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應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4058879

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本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的推車,且特別涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝的自動(dòng)升降推車。 背景技術(shù)隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸,用于放置半導(dǎo)體工藝裝置,例如是晶圓的前開 式晶盒(F0UP)及其零配件的尺寸也越來(lái)越大,使得晶盒的重量不斷增加,一個(gè)載滿晶圓的 F0UP的重量約為9. 8Kg。如果這些物料都是自動(dòng)作業(yè)的話,那么這種尺寸及重量的增加可 能不會(huì)引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。但是,全自動(dòng)化作業(yè)是不能完全實(shí)現(xiàn)的,因此不 可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情況...
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