W的表面的異物來防止曝光缺陷和顯影缺陷。
[0089]在以上的實(shí)施方式中，例示出直接通過卷取卷軸60卷取從第2輸送輥50送出的長(zhǎng)條狀工件W的情況進(jìn)行了說明，但是，也可以是在第2輸送輥50與卷取卷軸60之間設(shè)置用于使卷取卷軸60高精度地卷取長(zhǎng)條狀工件W的工件位置調(diào)整單元的方式。
[0090]在以上的實(shí)施方式中，例示出使用配重39C作為對(duì)浮動(dòng)輥31施加到長(zhǎng)條狀工件W的張力進(jìn)行調(diào)整的張力調(diào)整單元的情況進(jìn)行了說明，但是，也可以是替代配重39C而使用電動(dòng)致動(dòng)器或氣動(dòng)致動(dòng)器(例如氣缸)的方式。在該方式中，能夠使作為張力調(diào)整單元的電動(dòng)致動(dòng)器或氣動(dòng)致動(dòng)器自身具有浮動(dòng)輥31的下落防止功能。
【權(quán)利要求】
1.一種輸送裝置，其將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送，其特征在于， 所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥，該浮動(dòng)輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降，并對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件施加張力， 所述浮動(dòng)輥在其外周面形成有異物去除單元， 所述浮動(dòng)輥在隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，使所述異物去除單元與所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面進(jìn)行清掃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其中， 所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥清掃單元，該浮動(dòng)輥清掃單元位于所述浮動(dòng)輥的上方，對(duì)所述浮動(dòng)輥的外周面進(jìn)行清掃。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其中， 所述異物去除單元由形成于所述浮動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成， 所述浮動(dòng)輥清掃單元由具有比所述浮動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的浮動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成， 所述浮動(dòng)輥用粘接片輥不能升降地設(shè)置在所述浮動(dòng)輥的上方， 所述浮動(dòng)輥和所述浮動(dòng)輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述浮動(dòng)輥的上升端處接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送裝置，其中， 所述異物去除單元由形成于所述浮動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成， 所述浮動(dòng)輥清掃單元由具有比所述浮動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的浮動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成， 所述浮動(dòng)輥用粘接片輥以能夠與所述浮動(dòng)輥一體升降的方式設(shè)置在所述浮動(dòng)輥的正上方位置， 所述浮動(dòng)輥和所述浮動(dòng)輥用粘接片輥不論所述浮動(dòng)輥的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
5.一種輸送裝置，其將架設(shè)于供給卷軸與卷取卷軸之間的長(zhǎng)條狀工件在其長(zhǎng)度方向上進(jìn)行輸送，其特征在于， 所述輸送裝置設(shè)置有浮動(dòng)輥，該浮動(dòng)輥位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降，并對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件施加張力， 所述輸送裝置設(shè)置有從動(dòng)輥，該從動(dòng)輥位于所述浮動(dòng)輥的下方，在與所述浮動(dòng)輥之間夾持所述長(zhǎng)條狀工件且隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送而從動(dòng)于所述浮動(dòng)輥進(jìn)行升降， 所述從動(dòng)輥在其外周面形成有異物去除單元， 所述從動(dòng)輥在隨著所述長(zhǎng)條狀工件的輸送進(jìn)行升降的同時(shí)，使所述異物去除單元與所述長(zhǎng)條狀工件的另一個(gè)面接觸并旋轉(zhuǎn)，由此，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的另一個(gè)面進(jìn)行清掃。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輸送裝置，其中， 所述輸送裝置設(shè)置有從動(dòng)輥清掃單元，該從動(dòng)輥清掃單元位于所述從動(dòng)輥的下方，對(duì)所述從動(dòng)輥的外周面進(jìn)行清掃。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置，其中， 所述異物去除單元由形成于所述從動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成， 所述從動(dòng)輥清掃單元由具有比所述從動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的從動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成， 所述從動(dòng)輥用粘接片輥不能升降地設(shè)置在所述從動(dòng)輥的下方， 所述從動(dòng)輥和所述從動(dòng)輥用粘接片輥彼此的外周面僅在所述從動(dòng)輥的下降端處接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置，其中， 所述異物去除單元由形成于所述從動(dòng)輥的外周面的粘接層構(gòu)成， 所述從動(dòng)輥清掃單元由具有比所述從動(dòng)輥的所述粘接層強(qiáng)的粘接力的從動(dòng)輥用粘接片輥構(gòu)成， 所述從動(dòng)輥用粘接片輥以能夠與所述從動(dòng)輥一體升降的方式設(shè)置在所述從動(dòng)輥的正下方位置， 所述從動(dòng)輥和所述從動(dòng)輥用粘接片輥不論所述從動(dòng)輥的升降位置如何，彼此的外周面都始終接觸。
9.一種曝光裝置，其特征在于，所述曝光裝置具有: 權(quán)利要求1?8中的任意一項(xiàng)所述的輸送裝置；以及 曝光部，其位于所述供給卷軸與所述卷取卷軸之間，對(duì)所述長(zhǎng)條狀工件的一個(gè)面或另一個(gè)面曝光出圖案。
【文檔編號(hào)】B65H5/06GK104418122SQ201410407693
【公開日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2014年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】松田政昭, 森田亮 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Orc制作所