專利名稱：液體材料的涂布方法、該裝置及其程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是涉及一種對(duì)工件涂布規(guī)定涂布量的液體材料的方法和裝置、以及程序， 例如在半導(dǎo)體封裝的填底(under fill)步驟中，不必進(jìn)行復(fù)雜的參數(shù)計(jì)算而能夠修正液體 材料的排出量的方法和裝置以及程序。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)在液體材料的定量排出中，若經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間排出，液體材料便會(huì)發(fā)生隨著時(shí) 間的粘度變化，導(dǎo)致排出量發(fā)生變動(dòng)的問題。因此，申請(qǐng)人提案了一種液體定量排出裝置，其為對(duì)前端具有噴嘴的注射器內(nèi)的 液體材料僅在所需時(shí)間施加調(diào)壓空氣的氣動(dòng)式排出裝置，其中，通過調(diào)整排出時(shí)間而控制 排出量(專利文獻(xiàn)1)。近年，隨著芯片的小型化、高密度安裝化、或者涂布作業(yè)的多樣化，要求連續(xù)進(jìn)行 微量精密的涂布，必須將排出量的變動(dòng)抑制得更低。尤其以填底步驟中，要求更微量更精密 的涂布。在填底步驟中，為了增強(qiáng)連接部103，便在半導(dǎo)體芯片101與基板102之間利用毛 細(xì)管現(xiàn)象填充為液體材料的樹脂104(參照?qǐng)D1)。因此，當(dāng)隨著時(shí)間經(jīng)過樹脂材料粘度變 高，則從材料排出口的排出量便會(huì)減少，毛細(xì)管現(xiàn)象不夠充分，產(chǎn)生導(dǎo)致無法將適當(dāng)量的材 料填充于間隙中的問題。上述樹脂材料中粘度變化較劇烈的材料，例如也會(huì)有經(jīng)過6小時(shí) 后減少10%以上排出量的情況。在填底步驟中實(shí)施排出量的修正的方法，例如公開在日本專利特開2004-344883 號(hào)(專利文獻(xiàn)幻中。即，專利文獻(xiàn)2公開了一種使用噴射式分配器在基板上排出粘性材料 的方法，其包括準(zhǔn)備應(yīng)排出粘性材料的總體積和排出總體積的粘性材料的長(zhǎng)度；在重量 計(jì)上以涂布多個(gè)粘性材料液滴的方式產(chǎn)生動(dòng)作；生成表示在重量計(jì)上經(jīng)涂布的多個(gè)粘性材 料液滴的重量的反饋信號(hào)；以及以總體積粘性材料沿長(zhǎng)度排出的方式，求得分配器與基板 之間的最大相對(duì)速度。再者，專利文獻(xiàn)2公開了一種方法，進(jìn)一步包括求得多個(gè)粘性材料液滴的各自體 積；求得大致等于總體積所需要的液滴總數(shù)；求得沿長(zhǎng)度大致均勻分配粘性材料液滴所需 要的各液滴之間的距離；以及為了將粘性材料液滴的總數(shù)在長(zhǎng)度上大致均勻排出，而求得 分配器與基板之間的最大相對(duì)速度。(專利文獻(xiàn)1)日本特開平4-200671號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)日本特開2004-344883號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所要解決的問題)然而，專利文獻(xiàn)1所記載的液體定量排出裝置由于為一種在液體材料離開排出部 前接觸工件的排出方式，因而不同于液體材料離開排出部后接觸到工件的排出方式，在排出結(jié)束后，通過將排出部朝上方移動(dòng)、或使排出部的相對(duì)移動(dòng)稍微大于涂布長(zhǎng)度連續(xù)進(jìn)行， 而使液體材料離開排出部。因此，當(dāng)在排出部與工件之間發(fā)生液體材料拉絲、斷絲時(shí)，便會(huì) 有排出部側(cè)的液體材料被工件拉引導(dǎo)致排出量過剩、或相反情況，工件側(cè)的液體材料被排 出部側(cè)拉引導(dǎo)致排出量不足等造成涂布量出現(xiàn)變動(dòng)的問題。再者，在專利文獻(xiàn)2所記載的方法中，為了在長(zhǎng)度上均勻地排出，便需要有求得液 滴數(shù)或各液滴的間隔的程序，在該程序內(nèi)通過計(jì)算求得各種參數(shù)，因而在計(jì)算時(shí)大多會(huì)出 現(xiàn)誤差。再者，為力求更正確地均勻化，必須使每個(gè)液滴的大小一致，因此需要特別的手 段。再者，噴嘴(排出部)與基板之間的最大相對(duì)速度變動(dòng)，當(dāng)粘度變大時(shí)，便朝速度 變慢的方向變化。當(dāng)速度變慢時(shí)，則涂布時(shí)間拉長(zhǎng)，有對(duì)生產(chǎn)效率造成影響的問題。因此，本發(fā)明目的在于解決上述問題，提供一種不需要復(fù)雜的參數(shù)計(jì)算且不會(huì)對(duì) 排出部的移動(dòng)速度造成影響的液體材料的涂布方法、該裝置及其程序。(用于解決問題的手段)為了解決上述問題，本發(fā)明人嘗試通過將液體材料以脈沖狀排出并改變脈沖信號(hào) 的頻率，而簡(jiǎn)便地進(jìn)行排出量的修正。然而，使用使脈沖信號(hào)的頻率為可變化方式進(jìn)行實(shí)驗(yàn) 后，卻無法適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行排出量的修正。尤其在噴射式分配器中，若活塞(柱塞)上下動(dòng)作 的頻率變慢、或變快時(shí)，便會(huì)有液體材料不離開噴嘴前端、或分為二個(gè)以上液滴而離開的情 況。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)對(duì)于每種液體材料都具有為使一液滴從噴嘴前端分離的最佳脈沖信號(hào)頻率 范圍，而完成了本發(fā)明。第1發(fā)明的涂布方法，為制作所希望的涂布圖案，一邊使噴嘴與工件進(jìn)行相對(duì)移 動(dòng)，一邊將液體材料從噴嘴排出，而對(duì)工件涂布規(guī)定涂布量的液體材料的涂布方法，其特征 在于，包括初期參數(shù)設(shè)定步驟，將傳送排出脈沖信號(hào)和暫停脈沖信號(hào)的次數(shù)規(guī)定為總脈沖 數(shù)，且規(guī)定總脈沖數(shù)中為了達(dá)成涂布量所需要的排出脈沖信號(hào)數(shù)，而將其余規(guī)定為暫停脈 沖信號(hào)；修正量計(jì)算步驟，以預(yù)設(shè)的修正周期，計(jì)測(cè)在修正周期時(shí)從噴嘴的排出量，并計(jì)算 出排出量的修正量；以及排出量修正步驟，根據(jù)在修正量計(jì)算步驟所計(jì)算出的修正量，調(diào)整 排出脈沖信號(hào)數(shù)和暫停脈沖信號(hào)數(shù)。第2發(fā)明為在第1發(fā)明中，其特征在于所述排出量修正步驟為不改變所述排出脈 沖信號(hào)和所述暫停脈沖信號(hào)的發(fā)送頻率而進(jìn)行排出量的修正。第3發(fā)明為在第2發(fā)明中，其特征在于所述頻率為數(shù)十赫茲(Hz) 數(shù)百赫茲。第4發(fā)明為在第1至3中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟為根據(jù) 計(jì)測(cè)一定時(shí)間內(nèi)排出的液體材料的重量而得的值、與該一定時(shí)間中的理論值的差值，而計(jì) 算出排出量的修正量。第5發(fā)明為就第1至3中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟為根據(jù) 計(jì)測(cè)在一定時(shí)間中所排出的液體材料的面積和/或高度而得的值、與該一定時(shí)間的理論值 的差值，而計(jì)算出排出量的修正量。第6發(fā)明為就第1至3中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟為根 據(jù)計(jì)測(cè)基于上述涂布圖案的涂布形成在工件端部的液體材料的填角(fillet)寬度而得的 值、與該涂布圖案中的理論值的差值，而計(jì)算出排出量的修正量。
第7發(fā)明為就第4至6中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于設(shè)定判斷在所述修正量計(jì)算 步驟以前的步驟中是否要進(jìn)行修正的容許范圍，所述修正量計(jì)算步驟當(dāng)所述差值超過所述 容許范圍時(shí)，便計(jì)算出排出量的修正量。第8發(fā)明為就第1至7中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述涂布為通過在液體材料 離開噴嘴后接觸工件的排出方式而進(jìn)行。第9發(fā)明為就第8發(fā)明中，其特征在于所述涂布為在基板與其上所載置的工件的 間隙中利用毛細(xì)管現(xiàn)象填充規(guī)定涂布量的液體材料。第10發(fā)明為就第9發(fā)明中，其特征在于所述排出量修正步驟在增加暫停脈沖信 號(hào)時(shí)便減少對(duì)于暫停脈沖信號(hào)數(shù)的排出脈沖信號(hào)數(shù)。第11發(fā)明為就第1至10中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述修正周期為根據(jù)使用 者作為修正周期所輸入的時(shí)間信息、工件片數(shù)、或基板片數(shù)而被設(shè)定。第12發(fā)明為就第1至11中任一項(xiàng)發(fā)明中，其特征在于所述排出量修正步驟為不 改變上述涂布圖案的涂布長(zhǎng)度、以及噴嘴與工件的相對(duì)移動(dòng)速度而進(jìn)行排出量的修正。第13發(fā)明的涂布裝置，具備供應(yīng)液體材料的液體材料供應(yīng)部、具有排出從液體 材料供應(yīng)部所供應(yīng)的液體材料的排出口的排出部、計(jì)量從排出口所排出的液體材料量的計(jì) 量部、使排出口與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部、以及對(duì)這些動(dòng)作進(jìn)行控制的控制部，其特征 在于控制部為具有實(shí)施第1至12項(xiàng)中任一項(xiàng)發(fā)明的涂布方法的程序。第14發(fā)明為一種使涂布裝置的控制部實(shí)施第1至12中任一項(xiàng)發(fā)明的涂布方法的 程序，該涂布裝置具備供應(yīng)液體材料的液體材料供應(yīng)部、具有排出液體材料的排出口的排 出部、計(jì)量從排出口所排出的液體材料量的計(jì)量部、使排出口與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng) 部、以及對(duì)這些動(dòng)作進(jìn)行控制的控制部。(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明，在對(duì)涂布圖案全長(zhǎng)實(shí)施均勻涂布不受約束可自由制作涂布圖案。再者，與針對(duì)每個(gè)液滴實(shí)施修正的情況相比較，步驟較為簡(jiǎn)便，不易發(fā)生計(jì)算誤差。再者，因?yàn)椴桓淖兣懦鲅b置的移動(dòng)速度，因此不會(huì)對(duì)涂布時(shí)間造成影響。再者，因?yàn)榭稍诓桓淖兺坎奸L(zhǎng)度和脈沖信號(hào)頻率的情況下修正排出量，因此修正 不會(huì)對(duì)工件上的涂布品質(zhì)造成影響。


圖1為用于說明填底步驟的側(cè)視圖。
圖2為表示涂布圖案例的說明圖。
圖3為實(shí)施例涉及的裝置的概略立體圖。
圖4為實(shí)施例涉及的排出裝置的主要部分剖視圖。
圖5為說明向?qū)嵤├婕暗呐懦鲅b置所發(fā)送的脈沖信號(hào)的說明圖。
圖6為表示實(shí)施例涉及的修正步驟的流程圖。
圖7為說明實(shí)施例2涉及的計(jì)量部的說明圖。
圖8為說明實(shí)施例3涉及的計(jì)量部的說明圖。
圖9為說明實(shí)施例4涉及的計(jì)量部的說明圖。
(符號(hào)說明)
101芯片(工件)
102基板
103連接部
104樹脂(液體材料)
141涂布區(qū)域
142非涂布區(qū)域
301設(shè)定表
401涂布裝置
402XY驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
403重量計(jì)
404搬送機(jī)構(gòu)
501排出裝置
502控制部
503脈沖信號(hào)供應(yīng)線
504活塞
505儲(chǔ)存容器
506噴嘴
507壓縮氣體供應(yīng)線
601排出脈沖
602暫停脈沖
801攝影裝置
901激光位移計(jì)
1001填角
S面積
H高度
W1、W2寬度
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的最佳實(shí)施方式為經(jīng)由[1]制成涂布圖案、[2]設(shè)定該涂布圖案中的初期 參數(shù)(排出脈沖數(shù)和暫停脈沖數(shù))、[3]設(shè)定隨著時(shí)間經(jīng)過等而變化的排出量的修正周期， 而開始進(jìn)行涂布作業(yè)。[4]在涂布作業(yè)的途中，通過由[3]所設(shè)定的修正周期計(jì)算出修正 量，[5]判斷是否需要修正排出量，根據(jù)需要修正排出量。下面，詳述以上的各項(xiàng)步驟。[1]涂布圖案的制成考慮根據(jù)工件形狀而定的涂布量或涂布長(zhǎng)度等來制作涂布圖案。此處，所謂“涂布 量”是指涂布圖案所需要的液體材料量，所謂“涂布長(zhǎng)度”是指噴嘴與工件的相對(duì)移動(dòng)量的總長(zhǎng)。涂布圖案由一次以上的排出脈沖601和0次以上的暫停脈沖602所構(gòu)成。由排出 脈沖601和暫停脈沖602構(gòu)成的脈沖信號(hào)以既定頻率進(jìn)行發(fā)送。頻率和射出數(shù)/秒原則上保持一致。頻率優(yōu)選是設(shè)為數(shù)十赫茲以上、更優(yōu)選是設(shè)為數(shù)百赫茲。下面，參照?qǐng)D2，對(duì)沿作為方形工件的芯片101 —邊的線上進(jìn)行涂布的圖案制作進(jìn) 行說明。圖2中，涂布區(qū)域141對(duì)應(yīng)于排出脈沖601。涂布區(qū)域141的排出量通過設(shè)定排出 脈沖601而控制，由此使涂布區(qū)域141的長(zhǎng)度便會(huì)有伸縮。此外，通過設(shè)定暫停脈沖602，使 非涂布區(qū)域142伸縮。另外，并不局限于沿芯片101—邊，亦可沿二邊、三邊或整個(gè)周圍。此外，工件并不 局限于方形，亦可為圓形、多角形。涂布圖案全長(zhǎng)、涂布區(qū)域141和非涂布區(qū)域142的數(shù)量由期望的涂布圖案所必要 的液體材料5的重量或體積等決定。涂布區(qū)域141不限于線狀，也有點(diǎn)陣狀的情況，例如在 填底步驟中，當(dāng)芯片101較小的情況、或要提高成品率的情況下(要減少因氣泡卷入所造成 不良的情況)，而會(huì)有在邊的中心附近以一點(diǎn)排出、或?qū)娮焱Ｖ褂谝惶幎懦鲆欢〞r(shí)間。[2]初期參數(shù)的設(shè)定設(shè)定排出脈沖601的數(shù)目和暫停脈沖602的數(shù)目作為初期參數(shù)。在控制部中預(yù)先 存儲(chǔ)規(guī)定排出脈沖601的數(shù)目和暫停脈沖602的數(shù)目的組合的設(shè)定表301。表1所示為控制部所存儲(chǔ)的設(shè)定表301的一例。表1中，設(shè)定例A表示在總脈沖 數(shù)為100時(shí)的排出量的設(shè)定例，設(shè)定例B表示在總脈沖數(shù)為111時(shí)的排出量的設(shè)定例，設(shè)定 例C表示在總脈沖數(shù)為125時(shí)的排出量的設(shè)定例。設(shè)定例A、B、C中，排出脈沖數(shù)相當(dāng)于排 出量，通過增減總脈沖數(shù)中的暫停脈沖數(shù)，從而可調(diào)整排出量。設(shè)定例A為規(guī)定在排出脈沖數(shù)為100時(shí)，針對(duì)1次排出脈沖以未設(shè)定暫停脈沖(0 次暫停脈沖)的組合為基準(zhǔn)使排出量變化的設(shè)定例。設(shè)定例B為規(guī)定在排出脈沖數(shù)為100時(shí)，針對(duì)9次排出脈沖以設(shè)定1次暫停脈沖 (11次暫停脈沖)的組合為基準(zhǔn)使排出量變化的設(shè)定例。設(shè)定例C為規(guī)定在排出脈沖數(shù)為100時(shí)，針對(duì)4次排出脈沖以設(shè)定1次暫停脈沖 (25次暫停脈沖)的組合為基準(zhǔn)使排出量變化的設(shè)定例。另外，表1中，表示將在一個(gè)步驟中所設(shè)定的暫停脈沖數(shù)設(shè)為一次的組合例，當(dāng)然 通過將一個(gè)步驟中所設(shè)定的暫停脈沖數(shù)增加為二次、三次，可以更細(xì)微的解析能力控制排出量。在增加暫停脈沖數(shù)時(shí)、或在后述排出量的修正中增減暫停脈沖數(shù)的情況下，優(yōu)選 以使暫停脈沖的時(shí)機(jī)成等間隔方式設(shè)定初期參數(shù)。另外，在填底步驟中，當(dāng)將暫停脈沖數(shù)增加為二次、三次時(shí)，從防止氣泡卷入的觀 點(diǎn)而言，減少對(duì)于暫停脈沖數(shù)的排出脈沖數(shù)而縮小間隙(非涂布區(qū)域)比使暫停脈沖數(shù)連 續(xù)而增加間隙(非涂布區(qū)域)還好。[表 1]
權(quán)利要求
1.一種涂布方法，為制作所希望的涂布圖案，一邊使噴嘴與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，一邊 將液體材料從噴嘴排出，而對(duì)工件涂布規(guī)定涂布量的液體材料的涂布方法，其特征在于，包 括初期參數(shù)設(shè)定步驟，將傳送排出脈沖信號(hào)和暫停脈沖信號(hào)的次數(shù)規(guī)定為總脈沖數(shù)，且 規(guī)定總脈沖數(shù)中為了達(dá)成涂布量所需要的排出脈沖信號(hào)數(shù)，而將其余規(guī)定為暫停脈沖信 號(hào)；修正量計(jì)算步驟，以預(yù)設(shè)的修正周期，計(jì)測(cè)在修正周期時(shí)從噴嘴的排出量，并計(jì)算出排 出量的修正量；以及排出量修正步驟，根據(jù)在修正量計(jì)算步驟所計(jì)算出的修正量，調(diào)整排出脈沖信號(hào)數(shù)和 暫停脈沖信號(hào)數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布方法，其特征在于所述排出量修正步驟為不改變所述 排出脈沖信號(hào)和所述暫停脈沖信號(hào)的發(fā)送頻率而進(jìn)行排出量的修正。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布方法，其特征在于所述頻率為數(shù)十赫茲 數(shù)百赫茲。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟 為根據(jù)計(jì)測(cè)一定時(shí)間內(nèi)排出的液體材料的重量而得的值、與該一定時(shí)間中的理論值的差 值，而計(jì)算出排出量的修正量。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟 為根據(jù)計(jì)測(cè)一定時(shí)間所排出的液體材料的面積和/或高度而得的值、與該一定時(shí)間中的理 論值的差值，而計(jì)算出排出量的修正量。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述修正量計(jì)算步驟 為根據(jù)計(jì)測(cè)基于上述涂布圖案的涂布形成在工件端部的液體材料的填角寬度而得的值、與 該涂布圖案中的理論值的差值，而計(jì)算出排出量的修正量。
7.根據(jù)權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于設(shè)定判斷在所述修正 量計(jì)算步驟以前的步驟中是否要進(jìn)行修正的容許范圍，所述修正量計(jì)算步驟當(dāng)所述差值超過所述容許范圍時(shí)，便計(jì)算出排出量的修正量。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述涂布為通過在液 體材料離開噴嘴后接觸工件的排出方式而進(jìn)行。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布方法，其特征在于所述涂布為在基板與其上所載置的 工件的間隙中利用毛細(xì)管現(xiàn)象填充規(guī)定涂布量的液體材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的涂布方法，所述排出量修正步驟在增加暫停脈沖信號(hào)時(shí)，便 減少對(duì)于暫停脈沖信號(hào)數(shù)的排出脈沖信號(hào)數(shù)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述修正周期為根 據(jù)使用者作為修正周期所輸入的時(shí)間信息、工件片數(shù)、或基板片數(shù)而被設(shè)定。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其特征在于所述排出量修正步 驟為不改變上述涂布圖案的涂布長(zhǎng)度、以及噴嘴與工件的相對(duì)移動(dòng)速度而進(jìn)行排出量的修 正。
13.—種涂布裝置，具備供應(yīng)液體材料的液體材料供應(yīng)部、具有排出從液體材料供應(yīng) 部所供應(yīng)的液體材料的排出口的排出部、計(jì)量從排出口所排出的液體材料量的計(jì)量部、使 排出口與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)部、以及對(duì)這些動(dòng)作進(jìn)行控制的控制部，其特征在于控制部為具有實(shí)施權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的涂布方法的程序。
14. 一種程序，為使涂布裝置的控制部實(shí)施權(quán)利要求1至12中任一項(xiàng)所述的涂布方法 的程序，該涂布裝置具備供應(yīng)液體材料的液體材料供應(yīng)部、具有排出液體材料的排出口的 排出部、計(jì)量從排出口所排出的液體材料量的計(jì)量部、使排出口與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的驅(qū) 動(dòng)部、以及對(duì)這些動(dòng)作進(jìn)行控制的控制部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不需要復(fù)雜的參數(shù)計(jì)算且對(duì)排出部的移動(dòng)速度不會(huì)造成影響的液體材料的涂布方法、其裝置及其程序。該涂布方法為一邊使噴嘴與工件進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)，一邊將液體材料從噴嘴排出，而對(duì)工件涂布規(guī)定涂布量的液體材料的涂布方法。其特征在于，包括初期參數(shù)設(shè)定步驟，將傳送排出脈沖信號(hào)和暫停脈沖信號(hào)的次數(shù)規(guī)定為總脈沖數(shù)，且規(guī)定總脈沖數(shù)中為了達(dá)成涂布量所必要的排出脈沖信號(hào)數(shù)，而將其余規(guī)定為暫停脈沖信號(hào)；修正量計(jì)算步驟，以預(yù)設(shè)的修正周期，計(jì)測(cè)在修正周期時(shí)從噴嘴的排出量，并計(jì)算出排出量的修正量；以及排出量修正步驟，根據(jù)在修正量計(jì)算步驟所計(jì)算出的修正量，調(diào)整排出脈沖信號(hào)數(shù)和暫停脈沖信號(hào)數(shù)。
文檔編號(hào)B05D3/00GK102066008SQ20098010524
公開日2011年5月18日 申請(qǐng)日期2009年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月18日
發(fā)明者生島和正 申請(qǐng)人:武藏工業(yè)株式會(huì)社