專利名稱：基板用涂布裝置及基板涂布方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使噴嘴相對(duì)于玻璃基板等板狀基板向ー個(gè)方向掃描并從噴嘴噴出抗蝕液等涂布液而對(duì)基板的涂布面涂布涂布液的基板用涂布裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)玻璃基板等板狀基板表面涂布涂布液吋，使用下述基板用涂布裝置使狹縫狀的噴嘴在與基板表面之間設(shè)置有間隙的狀態(tài)下，沿著與狹縫正交的規(guī)定的掃描方向相對(duì)于基板表面而進(jìn)行掃描。為了提高大型基板的生產(chǎn)效率，可考慮以下方式經(jīng)由傳送帯，將多塊基板依次傳送到配置有噴嘴的涂布處理位置，將涂布處理后的基板傳送到下一個(gè)處理位置。
為了對(duì)基板表面以所需厚度均勻地涂布涂布液，需要使噴嘴的前端和基板的表面的間隔保持一定。因此，在涂布處理位置上，配置上表面平滑的精密載物臺(tái)。對(duì)放置在精密載物臺(tái)上的基板，從噴嘴涂布涂布液。作為現(xiàn)有的基板用涂布裝置，存在以下裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)I):將使狹縫狀的噴嘴移動(dòng)的導(dǎo)軌以不與基板干擾的狀態(tài)，沿著與基板傳送方向正交的方向配置在配置有稱為放置臺(tái)的精密載物臺(tái)的涂布處理位置上。在記載于專利文獻(xiàn)I的構(gòu)成中，狹縫狀的噴嘴的長(zhǎng)度方向沿著基板傳送方向配置，相對(duì)于傳送到精密載物臺(tái)上的基板，狹縫狀的噴嘴沿著導(dǎo)軌向與基板傳送方向正交的方向移動(dòng)?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2004 — 298775號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問(wèn)題但是，記載于專利文獻(xiàn)I的基板用涂布裝置中，使噴嘴相對(duì)于在涂布處理位置上停止了向傳送方向的移動(dòng)的基板而向與基板傳送方向正交的方向移動(dòng)，因此在涂布處理中無(wú)法使基板向傳送方向移動(dòng)，從而涂布處理作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變得長(zhǎng)時(shí)間化。另ー方面，在配置有精密載物臺(tái)的涂布處理位置上，在使用傳送用機(jī)器人、單元間傳送機(jī)構(gòu)的情況下，在涂布處理作業(yè)過(guò)程中也需要停止基板的移動(dòng)，涂布處理作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間變得長(zhǎng)時(shí)間化。本發(fā)明的目的在于提供ー種基板用涂布裝置，能夠使基板沿著傳送路徑移動(dòng)的同時(shí)將涂布液涂布到基板表面，從而能夠縮短涂布處理作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。用于解決問(wèn)題的手段本發(fā)明涉及的基板用涂布裝置具有載物臺(tái)、噴嘴、傳送帶、載物臺(tái)移動(dòng)單元、噴嘴升降単元、傳送帶升降単元、控制單元。載物臺(tái)水平地設(shè)置有放置基板的放置面，沿著傳送方向在上游端和下游端之間自由往返移動(dòng)。傳送帶以基板的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著規(guī)定的傳送方向經(jīng)由載物臺(tái)的放置面?zhèn)魉突澹搨魉蛶У闹辽僖?guī)定范圍的長(zhǎng)度的中間部自由升降。載物臺(tái)移動(dòng)單元使載物臺(tái)在規(guī)定范圍內(nèi)的上游端和下游端之間往返移動(dòng)。傳送帶升降単元使傳送帶的中間部在傳送面與載物臺(tái)的放置面一致的傳送位置、和傳送面比載物臺(tái)的放置面靠下方的非傳送位置之間升降?？刂茊卧獦?gòu)成為控制載物臺(tái)移動(dòng)單元及傳送帶升降単元的動(dòng)作，使得在放置面放置有通過(guò)傳送帶傳送的基板的載物臺(tái)從上游端向下游端移動(dòng)的期間，從噴嘴對(duì)基板的表面噴出涂布液。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠不停止基板在傳送方向的移動(dòng)而進(jìn)行對(duì)基板表面的涂布 處理，從而能夠縮短涂布處理作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。


圖I是本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的基板用涂布裝置的俯視圖。圖2是該基板用涂布裝置的主視圖。圖3是該基板用涂布裝置的控制部的框圖。圖4是表示該控制部的處理步驟的流程圖。圖5的(A) (E)是說(shuō)明本發(fā)明的基板涂布方法的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明I主框架；2副框架；3第I上游側(cè)傳送帶；4第2上游側(cè)傳送帶；5第I下游側(cè)傳送帶；6第2下游側(cè)傳送帶；7精密載物臺(tái)；8 噴嘴；9 涂底棍(priming roller);10基板用涂布裝置；100 控制部；W 基板。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的基板用涂布裝置。如圖I及圖2所示，本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的基板用涂布裝置10具有主框架I、副框架2、第I上游側(cè)傳送帶3、第2上游側(cè)傳送帶4、第I下游側(cè)傳送帶5、第2下游側(cè)傳送帶6、精密載物臺(tái)7、噴嘴8、涂底輥9、控制部100。主框架I在上表面保持有副框架2、第I上游側(cè)傳送帶3、第2上游側(cè)傳送帶4、第I下游側(cè)傳送帶5、第2下游側(cè)傳送帶6。并且，主框架I經(jīng)由支持部件11、12保持有噴嘴8、涂底輥9。在主框架I的上表面配置有導(dǎo)軌13。
副框架2自由升降地保持于主框架1，并支持中間傳送帶21。中間傳送帶21是本發(fā)明的傳送帶的中間部，由多個(gè)輥211構(gòu)成。第I上游側(cè)傳送帶3、第2上游側(cè)傳送帶4、第I下游側(cè)傳送帶5、第2下游側(cè)傳送帶6與中間傳送帶21共同構(gòu)成本發(fā)明的傳送帶。各傳送帶3飛分別由多個(gè)棍31、41、51、61構(gòu)成。傳送帶3飛及中間傳送帶21從上游側(cè)朝向下游側(cè)在直線上傳送基板。輥31、41、51、61、211與基板底面中的與傳送方向平行的兩端部抵接?；宓膫魉头较蚺c導(dǎo)軌13的長(zhǎng)度
方向一致。此外，各傳送帶3飛、21不限于由多個(gè)輥31、41、51、61、211構(gòu)成的輥道爐床(roller hearth),可使用輪帶、鏈條等適于基板傳送的機(jī)構(gòu)。精密載物臺(tái)7是本發(fā)明的載物臺(tái)，沿著導(dǎo)軌13的長(zhǎng)度方向在上游端和下游端之間的規(guī)定范圍內(nèi)自由往返移動(dòng)。精密載物臺(tái)7的上表面是平滑的水平面，用于放置基板。精密載物臺(tái)7往返移動(dòng)的規(guī)定范圍設(shè)定在基板傳送方向上的副框架內(nèi)。此外，精密載物臺(tái)7也可在上表面吸附基板。噴嘴8從向下表面開(kāi)放的狹縫噴出涂布液。噴嘴8通過(guò)支持部件11在精密載物臺(tái)7的上方自由升降支持于噴出位置和退避位置之間。噴嘴8配置成使狹縫的長(zhǎng)度方向在水平面內(nèi)與基板傳送方向正交。涂底輥9是本發(fā)明的清潔部件，圓周面與噴嘴8的狹縫抵接并旋轉(zhuǎn)。涂底輥9與涂底輥用電機(jī)一起通過(guò)涂底単元12，在精密載物臺(tái)7的上方，沿著基板傳送方向自由往返移動(dòng)于清潔位置和待機(jī)位置之間。作為清潔部件的涂底輥9用于使噴嘴8的涂布液的噴出 狀態(tài)穩(wěn)定，當(dāng)能夠從噴嘴8將涂布液穩(wěn)定地噴出到基板表面整個(gè)面時(shí)，可以省略。如圖3所示，控制部100在具有R0M102及RAM103的CPUlOl上連接電機(jī)驅(qū)動(dòng)器10Γ111、閥驅(qū)動(dòng)器112而構(gòu)成?？刂撇?00相當(dāng)于本發(fā)明的控制部，收容在設(shè)置于離開(kāi)主框架I的位置的盒子內(nèi)。CPUlOl根據(jù)R0M102中存儲(chǔ)的程序，將驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)輸出到電機(jī)驅(qū)動(dòng)器iorill及閥驅(qū)動(dòng)器112。這期間輸入輸出的數(shù)據(jù)暫時(shí)存儲(chǔ)到RAM103中。電機(jī)驅(qū)動(dòng)器10Γ111分別連接到傳送帶電機(jī)30廣303、噴嘴用電機(jī)304、涂底輥用電機(jī)305、涂底單元用電機(jī)310、載物臺(tái)用電機(jī)306、副框架升降用電機(jī)307、涂布液用閥308。噴嘴用電機(jī)304、載物臺(tái)用電機(jī)306、副框架升降用電機(jī)307分別相當(dāng)于本發(fā)明的噴嘴升降単元、載物臺(tái)移動(dòng)單元、傳送帶升降単元。噴嘴升降単元、載物臺(tái)移動(dòng)單元、傳送帶升降單元不限于電機(jī)，也可使用氣缸、線性電機(jī)等任意的驅(qū)動(dòng)源。如圖4所示，CPUlOl在基板涂布作業(yè)時(shí)向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器104 106輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以規(guī)定的基板傳送速度旋轉(zhuǎn)傳送帶電機(jī)30廣303 (SI)。這樣ー來(lái)，輥31、41、51、61、211開(kāi)始旋轉(zhuǎn)，如圖5的(A)所示，基板W向箭頭X所示的基板傳送方向傳送。如圖5的(A)所示，在基板涂布作業(yè)開(kāi)始時(shí)，副框架2在上下方向上位于中間傳送帶21的傳送面與傳送帶3飛的傳送面一致的傳送位置。并且，精密載物臺(tái)7位于箭頭X方向的上游端，噴嘴8位于離開(kāi)基板W的退避位置，涂底輥9位于與噴嘴8的狹縫抵接的清潔位置。并且，箭頭X方向上的噴嘴8的位置與位于上游端的精密載物臺(tái)7的下游端基本一致。在基板W的下游端到達(dá)精密載物臺(tái)7的下游端的位置(S2)時(shí)，CPUlOl向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器107、109、111輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，分別以規(guī)定量使噴嘴用電機(jī)304、涂底單元用電機(jī)310、副框架升降用電機(jī)307正轉(zhuǎn)(S3 S5)。這樣ー來(lái)，如圖5的(B)所示，搭載有涂底輥9的涂底單元12移動(dòng)到退避位置，噴嘴8下降到涂布位置，副框架2下降到非傳送位置。CPUlOl進(jìn)ー步向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器110及閥驅(qū)動(dòng)器112輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，從而使載物臺(tái)用電機(jī)306正轉(zhuǎn)(S6)，并打開(kāi)涂布液閥308 (S7)。這樣ー來(lái)，精密載物臺(tái)7從上游端向下游端沿著箭頭X方向開(kāi)始移動(dòng)，并且從噴嘴8涂布涂布液。在噴嘴8位于涂布位置的狀態(tài)下，噴嘴8的狹縫和基板W的上表面之間形成最適于涂布液的涂布的間隔。在基板W放置到平滑形成的精密載物臺(tái)7的上表面的狀態(tài)下，從噴嘴8噴出的涂布液均勻地涂布到表面整個(gè)面。如圖5的(C)所示，在精密載物臺(tái)7到達(dá)下游端而基板W的上游端到達(dá)噴嘴8的狹縫位置時(shí)(S8)，CPUlOl向閥驅(qū)動(dòng)器112輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)而關(guān)閉涂布液用閥(S9)。進(jìn)一歩，CPUlOl向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器107、108、111輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，分別以規(guī)定量使噴嘴用電機(jī)304、載物臺(tái)用電機(jī)306、副框架升降用電機(jī)307逆轉(zhuǎn)(S1(TS12)。這樣ー來(lái)，如圖5的(D)所示，噴嘴8上升到退避位置，精密載物臺(tái)7向上游端移動(dòng)，副框架2上升到傳送位置。進(jìn)ー步，在噴嘴8到達(dá)退避位置后(S13)，CPUlOl向電機(jī)驅(qū)動(dòng)器109輸出驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以規(guī)定量使涂底單元用電機(jī)310逆轉(zhuǎn)(S14)。這樣ー來(lái)，如圖5的(E)所示，搭載有涂底輥9的涂底單元12移動(dòng)到清潔位置。CPU201經(jīng)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)器108而驅(qū)動(dòng)涂底輥用電機(jī)305，使涂底輥9旋轉(zhuǎn)而清潔噴嘴8。直到?jīng)]有下一基板W為止，CPUlOl反復(fù)執(zhí)行步驟S2 S14的處理(S15)，依次執(zhí)行對(duì)多塊基板W的涂布液的涂布作業(yè)。對(duì)I塊基板W的涂布作業(yè)完成后，對(duì)各基板W之間設(shè)置空間，使得在精密載物臺(tái)7從下游端移動(dòng)到上游端的期間，下一基板W的下游端不到達(dá)箭頭X方向上的噴嘴8的配置位置。這樣ー來(lái)，能夠不停止各基板W的傳送而依次進(jìn)行對(duì)多塊基板的涂布液的涂布，能夠縮短基板涂布作業(yè)的生產(chǎn)節(jié)柏。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為上述實(shí)施方式的說(shuō)明從所有角度都為示例，不是限定性的。本發(fā)明的范圍不是通過(guò)上述實(shí)施方式而通過(guò)權(quán)利要求范圍所表示。進(jìn)ー步，本發(fā)明的范圍中包括與權(quán)利要求范圍均等的含義及范圍內(nèi)的所有變更。權(quán)利要求
1.一種基板用涂布裝置，具有 載物臺(tái)，水平設(shè)置有放置基板的放置面，沿著傳送方向在規(guī)定范圍內(nèi)自由往返移動(dòng)； 噴嘴，具有向下方噴出涂布液的狹縫，該狹縫與上述傳送方向正交； 傳送帶，以基板的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著上述傳送方向經(jīng)由上述放置面?zhèn)魉突?，該傳送帶的至少上述?guī)定范圍的長(zhǎng)度的中間部自由升降； 載物臺(tái)移動(dòng)單元，使上述載物臺(tái)在上述規(guī)定范圍內(nèi)的上游端和下游端之間往返移動(dòng)；傳送帶升降單元，使上述傳送帶的中間部在傳送面與上述放置面一致的傳送位置、和傳送面比上述放置面靠下方的非傳送位置之間升降；和 控制部，構(gòu)成為控制上述載物臺(tái)移動(dòng)單元及上述傳送帶升降單元的動(dòng)作，使得在上述放置面放置有通過(guò)上述傳送帶傳送的基板的上述載物臺(tái)從上述上游端向上述下游端移動(dòng)的期間，從上述噴嘴對(duì)基板的表面噴出涂布液。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板用涂布裝置，其中， 上述控制單元控制上述載物臺(tái)移動(dòng)單元的動(dòng)作，使得上述載物臺(tái)在上述放置面放置基板而從上述上游端去往上述下游端；在上述放置面不放置基板而從上述下游端返回上述上游端， 上述控制單元控制上述傳送帶升降單元的動(dòng)作，使得上述傳送帶的中間部在基板到達(dá)至位于上述上游端的上述載物臺(tái)的上方時(shí)，下降到上述非傳送位置；在上述放置面放置有基板的上述載物臺(tái)到達(dá)至上述下游端時(shí)，上升到上述傳送位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板用涂布裝置，其中， 上述噴嘴在上述載物臺(tái)的上方上向上下方向自由往返移動(dòng)， 該基板用涂布裝置具有噴嘴升降單元，該噴嘴升降單元使上述噴嘴在以下位置之間升降對(duì)放置在上述放置面的基板的表面噴出涂布液最適合的噴出位置、和與該最適合的噴出位置相比靠上方的退避位置， 上述控制部控制上述噴嘴升降單元的動(dòng)作，使得上述噴嘴在上述傳送帶的中間部下降到上述非傳送位置后，下降到上述噴出位置；在上述放置面放置有基板的上述載物臺(tái)到達(dá)至上述下游端時(shí)，上升到上述退避位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板用涂布裝置，其中， 還具有清潔部件，是清潔上述噴嘴的狹縫的清潔單元，使基板沿著上述傳送方向自由往返移動(dòng)；以及清潔部件移動(dòng)單元，使上述清潔部件在與上述噴嘴抵接的清潔位置、及不與上述噴嘴抵接的待機(jī)位置之間移動(dòng)， 上述控制部控制上述清潔部件移動(dòng)單元，使得上述清潔部件在上述噴嘴從上述涂布位置上升到上述退避位置時(shí)，移動(dòng)到上述清潔位置；在上述噴嘴從上述退避位置移動(dòng)到上述涂布位置之前，位于上述待機(jī)位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項(xiàng)所述的基板用涂布裝置，其中， 上述傳送帶和基板中的與傳送方向平行的2個(gè)側(cè)面附近接觸。
6.一種基板涂布方法，經(jīng)由傳送帶沿著規(guī)定的傳送方向水平傳送基板，將從噴嘴噴出的涂布液涂布到基板的表面，該基板涂布方法包括以下步驟 準(zhǔn)備載物臺(tái)和傳送帶，所述載物臺(tái)水平設(shè)置有用于放置的放置面，沿著傳送方向在上游端和下游端之間自由往返移動(dòng)，所述傳送帶以基板的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著上述傳送方向經(jīng)由上述放置面?zhèn)魉突?，該傳送帶的至少上述?guī)定范圍的長(zhǎng)度的中間部在使傳送面的高度與上述放置面一致的傳送位置、及與該傳送位置相比靠下方的非傳送位置之間自由升降； 當(dāng)通過(guò)上述傳送帶傳送的第I基板到達(dá)位于上述上游端的上述載物臺(tái)的放置面上時(shí)，使上述傳送帶的中間部從上述傳送位置下降到上述非傳送位置； 使搭載有上述第I基板的上述載物臺(tái)從上述上游端向上述下游端移動(dòng)的同時(shí)，從上述噴嘴對(duì)上述第I基板的表面噴出涂布液； 當(dāng)上述載物臺(tái)到達(dá)至上述下游端后，使上述傳送帶的中間部從上述非傳送位置上升到上述傳送位置；和 在通過(guò)上述傳送帶傳送的第2基板到達(dá)上述上游端之前，使上述載物臺(tái)從上述下游端返回上述上游端。
全文摘要
基板用涂布裝置(10)具有精密載物臺(tái)(7)、噴嘴(8)、傳送帶(3~6、21)。精密載物臺(tái)(7)水平設(shè)置有放置基板W的放置面，沿著傳送方向在上游端和下游端之間自由往返移動(dòng)。傳送帶(3~6、21)以基板W的表面位于水平面內(nèi)的方式沿著規(guī)定的傳送方向經(jīng)由精密載物臺(tái)(7)的放置面?zhèn)魉突錡。中間傳送帶(21)在傳送面與載物臺(tái)的放置面一致的傳送位置、和傳送面比載物臺(tái)的放置面靠下方的非傳送位置之間自由升降。
文檔編號(hào)B05C13/00GK102687240SQ201080059809
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2010年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月28日
發(fā)明者平田英生, 田邊雅明, 織田光德 申請(qǐng)人:龍?jiān)浦晔綍?huì)社