一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于多晶硅鑄錠爐技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶G6鑄錠過程中，硅液溢流是一種常見的異常情況，爐內(nèi)硅液溢流保護裝置的安全性直接關(guān)系到鑄錠設備及操作人員的安全性，良好的溢流保護措施能夠在溢流發(fā)生時保障操作員的人身安全，穩(wěn)定生產(chǎn)，并將設備損壞程度降至最低。
[0003]目前G6鑄錠爐型技術(shù)的缺點:國內(nèi)鑄錠生產(chǎn)多晶硅片生產(chǎn)商采用的多晶G6鑄錠爐型，其石墨立柱溢流保護裝置均存在重大缺陷和安全隱患:當溢流發(fā)生時，炙熱的硅液較容易沿著石墨立柱直接接觸到爐體，導致爐壁被熔穿后，爐壁夾層內(nèi)的冷卻水迅速汽化而造成爐體爆炸。
[0004]如圖1中所示，現(xiàn)有技術(shù)中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉2，所述溢流棉2鋪設在下爐體I內(nèi)，還包括一層溢流棉環(huán)3，該層溢流棉環(huán)3套設在石墨立柱4上，這種裝置的缺陷是溢流棉環(huán)3與石墨立柱4之間的連接不緊密，石墨立柱4周圍的縫隙不能被完全封堵，硅液容易通過石墨立柱4周圍的縫隙滲透，當有溢流發(fā)生時，硅液容易沿著石墨立柱4溢出直接接觸到爐體，從而引起爐體爆炸。
【實用新型內(nèi)容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，該溢流保護裝置中溢流棉環(huán)與石墨立柱連接緊密，石墨立柱周圍的縫隙被完全封堵，硅液無法通過石墨立柱周圍的縫隙滲透，安全可靠。
[0006]本實用新型的上述目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內(nèi)，還包括溢流棉環(huán)，所述溢流棉環(huán)套設在石墨立柱上，所述溢流棉環(huán)的上方還設有一圓環(huán)形石墨壓塊，所述圓環(huán)形石墨壓塊的內(nèi)側(cè)面設有內(nèi)螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。
[0007]作為本實用新型的一種改進:所述石墨立柱的外螺紋部分延伸到溢流棉環(huán)內(nèi)。
[0008]作為本實用新型一種優(yōu)選的實施方式:所述的溢流棉環(huán)至少為六層。
[0009]作為本實用新型另一種優(yōu)選的實施方式:所述的溢流棉至少為兩層。
[0010]本實用新型具有如下優(yōu)點:本實用新型中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發(fā)生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩(wěn)定生產(chǎn)。
【附圖說明】
[0011]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實用新型【具體實施方式】中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是圖2中石墨壓塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖4是圖2中石墨立柱的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]如圖2-4所示，一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉2，溢流棉2鋪設在下爐體I內(nèi)，還包括溢流棉環(huán)3，溢流棉環(huán)3套設在石墨立柱4上，溢流棉環(huán)3的上方還設有一圓環(huán)形石墨壓塊5，圓環(huán)形石墨壓塊5的內(nèi)側(cè)面設有內(nèi)螺紋51，石墨立柱4上設有與之相配合的外螺紋41，石墨壓塊4和石墨立柱5通過螺紋相連接。
[0016]溢流棉環(huán)3至少為六層。
[0017]石墨立柱4的外螺紋41部分延伸到溢流棉環(huán)3內(nèi)。
[0018]本實用新型通過在石墨立柱4的外螺紋41上擰上一塊圓環(huán)形的帶有內(nèi)螺紋51的石墨壓塊5，將溢流棉環(huán)3旋緊至石墨壓塊5的下端固定住，使上下層接觸面之間不留縫隙。
[0019]溢流棉環(huán)3至少為六層。
[0020]在石墨立柱4周圍增加至少六層溢流棉環(huán)3，并加上石墨壓塊5固定后，石墨立柱4周圍的縫隙被完全封堵，硅液無法通過石墨立柱4周圍的縫隙往下滲透，保障了設備安全。
[0021]溢流棉2至少為兩層。
[0022]本實用新型中的上述多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發(fā)生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩(wěn)定生產(chǎn)。
[0023]以上列舉具體實施例對本實用新型進行說明。需要指出的是，以上實施例只用于對本實用新型作進一步說明，不代表本實用新型的保護范圍，其他人根據(jù)本實用新型的提示做出的非本質(zhì)的修改和調(diào)整，仍屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內(nèi)，其特征是:還包括溢流棉環(huán)，所述溢流棉環(huán)套設在石墨立柱上，所述溢流棉環(huán)的上方還設有一圓環(huán)形石墨壓塊，所述圓環(huán)形石墨壓塊的內(nèi)側(cè)面設有內(nèi)螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述的溢流棉環(huán)至少為六層。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述石墨立柱的外螺紋部分延伸到溢流棉環(huán)內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，其特征是:所述的溢流棉至少為兩層。
【專利摘要】本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，包括溢流棉，所述溢流棉鋪設在下爐體內(nèi)，還包括溢流棉環(huán)，所述溢流棉環(huán)套設在石墨立柱上，所述溢流棉環(huán)的上方還設有一圓環(huán)形石墨壓塊，所述石墨壓塊的內(nèi)側(cè)面設有內(nèi)螺紋，所述石墨立柱上設有與之相配合的外螺紋，所述石墨壓塊和所述石墨立柱通過螺紋相連接。本實用新型中的多晶硅鑄錠爐溢流保護裝置，在溢流發(fā)生時能避免硅液沿著石墨立柱直接接觸到爐體，可以保障操作人員的人身安全并將設備損失降到最低，穩(wěn)定生產(chǎn)。
【IPC分類】C30B28/06, C30B29/06
【公開號】CN205368537
【申請?zhí)枴緾N201520970411
【發(fā)明人】羅建明, 沈芳, 高源 , 許高升, 張欣
【申請人】晶海洋半導體材料（東海）有限公司
【公開日】2016年7月6日
【申請日】2015年11月30日