專(zhuān)利名稱(chēng)：應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的推車(chē)，且特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工
藝的自動(dòng)升降推車(chē)。
背景技術(shù)：
隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置半導(dǎo)體工藝裝置，例如是晶圓的前開(kāi) 式晶盒(F0UP)及其零配件的尺寸也越來(lái)越大，使得晶盒的重量不斷增加，一個(gè)載滿(mǎn)晶圓的 F0UP的重量約為9. 8Kg。如果這些物料都是自動(dòng)作業(yè)的話，那么這種尺寸及重量的增加可 能不會(huì)引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。但是，全自動(dòng)化作業(yè)是不能完全實(shí)現(xiàn)的，因此不 可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情況，例如芯片測(cè)量、將晶盒搬運(yùn)到人工貨架等環(huán)節(jié)。隨著越 來(lái)越多的芯片制造商往亞洲轉(zhuǎn)移，而多數(shù)作業(yè)人員為女性，F(xiàn)0UP的尺寸及重量問(wèn)題變得更 為明顯。 從人體生物工程學(xué)的角度而言，搬運(yùn)重物時(shí)最理想的搬運(yùn)高度應(yīng)當(dāng)在人的腰部上 下。而隨著現(xiàn)行潔凈室的運(yùn)行成本及工作效率的提高，將運(yùn)送FOUP的推車(chē)的擱架高度設(shè)在 作業(yè)人員腰部這樣一個(gè)單一高度是不實(shí)際的，這樣會(huì)大大影響運(yùn)輸效率。通常，采用具有多 層固定式擱架的手推車(chē)來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)，每層放置兩個(gè)前開(kāi)式晶盒，那么必然至少會(huì)有一層擱 架的高度是不符合人體生物工程學(xué)要求的。作業(yè)人員需要重復(fù)由低到高或由高到低放置前 開(kāi)式晶盒的動(dòng)作，如果不能遵從正確的舉放技巧的話，會(huì)導(dǎo)致作業(yè)人員背部及腰部的持續(xù) 性慢性疼痛，從而嚴(yán)重影響員工的身心健康。同時(shí)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，由于操作規(guī)章的規(guī)定 必須使用送貨推車(chē)，頻繁的人為操作有可能會(huì)造成不必要的缺失，導(dǎo)致操作延遲或者是更 嚴(yán)重的漏操作。 因此，如何提供一種符合人體生物工程學(xué)原理的晶圓運(yùn)輸車(chē)已成為業(yè)界亟待解決 的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，可以降低作業(yè)人員的背 部及腰部的負(fù)荷，同時(shí)也降低了漏操作的幾率。 為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，包
括車(chē)身、位于車(chē)身上的至少一擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述至少一擱板用于承載半導(dǎo)體工藝
裝置，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括滑塊、軸承和直流電機(jī)，所述直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊在軸承上運(yùn)
動(dòng)，所述軸承設(shè)置于所述至少一隔板下方，從而帶動(dòng)至少一隔板的升降。 進(jìn)一步的，所述軸承為柔性軸承。 進(jìn)一步的，所述直流電機(jī)具有可充電電源。 進(jìn)一步的，所述車(chē)身頂部具有推車(chē)手柄，靠近推車(chē)手柄處具有控制面板，控制升降
驅(qū)動(dòng)裝置的升降或者停止。 進(jìn)一步的，所述擱板的數(shù)量為兩個(gè)。[0011] 本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，采用升降驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng) 承載有半導(dǎo)體工藝裝置的擱板進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，可以降低作業(yè)人員的背部及腰部的負(fù)荷。采 用柔性軸承，可避免在開(kāi)始以及停止時(shí)產(chǎn)生的擾動(dòng)，以保持前開(kāi)式晶盒的穩(wěn)定。直流電機(jī)具 有可充電電源，充電方式及插即充，具有簡(jiǎn)易的使用方式，操作方便。基于以上原因降低了 操作復(fù)雜度，本實(shí)用新型同時(shí)也降低了漏操作的幾率。

圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的自動(dòng)升降推車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的自動(dòng)升降推車(chē)隔板上升時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式為了更了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖說(shuō)明如下。 本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，包括車(chē)身、至少一擱板 和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述至少一擱板用于承載半導(dǎo)體工藝裝置，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括滑塊、
軸承和直流電機(jī)，所述直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊在軸承上運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)至少一隔板的升降。 請(qǐng)參考圖l，圖l所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的自動(dòng)升降推車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖 1中，所示為裝載半導(dǎo)體工藝裝置例如是放置晶圓的前開(kāi)式晶盒(F0UP)的推車(chē)，其具有車(chē) 身100以及上、下2個(gè)隔板210、220，其中上、下2個(gè)隔板210、220分別放置兩個(gè)前開(kāi)式晶 盒310、320。所述車(chē)身100頂部靠近推車(chē)手柄110處具有控制面板500，控制升降驅(qū)動(dòng)裝置 的升降或者停止，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括滑塊410、軸承420和直流電機(jī)430，所述直流電機(jī) 430驅(qū)動(dòng)滑塊410在軸承420上升降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)下隔板220的升降，而直流電機(jī)430具 有可充電電源440供電，充電一次即可進(jìn)行多次操作。 當(dāng)作業(yè)員推車(chē)進(jìn)行操作，并且需要使用到放置在下隔板220上的前開(kāi)式晶盒320 時(shí)，作業(yè)員按下控制面板500上的上升按鈕，此時(shí)直流電機(jī)430驅(qū)動(dòng)滑塊410在軸承420上 進(jìn)行上升運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)下隔板220上升，當(dāng)下隔板220上要使用的前開(kāi)式晶盒320達(dá)到合 適位置時(shí)，作業(yè)員按下控制面板500上的急停按鈕，控制滑塊410停止上升，作業(yè)員不需要 彎腰即可完成操作(請(qǐng)參考圖2中，圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的自動(dòng)升降推車(chē)隔 板上升時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖)。同理，當(dāng)使用完畢后，作業(yè)員按下控制面板500上的下降按鈕，直 流電機(jī)430驅(qū)動(dòng)滑塊410在軸承420上進(jìn)行下降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)下隔板220下降。由于軸 承420采用了柔性軸承，可避免在開(kāi)始以及停止時(shí)產(chǎn)生的擾動(dòng)，以保持前開(kāi)式晶盒310、320 的穩(wěn)定，避免晶圓損壞。 綜上所述，本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，采用升降驅(qū) 動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)承載有半導(dǎo)體工藝裝置的擱板進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，可以降低作業(yè)人員的背部及腰部 的負(fù)荷。采用柔性軸承，可避免在開(kāi)始以及停止時(shí)產(chǎn)生的擾動(dòng)，以保持前開(kāi)式晶盒的穩(wěn)定。 直流電機(jī)具有可充電電源，充電方式及插即充，具有簡(jiǎn)易的使用方式，操作方便。基于以上 原因降低了操作復(fù)雜度，本實(shí)用新型同時(shí)也降低了漏操作的幾率。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí) 用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各 種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書(shū)所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，包括車(chē)身、位于車(chē)身上的至少一擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述至少一擱板用于承載半導(dǎo)體工藝裝置，其特征在于所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括滑塊、軸承和直流電機(jī)，所述直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊在軸承上運(yùn)動(dòng)，所述軸承設(shè)置于所述至少一隔板下方，從而帶動(dòng)至少一隔板的升降。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，其特征在于所述軸承為柔性軸承。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，其特征在于所述直流電機(jī)具有可充電電源。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，其特征在于所述車(chē)身頂部具有推車(chē)手柄，靠近推車(chē)手柄處具有控制面板，控制升降驅(qū)動(dòng)裝置的升降或者停止。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，其特征在于所述擱板的數(shù)量為兩個(gè)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提出一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，包括車(chē)身、位于車(chē)身上的至少一擱板和升降驅(qū)動(dòng)裝置，所述至少一擱板用于承載半導(dǎo)體工藝裝置，所述升降驅(qū)動(dòng)裝置包括滑塊、軸承和直流電機(jī)，所述直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)滑塊在軸承上運(yùn)動(dòng)，所述軸承設(shè)置于所述至少一隔板下方，從而帶動(dòng)至少一隔板的升降。本實(shí)用新型提出的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車(chē)，可以降低作業(yè)人員的背部及腰部的負(fù)荷，同時(shí)也降低了漏操作的幾率。
文檔編號(hào)B62B3/02GK201484455SQ20092020771
公開(kāi)日2010年5月26日 申請(qǐng)日期2009年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月11日
發(fā)明者呂鴻輝, 姚琦, 張煒, 王舜文 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司