技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種乙硅烷生產(chǎn)裝置，包括連接反應(yīng)釜的加料系統(tǒng)、儲槽，反應(yīng)釜上方的出口，反應(yīng)釜底部的排渣口，和反應(yīng)釜內(nèi)安裝的高剪力型葉片攪拌器；所述加料系統(tǒng)內(nèi)裝有硅化鎂和氯化銨，所述儲槽內(nèi)裝有液氨，所述出口排出硅烷反應(yīng)混合物，所述出口排出的硅烷反應(yīng)混合物通往精餾塔，所述精餾塔的塔頂連接有冷凝器，所述精餾塔的塔底連接有再沸器，所述精餾塔排出的乙硅烷與乙硅烷儲罐相連，所述排渣口排出反應(yīng)雜物，所述排渣口與水平面的夾角為30?60度。由于本發(fā)明的生產(chǎn)裝置選擇了優(yōu)化設(shè)計，尤其是排渣口的夾角的設(shè)計，節(jié)省了反應(yīng)時間，生產(chǎn)成本較低，設(shè)備腐蝕性減小，可以連續(xù)穩(wěn)定化生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：黃曉東;謝嵩嶽
受保護的技術(shù)使用者：浙江迅鼎半導(dǎo)體材料科技有限公司
文檔號碼：201610469253
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.25
技術(shù)公布日：2016.11.16