本發(fā)明涉及晶圓搬運，具體涉及一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置。

背景技術：

1、半導體芯片制造過程中，產品搬運過程必不可少。目前產品搬運工具大部分使用手推車，推車運送產品過程中因碰撞和震動導致的晶圓破損、芯片損壞時常發(fā)生，造成生產成本提高，雖然部分公司采用了天車、agv等先進的自動化搬運設備品，但因其投入成本和空間等基礎設施有很高的要求，不能被整個芯片制造流程所采用。

2、目前晶圓的搬運裝置在使用過程中，由于一般采用不銹鋼推車，其中減震主要是通過購買較軟的滾輪或者在滾輪上方增加彈簧、彈性鋼片等硬減震設施，而晶圓本身質量較輕，導致不銹鋼推車在搬運過程中對晶圓的整體減震效果不明顯，隨著晶圓加工尺寸越來越大、越來越薄，晶圓及芯片搬運造成損失的風險越來越高。

技術實現思路

1、為解決現有技術中存在的上述問題，本發(fā)明提供了一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，能夠解決上述背景技術中提出的問題。

2、本發(fā)明的目的可以通過以下技術方案實現：

3、一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，包括：

4、立方架，所述立方架的四個立柱之間設置有四個橫桿；

5、支撐板，所述支撐板固定安裝于四個橫桿之間，所述支撐板的底端設置有推握裝置；

6、減震氣囊，四個所述減震氣囊呈陣列分布，所述減震氣囊安裝于支撐板的頂端；

7、承載臺，所述承載臺安裝于減震氣囊的頂端，所述承載臺用于放置晶舟盒；

8、防側翻橫框，所述防側翻橫框安裝于立方架的頂框內壁；

9、吊臂裝置，所述吊臂裝置包括拉簧，所述承載臺的頂端設置有多個第一支撐環(huán)，所述防側翻橫框的底端設置有多個第二支撐環(huán)；

10、調壓結構，所述調壓結構用于調節(jié)減震氣囊內氣壓；

11、壓力檢測裝置，所述壓力傳感裝置安裝于承載臺的頂端，所述壓力傳感裝置用于檢測晶圓重量。

12、優(yōu)選的，所述立方架的四個立柱底端均設置有滑輪，所述滑輪內設置有自鎖結構。

13、優(yōu)選的，所述立方架的底框內壁設置有底護板，所述橫桿與立方架的頂框和底框之間分別設置有側護板。

14、優(yōu)選的，所述推握裝置包括把手，所述把手位于立方架外側，所述把手的兩端均固定連接有l(wèi)型塊，所述l型塊的豎直段頂端通過緊固件與支撐板的底端固定連接。

15、優(yōu)選的，所述把手側壁設置有防滑套，所述把手的防滑套有橡膠支撐。

16、優(yōu)選的，靠近推握裝置的所述橫桿與立方架相配合形成窗口，用于取放物件。

17、優(yōu)選的，所述調壓結構包括五通管件，所述五通管件貫穿且固定安裝于支撐板的中部頂端，所述五通管件側壁接口分別與相鄰的減震氣囊換氣口之間設置兩段有送氣管，兩段所述送氣管之間設置有氣路電磁閥，所述五通管件的底部接口連接有供氣裝置。

18、優(yōu)選的，所述供氣裝置包括氣泵，所述氣泵的底端安裝有支架，所述支架的頂端與支撐板的底端呈固定連接，所述氣泵的氣口與五通管件的底部接口之間設置有供氣管。

19、優(yōu)選的，所述壓力檢測裝置包括承載板，所述承載板的底端設置有四個限位柱，所述限位柱與承載臺呈貫穿且滑動連接，所述承載臺和承載板之間設置有四個壓力傳感器。

20、優(yōu)選的，所述壓力傳感器位于四個所述減震氣囊的對角線上，所述壓力傳感器分別與相鄰的減震氣囊相匹配，所述壓力傳感器用于檢測承載板邊角位置受到的壓力，四個壓力傳感器分別對承載板的四個邊角部的受力進行檢測，四個氣路電磁閥對送氣管啟閉，當四個邊角部受力不同時，配合控制器，對應的氣路電磁閥打開或關閉，對承載板進行調平。

21、本發(fā)明的有益效果為：

22、1、通過設置立方架、減震氣囊、承載臺和吊臂裝置，可以得到的有益效果是立方架的四個立柱之間設置有四個橫桿，支撐板固定安裝于四個橫桿之間，支撐板的底端設置有推握裝置，四個減震氣囊呈陣列分布，減震氣囊安裝于支撐板的頂端，承載臺安裝于減震氣囊的頂端，承載臺用于放置晶舟盒，防側翻橫框，防側翻橫框安裝于立方架的頂框內壁，吊臂裝置包括拉簧，承載臺的頂端設置有多個第一支撐環(huán)，防側翻橫框的底端設置有多個第二支撐環(huán)；

23、手握把手，配合l型塊對立方架進行推送，立方架對晶圓輸送過程中，晶圓、承載板與承載臺同步振動，支撐板頂端的減震氣囊內氣體的壓縮和膨脹來吸收和釋放沖擊能量，從而實現減震效果，與此同時，防側翻橫框配合拉簧、第一支撐環(huán)和第二支撐環(huán)對承載臺進行彈性支撐，配合四個減震氣囊，當系統(tǒng)受到外部震動或沖擊時，拉簧首先吸收并儲存能量，配合減震氣囊消耗能量，從而保護晶圓免受損壞，提高了減震效果，提高了搬運裝置的防碰撞性。

24、2、通過設置壓力檢測裝置和調壓裝置，可以得到的有益效果是壓力檢測裝置包括承載板，承載板的底端設置有四個限位柱，限位柱與承載臺呈貫穿且滑動連接，承載臺和承載板之間設置有四個壓力傳感器，調壓結構包括五通管件，五通管件貫穿且固定安裝于支撐板的中部頂端，五通管件側壁接口分別與相鄰的減震氣囊換氣口之間設置兩段有送氣管，兩段送氣管之間設置有氣路電磁閥，五通管件的底部接口連接有供氣裝置；

25、將晶舟盒放置在立方架內的承載板頂端，立方架相對靜止，四個壓力傳感器分別對承載板的四個邊角部的受力進行檢測，根據四個邊角部受力總值，氣泵通過五通管件和四個送氣管對四個減震氣囊輸送相匹配的氣體，提高了對不同重量晶圓的減震效果。

26、3、通過設置壓力檢測裝置和調壓裝置，可以得到的有益效果是壓力檢測裝置包括承載板，承載板的底端設置有四個限位柱，限位柱與承載臺呈貫穿且滑動連接，承載臺和承載板之間設置有四個壓力傳感器；

27、將晶舟盒放置在立方架內的承載板頂端，立方架相對靜止，四個壓力傳感器分別對承載板的四個邊角部的受力進行檢測，四個氣路電磁閥對送氣管啟閉，當四個邊角部受力不同時，配合控制器，對應的氣路電磁閥打開或關閉，對承載板進行調平，具有了對晶圓的自動調平結構。

技術特征：

1.一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述立方架（1）的四個立柱底端均設置有滑輪（11），所述滑輪（11）內設置有自鎖結構。

3.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述立方架（1）的底框內壁設置有底護板（13），所述橫桿（12）與立方架（1）的頂框和底框之間分別設置有側護板（14）。

4.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述推握裝置包括把手（21），所述把手（21）位于立方架（1）外側，所述把手（21）的兩端均固定連接有l(wèi)型塊（22），所述l型塊（22）的豎直段頂端通過緊固件與支撐板（2）的底端固定連接。

5.根據權利要求4所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述把手（21）側壁設置有防滑套，所述把手（21）的防滑套有橡膠支撐。

6.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，靠近推握裝置的所述橫桿（12）與立方架（1）相配合形成窗口，用于取放物件。

7.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述調壓結構包括五通管件（71），所述五通管件（71）貫穿且固定安裝于支撐板（2）的中部頂端，所述五通管件（71）側壁接口分別與相鄰的減震氣囊（3）換氣口之間設置兩段有送氣管（72），兩段所述送氣管（72）之間設置有氣路電磁閥（73），所述五通管件（71）的底部接口連接有供氣裝置。

8.根據權利要求7所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述供氣裝置包括氣泵（81），所述氣泵（81）的底端安裝有支架（82），所述支架（82）的頂端與支撐板（2）的底端呈固定連接，所述氣泵（81）的氣口與五通管件（71）的底部接口之間設置有供氣管（83）。

9.根據權利要求1所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述壓力檢測裝置包括承載板（91），所述承載板（91）的底端設置有四個限位柱（92），所述限位柱（92）與承載臺（4）呈貫穿且滑動連接，所述承載臺（4）和承載板（91）之間設置有四個壓力傳感器（93）。

10.根據權利要求9所述的一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述壓力傳感器（93）位于四個所述減震氣囊（3）的對角線上，所述壓力傳感器（93）分別與相鄰的減震氣囊（3）相匹配，所述壓力傳感器（93）用于檢測承載板（91）邊角位置受到的壓力。

技術總結
本發(fā)明涉及晶圓搬運技術領域，具體公開了一種具有防碰撞結構的晶圓搬運裝置，包括立方架，所述立方架的四個立柱之間設置有四個橫桿；支撐板，所述支撐板固定安裝于四個橫桿之間，所述支撐板的底端設置有推握裝置；減震氣囊，四個所述減震氣囊呈陣列分布，所述減震氣囊安裝于支撐板的頂端；承載臺，所述承載臺安裝于減震氣囊的頂端，所述承載臺用于放置晶舟盒；防側翻橫框，所述防側翻橫框安裝于立方架的頂框內壁；吊臂裝置，所述吊臂裝置包括拉簧，所述承載臺的頂端設置有多個第一支撐環(huán)。本發(fā)明提高了搬運裝置的防碰撞性，提高了對不同重量晶圓的減震效果，具有了對晶圓的自動調平結構。

技術研發(fā)人員：張春杰,李昊,李志祥,季成飛,丁楊思穎
受保護的技術使用者：浙江芯植微電子科技有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/30