本發(fā)明涉及高純度硅制造技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種硅的提純方法及提純包。
背景技術(shù):
光伏行業(yè)作為新能源產(chǎn)業(yè),越來(lái)越得到國(guó)際社會(huì)的重視,各國(guó)對(duì)光伏發(fā)展出了很多的優(yōu)惠政策和扶持政策。2015年我國(guó)新增光伏發(fā)電裝機(jī)約15 GW,同比增長(zhǎng)逾40%,全國(guó)光伏發(fā)電累計(jì)裝機(jī)量達(dá)到約43 GW,超越德國(guó)成為全球光伏累計(jì)裝機(jī)量最大的國(guó)家。根據(jù)國(guó)家能源局提供的規(guī)模發(fā)展指標(biāo),到2020年底,我國(guó)太陽(yáng)能發(fā)電裝機(jī)容量有望達(dá)到1.6億千瓦,年發(fā)電量達(dá)到1700億千瓦時(shí)。其中,光伏發(fā)電總裝機(jī)容量達(dá)到1.5億千瓦,太陽(yáng)能熱發(fā)電總裝機(jī)容量達(dá)到1000萬(wàn)千瓦。根據(jù)規(guī)劃,到2020年底,光伏發(fā)電裝機(jī)規(guī)模在電力結(jié)構(gòu)中比重占有7%,新增電力結(jié)構(gòu)中比重占15%左右,在全國(guó)總發(fā)電量結(jié)構(gòu)中占2.5%到3%。
在光伏產(chǎn)業(yè)中,需要應(yīng)用高純度硅,但現(xiàn)在主流硅提純化學(xué)工藝,由于工藝流程不合理,導(dǎo)致制硅法含酸、堿、氯硅烷、等離子、電子束等,具有較大安全生產(chǎn)隱患,且生產(chǎn)過(guò)程中具有粉塵、噪音、振動(dòng)、大宗工業(yè)垃圾以及有毒有害氣體排放,對(duì)環(huán)境造成污染。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題,本發(fā)明提供了一種工藝過(guò)程科學(xué)合理的硅的提純方法。
本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)具體實(shí)現(xiàn):
一種硅的提純方法,包括以下步驟:
步驟一,將固態(tài)硅加熱熔化,熔化溫度為1550-1800℃;
步驟二:將步驟一熔化后的液態(tài)硅放置在提純包內(nèi),在氬氣環(huán)境下加熱提純包至1450-1700℃后,再將提純包逐漸降溫至1450℃,使液態(tài)硅由下至上凝固提純。
進(jìn)一步地,步驟一中,將固態(tài)硅放置在中頻爐或電泳爐內(nèi)加熱熔化。
進(jìn)一步地,在進(jìn)行步驟二之前,對(duì)提純包在氬氣正壓環(huán)境下進(jìn)行預(yù)熱,預(yù)熱溫度400-1200℃。
進(jìn)一步地,在步驟二中,將液態(tài)硅放置在提純包后,對(duì)提純包進(jìn)行持續(xù)的抽真空處理,在真空度達(dá)到10-100Pa時(shí)充入氬氣,氬氣流量5-50l/min,壓力為0.3-0.5MPa。
進(jìn)一步地,在步驟二中,通過(guò)加熱器對(duì)提純包加熱,加熱器溫度在1450-1700℃,在提純包的底部及四周,設(shè)置有水冷系統(tǒng),對(duì)提純包進(jìn)行降溫。
進(jìn)一步地,在步驟二中,在將提純包降溫過(guò)程中,水冷系統(tǒng)的誰(shuí)呀范圍為0.2-0.6MPa,水流量為15-75m3/h。
本發(fā)明還公開(kāi)了一種用于以上任意一項(xiàng)的硅的提純方法的提純包,包括包體與包蓋,所述包體為上端開(kāi)口的箱式結(jié)構(gòu),在所述包體上設(shè)置有包蓋,在所述包體下部設(shè)置有水冷底盤(pán),在所述包體外壁四周設(shè)置有水冷管道,在所述包蓋上設(shè)置有加熱器、氬氣管與抽真空管。
進(jìn)一步地,在所述包體由多層耐高溫保溫材料制成,內(nèi)部的底面與內(nèi)壁均為石墨板。
進(jìn)一步地,所述加熱器設(shè)置在所述包蓋下方,通過(guò)石墨電極通電加熱或者硅鉬棒加熱。
進(jìn)一步地,在所述包蓋上方,也設(shè)置有水冷管道。
本發(fā)明的有益效果是:
本發(fā)明所公開(kāi)的一種硅的提純方法,具有環(huán)保、節(jié)能和低成本等特點(diǎn),通過(guò)進(jìn)一步提純可達(dá)到電子級(jí)單晶硅需要的拉晶料純度,與現(xiàn)在主流化學(xué)工藝相比,本發(fā)明所公開(kāi)的硅的提純方法提純硅工藝簡(jiǎn)單,成本低,不含酸、堿、氯硅烷、等離子、電子束等化學(xué)和高成本工藝環(huán)節(jié),全流程貫穿著“安全、環(huán)保、高質(zhì)、節(jié)能”的理念,工藝簡(jiǎn)潔、無(wú)安全生產(chǎn)隱患,且生產(chǎn)過(guò)程中無(wú)粉塵、噪音、振動(dòng)、大宗工業(yè)垃圾以及有毒有害氣體排放。
與其配套的提純包,與傳統(tǒng)設(shè)備提純鑄錠爐相比較,制作成本降低了30倍;目前鑄錠爐每爐中試產(chǎn)出最大在1200 Kg左右,本發(fā)明的提純包每包提純硅最大可達(dá)3000Kg以上,實(shí)現(xiàn)了鑄錠爐提純無(wú)法實(shí)現(xiàn)的產(chǎn)量,降低了其單位質(zhì)量成本;本發(fā)明技術(shù)方案充分利用其液態(tài)硅自身潛能熱進(jìn)行定向凝固,頂部加熱器只是對(duì)頂部保證不先凝固,用電量大大減少,是傳統(tǒng)設(shè)備的五分之一,實(shí)現(xiàn)了環(huán)保提純硅工藝,提純硅工藝簡(jiǎn)單,成本低;與西門(mén)子方法相比較,整個(gè)提純過(guò)程無(wú)酸堿反應(yīng),環(huán)保。設(shè)備制造成本低。
附圖說(shuō)明
圖1為本發(fā)明所公開(kāi)的硅的提純包結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本發(fā)明所公開(kāi)的硅的提純包包體水冷系統(tǒng)示意圖;
圖3為本發(fā)明所公開(kāi)的硅的提純包包蓋水冷系統(tǒng)示意圖;
圖4為本發(fā)明所公開(kāi)的硅的提純包包體底部水箱示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
如圖1所示,本發(fā)明公開(kāi)了一種硅的提純包,包括包體100與包蓋200,所述包體100為上端開(kāi)口的箱式結(jié)構(gòu),其底面為多層結(jié)構(gòu),最底層為石英砂、剛玉沙或者硅顆粒等耐高溫保溫材料105,其一作用支持硅液重量,其二作用防止底部的四周熱量散失過(guò)快;在耐高溫保溫材料105中部位置,還設(shè)置有石墨塊102,在其上一層再鋪設(shè)石英砂或剛玉砂等保溫層103,其一作用支持硅液重量,其二作用防止底部熱量散失過(guò)快。包體100的側(cè)壁也設(shè)置有多層耐高溫保溫結(jié)構(gòu),包括設(shè)置在最外層與最內(nèi)層的碳?xì)?、石墨氈或者高溫棉等第一保溫?06,為四周保溫,降低四周熱量損失,向內(nèi)一層設(shè)置有石英砂、剛玉砂、剛玉空心球等構(gòu)成的第二保溫層109,為四周起到保溫作用;同時(shí),在包體壁上,還間隔的橫向設(shè)置有耐高溫剛玉磚、石英塊或者莫來(lái)石磚等固定層110,起到保溫和固定其它保溫材料的作用。
在包體100外側(cè)設(shè)置有鐵板107,將上述的底面與側(cè)壁進(jìn)行包覆,同時(shí),提純包100的坩堝101采用石墨板組成,石墨坩堝101內(nèi)表面做氮化硅涂層,防止石墨對(duì)其污染。
在包體100的底部,設(shè)置有水冷底盤(pán)104,為使底部起到很好的首先凝固作用,控制水冷底盤(pán)104的水流量很快帶走底部中心的熱量,降低溫度以來(lái)得到凝固速度。水冷底盤(pán)結(jié)構(gòu)如圖4所示,由冷水通道隔板113、水冷底盤(pán)底板和提純包底板等組成了冷水通道,水從水冷底盤(pán)中部進(jìn)水口114進(jìn)入,由兩邊排除,如箭頭表示水的流向,保證水冷底盤(pán)中心溫度最低,底中部的液態(tài)硅最先凝固。
在所述包體100上設(shè)置有包蓋200,提純包包蓋200由冷卻水管道204、石墨電極202、氬氣管201、熱電偶209、耐高溫保溫材料205、石墨板206和加熱器207等組成。水冷管道204主要用來(lái)冷卻提純包包蓋200,防止熱量過(guò)大而造成變形,如圖3所示,水流向也是從中部進(jìn)入,有四周流出,起到最佳冷卻效果;電極202由高純石墨制作而成,主要用于給石墨加熱器208進(jìn)行供直流電源,石墨電極202經(jīng)銅排和電纜與電源柜相連接,電壓輸入0~100 V DC可調(diào),輸出功率 0~120 KW,通過(guò)熱電偶209檢測(cè)到的溫度控制功率,輸出最大電流2000A。石墨電極202與包蓋200之間有絕緣套203隔離,防止包蓋200因電極觸,絕緣套203為剛玉絕緣套。電石墨加熱器208電阻為0.2~0.6Ω,主要給予硅液頂部提供熱量,產(chǎn)生溫度在1450~1700℃范圍內(nèi),保證硅液表面最后凝固。氬氣管道201為石墨管、碳化硅管或者剛玉管等,通過(guò)氬氣管道201將高純氬氣吹到液態(tài)硅表面。保護(hù)液態(tài)硅和石墨件防止氧化,同時(shí)和真空泵配合,帶走相關(guān)易揮發(fā)性物質(zhì)。熱電偶傳感器209為鎢錸熱電偶或者鉑銠熱電偶,通過(guò)傳感器檢測(cè)到加熱器溫度,與提純溫度工藝曲線相比較,控制石墨加熱器輸出功率,使加熱器溫度按照提純溫度工藝曲線執(zhí)行,產(chǎn)生相應(yīng)的溫度保證液態(tài)硅能夠順利從下向上的定向凝固。石墨板206起到固定耐高溫保溫材料205作用,與保溫材料205配合其封閉作用,減少熱量損失。石墨板207主要用來(lái)反射加熱器熱量到硅液表面,最大化利用加熱器熱量到液態(tài)硅表面。
真空泵管道210用于抽取真空,同時(shí)和氬氣充入、抽出平衡,帶走易揮發(fā)雜質(zhì),防止抽取真空使發(fā)生漏氣現(xiàn)象,包蓋200和包體100之間使用了密封圈111。
本發(fā)明公開(kāi)了一種硅的提純方法,包括:
步驟一,將固態(tài)硅加熱熔化,熔化溫度為1550-1800℃;
步驟二:將步驟一熔化后的液態(tài)硅放置在提純包內(nèi),在氬氣環(huán)境下加熱提純包至1450~1700℃后,再將提純包逐漸降溫至1450℃,使液態(tài)硅由下至上凝固提純。
具體的,在步驟一中,經(jīng)中頻爐、電泳爐或者其它爐加熱熔化固態(tài)硅,加熱熔化過(guò)程中可在空氣、真空或者惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行,熔化溫度控制在1550~1800℃。爐內(nèi)坩堝采用高熔點(diǎn)的剛玉坩堝或者石墨坩堝。
在步驟二中,對(duì)提純包進(jìn)行預(yù)熱,在氬氣環(huán)境保護(hù)下,始終使提純包內(nèi)處于氬氣正壓狀態(tài),防止在預(yù)熱過(guò)程中石墨件或碳?xì)值缺谎趸A(yù)熱溫度為400~1200℃。固態(tài)硅在中頻爐等設(shè)備完全熔化后,液態(tài)硅溫度控制在1600℃以上,從爐內(nèi)坩堝中直接倒入轉(zhuǎn)移到提純包內(nèi)。
熔化液態(tài)硅轉(zhuǎn)移到提純包100后,立即蓋上包蓋200,防止液態(tài)硅熱量損失過(guò)大,電極202接上電源進(jìn)行加熱提純工藝。為防止液態(tài)硅、石墨保溫材料、石墨加熱器208及其石墨板207高溫下氧化,先對(duì)轉(zhuǎn)入液態(tài)硅的提純包進(jìn)行抽取真空,液態(tài)硅、石墨件和石墨材料與空氣隔離,真空度達(dá)到10~100 Pa時(shí)充入氬氣惰性氣體,在整個(gè)硅提純過(guò)程需要?dú)鍤鈿夥毡Wo(hù)。氬氣純度為>99.99(4N),在液態(tài)硅中吹入的氬氣流量5~50 l/min,壓力為0.3~0.5 MPa,提純氣氛為氬氣環(huán)境下,提純包內(nèi)的壓力保持在60~100KPa,真空泵邊抽真空,氬氣管道201邊充氬氣,使硅表面易揮發(fā)物質(zhì)被帶走頂部加熱器為硅鉬棒加熱器和石墨加熱器,控制溫度在1450~1700℃范圍內(nèi),保證液態(tài)硅表面是液態(tài)狀況。
提純工藝過(guò)程中,控制頂部加熱器208的溫度,從1700℃逐步降溫,最終溫度降到1450℃。逐步增加提純包四周和底部冷卻水壓力和流量,水壓范圍為0.2~0.6 MPa,水流量范圍15~75 m3/h,最終使液態(tài)硅從底部逐步向上定向凝固。由于定向凝固原因,雜質(zhì)元素在硅中分凝系數(shù)K<1,雜質(zhì)將排在頂部最后凝固成固態(tài),若分凝系數(shù)K>1,雜質(zhì)將被排除到硅錠的底部和硅一起先凝,去除頂部和底部及其和坩堝接觸的四周邊皮,將得到高純度硅。純度為99.9%~99.99%(3~4N)的硅經(jīng)提純包提純工藝后將得到高純度硅為99.99%~99.99999%(4~7N),去除雜質(zhì)效果明顯,每次提純硅的重量為500~3000 Kg。
最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本發(fā)明,盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。