專利名稱：通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種化工產(chǎn)品的制備裝置，特別是一種通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置。
背景技術：
目前，微電子工業(yè)是現(xiàn)代信息工業(yè)和軍事工業(yè)的主要基石，是推動科技進步、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、經(jīng)濟騰飛和社會前進的關鍵因素之一。集成電路是微電子工業(yè)的核心，其發(fā)展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個國家經(jīng)濟實力的重要標志。電子特種氣體，如磷烷，尤其是高純度的電子特種氣體作為電子化工材料，是影響集成電路可靠性和成品率的重要因素，隨著電子信息裝置的飛速發(fā)展，集成度越來越高，對作為基礎原材料的電子特種氣體(如磷烷)的純度要求已經(jīng)提高到了 5N級(99.999%)，甚至7N (99.99999%)以上，然而，現(xiàn)有制備磷烷的制備裝置尚未完善，制備裝置結(jié)構復雜，操作繁瑣，生產(chǎn)出的磷烷純度不夠高。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型旨在克服現(xiàn)有技術缺陷，提供一種通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置。通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，包括箱體，所述箱體一側(cè)壁上部設有出氣口，另一側(cè)壁底部設有出氣口，所述箱體內(nèi)側(cè)底部連接有氣體分配板，在所述箱體上方設有至少一個藥筒，所述藥筒內(nèi)連接有活塞，所述藥筒底部設有出液口。本實用新型的有益效果是，裝置結(jié)構簡單，方便操作，生產(chǎn)出的磷烷產(chǎn)品純度高。此外，解決了磷烷的 環(huán)境污染問題。

圖1為本實用新型具有三個藥筒的使用狀態(tài)示意圖，其中，1、箱體，2、入氣口，3、出氣口，4、水,5、導管,6、熏蒸劑轉(zhuǎn)移管,7、風機,8、氣體分配板,9、攪拌器,10、藥筒,11、磷化物混合物，12、活塞，13、限流管，14、磷化物小滴，15、驅(qū)動板。
具體實施方式
下面結(jié)合圖1對本實用新型進一步說明，通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，包括箱體1，所述箱體I密封，所述箱體一側(cè)壁上部設有出氣口 3，另一側(cè)壁底部設有入氣口 2，所述箱體內(nèi)側(cè)底部連接有氣體分配板8，在所述箱體上方設有至少一個藥筒10，所述藥筒內(nèi)連接有活塞12，所述藥筒底部設有出液口。所述氣體分配板由分配板主體和其上均勻分布的至少一個篩孔組成。所箱體內(nèi)部安裝有攪拌器9。所述活塞與所述藥筒內(nèi)壁滑動連接。所述出液口連接有限流管13。所述限流管內(nèi)壁直徑為0.5_10mm。[0013]所述藥筒內(nèi)的活塞與所述藥筒上方的驅(qū)動板15相連。所述藥筒有2-5個。使用時，在箱體I內(nèi)添加適量的水4，在至少一個藥筒10內(nèi)裝入磷化物混合物11，下壓驅(qū)動板15，使磷化物混合物11以磷化物小滴14狀滴入箱體I內(nèi)的水4中，同時啟動攪拌器9，反應制備磷烷。磷烷氣體產(chǎn)生后，從出氣口 3裝瓶入庫。此外，當用于熏蒸時，氣體出口 3直接連接導管5，與熏蒸劑轉(zhuǎn)移管6連接，熏蒸劑轉(zhuǎn)移管6下部連接安裝風機7，啟動熏蒸系統(tǒng)即可。本實用新型的有益效果是，裝置結(jié)構簡單，方便操作，生產(chǎn)出的磷烷產(chǎn)品純度高。此外，解決了磷烷的環(huán)境污染問題。`
權利要求1.通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:包括箱體，所述箱體一側(cè)壁上部設有出氣口，另一側(cè)壁底部設有出氣口，所述箱體內(nèi)側(cè)底部連接有氣體分配板，在所述箱體上方設有至少一個藥筒，所述藥筒內(nèi)連接有活塞，所述藥筒底部設有出液口。
2.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述氣體分配板由分配板主體和其上均勻分布的至少一個篩孔組成。
3.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所箱體內(nèi)部安裝有攪拌器。
4.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述活塞與所述藥筒內(nèi)壁滑動連接。
5.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述出液口連接有限流管。
6.根據(jù)權利要求5所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述限流管內(nèi)壁直徑為0.5-10mm。
7.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述藥筒內(nèi)的活塞與所述藥筒上方的驅(qū)動板相連。
8.根據(jù)權利要求1所述的通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，其特征在于:所述藥筒有2- 5 個。
專利摘要本實用新型涉及一種化工產(chǎn)品的制備裝置，特別是一種通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置。通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置，包括箱體，所述箱體一側(cè)壁上部設有出氣口，另一側(cè)壁底部設有出氣口，所述箱體內(nèi)側(cè)底部連接有氣體分配板，在所述箱體上方設有至少一個藥筒，所述藥筒內(nèi)連接有活塞，所述藥筒底部設有出液口。本實用新型用于電子特種氣體的過程中。
文檔編號C01B25/06GK203112508SQ201220745410
公開日2013年8月7日 申請日期2012年12月31日 優(yōu)先權日2012年12月31日
發(fā)明者原東風 申請人:天津市泰源工業(yè)氣體有限公司