專利名稱：液體材料的涂布裝置、涂布方法以及程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及螺桿(screw)旋轉(zhuǎn)數(shù)為可變且液體材料吐出量為不固定的施行連續(xù) 涂布的方法以及裝置，更具體而言，涉及例如當(dāng)根據(jù)由角落部與直線部構(gòu)成的涂布圖案， 將液體材料對面板狀構(gòu)件施行涂布時，可配合移動速度的變更而進(jìn)行涂布量調(diào)整的涂布裝 置、涂布方法以及程序。
背景技術(shù)：
在制造諸如液晶、等離子顯示面板(PDP)所代表的平面顯示器的裝置中，為能將 粘性材料對面板形成既定圖案，大多使用配料器(dispenser)。作為配料器中最常被使用的 方式，是將從壓縮空氣源所供應(yīng)的空氣朝儲存容器內(nèi)的液體材料施加，并從儲存容器所連 通的噴嘴進(jìn)行吐出的氣動式配料器。使用氣動式配料器的涂布裝置，例如在專利文獻(xiàn)1中揭示了在基板上描繪四角形 狀圖案的涂布方法中，如果在角落部的開始點(diǎn)使噴嘴與基板的相對速度減速，同時也將糊 劑(paste)的吐出壓減壓，而在通過角落部后并且到達(dá)角落部的結(jié)束點(diǎn)之前，使噴嘴與基 板的相對速度加速，同時也將糊劑的吐出壓增壓，便可抑制在角落部的振動發(fā)生，而可進(jìn)行 適當(dāng)量的涂布。此外，上述控制根據(jù)在微電腦的RAM中所儲存的圖案數(shù)據(jù)實施，角落開始以 及結(jié)束位置的判定利用直線刻度而測量并實施。另一方面，在將高粘性液體材料或含有填充劑的液體材料吐出的情況下，如果使 用氣動式配料器進(jìn)行吐出，多數(shù)情況較難獲得所需的結(jié)果。所以，作為此種將液體材料吐出 的方式，使用使在棒狀體表面朝軸方向具備有螺旋狀凸緣(flange)的螺桿進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，并通 過該螺桿的旋轉(zhuǎn)由凸緣部將液體材料朝吐出口搬送，而將液體材料吐出的螺桿式配料器。使用螺桿式配料器的涂布裝置具有例如專利文獻(xiàn)2中所揭示的涂布裝置。在專利 文獻(xiàn)2中，揭示了在使用螺絲溝(thread groove)式配料器，通過朝基板上吐出糊劑而形成 圖案的方法中，在吐出開始時，在螺旋軸的旋轉(zhuǎn)數(shù)增加后，便維持一定旋轉(zhuǎn)而施行吐出，待 吐出結(jié)束時，便急遽減少螺紋軸的旋轉(zhuǎn)數(shù)并停止，從而可防止在涂布線的始終點(diǎn)處發(fā)生缺 損、變細(xì)、滴垂等情況，并且，與配料器的移動速度同步進(jìn)行的涂布量控制，根據(jù)控制裝置中 預(yù)先程序化的涂布位置與速度信息而實施。專利文獻(xiàn)1 日本專利特開2005-218971號公報專利文獻(xiàn)2 日本專利第3769261號公報

發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明要解決的問題)在現(xiàn)有技術(shù)中，通過變更吐出壓力而施行吐出量變更，但是因為從發(fā)出壓力變更 信號之后起至實際將壓力傳遞至液體材料為止的時間、或者壓力傳遞后的液體材料響應(yīng)時 間等的延遲，難以在角落部與直線部處均勻地保持涂布量與形狀。并且，在現(xiàn)有技術(shù)中，將配料器的移動速度、位置信息、涂布量等相關(guān)聯(lián)的控制數(shù)據(jù)預(yù)先設(shè)定于控制裝置中，并根據(jù)其進(jìn)行涂布量變更的控制，但是為了施行該項控制，必需 預(yù)先準(zhǔn)備最佳的控制信息。但是，難以根據(jù)每個涂布圖案，預(yù)先準(zhǔn)備經(jīng)考慮過溫度、濕度等 環(huán)境條件變化、液體材料的經(jīng)時粘度變化等各種因素的多數(shù)控制數(shù)據(jù)。本發(fā)明的目的在于提供一種即使未預(yù)先準(zhǔn)備多數(shù)控制數(shù)據(jù)，仍可解決諸如液體材 料響應(yīng)時間延遲、經(jīng)時粘度變化等問題的液體材料的涂布裝置、涂布方法以及程序。(解決技術(shù)問題的技術(shù)方案)本發(fā)明的主旨是以下[1]至[7]的液體材料的涂布裝置。[1] 一種液體材料的涂布裝置，包括具有將液體材料吐出的螺桿式配料器的吐 出單元、載置工件的平臺、使吐出單元與工件進(jìn)行相對移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)、測量在工件上所涂 布的液體材料的吐出量的測量單元、以及控制這些動作的控制部；所述液體材料的涂布裝 置的特征在于，所述控制部具有使工件與吐出單元以不固定速度相對移動，當(dāng)連續(xù)涂布將 液體材料的吐出量設(shè)為不固定的描繪圖案時，計算出涂布開始前使吐出量變化時的響應(yīng)延 遲時間的響應(yīng)時間算出功能，即響應(yīng)時間調(diào)整功能，所述響應(yīng)時間調(diào)整功能包括在將移動 速度設(shè)為一定的涂布途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并存儲該時間的第1步 驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的第2步 驟；以及將第1步驟所存儲的時間與第2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時 的響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的第3步驟。[2]根據(jù)[1]所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部具有使工件與 吐出單元以不固定速度相對移動，當(dāng)連續(xù)涂布將液體材料的吐出量設(shè)為不固定的描繪圖案 時，調(diào)整在涂布開始前使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間的響應(yīng)時間調(diào)整功能，所述響應(yīng)時 間調(diào)整功能包括下述(A) (C)步驟(A)包括在使平臺與吐出單元以一定速度相對移動 來施行涂布的途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并將該時間存儲的A1步驟；通 過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的A2步驟；以及 將A1步驟所存儲的時間與A2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延 遲時間(Td)并加以存儲的A3步驟；(B)包括在使平臺與吐出單元以不固定速度相對移動 來施行涂布的途中，使所述相對移動的速度變化，并存儲該時間，同時根據(jù)所述響應(yīng)延遲時 間(Td)，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號并施行涂布的B1步驟；通過測量所涂布的液 體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的B2步驟；以及將B1步驟所存儲的 時間與B2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)偏移時間(Tdd)并加以 存儲的B3步驟；以及(C)包括調(diào)整液體材料吐出量變化的斜率，使響應(yīng)延遲時間(Td)與響 應(yīng)偏移時間(Tdd) —致的C步驟。[3]根據(jù)[1]或[2]所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部具有在 涂布開始前以所涂布的液體材料每單位長度的體積成為一定的方式進(jìn)行調(diào)整的吐出量調(diào) 整功能，所述吐出量調(diào)整功能包括測量在工件上所涂布的液體材料每單位長度的體積，并 作為測定涂布量且加以存儲的第1步驟；計算出將預(yù)設(shè)目標(biāo)值除以測定涂布量而獲得的增 減率，并加以存儲的第2步驟；以及將目前的吐出量乘以第2步驟所存儲的增減率，并根據(jù) 該乘積值計算出下一次的吐出量條件，且加以存儲的第3步驟。其中，吐出量條件是指對液 體材料施加的壓力、螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)等的設(shè)定值。[4]根據(jù)[3]所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部為，在所述第2步驟中，僅在所述測定涂布量超越所述目標(biāo)值的容許范圍的情況下，計算出所述增減率，并 執(zhí)行所述第3步驟。[5]根據(jù)[1]至[4]中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制 部對所述螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)、以及對液體材料所施加的壓縮氣體的壓力進(jìn)行控制。[6]根據(jù)[1]至[5]中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述測量 單元具有照相機(jī)和/或激光位移計。[7]根據(jù)[1]至[6]中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，還具有載 置調(diào)整用工件的調(diào)整用平臺。并且，本發(fā)明的主旨是如以下[8]至[14]的液體材料的涂布方法以及[15]的程序。[8] 一種液體材料的涂布方法，具有響應(yīng)時間算出步驟，所述響應(yīng)時間算出步驟 為使在平臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器的吐出單元，以一定 速度相對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，計算出涂布開始前使吐出 量變化時的響應(yīng)延遲時間；所述液體材料的涂布方法的特征在于，所述響應(yīng)時間算出步驟 包括在將移動速度設(shè)為一定的涂布途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并存儲該 時間的第1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該 時間的第2步驟；以及將第1步驟所存儲的時間與第2步驟所存儲的時間的差分值，作為使 吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的第3步驟。[9] 一種液體材料的涂布方法，具有響應(yīng)時間調(diào)整步驟，所述響應(yīng)時間調(diào)整步驟 為使在平臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器9的吐出單元，以不 固定速度相對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，調(diào)整在涂布開始前使 吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間；所述液體材料的涂布方法的特征在于，所述響應(yīng)時間調(diào)整 步驟包括下述(A) (C)步驟(A)包括在使平臺與吐出單元以一定速度相對移動來施 行涂布的途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并將該時間存儲的Al步驟；通過測 量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的A2步驟；以及將Al 步驟所存儲的時間與A2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時 間(Td)并加以存儲的A3步驟；(B)包括在使平臺與吐出單元以不固定速度相對移動來 施行涂布的途中，使所述相對移動的速度變化，并存儲該時間，同時根據(jù)所述響應(yīng)延遲時間 (Td)，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號并施行涂布的Bl步驟；通過測量所涂布的液體 材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的B2步驟；以及將Bl步驟所存儲的時 間與B2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)偏移時間(Tdd)并加以存 儲的B3步驟；以及(C)包括調(diào)整液體材料吐出量變化的斜率，使響應(yīng)延遲時間(Td)與響應(yīng) 偏移時間(Tdd) —致的C步驟。[10]根據(jù)[9]所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在使所述相對移動的速 度進(jìn)行多次變化的情況下，所述A2步驟以及所述B2步驟為，在所述相對移動的速度有變化 的各個位置附近的多個地方，施行所涂布的液體材料的測量，并從該各個測量值求取吐出 量變化的平均值，再根據(jù)該數(shù)值計算出所述吐出量的變化開始時間；以及所述C步驟為，根 據(jù)所述B2步驟所計算出的吐出量變化的平均值，計算出所述液體材料吐出量變化的斜率。[11]根據(jù)[9]或[10]所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在由直線部與角落部所構(gòu)成的涂布圖案中，角落部處的涂布速度低于直線部處的涂布速度。[12]根據(jù)[11]所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，角落部是由曲線構(gòu)成的 大致四角形狀的涂布圖案。[13] 一種液體材料的涂布方法，具有吐出量調(diào)整步驟，所述吐出量調(diào)整步驟為 使在平臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器的吐出單元，以不固定速 度相對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，在涂布開始前以所涂布的液 體材料每單位長度的體積成為一定的方式進(jìn)行調(diào)整；所述液體材料的涂布方法的特征在 于，所述吐出量調(diào)整步驟包括測量在工件上所涂布的液體材料每單位長度的體積，并作為 測定涂布量且加以存儲的第1步驟；計算出將預(yù)設(shè)目標(biāo)值除以測定涂布量而獲得的增減 率，并存儲的第2步驟；以及將目前的吐出量乘以第2步驟所存儲的增減率，并根據(jù)該乘積 值計算出下一次的吐出量條件，且加以存儲的第3步驟。吐出量條件的定義與上述[3]相 同。[14]根據(jù)[13]所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在所述第2步驟中，僅在 所述測定涂布量超越所述目標(biāo)值的容許范圍的情況下，所述第2步驟計算出所述增減率， 并執(zhí)行所述第3步驟。[15] 一種程序，使涂布裝置執(zhí)行[8]至[14]中任一項所述的液體材料的涂布方法。(發(fā)明的效果)本發(fā)明測量實際所涂布的液體材料，并根據(jù)該測量結(jié)果進(jìn)行相對移動速度與吐出 量等的調(diào)整，因此不需要根據(jù)每個涂布圖案，準(zhǔn)備經(jīng)考慮溫度、濕度等環(huán)境條件變化、液體 材料的經(jīng)時粘度變化等各種因素后的多數(shù)控制數(shù)據(jù)。并且，也可迅速應(yīng)對環(huán)境條件變化、經(jīng)時粘度變化等。


圖1為實施例的涂布裝置的概略立體圖。圖2為說明實施例的螺桿式配料器的重要部份剖視圖。圖3為說明響應(yīng)延遲時間計算的說明圖。圖4為說明角落部的移動速度變化的說明圖。圖5為說明XYZ動作與螺桿動作的調(diào)整時，對液體材料響應(yīng)進(jìn)行調(diào)整的說明圖。圖6為說明XYZ動作與螺桿動作的調(diào)整時，對變更吐出量的比例進(jìn)行調(diào)整的說明 圖。圖7為響應(yīng)延遲時間的計算順序流程圖。圖8為吐出量的調(diào)整順序流程圖。圖9為XYZ動作與螺桿動作的調(diào)整時，對液體材料響應(yīng)的調(diào)整順序流程圖。圖10為XYZ動作與螺桿動作的調(diào)整時，對變更吐出量的比例的調(diào)整順序流程圖。圖11為涂布模樣的概略立體示意圖。符號說明1 涂布裝置2 吐出單元
3測量單元
5驅(qū)動部
6涂布對象物
7平臺
8調(diào)整用平臺
9涂布圖案
10噴嘴
11角落部
12涂布開始點(diǎn)
13涂布方向
100本體部
101螺桿
102旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)(馬達(dá))
103螺桿插設(shè)孔
104液材供應(yīng)口
105噴嘴
106密封構(gòu)件
107螺桿前端部
108螺桿基部
200連通流路
201儲存容器(注射器)
202儲存容器安裝口
203第一流路
204第二流路
205轉(zhuǎn)接管
300液體材料
301液體材料流動
具體實施例方式針對用于實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進(jìn)行說明。以下，將從噴嘴中所流出的液體 材料的每單位時間的體積稱為“吐出量”，將在工件上所涂布的液體材料的每單位長度的體 積稱為“涂布量”。(1)響應(yīng)延遲時間的計算當(dāng)將具備螺桿式配料器的吐出單元的吐出量變更時，從發(fā)送吐出量變更信號起， 至液體材料量實際發(fā)生變更為止的響應(yīng)延遲時間的計算順序，參照圖3(b)進(jìn)行說明。另 外，螺桿式配料器的移動速度V以及旋轉(zhuǎn)數(shù)(0為一定時的吐出量，如圖3(a)所示。首先，在未變更移動速度V、僅變更螺桿式配料器的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)(0的情況下施行 涂布。接著，以所涂布液體材料的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《變更開始點(diǎn)A為中心，測量前后多個地方 的涂布量(截面積、寬度、高度等)。從該多個測量結(jié)果，求取液體材料吐出量實際開始變化的實際吐出量變更開始點(diǎn)B的位置。然后，根據(jù)變更開始點(diǎn)A以及實際吐出量變更開 始點(diǎn)B的距離、以及移動速度V，計算出從發(fā)送吐出量變更信號起、至液體材料量實際發(fā)生 變更為止的時間Td。這就是響應(yīng)延遲時間Td。在此，涂布圖案并非一定要含有角落部，也可 以為僅由直線部構(gòu)成的涂布圖案。另外，為了實現(xiàn)穩(wěn)定化，最好重復(fù)施行多次相同的涂布與測量并求取平均。(2)吐出量的調(diào)整關(guān)于吐出量的調(diào)整，參照由一個角落部、與將其夾設(shè)在中間的二個直線部所構(gòu)成 的圖4的涂布圖案進(jìn)行說明。當(dāng)根據(jù)具有角落部的涂布圖案執(zhí)行涂布時，在角落部將移動速度減速并施行涂 布。角落部處的速度變化如下。首先，噴嘴從圖4中的左側(cè)朝右側(cè)，一邊吐出液體材料一邊以速度V1進(jìn)行移動。當(dāng) 臨近角落部前面的C點(diǎn)時，噴嘴便開始減速，在到達(dá)緊鄰角落部前方的D點(diǎn)為止期間將減速 至速度V2。在將速度V2維持一定的狀態(tài)下，在角落部中轉(zhuǎn)彎，當(dāng)臨近緊鄰角落部后方的E點(diǎn) 時便開始加速，在到達(dá)F點(diǎn)為止的期間將加速至速度V1，并在此狀態(tài)下以一定速度朝圖4中 的上方移動。在此，當(dāng)在角落部變更速度時，如果未配合噴嘴移動速度變更也變更液體材料的 吐出量，則會發(fā)生涂布量、涂布形狀呈不均勻的問題。所以，本實施方式將通過螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù) 的變更而施行吐出量變更。通過螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的變更而進(jìn)行吐出量調(diào)整，相比于利用壓力進(jìn) 行調(diào)整的情況，前者的響應(yīng)性較佳，并且在移動速度變更前后，能夠?qū)⑼鲁隽颗c形狀保持均 勻為較佳方式。首先，為使在直線部與角落部處的涂布量成為所需量，便暫時調(diào)整吐出量。開始時，在角落部處執(zhí)行經(jīng)變更過移動速度與螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的涂布。然后，分別在多 個地方測定在鄰接角落部的直線部(CD間以及EF間)所涂布的液體材料涂布量(截面積、 寬度、高度)。從CD間以及EF間的各個多個地方的測定值，分別求取涂布量測定值的平均值。當(dāng)涂布量的測定值超越相對目標(biāo)值的容許范圍(臨限值)時，便施行吐出量調(diào)整。 吐出量的調(diào)整通過將正要測定前的吐出量條件乘上增減率，并設(shè)定為新的吐出量條件而實 施。此處，所謂“增減率”是指將涂布量目標(biāo)值除以涂布量測定值(平均值)所獲得的值。 吐出量條件利用對儲存容器內(nèi)的液體材料所施加壓縮氣體的壓力、與利用馬達(dá)所施行的螺 桿旋轉(zhuǎn)數(shù)調(diào)整而進(jìn)行設(shè)定。直到測定值收斂于容許范圍內(nèi)為止前，均重復(fù)上述順序。(3) XYZ動作與螺桿式配料器動作的調(diào)整針對配合角落部處的速度變更的吐出量調(diào)整方法進(jìn)行說明。因為減速與加速的思 考方式基本上相同，因而以下僅就減速的情況進(jìn)行說明。當(dāng)將噴嘴的移動速度減速時，如果將吐出量設(shè)為一定，則減速時的涂布量便會增 加，因而以配合減速而減少吐出量的方式進(jìn)行調(diào)整。 首先，為了能配合移動速度的減速而減少吐出量，從而使速度變更前后的涂布量 呈均勻，便對(1)所求得的響應(yīng)延遲時間Td加以考慮，而進(jìn)行螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)減少的開始位置 調(diào)整。優(yōu)選為，不僅對響應(yīng)延遲時間Td加以考慮而進(jìn)行調(diào)整，例如針對因環(huán)境條件的變化、或液體材料性質(zhì)的變化(粘度等經(jīng)時的變化)所衍生的吐出量條件變化進(jìn)行調(diào)整。上述調(diào)整有①對應(yīng)液體材料響應(yīng)的調(diào)整、②吐出量變更比例的調(diào)整。針對①以及 ②的調(diào)整方法參照圖5以及圖6進(jìn)行說明。另外，在圖5以及圖6中，涂布設(shè)定為從左朝右 進(jìn)行。①對應(yīng)液體材料響應(yīng)的調(diào)整圖5(a)所示是移動速度V變化與螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《變化的關(guān)系。螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《的 變化以先改變由(1)所求得的響應(yīng)延遲時間Td部分的方式進(jìn)行調(diào)整。以下，針對利用螺桿 旋轉(zhuǎn)數(shù)變化所執(zhí)行的吐出量變化比例設(shè)為一定的情況進(jìn)行說明。在利用螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《的減少所進(jìn)行的吐出量開始減少位置，相對于利用移動 速度V的減速所進(jìn)行的涂布量“的增加為適當(dāng)位置的情況下，如圖5(b)所示，正確地整 合于Lv，涂布結(jié)果的線寬W呈一定。在該情況下，因為涂布量呈一定，因而當(dāng)然不需要進(jìn)行 吐出量的調(diào)整。在相對于利用移動速度V減速所進(jìn)行的涂布量Lv開始增加，而利用螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《 減少所進(jìn)行的吐出量的開始減少位置較早的情況下，如圖5(c)所示，因為相對于LV，LU 較先開始減少，因而涂布結(jié)果的線寬W便開始縮小。然后，當(dāng)以開始增加時，隨著與以 的關(guān)系，線寬W將增加或呈一定。然后，相對于Lv，先結(jié)束變化，因而線寬W截至Lv結(jié)束 變化為止均將增加。當(dāng)Lv結(jié)束變化時，線寬W便成為與變化前的狀態(tài)相同。為了求取圖5(c)所示偏移原因，即相對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《開始減少的吐出量開 始減少位置，首先，以移動速度V開始減速位置為中心，在前后的多個地方測量涂布量，例 如線寬W。所測得線寬W中，當(dāng)存在線寬W開始減少地方時，便判定較早開始減少，將該 位置作為！^開始減少的位置。然后，求取從螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《開始減少起至吐出量開始減 少的時間，將該時間作為響應(yīng)偏移時間Tdd。為了使該響應(yīng)偏移時間Tdd與(1)所求得的響 應(yīng)延遲時間Td—致，便通過使螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)(0開始減少位置變晚而進(jìn)行調(diào)整。在相對于利用移動速度V減速所進(jìn)行的涂布量Lv開始增加，而利用螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《 減少所進(jìn)行的吐出量開始減少位置為較晚的情況下，如圖5(d)所示，相對于LU，LV先開 始增加，因而涂布結(jié)果的線寬W將開始增加。然后，當(dāng)開始減少時，隨著與Lv的關(guān)系， 線寬W將減少或呈一定。然后，相對于，因為Lv先結(jié)束變化，因而線寬W截至結(jié)束變 化為止均將縮小。當(dāng)！^結(jié)束變化時，線寬W便成為與變化前的狀態(tài)相同。為求取圖5(d)所示偏移原因，即相對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《開始減少的吐出量開始 減少位置，首先，以移動速度V開始減速位置為中心，在前后多個地方測量線寬W。當(dāng)所測得 線寬W中，存在線寬W從增加轉(zhuǎn)變?yōu)闇p少(或一定)的地方時，便判定為較晚開始減少， 將該位置作為開始減少的位置。然后，求取從螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《開始減少起至吐出量開 始減少的時間，并將該時間作為響應(yīng)偏移時間Tdd。為了使該響應(yīng)偏移時間Tdd與(1)所求 得的響應(yīng)延遲時間Td—致，便通過使螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)(0開始減少位置提早而進(jìn)行調(diào)整。②對吐出量變更比例的調(diào)整圖6 (a)所示是移動速度V變化與螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《變化的關(guān)系。螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《的 變化以先改變由(1)所求得的響應(yīng)延遲時間Td的部分的方式進(jìn)行調(diào)整。以下，針對利用螺 桿旋轉(zhuǎn)數(shù)變化所執(zhí)行的吐出量變化的開始位置設(shè)為一定的情況進(jìn)行說明。在相對于移動速度V的減速區(qū)間Sv內(nèi)的涂布量以增加比例，而減速區(qū)間Sv內(nèi)的吐出量減少比例(以斜率表示)適當(dāng)?shù)那闆r下，如圖6(b)所示，將正確地整合于Lv， 涂布結(jié)果的線寬W呈一定。在該情況下，因為涂布量呈一定，因而當(dāng)然不需要進(jìn)行調(diào)整。在相對于減速區(qū)間Sv內(nèi)的涂布量Lv增加，而減速區(qū)間Sv內(nèi)的吐出量減少比例 較大的情況下，如圖6(c)所示，因為的減少比例較大，因而涂布結(jié)果的線寬W便開始縮 小。然后，因為將先結(jié)束變化，因而線寬W截至Lv結(jié)束變化為止均將增加。當(dāng)以結(jié)束變 化時，線寬W便成為與變化前的狀態(tài)相同。為了求取圖6(c)所示偏移原因，即相對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《減少比例的吐出量！^減 少比例，首先在減速區(qū)間sv內(nèi)的多個地方測量線寬W。當(dāng)所測得的線寬W中存在線寬W減 少的區(qū)間時，便判定減少的比例較大，從該區(qū)間的線寬W減少比例與移動速度V減速比 例，求取吐出量！^的減少比例，為了與移動速度V的減速比例一致，便通過縮小螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù) 的減少比例而進(jìn)行調(diào)整。在相對于減速區(qū)間Sv內(nèi)的涂布量Lv增加，而減速區(qū)間Sv內(nèi)的吐出量減少比例 較小的情況下，如圖6(d)所示，因為的減少比例較小，因而涂布結(jié)果的線寬W將開始增 加。然后，因為“先結(jié)束變化，因而線寬W截至結(jié)束變化為止均將縮小。當(dāng)！^結(jié)束變 化時，線寬W便成為與變化前的狀態(tài)相同。為了求取圖6(d)所示偏移原因，即對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《減少比例的吐出量減少 比例，首先在減速區(qū)間sv內(nèi)的多個地方測量線寬W。當(dāng)所測得的線寬W中存在線寬W增加 的區(qū)間時，便判定減少的比例較小，從該區(qū)間的線寬W減少比例與移動速度V減速比例， 求取吐出量的減少比例，為了與移動速度V的減速比例一致，便通過增加螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)《 的減少比例而進(jìn)行調(diào)整。上述①以及②的偏移，并非屬于個別發(fā)生，在實際的涂布中有同時發(fā)生的情況，因 而最好在利用①進(jìn)行調(diào)整后，接著便利用②進(jìn)行調(diào)整，從而提升調(diào)整精度。此外，最好重復(fù) 施行多次上述①以及②的一連串手法，便可更加提升精度。以下，針對本發(fā)明的詳細(xì)內(nèi)容利用實施例進(jìn)行說明，但是本發(fā)明并不受任何實施 例的限制。實施例以下，針對本發(fā)明的詳細(xì)內(nèi)容利用實施例進(jìn)行說明，但是本發(fā)明并不受任何實施 例的限制。圖1所示是用于實施本實施例的方法的涂布裝置概略立體圖。涂布裝置1具備有將液體材料吐出的吐出單元2、對在工件6上所涂布的液體材 料的涂布量進(jìn)行測量的測量單元3、載置著涂布有液體材料的工件6的平臺7、以及配設(shè)有 吐出單元2以及測量單元3并且在平臺7上朝XYZ方向進(jìn)行相對移動的XYZ驅(qū)動機(jī)構(gòu)。并且，在載置工件6的平臺7之外，另行設(shè)置載置著執(zhí)行調(diào)整用涂布的調(diào)整用工件 的調(diào)整用平臺8。將液體材料吐出的吐出單元2，是利用馬達(dá)使螺桿旋轉(zhuǎn)，將由儲存容器所壓送的液 體材料從噴嘴中吐出的螺桿式配料器。該螺桿式配料器連接于未圖示的作為吐出控制裝置 的配料機(jī)控制器，利用該配料機(jī)控制器對馬達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)、以及對儲存容器內(nèi)的液體材料所施 加的壓縮氣體的壓力進(jìn)行控制。測量單元3是由從拍攝所涂布的液體材料的影像中求取涂布線寬的照相機(jī)、以及利用激光測量工件面與液體材料表面間的距離差并求取所涂布的液體材料的高度或截面 積的激光位移計中的任一者或二者構(gòu)成。吐出單元2與測量單元3可分開個別設(shè)置，也可 在吐出單元附近設(shè)置測量單元并形成一體設(shè)置。此外，吐出單元2以及測量單元3最好利 用Z驅(qū)動機(jī)構(gòu)而能夠在工件面上朝垂直方向進(jìn)行移動。上述構(gòu)成要件連接于具備有主存儲 部以及運(yùn)算部的未圖示的控制部，并且動作將受其控制。圖2所示是說明本實施例的螺桿式配料器的重要部分剖視圖。本實施例的螺桿式配料器具備有本體部100、在棒狀體表面上朝軸方向具備螺 旋狀凸緣的螺桿101、使螺桿101旋轉(zhuǎn)的作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機(jī)構(gòu)的馬達(dá)102、安裝于螺桿前端部 107側(cè)并且與螺桿插設(shè)孔103相連通的噴嘴105、以及螺桿101所插通的密封構(gòu)件106。在本體部100中，螺桿101所插設(shè)的螺桿插設(shè)孔103、以及配設(shè)于螺桿插設(shè)孔103 側(cè)面并且供應(yīng)液體材料300的液材供應(yīng)口 104形成連通流路200。連通流路200為將液體材料300流入液材供應(yīng)口 104的流路，包括安裝著作為儲 存容器的注射器201的儲存容器安裝口 202、連通于儲存容器安裝口 202并且以流動方向 朝螺桿插設(shè)孔103中心軸的方式呈傾斜的第一流路203、以及將第一流路203與本體部100 的液材供應(yīng)口 104相連通并且流動方向相對于螺桿插設(shè)孔103的中心軸呈直角的第二流路 204。在本實施例中，由于連通流路200與本體部100 —體形成，因而可將密封構(gòu)件的數(shù)量 抑制在最小極限。注射器201連接于儲存容器安裝口 202，通過從在其上方所安裝的轉(zhuǎn)接管205供應(yīng) 壓縮氣體，經(jīng)由連通流路200將液體材料300壓送給本體部液材供應(yīng)口 104。在本實施例 中，通過將第一流路203呈傾斜設(shè)置，便可降低壓送時的阻力。并且，通過使與第一流路203 —起安裝于儲存容器安裝口 202上的注射器201也 傾斜，便可提高注射器201的形狀自由度。例如，即使注射器201的尺寸朝寬度方向變大， 仍然難以干涉到本體部100，不需要為了回避而延長連通流路200。即，由于是將伴隨注射 器尺寸大型化而引起的連通流路200的延長抑制在最小極限的構(gòu)造，所以能夠抑制伴隨注 射器尺寸大型化所引起的壓送壓力的增加。在吐出步驟中，通過經(jīng)由轉(zhuǎn)接管205對注射器201內(nèi)供應(yīng)壓縮氣體，在注射器201 內(nèi)所儲存的液體材料300便從儲存容器安裝口 202供應(yīng)給連通流路200，并從液材供應(yīng)口 104流入于螺桿插設(shè)孔103中。流入于螺桿插設(shè)孔103中的液體材料300，因為是由壓縮空氣進(jìn)行推壓，因而會預(yù) 想到可能有部分朝向上方。但是，因為設(shè)有與密封構(gòu)件106相鄰接的防液空間，因而液體材 料300并不會直接到達(dá)密封構(gòu)件106，并且從液材供應(yīng)口 104利用位于上方的凸緣朝下方搬 運(yùn)，所以在密封構(gòu)件106附近也不會殘留液體材料300。這樣，因為液體材料并沒有到達(dá)密 封構(gòu)件106，因而將降低密封構(gòu)件106與螺桿101的接觸面壓力，可將磨損問題降低至最小 極限。從液材供應(yīng)口 104流入于螺桿插設(shè)孔103中的液體材料300，利用由馬達(dá)102進(jìn) 行旋轉(zhuǎn)的螺桿101的旋轉(zhuǎn)，在螺桿插設(shè)孔103內(nèi)朝螺桿前端部107側(cè)搬運(yùn)，再從螺桿插設(shè)孔 103下端所安裝的噴嘴105吐出。以上說明的從注射器201起至噴嘴105為止的液體材料300的流動，如圖2中箭 頭301所示。
在吐出結(jié)束時，通過停止馬達(dá)102的旋轉(zhuǎn)而停止螺桿101的旋轉(zhuǎn)，并且停止對注射 器201所供應(yīng)的壓縮氣體供應(yīng)，便可結(jié)束吐出?！锻鲁隽康恼{(diào)整順序》針對當(dāng)根據(jù)由角落部與直線部構(gòu)成的涂布圖案，將液體材料施行涂布時，配合噴 嘴與工件的相對移動速度變更而進(jìn)行的吐出量調(diào)整順序，參照圖7至圖10進(jìn)行說明。第一，施行圖7所示的響應(yīng)延遲時間Td的計算。首先，對工件或調(diào)整用工件在保持 一定移動速度的狀態(tài)下，僅變更螺桿式配料器的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)而施行涂布(步驟101)。接著， 以螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的變更開始點(diǎn)為中心，在前后多個地方測量液體材料的涂布量(步驟102)。 接著，從步驟102的測量結(jié)果求取吐出量開始變化的點(diǎn)(步驟103)，再從螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始變 更的點(diǎn)以及步驟103所求得的點(diǎn)、與移動速度，計算出響應(yīng)延遲時間Td(步驟104)，然后結(jié) 束o第二，施行如圖8所示吐出量的調(diào)整。首先，對工件或調(diào)整用工件，根據(jù)由角落部 與直線部構(gòu)成的涂布圖案，在角落部處施行變更移動速度以及螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的涂布(步驟 201)。接著，在各角落部處，針對與角落部相鄰接的直線部分別在多地方測量所涂布的液體 材料的涂布量(步驟202)。接著，從步驟202的測量結(jié)果分別求取角落部以及直線部的平 均值(步驟203)。將所求得的平均值、與對預(yù)設(shè)目標(biāo)值的容許范圍進(jìn)行比較(步驟204)， 如果在容許范圍內(nèi)便結(jié)束。在超過容許范圍的情況下，依照各個平均值(測定值)與目標(biāo) 值的比計算出增減率(步驟205)。將原本的吐出量條件乘上在步驟205計算出的增減率而 獲得的乘積值，設(shè)定為新的吐出量條件(步驟206)。然后，再度實施步驟201至步驟203， 如果由步驟204施行判定的結(jié)果屬于容許范圍內(nèi)便結(jié)束。截至達(dá)到容許范圍內(nèi)之前均重復(fù) 實施上述順序。另外，上述步驟204也可以在步驟203前實施。例如，當(dāng)將直線部的截面積目標(biāo)值設(shè)為6000km2]、將容許范圍設(shè)定為目標(biāo)值 的士5%時，如果測定值為6600km2]，由于超越容許范圍的上限值(目標(biāo)值+5% = 6300km2])，因而將施行調(diào)整。首先，求取目標(biāo)值與測定值的比，成為(目標(biāo)值)/(測定 值)=約0.9。將此數(shù)值設(shè)為增減率。當(dāng)作為涂布執(zhí)行時的吐出量條件的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)為 3000[rpm]時，將該旋轉(zhuǎn)數(shù)與上述增減率的乘積值(3000X0.9 = 2700[rpm])，設(shè)定為作為 新的吐出量條件的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)。在角落部也以同樣的順序施行吐出量調(diào)整。第三，施行圖9以及圖10所示的XYZ動作與螺桿動作的調(diào)整。在此，僅針對將移 動速度減速的情況進(jìn)行說明。首先，施行圖9所示的對液體材料響應(yīng)的調(diào)整。首先，對工件或調(diào)整用工件根據(jù)由 角落部與直線部構(gòu)成的涂布圖案，施行在角落部變更移動速度與螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的涂布(步驟 301)。接著，以移動速度變更開始點(diǎn)為中心，在前后多個地方測量所涂布的液體材料的涂布 量(步驟302)。接著，將步驟302的測量結(jié)果、與預(yù)設(shè)容許范圍進(jìn)行比較(步驟304)，如果 在容許范圍內(nèi)便不進(jìn)行調(diào)整(步驟312)，而轉(zhuǎn)移至后述對吐出量變更比例的調(diào)整順序(步 驟401)。當(dāng)超越容許范圍時，便從步驟302所測量的多個點(diǎn)的結(jié)果，判定是否存在涂布量 減少的地方(步驟304)。當(dāng)沒有存在時，便轉(zhuǎn)移至步驟308。當(dāng)存在時，便判定相對于螺桿 旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減少，吐出量開始減少較早(步驟305)。然后，計算出從螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減少 起至吐出量開始減少為止的時間(偏移時間Tdd)(步驟306)，并以使該偏移時間Tdd與步驟 104所求得的延遲時間Td —致的方式，施行使螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減少位置變晚的調(diào)整(步驟307)。經(jīng)調(diào)整后便再度施行從步驟301開始的順序。當(dāng)在步驟304中判定沒有存在涂布量 減少的地方時，便從步驟302所測量的多個點(diǎn)的結(jié)果，判定是否存在涂布量從增加變化為 減少的地方(步驟308)。當(dāng)沒有存在時，便轉(zhuǎn)移至后述步驟401。當(dāng)存在時，便判定相對于 螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減少，吐出量開始減少較晚(步驟309)。然后，計算出從螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減 少起至吐出量開始減少為止的時間(偏移時間Tdd)(步驟310)，以使該偏移時間Tdd與步驟 104所求得的延遲時間Td —致的方式，施行使螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)開始減少位置提早的調(diào)整(步驟 311)。經(jīng)調(diào)整后便再度施行從步驟301開始的順序。截至成為容許范圍內(nèi)之前均重復(fù)施行 上述順序。另外，當(dāng)單獨(dú)實施對響應(yīng)的調(diào)整時，不轉(zhuǎn)移至步驟401并在此結(jié)束。其次，施行圖10所示的對吐出量變更比例的調(diào)整。首先，在工件或調(diào)整用工件上， 根據(jù)由角落部與直線部構(gòu)成的涂布圖案，施行在角落部處變更移動速度與螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的涂 布(步驟401)。接著，在移動速度變更區(qū)間內(nèi)的多個地方施行所涂布的液體材料涂布量的 測量(步驟402)。接著，將步驟402的測量結(jié)果、與預(yù)設(shè)容許范圍進(jìn)行比較(步驟404)，如 果在容許范圍內(nèi)便不施行調(diào)整(步驟412)，而結(jié)束順序。當(dāng)超越容許范圍時，便從步驟402 所測量的多個點(diǎn)處的結(jié)果，判定是否存在涂布量減少的區(qū)間(步驟404)。當(dāng)沒有存在涂布 量減少區(qū)間時，便轉(zhuǎn)移至步驟408，當(dāng)存在時，便判定相對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)減少比例(吐出量 減少比例)，涂布量減少比例較大(步驟405)。然后，從此區(qū)間的涂布量減少比例、與移動 速度的減速比例，求取從螺桿吐出單元的吐出量減少比例(步驟406)，并以與移動速度減 速比例一致的方式，減小螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的減少比例并施行調(diào)整(步驟407)。經(jīng)調(diào)整后再度施 行從步驟401開始的順序。當(dāng)步驟404判定沒有存在涂布量減少區(qū)間時，便從步驟402所測量的多個點(diǎn)處的 結(jié)果，判定是否存在涂布量增加的區(qū)間(步驟408)。當(dāng)沒有存在涂布量增加區(qū)間時，便結(jié)束 順序，而當(dāng)存在時，便判定相對于螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)減少比例(吐出量減少比例)，涂布量減少比 例較小(步驟409)。然后，從此區(qū)間的涂布量減少比例與移動速度減速比例，求取從螺桿吐 出單元的吐出量減少比例(步驟410)，并以與移動速度減速比例一致的方式，施行增加螺 桿旋轉(zhuǎn)數(shù)減少比例的調(diào)整(步驟411)。經(jīng)調(diào)整后再度施行從步驟401開始的順序。截至成 為容許范圍內(nèi)為止之前均重復(fù)施行上述順序。另外，當(dāng)從步驟308或步驟312朝步驟401持續(xù)進(jìn)行時，也可以不施行步驟401而 是進(jìn)行下一步驟。此外，圖9所示的調(diào)整順序、與圖10所示的調(diào)整順序也可以顛倒順序?qū)?施。即，可以先施行圖10所示的順序，然后再施行圖9所示的順序。施行在直線部與角落部處變更移動速度的涂布，并施行吐出量調(diào)整的結(jié)果的具 體例，如下所示。例如，有考慮涂布量的測量利用截面積實施的情況。當(dāng)將目標(biāo)的截面積 以6000km2]施行涂布的情況，當(dāng)將直線部以速度150[mm/s]移動時，截面積成為目標(biāo)值 6000[um2]的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)為3000[rpm]，當(dāng)在角落部中減速至速度50[mm/s]進(jìn)行移動時， 截面積成為目標(biāo)值6000 [ym2]的螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)為1000 [rpm]。圖11所示是根據(jù)呈四角形狀的涂布圖案而施行涂布的例。涂布從工件前面的大 致中央開始，朝逆時針方向進(jìn)行。然后，再度返回開始位置并結(jié)束涂布。即，涂布將開始點(diǎn) 與結(jié)束點(diǎn)相連接，形成封閉的涂布圖案。涂布圖案由四個直線部與四個角落部構(gòu)成，角落部 成為具有相同大小半徑的圓弧。在四個角落部處分別降低移動速度，而進(jìn)行配合減速也減 少螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)的涂布。因此，在四個角落部分別需要各自施行調(diào)整。在角落部處的調(diào)整分別可以個別實施，但也可以統(tǒng)籌實施四個角落部處的測量，經(jīng)求取測量結(jié)果的平均值之后， 再根據(jù)該平均值統(tǒng)籌施行四個角落部的調(diào)整。(產(chǎn)業(yè)上的可利用性)本發(fā)明涉及用于將含有粘性液體材料、填充劑的液體材料吐出的方法以及裝置， 例如在半導(dǎo)體機(jī)器、平面顯示器(Flat Panel Display，F(xiàn)PD)的制造中，用于將焊錫膏、銀 膏、樹脂粘接劑等吐出。
權(quán)利要求
一種液體材料的涂布裝置，包括具有將液體材料吐出的螺桿式配料器的吐出單元、載置工件的平臺、使吐出單元與工件進(jìn)行相對移動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)、測量在工件上所涂布的液體材料的吐出量的測量單元、以及控制這些動作的控制部；所述液體材料的涂布裝置的特征在于，所述控制部具有使工件與吐出單元以不固定速度相對移動，當(dāng)連續(xù)涂布將液體材料的吐出量設(shè)為不固定的描繪圖案時，計算出涂布開始前使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間的響應(yīng)時間算出功能，即響應(yīng)時間調(diào)整功能，所述響應(yīng)時間調(diào)整功能包括在將移動速度設(shè)為一定的涂布途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并存儲該時間的第1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的第2步驟；以及將第1步驟所存儲的時間與第2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的第3步驟。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部具有使工件與吐出單元以不固定速度相對移動，當(dāng)連續(xù)涂布將液體材料的 吐出量設(shè)為不固定的描繪圖案時，調(diào)整在涂布開始前使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間的響 應(yīng)時間調(diào)整功能，所述響應(yīng)時間調(diào)整功能包括下述(A) (C)步驟(A)包括在使平臺與吐出單元以一定速度相對移動來施行涂布的途中，對吐出單元 發(fā)送使吐出量變化的信號，并將該時間存儲的A1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算 出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的A2步驟；以及將A1步驟所存儲的時間與A2步 驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的A3步 驟；(B)包括在使平臺與吐出單元以不固定速度相對移動來施行涂布的途中，使所述相 對移動的速度變化，并存儲該時間，同時根據(jù)所述響應(yīng)延遲時間(Td)，對吐出單元發(fā)送使吐 出量變化的信號并施行涂布的B1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變 化開始時間，并存儲該時間的B2步驟；以及將B1步驟所存儲的時間與B2步驟所存儲的時 間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)偏移時間(Tdd)并加以存儲的B3步驟；以及(C)包括調(diào)整液體材料吐出量變化的斜率，使響應(yīng)延遲時間(Td)與響應(yīng)偏移時間(Tdd) 一致的C步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部具有在涂布開始前以所涂布的液體材料每單位長度的體積成為一定的方 式進(jìn)行調(diào)整的吐出量調(diào)整功能，所述吐出量調(diào)整功能包括測量在工件上所涂布的液體材料每單位長度的體積，并作為測定涂布量加以存儲的第 1步驟；計算出將預(yù)設(shè)目標(biāo)值除以測定涂布量而獲得的增減率，并加以存儲的第2步驟；以及將目前的吐出量乘以第2步驟所存儲的增減率，并根據(jù)該乘積值計算出下一次的吐出 量條件，且加以存儲的第3步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部為，在所述第 2步驟中，僅在所述測定涂布量超越所述目標(biāo)值的容許范圍的情況下，計算出所述增減率， 并執(zhí)行所述第3步驟。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述控制部對所述螺桿旋轉(zhuǎn)數(shù)、以及對液體材料所施加的壓縮氣體的壓力進(jìn)行控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，所述測量單 元具有照相機(jī)和/或激光位移計。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的液體材料的涂布裝置，其特征在于，還具有載置 調(diào)整用工件的調(diào)整用平臺。
8.一種液體材料的涂布方法，具有響應(yīng)時間算出步驟，所述響應(yīng)時間算出步驟為使 在平臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器的吐出單元，以一定速度相 對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，計算出涂布開始前使吐出量變化 時的響應(yīng)延遲時間；所述液體材料的涂布方法的特征在于，所述響應(yīng)時間算出步驟包括在將移動速度設(shè)為一定的涂布途中，對吐出單元發(fā)送使吐出量變化的信號，并存儲該 時間的第1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的第2步 驟；以及將第1步驟所存儲的時間與第2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的 響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的第3步驟。
9.一種液體材料的涂布方法，具有響應(yīng)時間調(diào)整步驟，所述響應(yīng)時間調(diào)整步驟為使 在平臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器的吐出單元，以不固定速度 相對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，調(diào)整在涂布開始前使吐出量變 化時的響應(yīng)延遲時間；所述液體材料的涂布方法的特征在于，所述響應(yīng)時間調(diào)整步驟包括下述(A) (C)步驟(A)包括在使平臺與吐出單元以一定速度相對移動來施行涂布的途中，對吐出單元 發(fā)送使吐出量變化的信號，并將該時間存儲的A1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算 出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的A2步驟；以及將A1步驟所存儲的時間與A2步 驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間(Td)并加以存儲的A3步 驟；(B)包括在使平臺與吐出單元以不固定速度相對移動來施行涂布的途中，使所述相 對移動的速度變化，并存儲該時間，同時根據(jù)所述響應(yīng)延遲時間(Td)，對吐出單元發(fā)送使吐 出量變化的信號并施行涂布的B1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變 化開始時間，并存儲該時間的B2步驟；以及將B1步驟所存儲的時間與B2步驟所存儲的時 間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)偏移時間(Tdd)并加以存儲的B3步驟；以及(C)包括調(diào)整液體材料吐出量變化的斜率，使響應(yīng)延遲時間(Td)與響應(yīng)偏移時間(Tdd) 一致的C步驟。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在使所述相對移動的速度進(jìn)行多次變化的情況下，所述A2步驟以及所述B2步驟為，在所述相對移動的速度有變化的各個位置附近的多 個地方，施行所涂布的液體材料的測量，并從該各個測量值求取吐出量變化的平均值，再根 據(jù)該數(shù)值計算出所述吐出量的變化開始時間；以及所述C步驟為，根據(jù)所述B2步驟所計算出的吐出量變化的平均值，計算出所述液體材料吐出量變化的斜率。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在由直線部與角落 部所構(gòu)成的涂布圖案中，角落部處的涂布速度低于直線部處的涂布速度。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，角落部是由曲線構(gòu)成 的大致四角形狀的涂布圖案。
13.一種液體材料的涂布方法，具有吐出量調(diào)整步驟，所述吐出量調(diào)整步驟為使在平 臺上所載置的工件與具備有相對向于工件的螺桿式配料器的吐出單元，以不固定速度相對 移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，在涂布開始前以所涂布的液體材料 每單位長度的體積成為一定的方式進(jìn)行調(diào)整；所述液體材料的涂布方法的特征在于，所述吐出量調(diào)整步驟包括測量在工件上所涂布的液體材料每單位長度的體積，并作為測定涂布量且加以存儲的 第1步驟；計算出將預(yù)設(shè)目標(biāo)值除以測定涂布量而獲得的增減率，并存儲的第2步驟；以及將目前的吐出量乘以第2步驟所存儲的增減率，并根據(jù)該乘積值計算出下一次的吐出 量條件，且加以存儲的第3步驟。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的液體材料的涂布方法，其特征在于，在所述第2步驟中， 僅在所述測定涂布量超越所述目標(biāo)值的容許范圍的情況下，所述第2步驟計算出所述增減 率，并執(zhí)行所述第3步驟。
15.一種程序，使涂布裝置執(zhí)行權(quán)利要求8至14中任一項所述的液體材料的涂布方法。
全文摘要
[問題]本發(fā)明提供一種即使未預(yù)先準(zhǔn)備多數(shù)控制數(shù)據(jù)也能夠解決諸如液體材料響應(yīng)時間延遲、經(jīng)時粘度變化等問題的液體材料的涂布裝置、涂布方法以及程序。[解決問題的手段]本發(fā)明的液體材料的涂布方法、涂布裝置以及程序為，涂布方法具有使工件與工件相對向的螺桿式配料器以一定速度相對移動，當(dāng)將液體材料吐出量設(shè)為不固定并連續(xù)涂布時，計算出涂布開始前使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間的響應(yīng)時間算出步驟，該響應(yīng)時間算出步驟包括在將移動速度設(shè)為一定的涂布途中，對配料器發(fā)送使吐出量變化的信號，并存儲該時間的第1步驟；通過測量所涂布的液體材料而計算出吐出量的變化開始時間，并存儲該時間的第2步驟；以及將第1步驟所存儲的時間與第2步驟所存儲的時間的差分值，作為使吐出量變化時的響應(yīng)延遲時間加以存儲的第3步驟。
文檔編號B05D1/26GK101878071SQ20088011840
公開日2010年11月3日 申請日期2008年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月1日
發(fā)明者生島和正 申請人:武藏工業(yè)株式會社