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技術(shù)編號：3450446

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本實(shí)用新型涉及一種化工產(chǎn)品的制備裝置，特別是一種通過磷化鋁水解制備磷烷的裝置。背景技術(shù)目前，微電子工業(yè)是現(xiàn)代信息工業(yè)和軍事工業(yè)的主要基石，是推動科技進(jìn)步、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、經(jīng)濟(jì)騰飛和社會前進(jìn)的關(guān)鍵因素之一。集成電路是微電子工業(yè)的核心，其發(fā)展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個(gè)國家經(jīng)濟(jì)實(shí)力的重要標(biāo)志。電子特種氣體，如磷烷，尤其是高純度的電子特種氣體作為電子化工材料，是影響集成電路可靠性和成品率的重要因素，隨著電子信息裝置的飛速發(fā)展，集成度越來越高，對作為基礎(chǔ)原材料的電子特種...
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