本實用新型是關(guān)于非金屬晶體的制造設備領(lǐng)域，特別涉及一種區(qū)熔爐爐體機構(gòu)。

背景技術(shù)：

區(qū)熔爐是一種新型的單晶硅生長爐，它利用通電線圈將原料硅棒局部加熱熔化，熔區(qū)依靠熔硅的表面張力和加熱線圈提供的磁托浮力而處于懸浮態(tài)，然后從熔區(qū)下方利用旋轉(zhuǎn)著的籽晶將熔硅拉制成單晶硅。區(qū)熔爐生長的單晶硅產(chǎn)品純度高，各項性能好。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會的關(guān)鍵支持材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計算機與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電和半導體行業(yè)中的主要功能材料。

目前區(qū)熔爐工作時，主要的熔區(qū)部分都會單獨設計一個主爐室，參照圖1所示，現(xiàn)有區(qū)熔爐爐體主要包括一個主爐室1-1和一個下爐室1-4，主爐室1-1還包括觀察窗1-2和真空管路1-3。這種結(jié)構(gòu)的區(qū)熔爐體，由于熔區(qū)位于主爐室內(nèi)，因此每次拉完晶后，都要對主爐室進行仔細清理，而清理主爐室只能通過觀察窗來進行，觀察窗口空間較小，導致清理非常困難，延長了清爐時間，降低了生產(chǎn)效率。此外這種區(qū)熔爐體拉制CFZ單晶時氧化物不易控制，對單晶質(zhì)量影響較大。

因此，設計一種便于清理同時能有效改善CFZ氧化物問題的區(qū)熔爐體，提高生產(chǎn)效率及晶體質(zhì)量，是技術(shù)人員亟待解決的重要問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種便于清理，且能有效改善CFZ氧化物問題的區(qū)熔爐體。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種區(qū)熔爐爐體機構(gòu)，包括下爐室、觀察窗、真空管路，還包括爐門；所述下爐室包括下爐室本體、爐室隔板、隔板固定塊；所述爐門包括爐門本體、門鉸鏈；所述觀察窗包括觀察窗本體、觀察窗鉸鏈；

所述下爐室本體為空心圓柱體結(jié)構(gòu)，空心圓柱體結(jié)構(gòu)的弧面一側(cè)開有一個方形孔，另一側(cè)開有一個圓形孔；下爐室本體上1/4～1/3的上部區(qū)域為拉晶熔區(qū)，拉晶熔區(qū)以下為單晶棒升降區(qū)；所述隔板固定塊固定于下爐室本體的單晶棒升降區(qū)內(nèi)側(cè)，爐室隔板平放于隔板固定塊上，且爐室隔板至少設置有兩層；爐室隔板為圓形結(jié)構(gòu)，外徑比下爐室本體的內(nèi)徑小3～5毫米；

所述下爐室本體的一側(cè)方形孔上安裝有爐門本體，爐門本體通過門鉸鏈固定在下爐室本體上；下爐室本體的另一側(cè)圓形孔上安裝有觀察窗本體，且觀察窗本體能利用觀察窗鉸鏈進行開關(guān)動作；觀察窗本體為圓形結(jié)構(gòu)，且觀察窗本體表面圓周均勻分布有孔，在觀察窗本體關(guān)閉后能利用螺釘固定在下爐室本體上；

所述真空管路設置在下爐室本體的下部位置。

作為進一步的改進，所述隔板固定塊每層沿下爐室本體的內(nèi)壁圓周分布有4～8個，并通過焊接或螺釘固定。

作為進一步的改進，所述爐門本體上從上到下均勻分布有4只門鉸鏈。

作為進一步的改進，所述觀察窗本體表面圓周均勻分布有24個孔。

作為進一步的改進，所述爐室隔板在下爐室本體內(nèi)設置有3層。

作為進一步的改進，所述爐室隔板的厚度不小于5毫米，且爐室隔板采用304不銹鋼材質(zhì)的隔板。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型的下爐室本體結(jié)構(gòu)，融合了現(xiàn)有技術(shù)中主爐室和下爐室的所有功能，清理爐室時可以同時打開觀察窗和爐門，操作空間大，更易于清理爐室，大大提高生產(chǎn)效率；另外，位于熔區(qū)下方的三層爐室隔板在拉制CFZ單晶時能有效的減少氧化物，從而有利于拉制出高質(zhì)量的單晶硅。

附圖說明

圖1為原有區(qū)熔爐體的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實用新型的正面視圖。

圖3為本實用新型的左視圖。

圖中的附圖標記為：1-1主爐室；1-2觀察窗；1-3真空管路；1-4下爐室；2-1下爐室本體；2-2爐門本體；2-3觀察窗本體；2-4觀察窗鉸鏈；2-5真空管路；2-6門鉸鏈；2-7爐室隔板；2-8隔板固定塊。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細描述：

如圖2、圖3所示的一種區(qū)熔爐爐體機構(gòu)包括下爐室、觀察窗、真空管路2-5、爐門；其中，下爐室包括下爐室本體2-1、爐室隔板2-7、隔板固定塊2-8，爐門包括爐門本體2-2、門鉸鏈2-6，觀察窗包括觀察窗本體2-3、觀察窗鉸鏈2-4。

下爐室本體2-1為空心圓柱體結(jié)構(gòu)，空心圓柱體結(jié)構(gòu)的弧面一側(cè)開有一個方形孔，另一側(cè)開有一個圓形孔。下爐室本體2-1上1/4～1/3的上部區(qū)域為拉晶熔區(qū)，此處為晶體生長過程中最重要的區(qū)域，要求有很高的潔凈度，拉晶熔區(qū)以下為單晶棒升降區(qū)。隔板固定塊2-8固定于下爐室本體2-1的單晶棒升降區(qū)內(nèi)側(cè)，且每層沿下爐室本體2-1的內(nèi)壁圓周分布有4～8個，并通過焊接或螺釘固定。爐室隔板2-7平放于隔板固定塊2-8上，且爐室隔板2-7設置有3層。爐室隔板2-7為圓形結(jié)構(gòu)，外徑比下爐室本體2-1的內(nèi)徑小3～5毫米，使得爐室隔板2-7在安裝時更便捷；爐室隔板2-7的厚度不小于5毫米，選用材料為304不銹鋼。

下爐室本體2-1的一側(cè)方形孔上安裝有爐門本體2-2，爐門本體2-2通過從上到下均勻分布的4只門鉸鏈2-6固定在下爐室本體2-1上。下爐室本體2-1的另一側(cè)圓形孔上安裝有觀察窗本體2-3，且觀察窗本體2-3能利用觀察窗鉸鏈2-4進行開關(guān)動作；觀察窗本體2-3為圓形結(jié)構(gòu)，且觀察窗本體2-3表面圓周均勻分布有24個孔，在觀察窗本體2-3關(guān)閉后能利用螺釘固定在下爐室本體2-1上。當需要清理爐室時，可以同時將觀察窗本體2-3和爐門本體2-2打開，大大地縮減清理耗時，提高生產(chǎn)效率。

真空管路2-5設置在下爐室本體2-1的下部位置。

在拉制CFZ晶體時，所產(chǎn)生的氧化物在流經(jīng)3層爐室隔板2-7時，會被爐室隔板2-7所吸附，從而有效地減少單晶棒中的雜質(zhì)含量。

最后，需要注意的是，以上列舉的僅是本實用新型的具體實施例。顯然，本實用新型不限于以上實施例，還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本實用新型公開的內(nèi)容中直接導出或聯(lián)想到的所有變形，均應認為是本實用新型的保護范圍。