專利名稱：用于置放光罩儲(chǔ)存盒的氣體循環(huán)式電子貨架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型關(guān)于一種氣體循環(huán)式電子貨架(E-Rack)，尤指一種于制造工廠中，用 來(lái) 置放光罩儲(chǔ)存盒的氣體循環(huán)式電子貨架。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體的制程中，光罩盒是用來(lái)作為光罩(mask)搬運(yùn)時(shí)的置放裝置，用以 隔絕光罩與大氣的接觸，以防止光罩表面產(chǎn)生霧化作用。尤其，在現(xiàn)今的機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口 (Standard Mechanical Interface, SMI)的要求之下，有效提升光罩盒內(nèi)的光罩與大氣隔 絕的效果，可增加光罩的使用壽命，此有助于降低半導(dǎo)體制造的成本并可提升產(chǎn)品的良率。傳統(tǒng)上，光罩盒通常是被置放在一經(jīng)過(guò)標(biāo)示的特定位置上，且該特定位置提供一 保持低濕度的置放空間，并藉由惰性氣體于光罩盒內(nèi)的層流效應(yīng)及氣體循環(huán)，以作為貯存 光罩組件長(zhǎng)期儲(chǔ)存的環(huán)境。此外，光罩盒于每次使用完畢必須放回此特定位置，雖然此種儲(chǔ) 物系統(tǒng)的建置成本低廉，但對(duì)于動(dòng)則上萬(wàn)片光罩或芯片的半導(dǎo)體廠來(lái)說(shuō)，此種儲(chǔ)物方式將 耗費(fèi)相當(dāng)高的人事成本，且易出差錯(cuò)，一旦發(fā)生找不到光罩盒的情形時(shí)，產(chǎn)品的生產(chǎn)進(jìn)度就 會(huì)被嚴(yán)重影響。習(xí)知技術(shù)如中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)公開(kāi)的第200821241號(hào)的「被搬送物儲(chǔ)存系統(tǒng)」專利案， 揭露一種全自動(dòng)化控制的儲(chǔ)存系統(tǒng)，藉由軌道、天車(0ΗΤ)、及倉(cāng)儲(chǔ)柜(stocker)的組合，每 一儲(chǔ)存盒皆可被安排在該倉(cāng)儲(chǔ)柜的專屬位置中，當(dāng)生產(chǎn)在線需要使用某一儲(chǔ)存盒內(nèi)的芯片 或光罩等組件時(shí)，通過(guò)系統(tǒng)的操作即可令該天車依循軌道自動(dòng)地至該倉(cāng)儲(chǔ)柜中取出該儲(chǔ)存 盒，再通過(guò)軌道將該光罩儲(chǔ)存盒運(yùn)送至生產(chǎn)在線。此系統(tǒng)全由計(jì)算機(jī)所監(jiān)控，其好處在于任 何儲(chǔ)存盒皆能被正確地放置到其各自專屬的位置上，而不會(huì)錯(cuò)放至其它的存放位置。然而， 此種系統(tǒng)的建置成本相當(dāng)高昂且相當(dāng)占空間，舉例來(lái)說(shuō)，一個(gè)半導(dǎo)體廠的運(yùn)作可能就需要 上千上萬(wàn)片的光罩或芯片，該些光罩或芯片皆需要有獨(dú)立的光罩儲(chǔ)存盒，若將所有的光罩 儲(chǔ)存盒皆以該習(xí)知技術(shù)的儲(chǔ)存系統(tǒng)來(lái)存放時(shí)，系統(tǒng)的建置成本勢(shì)必大幅提高，且該儲(chǔ)存系 統(tǒng)亦需具備有氣體填充設(shè)備以供應(yīng)惰性氣體至光罩儲(chǔ)存盒中，建置成本更難以降低，再者， 一個(gè)廠房運(yùn)作時(shí)需要運(yùn)送光罩儲(chǔ)存盒的次數(shù)相當(dāng)多，運(yùn)送時(shí)的等待時(shí)間亦會(huì)造成產(chǎn)能的降 低。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的一目的在于提供一種低成本、高效率的氣體循環(huán)式電子貨架。本實(shí)用新型的另一目的在于提供一種相較于習(xí)知技術(shù)較不占空間且空間安排彈 性大的氣體循環(huán)式電子貨架。本實(shí)用新型的再一目的在于提供一種可供在線操作人員對(duì)于置放的光罩儲(chǔ)存盒， 可放了即走(put&go)的氣體循環(huán)式電子貨架。為達(dá)上述目的及其它目的，本實(shí)用新型提供一種用于置放光罩儲(chǔ)存盒的氣體循環(huán) 式電子貨架，應(yīng)用于將光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，該氣體循環(huán)式電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)，每一置放區(qū)用于置放一光罩儲(chǔ)存盒；復(fù)數(shù)個(gè)氣體通道連接部，設(shè)置 于每一置放區(qū)中，以供氣體灌入及導(dǎo)出該置放區(qū)上的光罩儲(chǔ)存盒；及復(fù)數(shù)個(gè)無(wú)線射頻感應(yīng) 器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng)該置放區(qū)中光罩儲(chǔ)存盒上的無(wú)線射頻標(biāo)簽，并取得該光 罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)。于一實(shí)施例中，該氣體循環(huán)式電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器，設(shè)置于每一 置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以感測(cè)該光罩儲(chǔ)存盒的置放狀態(tài)，并據(jù)以 使能該無(wú)線射頻感應(yīng)器。其中，該動(dòng)作傳感器可為一紅外線傳感器。于另一實(shí)施例中，該氣體循環(huán)式電子貨架更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置 放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以顯示該光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別資料，及讀取狀 態(tài)、該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指令，如機(jī)臺(tái)名稱等。于再一實(shí)施例中，該氣體循環(huán)式電子貨架更通過(guò)該遠(yuǎn)程服務(wù)器，依符合國(guó)際半導(dǎo) 體設(shè)備與材料的一通訊標(biāo)準(zhǔn)接口(SEMI)連結(jié)至一自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)，該氣體循 環(huán)式電子貨架更包含復(fù)數(shù)個(gè)傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感 應(yīng)器，用以感測(cè)該光罩儲(chǔ)存盒的置放狀態(tài)，并據(jù)以使能該無(wú)線射頻感應(yīng)器，每一無(wú)線射頻感 應(yīng)器連接至對(duì)應(yīng)的一網(wǎng)關(guān)器，并通過(guò)一集線器傳輸數(shù)據(jù)至該遠(yuǎn)程服務(wù)器。此外，此實(shí)施例更 可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以顯 示該光罩 儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)及顯示該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指令。該通訊標(biāo)準(zhǔn)接口則可包含符 合SEMI-E84及SEMI-E88標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的接口。于再一實(shí)施例中，該些光罩儲(chǔ)存盒用于存放半導(dǎo)體芯片或光罩。于再一實(shí)施例中，該氣體循環(huán)式電子貨架的底部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)輪子，以便于移動(dòng)。藉此，本實(shí)用新型的氣體循環(huán)式電子貨架結(jié)構(gòu)相較于習(xí)知技術(shù)可節(jié)省成本且日后 維護(hù)成本低廉，再者，于每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無(wú)線射頻感應(yīng)器，使得在線操作人員可直接 將光罩儲(chǔ)存盒置放在氣體循環(huán)式電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無(wú)線射頻感應(yīng)器即會(huì)感應(yīng) 光罩儲(chǔ)存盒上的無(wú)線射頻標(biāo)簽并取得光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)，達(dá)到放了即走(put&go)的 功效；而不若傳統(tǒng)技術(shù)于置放光罩儲(chǔ)存盒時(shí)，需根據(jù)架上的指示位置來(lái)置放。再者，亦可顯 示無(wú)線射頻感應(yīng)器讀取卷標(biāo)數(shù)據(jù)成功或失敗的情況，及/或顯示該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)該光罩 儲(chǔ)存盒的指令，如機(jī)臺(tái)名稱等，使得在線操作人員不需再查詢就可實(shí)時(shí)、明確直接將光罩 儲(chǔ)存盒移置當(dāng)站機(jī)臺(tái)。再者，本實(shí)用新型更可與習(xí)知的自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)作連結(jié)，而可對(duì)原有 的倉(cāng)儲(chǔ)柜自由地進(jìn)行選擇性的擴(kuò)展，因此通過(guò)此種連結(jié)除了可供廠商利用原有的自動(dòng)化材 料處理系統(tǒng)進(jìn)行所有倉(cāng)儲(chǔ)柜的統(tǒng)合管理外，氣體循環(huán)式電子貨架上的光罩儲(chǔ)存盒亦可供操 作員實(shí)時(shí)的拿取，而可帶來(lái)更高的便利性。

圖1為本實(shí)用新型的電子貨架系統(tǒng)的架構(gòu)圖。圖2為本實(shí)用新型于第一實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。圖3為本實(shí)用新型于第二實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。圖4為本實(shí)用新型于第三實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。圖5為本實(shí)用新型于第四實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。[0021]圖6為本實(shí)用新型于第五實(shí)施例中電子貨架系統(tǒng)與自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)連結(jié)的 架構(gòu)圖。圖7為本實(shí)用新型于第五實(shí)施例中電子貨架系統(tǒng)與倉(cāng)儲(chǔ)柜的結(jié)合示意圖。圖8為本實(shí)用新型于第7圖實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的部分俯視圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明100電子貨架系統(tǒng)101遠(yuǎn)程服務(wù)器103集線器110氣體循環(huán)式電子貨架IlOa e氣體循環(huán)式電子貨架112置放區(qū)113氣體通道連接部114無(wú)線射頻感應(yīng)器116顯示器118動(dòng)作傳感器119 輪子120光罩儲(chǔ)存盒122無(wú)線射頻標(biāo)簽130網(wǎng)關(guān)器200倉(cāng)儲(chǔ)柜2020HT高架上升傳送設(shè)備TCP/IP通訊協(xié)議RS-232 通訊接 口RS-485 通訊接 口AMHS自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)E84通訊標(biāo)準(zhǔn)接口E88通訊標(biāo)準(zhǔn)接口STK倉(cāng)儲(chǔ)柜
具體實(shí)施方式
為充分了解本實(shí)用新型的目的、特征及功效，茲藉由下述具體的實(shí)施例，并配合所 附的圖式，對(duì)本實(shí)用新型做一詳細(xì)說(shuō)明，說(shuō)明如后于半導(dǎo)體廠、其它需對(duì)光罩或半導(dǎo)體芯片進(jìn)行存放的廠房皆可使用本實(shí)用新型。本實(shí)用新型應(yīng)用于一種光罩的倉(cāng)儲(chǔ)系統(tǒng)中。請(qǐng)參閱圖1，是本實(shí)用新型電子貨架系 統(tǒng)的架構(gòu)圖，該電子貨架系統(tǒng)100包含一遠(yuǎn)程服務(wù)器101、至少一集線器103、及復(fù)數(shù)個(gè)氣體 循環(huán)式電子貨架1 IOa e，該等氣體循環(huán)式電子貨架1 IOa e會(huì)回傳目前存放于架上的貨 品識(shí)別資料，而該等氣體循環(huán)式電子貨架IlOa e與該遠(yuǎn)程服務(wù)器101間的連結(jié)則可通過(guò) 習(xí)知的網(wǎng)絡(luò)架設(shè)技術(shù)來(lái)完成，以圖1所示，每一氣體循環(huán)式電子貨架通過(guò)一集線器103，連 結(jié)至該遠(yuǎn)程服務(wù)器101，該遠(yuǎn)程服務(wù)器101可通過(guò)無(wú)線或有線的方式來(lái)建立與該集線器103的連結(jié)，再者，該集線器103亦可再并聯(lián)多個(gè)集線器以完成不同區(qū)之間的網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)，前述的 架設(shè)技巧與網(wǎng)絡(luò)階層的建置皆為習(xí)知架設(shè)技術(shù)的不同變化，于此不再贅述，如可通過(guò)復(fù)數(shù) 個(gè)網(wǎng)關(guān)器(Gateway)與復(fù)數(shù)個(gè)集線器將復(fù)數(shù)群的電子貨架整合成一電子貨架系統(tǒng)100。接著請(qǐng)參閱圖2，是本實(shí)用新型于第一實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。該 氣體循環(huán)式電子貨架110于此實(shí)施例中通過(guò)一網(wǎng)關(guān)器130與該集線器103 (請(qǐng)參閱圖1)連 接，以將識(shí)別數(shù)據(jù)傳送予該遠(yuǎn)程服務(wù)器101 (請(qǐng)參閱圖1)，其中，該網(wǎng)關(guān)器130可連接復(fù)數(shù) 個(gè)氣體循環(huán)式電子貨架110，并可與復(fù)數(shù)個(gè)其它網(wǎng)關(guān)器并聯(lián)，在一齊連接至集線器，完成電 子貨架系統(tǒng)的建置，如同前述，其網(wǎng)絡(luò)接線的各種變化是習(xí)知技術(shù)，于此不再贅述。該氣體 循環(huán)式電子貨架110用來(lái)存放復(fù)數(shù)個(gè)光罩儲(chǔ)存盒120，舉例來(lái)說(shuō)，該光罩儲(chǔ)存盒120亦可為 一種前開(kāi)式綜合光罩儲(chǔ)存盒(Front-Opening Unified Pod，F(xiàn)0UP)，其符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)E47. 1 所規(guī)定。該光罩儲(chǔ)存盒為一運(yùn)送光罩用的儲(chǔ)存盒或容器。本實(shí)用新型中的置放區(qū)的數(shù)量可 依實(shí)際情況作改變，本實(shí)用新型揭露的九個(gè)置放區(qū)僅為一種示例，而非為一種限制。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，該氣體循環(huán)式電子貨架110包含有復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)112及復(fù)數(shù)個(gè)無(wú) 線射頻感應(yīng)器114，其中，每一置放區(qū)112用來(lái)存放一光罩儲(chǔ)存盒120，且每一置放區(qū)112皆 設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)氣體通道連接部113，該等氣體通道連接部113將氣體，如惰性氣體，灌入及導(dǎo) 出置放于其上的光罩儲(chǔ)存盒120中，該等氣體通道連接部113于本實(shí)用新型的實(shí)施例中以 四個(gè)為示例(即二進(jìn)二出)，然亦可為二 個(gè)(即，一進(jìn)一出)，或其它可使氣體進(jìn)行循環(huán)供應(yīng) 的數(shù)量變化。其中，本實(shí)用新型的氣體循環(huán)式電子貨架110如習(xí)知的氣體儲(chǔ)存柜般皆連接 有氣體供應(yīng)管路，以使氣體可通過(guò)與該光罩盒120底部連接的該氣體通道連接部113灌入 及導(dǎo)出該光罩盒120的內(nèi)部。此外，該光罩盒120具有通孔已與該氣體通道連接部113接 合。前述的氣體供應(yīng)管路及該光罩盒120上的通孔皆屬習(xí)知技術(shù)，于此不再贅述。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2，該等無(wú)線射頻感應(yīng)器114用來(lái)感應(yīng)該光罩儲(chǔ)存盒120上的無(wú)線 射頻標(biāo)簽122，該無(wú)線射頻標(biāo)簽122內(nèi)儲(chǔ)存有該光罩儲(chǔ)存盒120的識(shí)別數(shù)據(jù)。因此，當(dāng)操作 員欲放回該光罩儲(chǔ)存盒120時(shí)，可直接找一空的置放區(qū)112置放該光罩儲(chǔ)存盒120，達(dá)到放 了即走(put&go)的功效，該氣體循環(huán)式電子貨架110會(huì)通過(guò)對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114取 得該光罩儲(chǔ)存盒120的識(shí)別數(shù)據(jù)，并將此識(shí)別數(shù)據(jù)回傳至該遠(yuǎn)程服務(wù)器101 (請(qǐng)參閱圖1)。 如此，該遠(yuǎn)程服務(wù)器101即會(huì)有目前位于架上的光罩儲(chǔ)存盒120的識(shí)別數(shù)據(jù)，在線操作者可 根據(jù)該遠(yuǎn)程服務(wù)器101的識(shí)別數(shù)據(jù)找到其欲找尋的光罩儲(chǔ)存盒位于廠房中的哪一位置，只 要該光罩儲(chǔ)存盒未處于生產(chǎn)在線的使用中狀態(tài)。如此的氣體循環(huán)式電子貨架將可使操作者 不用為了將光罩儲(chǔ)存盒放入專屬位置而耗費(fèi)時(shí)間在尋找位置，而可放了即走(put&go)，也 不需擔(dān)心光罩儲(chǔ)存盒是否會(huì)放錯(cuò)，因?yàn)樗F(xiàn)在被置放的位置會(huì)回傳至該遠(yuǎn)程服務(wù)器101，于 下一次使用時(shí)仍可被輕易地找出其置放的位置。接著請(qǐng)參閱圖3，是本實(shí)用新型于第二實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。所 述氣體循環(huán)式電子貨架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一顯示器 116，該顯示器116電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該光罩儲(chǔ)存盒120的識(shí)別 資料，其中，該識(shí)別數(shù)據(jù)儲(chǔ)存于該光罩儲(chǔ)存盒120的無(wú)線射頻標(biāo)簽122中。接著請(qǐng)參閱圖4，是本實(shí)用新型于第三實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。所 述氣體循環(huán)式電子貨架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器118，每一置放區(qū)112設(shè)置有一動(dòng)作 傳感器118，該動(dòng)作傳感器118電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114，用以感測(cè)該光罩儲(chǔ)存盒120的置放狀態(tài)，并據(jù)以使能該無(wú)線射頻感應(yīng)器114。即，當(dāng)該光罩儲(chǔ)存盒120被置放入 該置放區(qū)112時(shí)，對(duì)應(yīng)的動(dòng)作傳感器118會(huì)感測(cè)到動(dòng)作的變化，并使能與其電性連接的無(wú)線 射頻感應(yīng)器114，該無(wú)線射頻感應(yīng)器114始進(jìn)行感應(yīng)，如此可節(jié)省電力的消耗。其中，該動(dòng)作 傳感器118可為紅外線傳感器(IR sensor)或其它可達(dá)成相同功效的傳感器。接著請(qǐng)參閱圖5，是本實(shí)用新型于第四實(shí)施例中氣體循環(huán)式電子貨架的立體圖。如 前所述，該氣體循環(huán)式電子貨架110更可包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器116，每一置放區(qū)112設(shè)置有一 顯示器116，該顯示器116電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114，用以顯示該光罩儲(chǔ)存盒120 的識(shí)別資料，而可供操作人員直接檢視。再者，該氣體循環(huán)式電子貨架110為便于移動(dòng)，更 可于底部增設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)輪子119，以便于機(jī)動(dòng)使用，前述的實(shí)施例皆可增設(shè)該等輪子119。接著請(qǐng)參閱圖6及7，是分別為本實(shí)用新型于第五實(shí)施例中電子貨架系統(tǒng)與自動(dòng) 化材料處理系統(tǒng)連結(jié)的架構(gòu)圖，及本實(shí)用新型于第五實(shí)施例中電子貨架系統(tǒng)100與倉(cāng)儲(chǔ)柜 200 (stoker, STK)的結(jié)合示意圖。本實(shí)用新型可與習(xí)知的自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)作 連結(jié)，而可對(duì)原有的倉(cāng)儲(chǔ)柜自由地進(jìn)行選擇性的擴(kuò)展。由于本實(shí)用新型的電子貨架系統(tǒng)100 具相當(dāng)高的機(jī)動(dòng)性，且結(jié)構(gòu)輕、成本低、壽命長(zhǎng)、以及日后維護(hù)費(fèi)低廉，因此通過(guò)此種連結(jié)除 了可供廠商利用原有的自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)進(jìn)行所有倉(cāng)儲(chǔ)柜200的統(tǒng)合管理外，氣體循環(huán) 式電子貨架(llOa-e)上的光罩儲(chǔ)存盒120亦可供操作員實(shí)時(shí)的拿取，而可帶來(lái)更高的便利 性。如圖6所示，該氣體循環(huán)式電子貨架(llOa-e)通過(guò)該遠(yuǎn)程服務(wù)器101，依符合國(guó)際半導(dǎo) 體設(shè)備與材料的一通訊標(biāo)準(zhǔn)接口(SEMI)連結(jié)至一自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)。如圖7所 示，主動(dòng)設(shè)備(例如0ΗΤ高架上升傳送設(shè)備202)與被動(dòng)設(shè)備(例如氣體循環(huán)式電子貨架 (110a-e))間的載具/材料遞送操作，可經(jīng)由采用SEMI-E84標(biāo)準(zhǔn)的平行1/0接口為之；而 電子貨架系統(tǒng)100與自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)間的數(shù) 據(jù)傳輸則可依據(jù)SEMI-E88標(biāo)準(zhǔn)接口的規(guī) 格來(lái)實(shí)施。前述的SEMI-E84與SEMI-E88構(gòu)成的通訊標(biāo)準(zhǔn)接口符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料 (SEMI)的規(guī)范。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D6，本實(shí)施例主要與自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)作連結(jié)，除了前述的 SEMI-E84與SEMI-E88通訊接口外，其余的連結(jié)方式可采用現(xiàn)行的各種網(wǎng)絡(luò)連結(jié)方式來(lái)達(dá) 成，本實(shí)施例中采用的方式僅為一種示例，任何其它能與自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)連結(jié) 的方法皆不離開(kāi)本發(fā)明。如圖6所示，氣體循環(huán)式電子貨架(llOa-e)通過(guò)RS-485接口與 該網(wǎng)關(guān)器130連結(jié)，再通過(guò)RS-232接口與該集線器103連結(jié)，最后通過(guò)TCP/IP協(xié)議與該遠(yuǎn) 程服務(wù)器101連結(jié)，使氣體循環(huán)式電子貨架(llOa-e)可回傳數(shù)據(jù)至該遠(yuǎn)程服務(wù)器101，而該 電子貨架系統(tǒng)100則可通過(guò)前述的反向傳輸流程以及SEMI-E88通訊接口與自動(dòng)化材料處 理系統(tǒng)(AMHS)作連結(jié)。藉此，由該遠(yuǎn)程服務(wù)器101 (請(qǐng)參閱圖1)連結(jié)的自動(dòng)化材料處理系 統(tǒng)即可通過(guò)該通訊標(biāo)準(zhǔn)接口與本實(shí)用新型的氣體循環(huán)式電子貨架(llOa-e)進(jìn)行聯(lián)機(jī)與控 制，并可實(shí)時(shí)響應(yīng)人工存取光罩儲(chǔ)存盒120時(shí)的狀態(tài)，達(dá)到系統(tǒng)整合的目的。再者，該氣體 循環(huán)式電子貨架110為便于移動(dòng)，更可于底部增設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)輪子119，以便于機(jī)動(dòng)使用。接著 請(qǐng)參閱圖8，是本實(shí)用新型于圖7的實(shí)施例中，氣體循環(huán)式電子貨架的部分俯視圖，顯示置 放區(qū)112的一部分。于一置放區(qū)112中包含至少一傳感器118，用以感測(cè)該光罩儲(chǔ)存盒(請(qǐng) 參閱圖7)的置放狀態(tài)，當(dāng)其被正確置放于區(qū)域內(nèi)時(shí)送出正常訊號(hào)，反之則送出錯(cuò)誤訊號(hào)； 并顯示此正?；蝈e(cuò)誤現(xiàn)象于顯示器上。置放區(qū)112對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114所存取的信 息可通過(guò)遠(yuǎn)程服務(wù)器101將光罩儲(chǔ)存盒(請(qǐng)參閱圖7)的信息通過(guò)SEMI-E88標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)格回傳至自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)。再者，此實(shí)施例中更可如圖3所示于每一置放區(qū)112增 加一顯示器116，其電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器114，可顯示來(lái)自該遠(yuǎn)程服務(wù)器101 (請(qǐng) 參閱第1圖)下達(dá)的指示，例如以不同的燈號(hào)開(kāi)、關(guān)來(lái)引導(dǎo)操作人員儲(chǔ)存匣該如何處理等事項(xiàng)。本實(shí)用新型的所有實(shí)施例中，顯示器116、動(dòng)作傳感器118及輪子119皆可視需求 于該氣體循環(huán)式電子貨架100上進(jìn)行不同的搭配組合。綜上所述，本實(shí)用新型具體提供了一種低成本、高效率且機(jī)動(dòng)性高、空間安排彈性 大的氣體循環(huán)式電子貨架，在線操作者對(duì)于置放的光罩儲(chǔ)存盒，可放了即走(put&go)，而不 若傳統(tǒng)技術(shù)于置放光罩儲(chǔ)存盒時(shí)，需根據(jù)架上的指示位置來(lái)置放。再者，本實(shí)用新型更可與 習(xí)知的自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)作連結(jié)，而可對(duì)原有的倉(cāng)儲(chǔ)柜自由地進(jìn)行選擇性的擴(kuò) 展，因此通過(guò)此種連結(jié)除了可供廠商利用原 有的自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)進(jìn)行所有倉(cāng)儲(chǔ)柜的統(tǒng) 合管理外，氣體循環(huán)式電子貨架上的光罩儲(chǔ)存盒亦可供操作員實(shí)時(shí)的拿取，而可帶來(lái)更高 的便利性。本實(shí)用新型在上文中已以較佳實(shí)施例揭露，然本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解的是，該實(shí) 施例僅用于描繪本實(shí)用新型，而不應(yīng)解讀為限制本實(shí)用新型的范圍。應(yīng)注意的是，舉凡與該 實(shí)施例等效的變化與置換，均應(yīng)設(shè)為涵蓋于本實(shí)用新型的范疇內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍當(dāng)以下文的權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于置放光罩儲(chǔ)存盒的氣體循環(huán)式電子貨架，應(yīng)用于將該光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，其特征在于，該氣體循環(huán)式電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)，每一置放區(qū)用于置放一光罩儲(chǔ)存盒；復(fù)數(shù)個(gè)氣體通道連接部，設(shè)置于每一置放區(qū)中，以供氣體灌入及導(dǎo)出該置放區(qū)上的光罩儲(chǔ)存盒；及復(fù)數(shù)個(gè)無(wú)線射頻感應(yīng)器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，用以感應(yīng)該置放區(qū)中光罩儲(chǔ)存盒上的無(wú)線射頻標(biāo)簽，并取得該光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)。
2.如權(quán)利要求1所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別資料。
3.如權(quán)利要求1所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，更包含復(fù)數(shù)個(gè)動(dòng)作傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以感 測(cè)該光罩儲(chǔ)存盒的置放狀態(tài)，并據(jù)以使能該無(wú)線射頻感應(yīng)器。
4.如權(quán)利要求3所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，該動(dòng)作傳感器是一紅外線 傳感器。
5.如權(quán)利要求3所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別資料。
6.如權(quán)利要求1所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，該氣體循環(huán)式電子貨架更 通過(guò)該遠(yuǎn)程服務(wù)器，依符合國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料的一通訊標(biāo)準(zhǔn)接口(SEMI)連結(jié)至一自 動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)，該氣體循環(huán)式電子貨架更包含復(fù)數(shù)個(gè)傳感器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以感測(cè)該 光罩儲(chǔ)存盒的置放狀態(tài)，并據(jù)以使能該無(wú)線射頻感應(yīng)器，每一無(wú)線射頻感應(yīng)器連接至對(duì)應(yīng) 的一網(wǎng)關(guān)器，并通過(guò)一集線器傳輸數(shù)據(jù)至該遠(yuǎn)程服務(wù)器。
7.如權(quán)利要求6所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，更包含復(fù)數(shù)個(gè)顯示器，設(shè)置于每一置放區(qū)中，并電性連接對(duì)應(yīng)的無(wú)線射頻感應(yīng)器，用以顯示該 光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)及顯示該遠(yuǎn)程服務(wù)器下達(dá)的指令。
8.如權(quán)利要求6所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，該通訊標(biāo)準(zhǔn)接口包含符合 SEMI-E84及SEMI-E88標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的接口。
9.如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，該些光罩儲(chǔ)存 盒用于存放半導(dǎo)體組件或光罩。
10.如權(quán)利要求9所述的氣體循環(huán)式電子貨架，其特征在于，該氣體循環(huán)式電子貨架的 底部設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)輪子。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于置放光罩儲(chǔ)存盒的氣體循環(huán)式電子貨架，應(yīng)用于將該氣體循環(huán)式電子貨架上光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)傳送予一遠(yuǎn)程服務(wù)器，該氣體循環(huán)式電子貨架包含復(fù)數(shù)個(gè)置放區(qū)及復(fù)數(shù)個(gè)無(wú)線射頻感應(yīng)器，其中，每一置放區(qū)中皆設(shè)置一無(wú)線射頻感應(yīng)器，使得在線操作人員可直接將光罩儲(chǔ)存盒置放在氣體循環(huán)式電子貨架上的任意置放區(qū)中，該無(wú)線射頻感應(yīng)器即會(huì)感應(yīng)光罩儲(chǔ)存盒上的無(wú)線射頻標(biāo)簽并取得光罩儲(chǔ)存盒的識(shí)別數(shù)據(jù)，達(dá)到放了即走(put & go)的功效，此外，本實(shí)用新型可與自動(dòng)化材料處理系統(tǒng)(AMHS)作連結(jié)，更可對(duì)原有的倉(cāng)儲(chǔ)柜自由地進(jìn)行選擇性的擴(kuò)展。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201594533SQ20102010486
公開(kāi)日2010年9月29日 申請(qǐng)日期2010年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月27日
發(fā)明者吳俊龍, 林權(quán)瑞 申請(qǐng)人:華景電通股份有限公司