專利名稱：：熱固化性樹(shù)脂組合物、固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒?、固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)?..的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及熱固化性樹(shù)脂組合物、固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒?、固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)?、以及固態(tài)成像元件。
背景技術(shù)：
：固態(tài)成像元件有MOS(金屬氧化物半導(dǎo)體)型、CCD(電荷耦合器件)型等，它們分別有一維固態(tài)成像元件和二維固態(tài)成像元件。前者的例子例如有傳真機(jī)等，后者的例子例如有攝像機(jī)等。近年來(lái)隨著數(shù)字化的發(fā)展，用戶要求上述固態(tài)成像元件具有高品質(zhì)，還不斷要求其具有高畫質(zhì)。數(shù)碼相機(jī)像素?cái)?shù)的增加等就是其中一個(gè)例子。固態(tài)成像元件有黑白和彩色，其中彩色固態(tài)成像元件是在形成有固態(tài)成像元件的基板上形成三色的濾色器而制作的。固態(tài)成像元件可以直接使用，并進(jìn)一步在各固態(tài)成像元件所對(duì)應(yīng)的表面具備凸透鏡(顯微透鏡)以提高靈敏度(集光能力)(參照日本特開(kāi)平3-223702號(hào)公報(bào))。在固態(tài)成像元件上裝備濾色器和/或顯微透鏡時(shí)，采用用感光性材料的光刻技術(shù)形成精細(xì)圖案來(lái)進(jìn)行。顯微透鏡的形成如下進(jìn)行形成固態(tài)成像元件，根據(jù)需要進(jìn)一步在形成有濾色器的基板上涂布透明樹(shù)脂，使表面平坦，然后涂布含有感光性樹(shù)脂的顯微透鏡材料，將透鏡的圖案曝光、顯影，進(jìn)行沖洗處理，將殘留的透明樹(shù)脂塊進(jìn)行加熱，略微熔融，使其收縮，使各塊形成凸透鏡的形狀。在上述濾色器或顯微透鏡的形成步驟中，使感光性材料曝光、形成圖案時(shí)，由于來(lái)自底層基板的漫反射光，導(dǎo)致不希望曝光的部分也被感光，實(shí)際的圖案尺寸與目標(biāo)尺寸產(chǎn)生差異，即發(fā)生"成暈現(xiàn)象"。采用顯微透鏡時(shí)，如果發(fā)生上述現(xiàn)象，則透鏡的形狀不一致，產(chǎn)生閃爍，對(duì)畫質(zhì)產(chǎn)生不良影響。這隨著最近固態(tài)成像元件的單元尺寸的減小而成為重大問(wèn)題。為了解決該問(wèn)題，已知有在固態(tài)成像元件基板上形成吸收光刻中使用的放射線的防反射膜，抑制反射、防止光暈的方法。其例子有在以聚甲基丙烯酸縮水甘油酯為主要成分，固化劑使用偏苯三酸的CCD用保護(hù)膜中配合染料的方法(參照日本專利第2956210號(hào)說(shuō)明書)。但是，上述防反射膜存在如下缺點(diǎn)在為了使涂布的材料交聯(lián)固化而進(jìn)行的焙烤步驟中，染料的一部分從防反射膜中升華，防光暈效果顯著降低，如果是不揮發(fā)性的染料，則染料浮出到保護(hù)膜上，在防光暈?zāi)ど闲纬傻娘@微透鏡無(wú)法形成所需形狀等。還有人提出了含有不飽和羧酸和/或不飽和羧酸酐、含環(huán)氧基的自由基聚合性化合物與一和/或二烯烴系不飽和化合物的共聚物，以及放射線吸收性化合物的防光暈?zāi)?參照日本特開(kāi)平06-289201號(hào)公報(bào))。該防光暈?zāi)ぴO(shè)想了在膜形成后的溫度歷程為15(TC以下的工藝，對(duì)于超過(guò)15(TC的溫度下的耐熱性尚未進(jìn)行驗(yàn)證。但是，在彩色固態(tài)成像元件中，以往是采用使用染料基質(zhì)的濾色器用材料，因此濾色器有可能在150。C左右的較低溫度下固化。但是，隨著近年來(lái)高精度的要求，通常是采用顏料系的材料，因此，在其形成步驟中，必須采用180°C以上的固化溫度(參照日本特開(kāi)平11-211911號(hào)公報(bào)、日本特開(kāi)平11-258415號(hào)公報(bào)和日本特開(kāi)2000-111722號(hào)公報(bào))。因此，在彩色固態(tài)成像元件中，在濾色器之前形成的防光暈?zāi)?huì)暴露在比以往更高的溫度下。如果是以往已知的防光暈?zāi)げ牧希┞对谏鲜龈邷叵?，則防光暈?zāi)o(wú)法發(fā)揮功能。推測(cè)該現(xiàn)象可能是由于在超過(guò)15(TC的高溫區(qū)域下，配合在防光暈?zāi)げ牧现械姆派渚€吸收劑升4華而揮發(fā)，因此放射線吸收能力顯著降低。以往通常是采用雙液型防光暈?zāi)?，從操作性的角度考慮，優(yōu)選單液型。并且，即使是單液型，也存在在室溫下一周左右就會(huì)增稠、在裝置周邊發(fā)生固化、維護(hù)次數(shù)增加、成品率降低的問(wèn)題，人們需求在室溫下保存穩(wěn)定性良好的防光暈?zāi)ぁ?br/>發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明針對(duì)上述情況而設(shè)，其目的在于提供適合形成防光暈?zāi)さ臒峁袒詷?shù)脂組合物；使用該熱固化性樹(shù)脂組合物形成防光暈?zāi)さ姆椒?；通過(guò)該方法形成的防光暈?zāi)ぃ灰约熬哂性摲拦鈺災(zāi)さ墓虘B(tài)成像元件，所述防光暈?zāi)さ谋４娣€(wěn)定性優(yōu)異，同時(shí)在形成固態(tài)成像元件中的濾色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中，可以有效抑制來(lái)自底層基板的漫反射光，并且具有高耐熱性、即使是干蝕刻也不會(huì)發(fā)生膜粗糙。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的上述第一目的通過(guò)如下熱固化性樹(shù)脂組合物得以實(shí)現(xiàn)，該熱固化性樹(shù)脂組合物的特征在于含有[A]具有甲基縮水甘油基的聚合物、以及[B]紫外線吸收劑。這里，上述[A]成分優(yōu)選(al)具有甲基縮水甘油基的聚合性不飽和化合物與(a2)上述(al)以外的聚合性不飽和化合物的共聚物。本發(fā)明的上述第二目的通過(guò)如下固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒ǖ靡詫?shí)現(xiàn)，該方法至少包括以下步驟在基板上形成上述熱固化性樹(shù)脂組合物的涂膜的步驟，對(duì)該涂膜進(jìn)行加熱處理的步驟。本發(fā)明的上述第三目的通過(guò)由上述方法形成的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)?shí)現(xiàn)，第四目的通過(guò)具有上述防光暈?zāi)さ墓虘B(tài)成像元件實(shí)現(xiàn)。附圖簡(jiǎn)述圖1是表示顯微透鏡圖案的側(cè)面形狀((a)、(b)兩個(gè))的示意圖。5實(shí)施發(fā)明的最佳方式以下對(duì)本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物的各成分進(jìn)行詳述?！篈l聚合物本發(fā)明的[A]成分的聚合物是具有甲基縮水甘油基的均聚物或聚合物，優(yōu)選為(al)具有甲基縮水甘油基的聚合性不飽和化合物與(a2)與上述(al)不同的聚合性不飽和化合物的共聚物。所述[A]成分具有來(lái)自(al)具有甲基縮水甘油基的聚合性不飽和化合物的重復(fù)單元，因此，在本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物中，發(fā)揮滿足永久膜的必要性能——硬度和良好的保存穩(wěn)定性的功能。這里，(al)聚合性不飽和化合物具有甲基縮水甘油基和聚合性不飽和基團(tuán)。例如有丙烯酸甲基縮水甘油基酯(別名丙烯酸2-甲基-環(huán)氧乙基甲基酯)、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯(別名2-甲基-丙烯酸2-甲基-環(huán)氧乙基甲基酯)、2-甲基-2-(4-乙烯基-苯氧基甲基)-環(huán)氧乙烷、2-甲基-丙烯酸2-(2-甲基-2-甲基-環(huán)氧乙基甲氧萄-乙基酯等。其中，從共聚反應(yīng)性以及提高所得膜的耐熱性、表面硬度的角度考慮，優(yōu)選使用甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯(別名2-甲基-丙烯酸2-甲基-環(huán)氧乙基甲基酯)。(al)成分可以一種單獨(dú)使用或?qū)煞N以上結(jié)合使用。(a2)聚合性不飽和化合物是與上述(al)不同的聚合性不飽和化合物，例如有含有選自聚合性不飽和羧酸、聚合性不飽和多元羧酸酐、縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔碳烷氧基羰基結(jié)構(gòu)的至少一種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物，以及不具有羧酸基、羧酸酐基和上述結(jié)構(gòu)的任意一種的聚合性不飽和化合物。(a2)聚合性不飽和化合物優(yōu)選聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐。(a2)聚合性不飽和化合物可以一種單獨(dú)使用或兩種以上結(jié)合使用。本發(fā)明中優(yōu)選的[A]聚合物例如有(Al)(al)聚合性不飽和化合物(以下稱為"不飽和化合物(al)")、(a2)聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐(以下將其總稱為"不飽和化合物(a2-l)")和(a2)與不飽和化合物(al)和不飽和化合物(a2-l)均不同的聚合性不飽和化合物C以下稱為"不飽和化合物(a2-2)")的共聚物(以下稱為"共聚物(A1)");(A2)不飽和化合物(al)、(a2)含有選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)的至少一種結(jié)構(gòu)的聚合性不飽和化合物(以下稱為"不飽和化合物(a2-3)")和(a2)與不飽和化合物(al)和不飽和化合物(a2-3)均不同的聚合性不飽和化合物(以下稱為"不飽和化合物(a2-4)")的共聚物(以下稱為"共聚物(A2)");(A3)不飽和化合物(al)和(a2)與不飽和化合物(al)不同的聚合性不飽和化合物(以下稱為"不飽和化合物(a2-5)")的共聚物，分子中不具有羧基、羧酸酑基、縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)的任意一種(以下稱為"共聚物(A3)")。共聚物(A1)可以進(jìn)一步含有縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)或叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)，共聚物(A2)可以進(jìn)一步含有羧基或羧酸酑基。共聚物(A1)、共聚物(A2)和共聚物(A3)中，不飽和化合物(al)可例舉上述化合物。上述不飽和化合物(al)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。共聚物(A1)中，不飽和化合物(a2-l)例如有(甲基)丙烯酸、巴豆酸、a-乙基丙烯酸、a-正丙基丙烯酸、a-正丁基丙烯酸、馬來(lái)酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣康酸等不飽和羧酸；馬來(lái)酸酐、衣康酸酐、檸康酸酐、順式-l，2,3,4-四氫鄰苯二甲酸酐等不飽和多元羧酸酐等。這些不飽和化合物(a2-l)中，不飽和羧酸特別優(yōu)選丙烯酸、甲基丙烯酸，不飽和多元羧酸酐特別優(yōu)選馬來(lái)酸酐。這些優(yōu)選的不飽和化合物(a2-l)共聚反應(yīng)性高，另外，對(duì)于提高所得膜的耐熱性或表面硬度有效。上述不飽和化合物(a2-l)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。不飽和化合物(a2-2)例如有(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯等(甲基)丙烯酸羥基烷基酯；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸異丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸環(huán)戊酯、(甲基)丙烯酸環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、(甲基)丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸垸-8-基酯(以下，將三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基稱為"二環(huán)戊基")、(甲基)丙烯酸2-二環(huán)戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片(<y求口二》)酯等(甲基)丙烯酸脂環(huán)式酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸芐酯等(甲基)丙烯酸芳基酯；馬來(lái)酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等不飽和二羧酸二酯；N-苯基馬來(lái)酰亞胺、N-芐基馬來(lái)酰亞胺、N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺、N-琥珀酰亞胺基-3-馬來(lái)酰亞胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亞胺基-4-馬來(lái)酰亞胺丁酸酯、N-琥珀酰亞胺基-6-馬來(lái)酰亞胺己酸酉旨、^琥珀酰亞胺基-3-馬來(lái)酰亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)馬來(lái)酰亞胺等不飽和二羰基酰亞胺；(甲基)丙烯腈、a-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物；(甲基)丙烯酰胺、N,N-二甲基(甲基)丙烯酰胺等不飽和酰胺化合物；苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對(duì)甲氧基苯乙烯等芳族乙烯基化合物；茚、l-甲基茚等茚類；1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等共軛二烯化合物；以及氯乙烯、偏氯乙烯、乙酸乙烯酯等。這些不飽和化合物(a2-2)中，優(yōu)選甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、N-苯基馬來(lái)酰亞胺、N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺、苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯等。這些優(yōu)選的不飽和化合物(a2-2)共聚反應(yīng)性高，另外，除l,3-丁二烯之外，對(duì)于提高所得膜的耐熱性或表面硬度有效。上述不飽和化合物(a2-2)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。共聚物(Al)的優(yōu)選的具體例子有.-丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸/丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/丙烯酸環(huán)己酯/對(duì)甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/1，3-丁二烯共聚物等。這些共聚物(A1)中，進(jìn)一步優(yōu)選的是甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、9甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)癸烷-8-基酯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯/1,3-丁二烯共聚物。共聚物(A1)中，來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量相對(duì)于全部重復(fù)單元優(yōu)選10-70重量％，特別優(yōu)選20-60重量％。來(lái)自聚合性不飽和羧酸和聚合性不飽和多元羧酸酐的重復(fù)單元的總含量相對(duì)于全部重復(fù)單元優(yōu)選5-40重量％，特別優(yōu)選10-30重量％。來(lái)自其它聚合性不飽和化合物的重復(fù)單元的含量相對(duì)于全部重復(fù)單元優(yōu)選10-70重量％，特別優(yōu)選20-50重量％。來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量低于10重量％，則保護(hù)膜的耐熱性或表面硬度有降低傾向，而超過(guò)70重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性有降低傾向。另外，來(lái)自聚合性不飽和羧酸和聚合性不飽和多元羧酸酐的重復(fù)單元的總含量低于5重量％，則膜的耐熱性、表面硬度或耐化學(xué)試劑性有降低傾向，而超過(guò)40重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性有降低傾向。另外，來(lái)自其它聚合性不飽和化合物的重復(fù)單元的含量低于10重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性有降低傾向，而超過(guò)70重量％，則膜的耐熱性或表面硬度有降低傾向。共聚物(A2)中，不飽和化合物(a2-3)例如有具有選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)的至少一種結(jié)構(gòu)的降冰片烯類化合物(以下稱為"特定降冰片烯類化合物")；具有縮醛結(jié)構(gòu)和/或縮酮結(jié)構(gòu)的(甲基)丙烯酸酯化合物(以下稱為"特定(甲基)丙烯酸酯化合物")、或(甲基)丙烯酸叔丁酯等。特定降冰片烯類化合物的具體例子有2,3-二(1-甲氧基乙氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-叔丁氧基乙氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-節(jié)氧基乙氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(1-甲基-1-甲氧基乙氧基羰蜀-5-降冰片烯、102,3-二(1-甲基-1-異丁氧基乙氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二[(環(huán)己基)(乙氧基)甲氧基羰基]-5-降冰片烯、2,3-二[(芐基)(乙氧基)甲氧基羰基]-5-降冰片烯、2,3-二(四氫呋喃-2-基氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二(四氫吡喃-2-基氧基羰萄-5-降冰片烯、2,3-二(叔丁氧基羰萄-5-降冰片烯等。特定(甲基)丙烯酸酯化合物的具體例子有:(甲基)丙烯酸1-乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸1-正丙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸1-正丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸1-異丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸l-(環(huán)戊氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸l-(環(huán)己氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸l-(U-二甲基乙氧基)乙酉旨、(甲基)丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯等。這些不飽和化合物(a2-3)中，優(yōu)選特定(甲基)丙烯酸酯化合物，特別優(yōu)選甲基丙烯酸l-乙氧基乙酯、甲基丙烯酸l-異丁氧基乙酯、甲基丙烯酸l-(環(huán)戊氧基)乙酯、甲基丙烯酸l-(環(huán)己氧基)乙酯、甲基丙烯酸l-(l,l-二甲基乙氧基)乙酯、甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯、甲基丙烯酸叔丁酯等。這些優(yōu)選的不飽和化合物(a2-3)共聚反應(yīng)性高，可以產(chǎn)生保存穩(wěn)定性和膜的平坦性能優(yōu)異的單液型固化性樹(shù)脂組合物，同時(shí)對(duì)于提高所得膜的耐熱性或表面硬度有效。上述不飽和化合物(a2-3)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。不飽和化合物(a2-4)例如有與上述不飽和化合物(a2-l)和不飽和化合物(a2-2)中例舉的化合物同樣的化合物。這些不飽和化合物(a2-4)中，優(yōu)選甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、N-苯基馬來(lái)酰亞胺、N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺、苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯等。這些優(yōu)選的不飽和化合物(a2-4)共聚反應(yīng)性高，另夕卜，除1,3-丁二烯之外，對(duì)于提高所得膜的耐熱性或表面硬度有效。上述不飽和化合物(a2-4)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。共聚物(A2)的優(yōu)選的具體例子有甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸垸-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸l-(環(huán)己基氧基)乙酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸1-(環(huán)己基氧基)乙酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸l-(環(huán)己基氧基)乙酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸1-(環(huán)己基氧基)乙酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/2,3-二(四氫吡喃-2-基氧基羰萄-5-降冰片烯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/2,3-二(四氫吡喃-2-基氧基羰基)-5-降冰片烯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酉旨/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸烷-8-基酯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/丙烯酸環(huán)己酯/對(duì)甲氧基苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/丙烯酸環(huán)己酯/對(duì)甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸叔丁酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸叔丁酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸l-(環(huán)己氧基)乙酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸l-(環(huán)己氧基)乙酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2.1.02'6]癸垸-8-基酯/苯乙烯/1,3-丁二烯共聚物等。這些共聚物(A2)中，進(jìn)一步優(yōu)選的是甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸垸-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/丙烯酸1-(環(huán)己基氧基)乙酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸1-(環(huán)己基氧基)乙酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/2,3-二(四氫吡喃-2-基氧基羰基)-5-降冰片烯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸垸-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/2,3-二(四氫吡喃-2-基氧基羰基)-5-降冰片烯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸叔丁酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物。共聚物(A2)中，來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量相對(duì)于全部重復(fù)單元優(yōu)選10-70重量％，特別優(yōu)選20-60重量％。來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量低于10重量％，則膜的耐熱性或表面硬度有降低傾向，而超過(guò)70重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性有降低傾向。來(lái)自不飽和化合物(a2-3)的重復(fù)單元的含量?jī)?yōu)選5-60重量％，特別優(yōu)選10-50重量％。通過(guò)使來(lái)自不飽和化合物(a2-3)的重復(fù)單元的含量在該范圍內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)保護(hù)膜的良好耐熱性和表面硬度。來(lái)自不飽和化合物(a2-4)的重復(fù)單元的含量是從100重量％中減去來(lái)自不飽和化合物(al)和不飽和化合物(a2-3)的重復(fù)單元的總含量所得的量，使用不飽和羧酸或不飽和多元羧酸酐作為不飽和化合物(a2-4)時(shí)，來(lái)自它們的重復(fù)單元的總含量超過(guò)40重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性可能受損，因此優(yōu)選不超過(guò)該值。共聚物(A3)中，不飽和化合物(a2-5)例如有與上述不飽和化合物(a2-2)中例舉的化合物同樣的化合物。這些不飽和化合物(a2-5)中，優(yōu)選甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯、丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、N-苯基馬來(lái)酰亞胺、N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺、苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、1,3-丁二烯等。這些優(yōu)選的不飽和化合物(a2-5)共聚反應(yīng)性高，另外，除1，3-丁二烯之外，對(duì)于提高所得保護(hù)膜的耐熱性或表面硬度有效。上述不飽和化合物(a2-5)可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上混合使用。共聚物(A3)的優(yōu)選的具體例子有丙烯酸甲基縮水甘油基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/苯乙烯共聚物、丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸垸-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/N-苯基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧基庚基酯/甲基丙烯酸二環(huán)戊基酯共聚物等。這些共聚物(A3)中，進(jìn)一步優(yōu)選的是甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯/N-環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺/苯乙烯共聚物。共聚物(A3)中，來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量相對(duì)于全部重復(fù)單元優(yōu)選1-90重量％，特別優(yōu)選40-90重量％。15來(lái)自不飽和化合物(al)的重復(fù)單元的含量低于1重量％，則保護(hù)膜的耐熱性或表面硬度有降低傾向，而超過(guò)90重量％，則組合物的保存穩(wěn)定性有降低傾向。以上的本發(fā)明中使用的[A](共)聚合物可如下合成優(yōu)選在溶劑中、在聚合引發(fā)劑的存在下，使含有上述化合物(al)和化合物(a2)的單體自由基聚合。(共)聚合物的制備中使用的溶劑例如有醇、醚、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、丙二醇一烷基醚、丙二醇垸基醚乙酸酯、芳族烴、酮、酯等。它們的具體例子例如醇甲醇、乙醇等；醚四氫呋喃等；二醇醚乙二醇一甲醚、乙二醇一乙醚等；乙二醇烷基醚乙酸酯甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯等；二甘醇二甘醇一甲醚、二甘醇一乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙醚、二甘醇乙基甲基醚等；丙二醇一烷基醚丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一丙醚、丙二醇一丁醚等；丙二醇烷基醚乙酸酯丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、丙二醇丙基醚乙酸酯、丙二醇丁基醚乙酸酯等；丙二醇烷基醚乙酸酯丙二醇甲基醚丙酸酯、丙二醇乙基醚丙酸酯、丙二醇丙基醚丙酸酯、丙二醇丁基醚丙酸酯等；芳族烴甲苯、二甲苯等；酮甲基乙基酮、環(huán)己酮、4-輕基-4-甲基-2-戊酮等；酯類乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸甲酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸甲酯、羥基乙酸乙酯、羥基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-輕基丙酸甲酯、3-羥基丙酸乙酯、3-羥基丙酸丙酯、3-羥基丙酸丁酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯。其中，優(yōu)選乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、丙二醇一烷基醚、丙二醇垸基醚乙酸酯，特別優(yōu)選二甘醇二甲醚、二甘醇乙基甲基醚、丙二醇甲基醚、丙二醇甲基醚乙酸酯。上述溶劑的用量相對(duì)于100重量份單體成分的總量?jī)?yōu)選100-300重量份，更優(yōu)選150-280重量份左右。(共)聚合物的制備中使用的聚合引發(fā)劑可使用通常作為自由基聚合引發(fā)劑已知的物質(zhì)，例如有2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮二-(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)等偶氮化合物；過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化月桂酰、過(guò)氧三甲基乙酸叔丁酯、l,l'-雙-(叔丁基過(guò)氧基)環(huán)己烷等有機(jī)過(guò)氧化物；以及過(guò)氧化氫。自由基聚合引發(fā)劑使用過(guò)氧化物時(shí)，可以與還原劑一起使用過(guò)氧化物，作為氧化還原型聚合引發(fā)劑。聚合引發(fā)劑的用量相對(duì)于100重量份單體成分的總量?jī)?yōu)選0.5-50重量份，更優(yōu)選1.5-40重量份左右。17[A](共)聚合物的制備中，可以使用用于調(diào)節(jié)分子量的分子量調(diào)節(jié)劑。其具體例子有氯仿、四溴化碳等鹵代烴；正己基硫醇、正辛基硫醇、正十二烷基硫醇、叔十二烷基硫醇、巰基乙酸等硫醇；硫化二甲基黃原精、二硫化二異丙基黃原精等黃原精；萜品油烯、a-甲基苯乙烯二聚體等。自由基聚合條件優(yōu)選聚合溫度50-12(TC，更優(yōu)選60-ll(TC;聚合時(shí)間優(yōu)選1-9小時(shí)，更優(yōu)選3-7小時(shí)左右。本發(fā)明中使用的[A](共)聚合物換算成聚苯乙烯的重均分子量(以下稱為"Mw")優(yōu)選2xl()3-5x105，更優(yōu)選5xl()3-lx105。Mw低于2xl03時(shí)，所得膜的耐熱性、表面硬度有時(shí)會(huì)不足，而超過(guò)5xl05，則膜表面的平坦性有時(shí)會(huì)不足?！築l紫外線吸收劑紫外線吸收劑通過(guò)添加本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物，在將在上部形成的著色抗蝕劑或顯微透鏡材料形成圖案時(shí)，可以防止由下部產(chǎn)生的成暈現(xiàn)象。即，[B]紫外線吸收劑可發(fā)揮防光暈?zāi)さ淖饔?，?yōu)選為具有苯并三唑骨架的化合物。上述[B]紫外線吸收劑的具體例子有2-(5-甲基-2-羥基苯基)苯并三唑、2-[2-羥基-3，5-二(a,a-二甲基芐基)苯基]-2H-苯并三唑、2-(3,5-二叔丁基-2-羥基苯基)苯并三唑、2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑、2-(3,5-二叔戊基-2-羥基苯基)苯并三唑、2-(2'-羥基-5'-叔辛基苯基)苯并三唑、3-[3-叔丁基-5-(2H-苯并三唑-2-基)-4-羥基苯基〗丙酸甲酯/聚乙二醇、羥基苯基苯并三唑衍生物等苯并三唑系化合物，除此之外還有琥珀酸二甲酯/l-(2-羥基乙基)-4-羥基-2,2,6,6-四甲基哌啶縮聚物、聚[{6-(1,1,3，3陽(yáng)四甲基丁基)氨基-1,3,5-三嗪-2,4-二基}{(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)亞氨基}亞己基{(2,2，6,6-四甲基-4-哌啶基)亞氨基}]、^^['-雙(3-氨基丙基)乙二胺/2,4-雙[1^丁基-:^(1，2,2,6,6-五甲基_4-哌啶基)氨基]-6-氯-1,3,5-三嗪縮合物、雙(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、雙(l,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)癸二酸酯、2-(3,5國(guó)二叔丁基-4-羥基芐基)-2-正丁基丙二酸雙(l,2，2,6,6-五甲基-4-哌啶基)酯、2,4-二叔丁基苯基-3,5-二叔丁基-4-羥基苯甲酸酯等。紫外線吸收劑優(yōu)選2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羥基苯基)-5-氯苯并三唑[市售商品TINUVIN326(CibaSpecialtyChemicals制備)]、2-[2畫輕基-3,5-雙(a,a-二甲基芐基)苯基]-2H-苯并三唑[市售商品TINUVIN234(CibaSpecialtyChemicals制備)]、2-羥基-苯甲酸苯基酯等，其中更優(yōu)選商品名為TINUVIN326和TINUVIN234的。紫外線吸收劑相對(duì)于100重量份(A)聚合物優(yōu)選2-200重量份，進(jìn)一步優(yōu)選以5-100重量份，最優(yōu)選以10-150重量份使用。<其它成分>本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物是以上述[A]聚合物和[B]成分作為必須成分的，還可以根據(jù)需要含有其它成分。上述其它成分例如有[C]固化劑、[D]陽(yáng)離子聚合性化合物、[E]粘接助劑、[F]表面活性劑、[G]抗氧化劑/抗老化劑等。fCl固化劑固化劑優(yōu)選使用多元羧酸類和多元羧酸酐，在本發(fā)明的組合物中，發(fā)揮提高防光暈?zāi)さ挠捕鹊墓δ?。上述多元羧酸例如有脂族多元羧酸、脂環(huán)族多元羧酸、芳族多兀羧f(wàn)e。它們的具體例子如下脂族多元羧酸琥珀酸、戊二酸、己二酸、丁烷四甲酸、馬來(lái)酸、衣康酸等；脂環(huán)族多元羧酸六氫鄰苯二甲酸、1,2-環(huán)己烷二甲酸、1,2,4-環(huán)己烷三甲酸、環(huán)戊烷四甲酸等；芳族多元羧酸鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、偏苯三酸、均苯四酸、1,2，5,8-萘四甲酸等。其中，從形成的膜的耐熱性等角度考慮，優(yōu)選芳族多元羧酸，特別是偏苯三酸可獲得耐熱性高的膜，優(yōu)選。上述多元羧酸酐例如有脂族二羧酸酐、脂環(huán)族多元羧酸二酐、芳族多元羧酸酐和含酯基酸酐、以及不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物的共聚物。它們的具體例子如下脂族二羧酸酐衣康酸酐、琥珀酸酐、檸康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、三苯胺基甲酸酐、馬來(lái)酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸酐、HIMIC酸酐等；脂環(huán)族多元羧酸二酐1,2，3,4-丁烷四甲酸二酐、環(huán)戊烷四甲酸二酐等；芳族多元羧酸酐鄰苯二甲酸酐、均苯四酸酐、偏苯三酸酐、二苯甲酮四甲酸酐等；含酯基酸酐雙偏苯三酸酐乙二醇酯、三偏苯三酸酐甘油酯等。其中，優(yōu)選芳族多元羧酸酐，特別是偏苯三酸酐可獲得耐熱性高的膜，優(yōu)選。用于合成上述不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物的共聚物的不飽和多元羧酸酐例如有選自衣康酸酐、檸康酸酐、馬來(lái)酸酐、順式1,2,3,4-四氫鄰苯二甲酸酐等的不飽和多元羧酸酐。這些不飽和多元羧酸二酐可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上一起使用。用于合成不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物的共聚物的烯烴類不飽和化合物例如有選自苯乙烯、對(duì)甲基苯乙烯、對(duì)甲氧基苯乙烯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸三環(huán)癸烷-8-基酯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、苯基馬來(lái)酰亞胺、環(huán)己基等的烯烴類不飽和化合物。其中，烯烴類不飽和化合物可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上一起使用。由不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物的共聚物中所含的不飽和多元羧酸酐衍生的構(gòu)成單元的量?jī)?yōu)選1-80重量％，進(jìn)一步優(yōu)選2010-60重量％。不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物的共聚物中，經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選500-50,000，進(jìn)一步優(yōu)選500-10,000。不飽和多元羧酸酐與烯烴類不飽和化合物可通過(guò)與上述[A]聚合物同樣的方法合成。成分的使用比例相對(duì)于100重量份[A]聚合物優(yōu)選3-30重量份，更優(yōu)選3-15重量份。[C]成分的比例低于3重量份時(shí)，所得膜的各種耐性有時(shí)會(huì)不足，而[C]成分的比例超過(guò)30重量份時(shí)，所得膜與基板的貼合性有時(shí)會(huì)不足?！篋l陽(yáng)離子聚合性化合物P]陽(yáng)離子聚合性化合物是分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧乙基或氧雜環(huán)丁基的化合物(上述[A]聚合物除外)，在本發(fā)明的組合物中，發(fā)揮提高耐濕熱性的功能。上述分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧乙基或氧雜環(huán)丁基的化合物例如有分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物、或具有3,4-環(huán)氧基環(huán)己基的化合物。上述分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物例如有雙酚A二縮水甘油基醚、雙酚F二縮水甘油基醚、雙酚S二縮水甘油基醚、氫化雙酚A二縮水甘油基醚、氫化雙酚F二縮水甘油基醚、氫化雙酚AD二縮水甘油基醚，溴化雙酚A二縮水甘油基醚、溴化雙酚F二縮水甘油基醚、溴化雙酚S二縮水甘油基醚等雙酚化合物的二縮水甘油基醚；1,4-丁二醇二縮水甘油基醚、1,6-己二醇二縮水甘油基醚、甘油三縮水甘油基醚、三羥甲基丙烷三縮水甘油基醚、聚乙二醇二縮水甘油基醚、聚丙二醇二縮水甘油基醚等多元醇的多縮水甘油基醚；通過(guò)在乙二醇、丙二醇、甘油等脂族多元醇中加成一種或兩種以上烯化氧所得的聚醚型多元醇的聚縮水甘油基醚；酚醛酚醛環(huán)氧樹(shù)脂；甲酚酚醛環(huán)氧樹(shù)脂；21多酚型環(huán)氧樹(shù)脂；脂族長(zhǎng)鏈二元酸的二縮水甘油基酯；高級(jí)脂肪酸的縮水甘油基酯；環(huán)氧化大豆油、環(huán)氧化亞麻仁油等。上述分子內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的化合物的市售商品例如雙酚A型環(huán)氧樹(shù)脂Epikote1001、Epikote1002、Epikote1003、Epikote1004、Epikote1007、Epikote1009、Epikote1010、Epikote828(以上由JapanEpoxyResin(株)制備)等；雙酚F型環(huán)氧樹(shù)脂Epikote807(以上由JapanEpoxyResin(株)制備)等；酚醛酚醛環(huán)氧樹(shù)脂Epikote152、Epikote154、Epikote157S65(以上由JapanEpoxyResin(株)制備)、EPPN201、EPPN202(以上由日本化藥(株)制備)等；甲酚酚醛環(huán)氧樹(shù)脂EOCN102、EOCN103S、EOCN104S、1020、1025、1027(以上由日本化藥(株)制備)、Epikote180S75(JapanEpoxyResin(株)制備)等；多酚型環(huán)氧樹(shù)脂Epikote1032H60、EpikoteXY-4000(以上由JapanEpoxyResin(株)制備)等；環(huán)狀脂族環(huán)氧樹(shù)脂CY-175、CY-177、CY-179、AralditeCY-182、AralditeCY-192、184(以上由CibaSpecialtyChemicals制備)、ERL-4234、4299、4221、4206(以上由U.C.C制備)、、>3一夕V乂509(昭和電工(株)制備)、Epicron200、Epicron400(以上由大日本油墨(株)制備)、Epikote871、Epikote872(以上由JapanEpoxyResin(株)制備)、ED-5661、ED-5662(以上由CelaneseCoating(株)制備)等；脂族聚縮水甘油基醚Epolite100MF(共榮社化學(xué)(株)制備)、Epio1TMP(日本油月旨(株)制備)等。上述分子內(nèi)具有2個(gè)以上3,4-環(huán)氧基環(huán)己基的化合物例如有:3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3',4'-環(huán)氧基環(huán)己垸甲酸酯、2-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基-5,5-螺-3,4-環(huán)氧基)環(huán)己烷-間二噁烷、己二酸雙(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基)酯、己二酸雙(3,4-環(huán)氧基-6-甲基環(huán)己基甲基)酯、3,4-環(huán)氧基-6-甲基環(huán)己基_3',4'-環(huán)氧基-6，-甲基環(huán)己垸甲酸酯、亞甲基雙(3,4-環(huán)氧基環(huán)己垸)、二環(huán)氧化二環(huán)戊二烯、乙二醇的二(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基)醚、亞乙基雙(3,4-環(huán)氧基環(huán)己烷甲酸酯)、內(nèi)酯改性3,4-環(huán)氧基環(huán)己基甲基-3',4'-環(huán)氧基環(huán)己垸甲酸酯等。為了提高耐熱性或耐干蝕刻性，上述[D]陽(yáng)離子聚合性化合物中，優(yōu)選酚醛酚醛環(huán)氧樹(shù)脂和多酚型環(huán)氧樹(shù)脂。陽(yáng)離子聚合性化合物的用量是每100重量份[A]聚合物優(yōu)選3-200重量份，進(jìn)一步優(yōu)選5-100重量份，特別優(yōu)選10-50重量份。[D〗陽(yáng)離子聚合性化合物的用量多于200重量份，則組合物的涂布性有時(shí)會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題，而低于3重量份，則所得膜的硬度有時(shí)會(huì)不足。fEl粘接助劑上述[E]粘接助劑可以為了提高所形成的膜與基板的貼合性而添加。上述[E]粘接助劑例如優(yōu)選使用具有羧基、甲基丙烯?；惽杷狨セ?、環(huán)氧基等反應(yīng)性取代基的官能性硅烷偶聯(lián)劑。具體有三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、，甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、"異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、？環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅垸、P-(3,4-環(huán)氧基環(huán)己基)乙基三甲氧基硅烷等。粘接助劑的使用比例優(yōu)選相對(duì)于100重量份[A]聚合物為30重量份以下，更優(yōu)選0.1-25重量份，特別優(yōu)選l-20重量份。粘接助劑的使用比例超過(guò)30重量份，則所得膜的耐熱性有時(shí)會(huì)不足?！篎l表面活性劑上述[F]表面活性劑可以為了提高組合物的涂布性而添加。上述表面活性劑例如有氟類表面活性劑、有機(jī)硅類表面活性劑、非離子類表面活性劑等。上述非離子類表面活性劑例如有聚氧乙烯烷基醚類、聚氧乙烯芳基醚類、聚氧乙烯二烷基酯類等。它們的具體例子例如聚氧乙烯烷基醚類聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等；聚氧乙烯芳基醚類聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚；聚氧乙烯二烷基酯類聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等。上述表面活性劑的市售商品中，氟類表面活性劑有BMCHIMIE制備的商品名BM-IOOO、BM-llOO，大日本油墨化學(xué)工業(yè)(株)制備的商品名MegafacF142D、MegafacF172、MegafacF173、MegafacF183,住友3M(株)制備的商品名FluoradFC-135、FluoradFC-170C、FluoradFC國(guó)430、FluoradFC-431，旭硝子(株)制備的商品名SurflonS-l12、SurflonS畫113、SurflonS畫131、SurflonS-M1、SurflonS-l45、SurflonS-382、SurflonSC-lOl、SurflonSC-102、SurflonSC-103、SurflonSC-104、SurflonSC-105、SurflonSC-106等，(株)Neos制備的商品名DFX-16、DFX-18、DFX-20等；有機(jī)硅類表面活性劑有ToraySilicone(株)制備的商品名SH-28PA、SH國(guó)190、SH-193、SZ國(guó)6032、SF誦8428、DC-57、DC-190,信越化學(xué)工業(yè)(株)制備的商品名KP341,新秋田化成(株)制備的商品名F-TopEF301、F-TopEF303、F-TopEF352等；非離子類表面活性劑有共榮社化學(xué)(株)制備的商品名(甲基)丙烯酸類共聚物PolyflowNo.57、PolyflowNo.90、PolyflowNo.95等。這些表面活性劑可以單獨(dú)使用或?qū)煞N以上組合使用。[F]表面活性劑的使用比例根據(jù)其種類或構(gòu)成熱固化性樹(shù)脂組合物的各成分的種類或比例等而不同，優(yōu)選相對(duì)于100重量份[A]聚合物為5重量份以下，更優(yōu)選0.0001-2重量份，進(jìn)一步優(yōu)選0.001-0.5重量份以下?！篏l抗氧化劑/抗老化劑上述[G]抗氧化劑〖抗老化劑可以為了提高組合物的耐熱性而添加。上述抗氧化劑Z抗老化劑例如有受阻酚等。它們的具體例子例如有三甘醇雙[3-(3-叔丁基-5-甲基-4-羥基苯基)丙酸酯]、1,6-己二醇雙[3-(3,5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、2,4-雙-(正辛基硫代)-6-(4-羥基-3,5-二叔丁基苯胺基)-l,3,5-三嗪、季戊四醇四[3-(3,5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、2,2-硫代-二亞乙基雙[3-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、3-(3,5-二叔丁基-4-羥基苯萄丙酸十八垸基酯、N,N'-亞己基雙(3,5-二叔丁基-4-羥基-氫化肉桂酰胺)、3,5-二叔丁基_4_輕基_節(jié)基膦酸酯二乙基酷、1,3,5-三甲基-2,4,6-三(3，5-二叔丁基-4-羥基芐基)苯、2,4-雙[(辛基硫代)甲基]-0-甲酚、3-(3,5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸異辛酯、三(3,5-二叔丁基-4-羥基芐基)-異氰尿酸酯等。成分的使用比例相對(duì)于100重量份[A]聚合物優(yōu)選0.01-50重量份，更優(yōu)選0.05-30重量份，進(jìn)一步優(yōu)選0.1-10重量份。熱固化性樹(shù)脂組合物的制備本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物溶解于適當(dāng)?shù)娜軇┲?，以溶液狀態(tài)使用。例如，通過(guò)將[A]聚合物和[B]成分以及根據(jù)需要添加的其它成分按規(guī)定比例混合，可以制備溶液狀態(tài)的熱固化性樹(shù)脂組合物。本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物通過(guò)將各成分優(yōu)選均勻地溶解或分散于適當(dāng)?shù)娜軇┲兄苽?。作為所使用的溶劑，可以使用溶解或分散組合物的各成分、不與各成分反應(yīng)的溶劑。作為上述溶劑，可以使用與在制備上述[A]聚合物時(shí)所使用的溶劑中例舉的同樣的溶劑。溶劑的用量范圍使本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物中的全部固態(tài)成分([A]聚合物、[B]成分、以及根據(jù)需要添加的其它成分的總量)的含量?jī)?yōu)選為1-50重量％，更優(yōu)選5-40重量％?？梢耘c上述溶劑一起結(jié)合使用高沸點(diǎn)溶劑?？梢越Y(jié)合使用的高沸點(diǎn)溶劑例如有N-甲基甲酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰苯胺、N-甲基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲基亞砜、芐基乙基醚、二己基醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、1-辛醇、l-壬醇、芐醇、乙酸芐酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來(lái)酸二乙酯、，丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、苯基溶纖劑乙酸酯等。結(jié)合使用高沸點(diǎn)溶劑時(shí)的用量相對(duì)于全部溶劑量?jī)?yōu)選為90重量%以下，進(jìn)一步優(yōu)選80重量％以下。如上所述制備的熱固化性樹(shù)脂組合物的溶液優(yōu)選用孔徑0.2-3.0pm、更優(yōu)選孔徑0.2-0.5pm左右的微孔濾器(miliporefilter)等過(guò)濾，然后供給使用。固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒ㄏ旅妫瑢?duì)于使用本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物形成本發(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ姆椒ㄟM(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒ㄖ辽侔ㄒ韵虏襟E對(duì)該涂膜進(jìn)行加熱處理的步驟。以下依次進(jìn)行說(shuō)明。『11在基板上形成上述熱固化性樹(shù)脂組合物的涂膜的步驟在本發(fā)明的形成固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ姆椒ㄖ?，首先在基板上?shí)施形成本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物的涂膜的步驟。在基板上形成涂膜是通過(guò)在基板上涂布本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物進(jìn)行的。本發(fā)明中，可作為基板使用的例如有玻璃、石英、硅、樹(shù)脂等基板。樹(shù)脂例如有聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚醚砜、聚碳酸酯、聚酰亞胺以及環(huán)狀烯烴的開(kāi)環(huán)聚合物及其氫化物等樹(shù)脂。26涂布方法可以采用例如噴涂法、輥涂法、旋涂法、棒涂法、噴墨法等適當(dāng)?shù)姆椒?。然后通過(guò)除去溶劑可在基板上形成涂膜。本發(fā)明中，無(wú)需特別獨(dú)立設(shè)置溶劑除去步驟，可以是在工序中溶劑自然揮發(fā)的方案，還可以將溶劑除去步驟與后面的"[2]對(duì)涂膜進(jìn)行加熱處理的步驟"作為一步進(jìn)行。也可以采用另外的溶劑除去步驟。溶劑除去步驟另外實(shí)施時(shí)，可通過(guò)在室溫至15(TC左右的溫度下保持適當(dāng)時(shí)間來(lái)實(shí)施。這里，涂膜的厚度優(yōu)選0.1-5pm，進(jìn)一步優(yōu)選0.5-3jum。該值應(yīng)理解為除去溶劑后的膜厚?！?1對(duì)涂膜進(jìn)行加熱處理的步驟如上所述，在基板上形成的涂膜接著實(shí)施加熱處理步驟，由此可以制成本發(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ぁ＜訜釡囟葍?yōu)選150-220°C。加熱時(shí)間可根據(jù)所使用的加熱儀器的種類等適當(dāng)設(shè)定，加熱儀器例如使用熱板時(shí)，可以是3-15分鐘左右；使用清潔烘箱時(shí)，可以是15-30分鐘左右。該加熱處理步驟可以一步進(jìn)行，也可以將2步以上的步驟組合進(jìn)行。固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ぴ谌缟纤鲂纬傻谋景l(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ど闲纬蔀V色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中，該防光暈?zāi)た捎行б种苼?lái)自底層基板的漫反射光，且具有高耐熱性。因此，在本發(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ど闲纬傻臑V色器或顯微透鏡可以制成希望的形狀、尺寸。固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ暮穸葍?yōu)選0.1-5叫，進(jìn)一步優(yōu)選0.5-3jLim。該值低于O.lnm時(shí)，抑制來(lái)自底層基板的漫反射光的效果有時(shí)會(huì)不足，另一方面沒(méi)有必要使其厚度超過(guò)5pm。固態(tài)成像元件本發(fā)明的固態(tài)成像元件具有上述防光暈?zāi)ぁＴ谏鲜龇拦鈺災(zāi)ど闲纬傻臑V色器或顯微透鏡為所需的狀態(tài)、尺寸，因此本發(fā)明的固態(tài)成像元件可靠性優(yōu)異。如上所述，本發(fā)明提供適合形成防光暈?zāi)さ臒峁袒詷?shù)脂組合物；使用該熱固化性樹(shù)脂組合物形成防光暈?zāi)さ姆椒?；通過(guò)該方法形成的防光暈?zāi)?；以及具有該防光暈?zāi)さ墓虘B(tài)成像元件，所述防光暈?zāi)さ谋４娣€(wěn)定性優(yōu)異，同時(shí)在形成固態(tài)成像元件中的濾色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中，可以有效抑制來(lái)自底層基板的漫反射光，并且可見(jiàn)光的透射率高，具有高耐熱性。在本發(fā)明的防光暈?zāi)ど闲纬蔀V色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中，該防光暈?zāi)た捎行б种苼?lái)自底層基板的漫反射光，且具有高耐熱性。因此，在本發(fā)明的固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ど闲纬傻臑V色器或顯微透鏡可以制成所需的形狀、尺寸。并且，本發(fā)明的固態(tài)成像元件具有上述防光暈?zāi)?，在該防光暈?zāi)ど闲纬傻臑V色器或顯微透鏡為所需的形狀、尺寸，因此本發(fā)明的固態(tài)成像元件可靠性優(yōu)異。實(shí)施例以下給出合成例、實(shí)施例，進(jìn)一步具體說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明并不受以下實(shí)施例的限定。合成例1向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入6重量份2,2'-偶氮二(異丁腈)和200重量份丙二醇一甲基醚乙酸酯。接著加入18重量份苯乙烯(ST)和82重量份甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯(M-GMA)，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95t:，在該溫度下保持3小28時(shí)，得到含有共聚物[A-1]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為33.7重量％，共聚物[A-1]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為8,600。這里，經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量通過(guò)凝膠滲透色譜(GPC)測(cè)定。以下也同樣。合成例2向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入1重量份2,2'-偶氮二(異丁腈)和200重量份丙二醇一甲基醚乙酸酯。接著加入35重量份苯乙烯、35重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄0"]癸垸-8-基酯(DCM)和30重量份甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95°C，在該溫度下保持3小時(shí)，得到含有共聚物[A-2]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為32.8重量％，共聚物[A-2]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為20,000。合成例3向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入7重量份2，2'-偶氮二(2，4-二甲基戊腈)、2重量份a-亞甲基苯乙烯二聚體和200重量份丙二醇一甲基醚乙酸酯。接著加入19重量份苯乙烯、38重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄0^]癸烷-8-基酯(DCM)、13重量份甲基丙烯酸(MA)以及30重量份甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95'C，在該溫度下保持3小時(shí)，得到含有共聚物[A-3]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為32.9重量％，共聚物[A-3]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為6,000。合成例4向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入6重量份2,2'-偶氮二(異丁腈)、200重量份丙二醇一甲基醚乙酸酯。接著加入34重量份苯乙烯、16重量份環(huán)己基馬來(lái)酰亞胺(CHMI)、10重量份甲基丙烯酸(MA)以及40重量份甲基丙烯酸甲基縮水甘油基酯，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95t:，在該溫度下保持3小時(shí)，得到含有共聚物[A-4]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為32.8重量％，共聚物[A-4]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為8,000。比較合成例1向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入6重量份2,2'-偶氮二(異丁腈)、200重量份丙二醇一甲基醚乙酸酯。接著加入18重量份苯乙烯(ST)和82重量份甲基丙烯酸縮水甘油基酯(GMA)，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95"C，在該溫度下保持3小時(shí)，得到含有共聚物[a-l]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為33.8重量％，共聚物[a-l]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為8，600。比較合成例2向具備冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入1重量份2,2'-偶氮二(異丁腈)、200重量份二甘醇甲基乙基醚。接著加入35重量份苯乙烯和15重量份甲基丙烯酸三環(huán)[5.2丄(P]癸烷-8-基酯(DCM)、10重量份甲基丙烯酸(MA)和40重量份甲基丙烯酸縮水甘油基酉旨(GMA)，進(jìn)行氮置換，然后開(kāi)始緩慢攪拌。使溶液的溫度升高至95'C，在該溫度下保持3小時(shí)，得到含有共聚物[a-2]的聚合物溶液。所得聚合物溶液的固態(tài)成分濃度為32.9重量％，共聚物[a-2]的經(jīng)聚苯乙烯換算的重均分子量為20,000。實(shí)施例1在相當(dāng)于100重量份(固態(tài)成分)上述合成例1中合成的共聚物[A-l]的、含有共聚物[A-1]的聚合物溶液中，添加30重量份作為[B]成分的TINUVIN234(CibaSpecialtyChemicals制備)、0.05重量份作為表面活性劑的SH28PA(有機(jī)硅類表面活性齊U，ToraySilicone(株)制備)，添加作為溶劑的丙二醇一甲醚乙酸酯[S-l]，將固態(tài)成分濃度調(diào)節(jié)為20重量％。防光暈?zāi)さ男纬墒褂眯績(jī)x,在玻璃基板上涂布上述制備的熱固化性樹(shù)脂組合物，通過(guò)熱板在18(TC下加熱處理3分鐘，形成膜厚1.62nm的防光暈?zāi)?。防光暈?zāi)さ脑u(píng)價(jià)(1)透光率對(duì)于具有上述形成的防光暈?zāi)さ幕?，使用分光光度?jì)150-20型雙束(doublebeam)(日立制作所(株)制造)測(cè)定365nm和400nm的透射率。接著，用熱板在185"C下追加加熱20分鐘，然后同樣測(cè)定365nm和400nm的透射率。將測(cè)定的值示于表1。365nm的透射率低于95%時(shí)，可以說(shuō)防光暈性能，即，在形成濾色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中抑制來(lái)自底層基板的漫反射光的效果優(yōu)異。400nm的透射率為95%以上時(shí)，可以說(shuō)可見(jiàn)光的透射率良好。觀察實(shí)施例1中形成的防光暈?zāi)ぃl(fā)現(xiàn)在追加加熱前和追加加熱后，防光暈性能和可見(jiàn)光透射率均優(yōu)異。(2)耐濕熱性對(duì)于具有上述形成的防光暈?zāi)さ幕?，在恒溫恒濕槽中?5°C-85%RH處理7天，測(cè)定前后的膜厚變化。按下式計(jì)算的耐濕熱性如表1所示。耐濕熱性=[(處理后的膜厚-處理前的膜厚)/(處理前的膜厚，100(%)(3)顯微透鏡材料的成圖通過(guò)旋涂?jī)x，在具有上述形成的防光暈?zāi)さ幕迳贤坎硷@微透鏡材料(JSR(株)制備，商品名"MFR-380")，然后在IO(TC下、在熱板上預(yù)烘90秒，形成膜厚2.5pm的涂膜。經(jīng)由具有4.0nm點(diǎn)、2.0pm空間圖案的圖案掩模、用Nikon(株)制造的NSR1755i7A小型投影曝光機(jī)(NA二0.50，X=365nm)、以2200J/m2的曝光量對(duì)所得涂膜進(jìn)行曝光，用1重量％的氫氧化四甲基銨水溶液、23。C下通過(guò)搖動(dòng)浸泡法顯影1分鐘。接著在23。C下用超純水流水沖洗30秒、干燥，在基板上的防光暈?zāi)ど闲纬蓤D案。使用掃描式電子顯微鏡((株)日立計(jì)測(cè)器服務(wù)制造，型號(hào)"S-4200")對(duì)這里形成的顯微透鏡圖案進(jìn)行觀察。圖案的形狀如表1所示。此時(shí)，如果防光暈?zāi)さ姆拦鈺炐阅?抑制來(lái)自底層基板的漫反射光的性能)充分，則如圖l(a)所示，在平面上形成圖案?jìng)?cè)面。但是，如果防光暈性能不足，則曝光時(shí)光暈產(chǎn)生的駐波發(fā)揮作用，圖案?jìng)?cè)面形成圖l(b)所示的波紋狀。具有如上所述形成的防光暈?zāi)さ幕暹M(jìn)一步用熱板進(jìn)行185°C、20分鐘的追加加熱，然后在該追加加熱處理的防光暈?zāi)ど吓c上述同樣地形成顯微透鏡圖案。同樣通過(guò)電子顯微鏡觀察圖案形狀，結(jié)果如表1所示。(4)表面硬度的測(cè)定對(duì)于具有如上形成的防光暈?zāi)さ幕?，按照J(rèn)ISK-5400-1990的8.4.1鉛筆劃痕試驗(yàn)測(cè)定保護(hù)膜的表面硬度。該值如表1所示。該值必須為HB以上。進(jìn)一步優(yōu)選H以上。(5)保存穩(wěn)定性的評(píng)價(jià)使用東京計(jì)器(株)制造的ELD型粘度計(jì)測(cè)定實(shí)施例1中制備的用于形成保護(hù)膜的樹(shù)脂組合物的粘度。然后將該組合物在25。C下靜置，同時(shí)每天測(cè)定25。C下的溶液粘度。以剛制備的粘度為基準(zhǔn)，求出增稠5%所需的天數(shù)。該天數(shù)如表l所示。該天數(shù)為20天以上時(shí)，可以說(shuō)保存穩(wěn)定性良好。實(shí)施例2-26和比較例1-3使用表l-2所述各成分，與實(shí)施例1同樣制備組合物并進(jìn)行評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)結(jié)果如表l-2所示。表中的添加物如下所示。B-l:TINUVIN326(CibaSpecialtyChemicals制備)B-l:TINUVIN234(CibaSpecialtyChemicals制備)B-3:2-羥基-苯甲酸苯基酯C-h偏苯三酸酐D-h雙酚A酚醛環(huán)氧樹(shù)脂、Epikote828(JapanEpoxyResin(株)制備)D-2:酚醛環(huán)氧樹(shù)脂、EpikoteI54(JapanEpoxyResin(株)制備)E-l:Y-環(huán)氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷F-l:SH-28PA(TorayDowCorningSilicone制備)G-l:Irganox1035(CibaSpecialtyChemicals制備)S-l:丙二醇一甲基醚乙酸酯S-2:丙二醇一乙基醚乙酸酯S-3:二甘醇甲基乙基醚33表l<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>表l續(xù)<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>表l續(xù)<table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table>表2續(xù)<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>表2續(xù)<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>如上所述，本發(fā)明的熱固化性樹(shù)脂組合物適合形成防光暈?zāi)?，該膜在形成固態(tài)成像元件中的濾色器或微透鏡時(shí)的曝光步驟中，可有效抑制來(lái)自底層基板的漫反射光、另外可見(jiàn)光的透射率高、且具有高耐熱性，對(duì)于使用該樹(shù)脂組合物的防光暈?zāi)ぁ⒁约熬哂性摲拦鈺災(zāi)さ墓虘B(tài)成像元件是有用的。權(quán)利要求1.熱固化性樹(shù)脂組合物，其特征在于含有[A]具有甲基縮水甘油基的聚合物、和[B]紫外線吸收劑。2.權(quán)利要求1所述的熱固化性樹(shù)脂組合物，其中，[A]成分是(al)具有甲基縮水甘油基的聚合性不飽和化合物與(a2)不同于上述(al)的聚合性不飽和化合物的共聚物。3.權(quán)利要求2所述的熱固化性樹(shù)脂組合物，其中，構(gòu)成[A]成分的聚合性不飽和化合物(a2)由一種或多種構(gòu)成，其中的至少一種為聚合性不飽和羧酸和/或聚合性不飽和多元羧酸酐。4.權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的熱固化性樹(shù)脂組合物，其中，[B]紫外線吸收劑具有苯并三唑骨架。5.權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的固化性樹(shù)脂組合物，該組合物進(jìn)一步含有[C]固化劑。6.權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的熱固化性樹(shù)脂組合物，該組合物進(jìn)一步含有[D]陽(yáng)離子聚合性化合物。7.權(quán)利要求l-6中任一項(xiàng)所述的熱固化性樹(shù)脂組合物，該組合物用于形成固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)ぁ?.固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)さ男纬煞椒ǎ涮卣髟谟谠摲椒ㄖ辽侔ㄒ韵碌牟襟E[1]和[2]:[1]在基板上形成權(quán)利要求1所述的熱固化性樹(shù)脂組合物的涂膜的步驟；[2]對(duì)該涂膜進(jìn)行加熱處理的步驟。9.固態(tài)成像元件的防光暈?zāi)?，該膜通過(guò)權(quán)利要求8所述的方法形成。10.固態(tài)成像元件，該固態(tài)成像元件具有權(quán)利要求9所述的防光暈?zāi)?。全文摘要本發(fā)明提供含有具有甲基縮水甘油基的聚合物和紫外線吸收劑的熱固化性樹(shù)脂組合物。該熱固化性樹(shù)脂組合物可形成防光暈?zāi)?，該膜的保存穩(wěn)定性優(yōu)異，同時(shí)在形成固態(tài)成像元件中的濾色器或顯微透鏡時(shí)的曝光步驟中，可有效抑制來(lái)自底層基板的漫反射光、并且具有高耐熱性、即使是干蝕刻也不會(huì)發(fā)生膜粗糙。文檔編號(hào)C08G59/20GK101466756SQ200780021609公開(kāi)日2009年6月24日申請(qǐng)日期2007年6月7日優(yōu)先權(quán)日2006年6月13日發(fā)明者吉澤純司申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社