光罩收納盒結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種光罩收納盒結構，其由一本體及一蓋體所組成，該本體與該蓋體相對蓋合而收納一光罩，且該本體與該蓋體的內(nèi)部各角落間分別具有一用以夾壓該光罩的夾壓件，該本體與該蓋體的相對角落的夾壓件呈垂直狀設置；而該夾壓件于該本體與該蓋體的對應位置分別形成有一固定座，該固定座上具有一抵壓體，該抵壓體具有一分別對應該光罩上、下表面的凸緣部，且該抵壓體具有一分別對應該光罩周緣表面的弧凸部。本實用新型所提供的光罩收納盒結構，不僅可減少抵壓體相對光罩的接觸面積，且抵壓體通過其具彈性的弧凸部設計，可進一步有效固定光罩，避免其因不當滑動而產(chǎn)生刮損，而能增加光罩收納盒的特性。
【專利說明】光罩收納盒結構
【技術領域】
[0001]本實用新型關于一種用于收納光罩的容器，特別是指一種定位效果佳的光罩收納盒結構。
【背景技術】
[0002]電子產(chǎn)品不斷朝向輕薄短小、高頻、高效能等特性發(fā)展，而欲滿足這個發(fā)展的方向，用于電子產(chǎn)品中的核心半導體元件的芯片就需微小化與具有高效能，而欲使芯片微小化與具高效能，則需使芯片上的集成電路線徑微細化，因此現(xiàn)有的集成電路線徑已由早期的0.25微米發(fā)展至90?45納米，而芯片上集成電路線徑的微細化的成敗主要在于半導體制作中的黃光微影制作技術，而其關鍵零件在于光罩(Reticle)。
[0003]因此，光罩于保存或運送時，用于收納的光罩收納盒除了需能有效防止微粒侵入，以避免光罩表面附著塵埃外，更需要能防止光罩于容器內(nèi)任意滑動或晃動等細微動作，除能減少靜電的產(chǎn)生外，更能避免刮傷光罩表面，從而影響到整體的黃光微影制作，所以光罩于光罩收納盒內(nèi)的定位結構就極為重要。再者，為了滿足實際使用的需求，光罩收納盒中用于與光罩接觸的定位結構有使用特殊材料的需要，如高硬度、耐磨的聚醚醚酮(PEEK)或者聚酰亞胺樹脂(VESPEL)或鐵弗龍(聚四氟乙烯，Teflon)等材質。
[0004]然而，現(xiàn)有光罩收納盒由可相對蓋合的上、下蓋體所組成，且上、下蓋體的內(nèi)面角落形成L形支撐件，供光罩放置及定位，但其接觸面積大，且光罩無法有效定位，同時光罩易因晃動而產(chǎn)生刮損及靜電，影響光罩的質量。為此業(yè)界開發(fā)有如中國臺灣專利申請第097147258號的光罩收納盒，其于上蓋體與下蓋體的角落形成有多數(shù)個以懸空方式配置的支撐件，該等支撐件為兩端分別與上、下蓋體內(nèi)表面角落的相鄰兩側邊相連接的封閉片體，并于封閉片體的轉折處形成一供光罩放置的缺口。該等支撐件雖可減少接觸的面積，但其定位效果仍然不佳，無法準確地定位于光罩收納盒內(nèi)，故而仍然無法有效地提升光罩質量。
[0005]換言之，如能使光罩能準確地定位于光罩收納盒內(nèi)，讓光罩不致任意晃動，相信可克服前述產(chǎn)生刮損或靜電的問題，但如何達到這個目的，則是業(yè)界相當重要的課題。
實用新型內(nèi)容
[0006]有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種光罩收納盒結構，其能減少光罩收納盒與光罩間的接觸面積，使光罩更為平穩(wěn)，同時減少磨損，以避免光罩損傷；其能有效地固定光罩，防止光罩在光罩收納盒移動或存放過程中，因不當滑動而產(chǎn)生刮損；當有特性需求時，僅需改變定位結構使用特殊材料即可，無需令整個光罩收納盒均使用該特殊材料，以大幅減少特殊材料的使用量，從而降低制造成本。
[0007]為了達成上述目的，本實用新型提供一種光罩收納盒結構，其由一本體及一蓋體所組成，該本體與該蓋體相對蓋合而收納一光罩，且該本體與該蓋體的內(nèi)部各角落間分別具有一用以夾壓該光罩的夾壓件，該本體與該蓋體的相對角落的夾壓件呈垂直狀設置；而該夾壓件于該本體與該蓋體的對應位置分別形成有一固定座，該固定座上具有一抵壓體，該抵壓體具有一分別對應該光罩上、下表面的凸緣部，且該抵壓體具有一分別對應該光罩周緣表面的弧凸部。
[0008]優(yōu)選地，其中該本體及該蓋體均由金屬或塑料材質構成。
[0009]優(yōu)選地，其中該本體及該蓋體的存放空間于其四周內(nèi)壁與底面間分別設有至少一個擋片，該擋片具有相對該光罩邊緣表面的擋緣。
[0010]優(yōu)選地，其中該固定座的頂面形成有一嵌插孔，而該抵壓體具有與該嵌插孔對應嵌固的嵌插部。
[0011]優(yōu)選地，其中該抵壓體由聚醚醚酮、聚酰亞胺樹脂或聚四氟乙烯構成。
[0012]本實用新型所提供的光罩收納盒結構，其不僅可減少抵壓體相對光罩的接觸面積，且抵壓體通過其具彈性的弧凸部設計，可進一步有效固定光罩，避免其因不當滑動而產(chǎn)生刮損，再者利用分離式抵壓體的設計，更可減少特殊材料的使用量，大幅降低光罩收納盒的制造成本，且能增加光罩收納盒的特性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型光罩 收納盒結構的外觀示意圖，其說明各元件的狀態(tài)及其相對關系;
[0014]圖2為本實用新型光罩收納盒結構的局部分解放大示意圖；
[0015]圖3為本實用新型光罩收納盒結構于實際使用開啟時的外觀參考示意圖；
[0016]圖4為本實用新型光罩收納盒結構于實際使用開啟時的局部放大參考示意圖；
[0017]圖5為本實用新型光罩收納盒結構于實際使用蓋合時的剖面參考示意圖；
[0018]圖6為本實用新型光罩收納盒結構于實際使用蓋合時的局部放大參考示意圖。
[0019]【主要元件符號說明】
[0020]10-本體；12-開口緣；14-擋片;
[0021]20-蓋體；22-開口緣；24-擋片；
[0022]30-夾壓件；31-固定座；32-嵌插孔；35_抵壓體；36_嵌插部；37_凸緣部；38_弧凸部；
[0023]40-扣件；
[0024]50-光罩。
【具體實施方式】
[0025]本實用新型提供一種供收納、保存及運送用于制造半導體元件的光罩的光罩收納盒結構，隨附圖例示的本實用新型光罩收納盒的具體實施例及其構件中，所有關于前與后、左與右、頂部與底部、上部與下部、以及水平與垂直的參考，僅用于方便進行描述，并非限制本實用新型，亦非將其構件限制于任何位置或空間方向。
[0026]而本實用新型光罩收納盒結構的構成，則請參照圖1、圖2及圖3所示，其由一本體10及一蓋體20所組成，且該本體10與該蓋體20可選擇性相對蓋合或展開，又本體10與蓋體20于蓋合的接合線設有至少一扣件40，供本體10與蓋體20于相對蓋合后選擇性扣掣，再者本體10與蓋體20于蓋合后內(nèi)部形成有一供收納一光罩50的存放空間(如圖5所示)，又本體10與蓋體20的內(nèi)面各角落分別具有一夾壓件30，供相對夾掣該光罩50的角落，且該本體10與蓋體20的材質可選自金屬或塑料，本實用新型以硬質的ABS塑料(苯乙烯、丙烯腈和丁二烯乳漿共聚合而成)為主要實施例。
[0027]至于本實用新型較佳實施例的詳細構成，則仍請參看圖1、圖2及圖3所示，其中本體10與蓋體20于開口端緣分別形成有一可相對嵌卡的開口緣12、開口緣22，該本體10與蓋體20蓋合時能產(chǎn)生密合作用，又本體10與蓋體20的內(nèi)部四周內(nèi)壁與底面間分別設有擋片14、擋片24，該擋片14、擋片24所圍空間略大于光罩50的大小，供光罩50置入時初步定位,且可增加本體10與蓋體20的強度。
[0028]再者，所述的夾壓件30于該本體10與該蓋體20的內(nèi)部各角落分別形成有一固定座31，且本體10與蓋體20相對角落的固定座31形成垂直夾角狀，又該等固定座31上具有一抵壓體35，且該等抵壓體35與相對的固定座31可為一體結構或分離結構；而本實用新型的抵壓體35與固定座31以分離結構為主要實施例,其于固定座31的頂面形成有一嵌插孔32，且該等抵壓體35具有與嵌插孔32相對的嵌插部36，該抵壓體35可選自與固定座31不同的材質，如高硬度、耐磨的聚醚醚酮(PEEK)或者聚酰亞胺樹脂(VESPEL)或鐵弗龍(聚四氟乙烯，Teflon)等材質，以防止抵壓體35受摩擦形成塵粒，且不需令固定座31，甚至本體10與蓋體20均使用前述特殊材料，以節(jié)省特殊材料的使用量，達到防止摩擦形成塵粒與降低成本的目的；又該等抵壓體35具有一突出固定座31上表面的凸緣部37，供分別支撐或壓掣該光罩50的上、下表面，再者該等抵壓體35具有一由側邊向上凸伸的弧凸部38，供分別抵掣該光罩50的周緣表面，使本體10與蓋體20的該等夾壓件30的抵壓體35能圍繞成一可夾置光罩50的范圍。
[0029]因此，當本體10與蓋體20相對蓋合時，該等夾壓件30的固定座31上的抵壓體35可利用凸緣部37撐壓光罩50的上、下表面，且該等抵壓體35的弧凸部38可同步夾掣光罩50的邊緣表面，而能有效防止光罩50任意晃動或移動，避免產(chǎn)生粉塵及靜電等有害物質，而構成一接觸面積小、且定位效果佳的光罩收納盒結構。
[0030]經(jīng)由上述的說明，本實用新型于實際運用時，則如圖3、圖5所揭示，當使用者欲將光罩50收納于光罩收納盒內(nèi)時,將蓋體20向上相對本體10掀開,且將光罩50置于抵壓體35的凸緣部37上，并利用本體10周緣的擋片14產(chǎn)生初步限位作用，接著將蓋體20向下相對本體10蓋合,使蓋體20可利用其抵壓體35的凸緣部37壓掣于光罩50的上表面(如圖6所示)，同時利用本體10與蓋體20的抵壓體35的弧凸部38同步夾掣光罩50的邊緣表面(如圖6所不),令光罩50完全夾限于光罩收納盒的本體10與蓋體20之間。
[0031]配合參看圖4、圖6，由于本體10與蓋體20在蓋合后，光罩50與抵壓體35的凸緣部37及弧凸部38呈線性接觸，其接觸面積極小，并能提高其定位夾掣效果，有效防止光罩50的晃動，如此不僅不會因磨擦而形成粉塵，且也不會產(chǎn)生靜電，大幅減少有害物質的產(chǎn)生，提高光罩50保存的質量。
[0032]同時，由于夾壓件30的抵壓體35與固定座31呈分離狀結構，使抵壓體35與固定座31可選自不同的材料，如此當特別需求而需使用到特殊材料時，如抵壓體35使用高硬度、耐磨的聚醚醚酮(PEEK)或者聚酰亞胺樹脂(VESPEL)或鐵弗龍(Tef 1n)等，則本體10與蓋體20可使用一般塑料材料即可，如此可節(jié)省特殊材料的用量，而大幅降低制造的成本。
[0033]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例，并非用以限定本實用新型的專利保護范圍，其它運用本實用新型專利精神所作的等效變化等，均應同理屬于本實用新型的專利保護范圍。
【權利要求】
1.一種光罩收納盒結構，其特征在于，其由一本體及一蓋體所組成，該本體與該蓋體相對蓋合而收納一光罩，且該本體與該蓋體的內(nèi)部各角落間分別具有一用以夾壓該光罩的夾壓件，該本體與該蓋體的相對角落的夾壓件呈垂直狀設置；而該夾壓件于該本體與該蓋體的對應位置分別形成有一固定座，該固定座上具有一抵壓體，該抵壓體具有一分別對應該光罩上、下表面的凸緣部，且該抵壓體具有一分別對應該光罩周緣表面的弧凸部。
2.如權利要求1所述的光罩收納盒結構，其特征在于，該本體及該蓋體均由金屬或塑料材質構成。
3.如權利要求1所述的光罩收納盒結構，其特征在于，該本體及該蓋體的存放空間于其四周內(nèi)壁與底面間分別設有至少一個擋片，該擋片具有相對該光罩邊緣表面的擋緣。
4.如權利要求1所述的光罩收納盒結構，其特征在于，該固定座的頂面形成有一嵌插孔，而該抵壓體具有與該嵌插孔對應嵌固的嵌插部。
5.如權利要求1或4所述的光罩收納盒結構，其特征在于，該抵壓體由聚醚醚酮、聚酰亞胺樹脂或聚四氟乙烯構成。
【文檔編號】B65D85/30GK203486280SQ201320472488
【公開日】2014年3月19日 申請日期:2013年8月5日 優(yōu)先權日:2013年8月5日
【發(fā)明者】陳盈璋 申請人:瑋懋科技材料股份公司, 陳盈璋