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直拉單晶爐及其導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12232935閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,包括內(nèi)導(dǎo)流筒(4)及設(shè)置于所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)的外側(cè)的外導(dǎo)流筒(6);

所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)及所述外導(dǎo)流筒(6)均為石墨導(dǎo)流筒;

所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)與所述外導(dǎo)流筒(6)之間設(shè)置有石墨紙(8);

所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)與所述外導(dǎo)流筒(6)的頂部均具有與直拉單晶爐連接的連接部;

所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)的連接部與所述外導(dǎo)流筒(6)的連接部之間設(shè)置有固定氈條(3)。

2.如權(quán)利要求1所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)與所述外導(dǎo)流筒(6)之間形成空腔(5);

所述石墨紙(8)位于所述空腔(5)內(nèi)。

3.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)的外壁上設(shè)置有所述石墨紙(8);

所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)的外壁為所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)朝向所述外導(dǎo)流筒(6)的壁面。

4.如權(quán)利要求3所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述外導(dǎo)流筒(6)的內(nèi)壁上設(shè)置有所述石墨紙(8);

所述外導(dǎo)流筒(6)的內(nèi)壁為所述外導(dǎo)流筒(6)朝向所述內(nèi)導(dǎo)流筒(4)的壁面。

5.如權(quán)利要求2所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述空腔(5)內(nèi)設(shè)置有保溫材料;

所述石墨紙(8)位于所述保溫材料的外側(cè)。

6.如權(quán)利要求5所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述保溫材料為軟氈。

7.一種直拉單晶爐,包括導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu),其特征在于,所述導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu)為如權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的導(dǎo)流筒結(jié)構(gòu)。

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