真空腔冷卻裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于冷卻裝置，具體涉及一種真空腔冷卻裝置。
【背景技術】
[0002]在鍍膜玻璃生產設備中，由于靶材的濺射會產生很高的溫度，所以需要在鍍膜腔室內安裝上冷卻裝置，通過冷卻降溫使鍍膜腔室內達到所要求的溫度。傳統(tǒng)的真空腔腔內冷卻裝置由擋住大部分濺射靶材的擋板和用于對擋板進行冷卻的循環(huán)冷卻管。使用一段時間后，需要對擋板和循環(huán)冷卻管上濺射的大量靶材進行清洗，由于這兩個部件是直接固定在真空腔室內，清洗時需要先將部件從真空腔室中拆出來，使得拆卸和裝配非常繁鎖，且花費時間長，降底了勞動生產率。
【實用新型內容】
[0003]針對現(xiàn)有技術中的上述不足，本實用新型提供了一種能夠便于清洗的真空腔冷卻
目.ο
[0004]為了達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術方案為:
[0005]提供一種真空腔冷卻裝置，其包括用于對擋板進行冷卻的冷卻水管和支撐架，支撐架包括放置在真空腔底面上的底座和設置在底座兩端的端板；端板上設置有用于吊裝冷卻裝置的吊裝孔；兩塊擋板分別固定安裝在底座的兩側，兩塊擋塊之間的間隙形成集中濺射靶材在玻璃上的通道；
[0006]擋板外側的底座上固定安裝有與擋板接觸、且呈U字形的連接板；冷卻水管固定安裝在連接板與擋板之間形成的空腔內；底座的下方設置用于防止靶材濺射到傳動輥上的保護裝置。
[0007]本實用新型的有益效果為:該冷卻裝置將冷卻水管、擋板和保護傳動輥的保護裝置固定安裝在同一支撐架上，使其成為一整體組件，當需要清除濺射在擋板上和保護裝置上的靶材時，可以直接通過吊裝孔將固定在支撐架上待清洗的部件連同支撐架一起取出清洗；在清洗的同時為了避免影響生產進度，可以直接將另一個干凈的支撐架安裝在真空腔內，這樣，節(jié)約了拆裝時間，提高了勞動生產率。
【附圖說明】
[0008]圖1為真空腔冷卻裝置一個實施例的結構示意圖。
[0009]圖2為沿圖1中線A-A方向的剖視圖。
[0010]其中，1、支撐架；11、端板；111、吊裝孔；12、底座；13、連接板；14、紫銅網帶；15、支撐梁；2、冷卻水管；3、玻璃；4、旋轉靶材；5、傳動輥；6、擋板；7、隔板。
【具體實施方式】
[0011]下面對本實用新型的【具體實施方式】進行描述，以便于本技術領域的技術人員理解本實用新型，但應該清楚，本實用新型不限于【具體實施方式】的范圍，對本技術領域的普通技術人員來講，只要各種變化在所附的權利要求限定和確定的本實用新型的精神和范圍內，這些變化是顯而易見的，一切利用本實用新型構思的實用新型創(chuàng)造均在保護之列。
[0012]參考圖1，圖1示出了真空腔冷卻裝置一個實施例的結構示意圖；如圖1所示，該真空腔冷卻裝置包括用于對擋板6進行冷卻的冷卻水管2和支撐架1，支撐架I包括放置在真空腔底面上的底座12和設置在底座12兩端的端板11 ;端板11上設置有用于吊裝冷卻裝置的吊裝孔111。
[0013]其中，冷卻水管2內的水是循環(huán)冷卻水，在進行冷卻水管2安裝時，為了便于冷卻水管2在支撐架I上的布局，降低冷卻水管2安裝時的復雜性，將冷卻水管2的進水口和出水口安裝在支撐架I的同一側。
[0014]參考圖2，圖2示出了沿圖1中線A-A方向的剖視圖。如圖2所示，兩塊擋板6分別固定安裝在底座12的兩側，兩塊擋塊6之間的間隙形成集中濺射靶材到玻璃3上的通道。這樣設置之后，位于擋板6正上方的旋轉靶材4濺射出來的靶材可以對通過該通道的玻璃3進行一小部分、一小部分的噴涂，保證了玻璃3上鍍膜的均勻性。
[0015]在設計時，為了能夠擋住大部分靶材，以進一步確保每次只有中間部分靶材被集中濺射到玻璃3上，將擋板6設置呈L形。這樣呈L形的擋板6進一步保證了鍍膜玻璃的質量。
[0016]在對玻璃3進行鍍膜時，由于大部分靶材是濺射在呈L形的擋板6上，而濺射出的靶材的溫度很高，為了降低高溫對擋板6使用壽命的影響，擋板6外側的底座12上固定安裝有與擋板6接觸、且呈U字形的連接板13 ;冷卻水管2固定安裝在連接板13與擋板6之間形成的空腔內，且緊貼在冷卻水管2上。
[0017]鍍膜過程中，部分靶材會濺射到用于傳輸玻璃3的傳動輥5上，為了確保傳動輥5的正常運行，在底座12的下方設置用于防止靶材濺射到傳動輥5上的保護裝置，也即工作時，靶材是直接濺射到保護裝置上。
[0018]當冷卻裝置使用一段時間后，在擋板6和保護裝置上會沉積大量的靶材，為了保證鍍膜玻璃的質量，需要定期對擋板6和保護裝置上的靶材進行清洗，由于擋板6和保護裝置固定安裝在位于真空腔內的支撐架I上，這樣清洗時可以直接通過設置的吊裝孔111將支撐架I從真空腔內吊裝出來即可。
[0019]這樣設置之后，若是擔心清洗冷卻裝置時，影響生產進行，可以在清洗的同時直接將另一個干凈的支撐架I安裝在真空腔內，這樣，節(jié)約了拆裝時間，提高了勞動生產率。
[0020]如圖2所示，在本實用新型的一個實施例中，保護裝置包括位于傳動輥5兩側、且與底座12固定在一起的支撐梁15，支撐梁15上固定安裝有用于防止靶材濺射到傳動輥5上的隔板7 ;在隔板7與支撐梁15之間形成的腔體內安裝有冷卻水管2。
[0021]再次參考圖2，與隔板7接觸的冷卻水管2與隔板7之間墊有消除兩者間間隙的紫銅網帶14 ;與擋板6接觸的冷卻水管2與擋板6之間墊有消除兩者間間隙的紫銅網帶14。冷卻水管2處的紫銅網帶14的引入，可以確保擋板6和隔板7上的熱量快速地傳遞給冷卻水管2，以達到更好的冷卻降溫作用。
[0022]雖然結合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行了詳細地描述，但不應理解為對本專利的保護范圍的限定。在權利要求書所描述的范圍內，本領域技術人員不經創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改和變形仍屬本專利的保護范圍。
【主權項】
1.真空腔冷卻裝置，包括用于對擋板進行冷卻的冷卻水管，其特征在于:還包括支撐架，所述支撐架包括放置在真空腔底面上的底座和設置在所述底座兩端的端板；所述端板上設置有用于吊裝冷卻裝置的吊裝孔；兩塊擋板分別固定安裝在底座的兩側，兩塊擋塊之間的間隙形成集中濺射靶材在玻璃上的通道； 所述擋板外側的底座上固定安裝有與所述擋板接觸、且呈U字形的連接板；所述冷卻水管固定安裝在所述連接板與所述擋板之間形成的空腔內；所述底座的下方設置用于防止靶材濺射到傳動輥上的保護裝置。2.根據權利要求1所述的真空腔冷卻裝置，其特征在于:所述保護裝置包括位于傳動輥兩側、且與所述底座固定在一起的支撐梁，所述支撐梁上固定安裝有用于防止靶材濺射到傳動輥上的隔板；所述隔板與支撐梁之間形成的腔體內安裝有冷卻水管。3.根據權利要求2所述的真空腔冷卻裝置，其特征在于:與所述隔板接觸的冷卻水管與隔板之間墊有消除兩者間間隙的紫銅網帶；與所述擋板接觸的冷卻水管與擋板之間墊有消除兩者間間隙的紫銅網帶。
【專利摘要】本實用新型公開了真空腔冷卻裝置，其包括用于對擋板進行冷卻的冷卻水管和支撐架，支撐架包括放置在真空腔底面上的底座和設置在底座兩端的端板；端板上設置有用于吊裝冷卻裝置的吊裝孔；兩塊擋板分別固定安裝在底座的兩側，兩塊擋塊之間的間隙形成集中濺射靶材到玻璃上的通道；擋板外側的底座上固定安裝有與擋板接觸呈U字形的連接板；冷卻水管固定安裝在連接板與擋板之間形成的空腔內；底座的下方設置用于防止靶材濺射到傳動輥上的保護裝置。
【IPC分類】C03C17/00
【公開號】CN204848658
【申請?zhí)枴緾N201520431982
【發(fā)明人】賀強
【申請人】中建材（內江）玻璃高新技術有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年6月23日