專利名稱：一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)中一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置。二背景技術(shù)：
目前，我國(guó)大多數(shù)企業(yè)的多晶硅生產(chǎn)工藝為改良西門(mén)子法，硅粉與氯化氫制備三氯氫硅生產(chǎn)過(guò)程中有副產(chǎn)物二氯二氫硅和四氯化硅生成。四氯化硅可用氫化工藝將其進(jìn)行處理，轉(zhuǎn)化為三氯氫硅進(jìn)行利用，但國(guó)內(nèi)四氯化硅氫化工藝尚不成熟，核心技術(shù)難以掌握， 效率低，能耗高；二氯二氫硅國(guó)內(nèi)現(xiàn)階段還沒(méi)有成熟技術(shù)對(duì)其進(jìn)行有效利用，而且二氯二氫硅沸點(diǎn)較低，易燃易爆，與空氣混合后在很寬的范圍內(nèi)均可以爆炸，爆炸性極強(qiáng)，具有極大的危險(xiǎn)性。因此，二氯二氫硅的安全儲(chǔ)存和四氯化硅利用成為困擾多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的難題。三、發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型是針對(duì)目前困擾多晶硅生產(chǎn)中低沸物二氯二氫硅的安全儲(chǔ)存難題，提出了一種多晶硅生產(chǎn)中二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置，該裝置使二氯二氫硅和四氯化硅有效預(yù)混合儲(chǔ)存，避免了二氯二氫硅的爆炸可能性，并為二氯二氫硅歧化反應(yīng)器進(jìn)料，將二氯二氫硅和四氯化硅進(jìn)行歧化反應(yīng)轉(zhuǎn)化為原料三氯氫硅。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置，其特征在于管道(4)和管道(5)與混合器(6)相連，混合器(6)通過(guò)管道(7)和閥I (15)與儲(chǔ)罐(2)相連，氮?dú)夤?3)通過(guò)管道 (8)和閥II (14)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(9)通過(guò)壓力自控閥(13)與儲(chǔ)罐(2)相連，壓力表 (10)通過(guò)管道(11)和閥IIK12)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(16)通過(guò)閥IV(I)與儲(chǔ)罐(2)相連。 本實(shí)用新型是這樣工作的將低沸物二氯二氫硅和四氯化硅按一定的摩爾比通過(guò)管道(4) 和管道(5 )通入混合器(6 )中，二氯二氫硅和四氯化硅在混合器(6 )中混合后避免了二氯二氫硅的爆炸可能性，再將二氯二氫硅和四氯化硅的混合物通過(guò)管道(7)注入儲(chǔ)罐(2)，氮?dú)夤?3)中的氮?dú)馔ㄟ^(guò)管道(8)和壓力自控閥(13)通入儲(chǔ)罐(2)內(nèi)，壓力表(10)是監(jiān)測(cè)儲(chǔ)罐 (2)內(nèi)的壓力，管道(9)和壓力自控閥(13)的作用保持儲(chǔ)罐(2)內(nèi)的壓力恒定并安全排氣， 氮?dú)獬洚?dāng)安全保護(hù)氣體，當(dāng)儲(chǔ)罐(2)內(nèi)壓力大于設(shè)定值時(shí)，壓力自控閥(13)自動(dòng)打開(kāi)，降低罐內(nèi)壓力直至恢復(fù)到設(shè)定值，當(dāng)儲(chǔ)罐內(nèi)部壓力低于設(shè)定值時(shí)，氮?dú)夤?3)自動(dòng)向儲(chǔ)罐(2)內(nèi)注入氮?dú)?，壓力提升至設(shè)定值，使整個(gè)系統(tǒng)中二氯二氫硅和四氯化硅混合后在儲(chǔ)罐(2)內(nèi)時(shí)刻保持一定壓力和氮?dú)鉂舛?，防止混合物發(fā)生爆炸，儲(chǔ)罐(2)中的二氯二氫硅和四氯化硅混合物通過(guò)管道(16)和閥IV(I)進(jìn)入后面的歧化反應(yīng)工序。本實(shí)用新型有效的避免了低沸物二氯二氫硅發(fā)生爆炸的可能，為多晶硅生產(chǎn)提供了安全保障，同時(shí)整個(gè)系統(tǒng)自動(dòng)化程度較高，節(jié)省了人力，提高了操作安全性，為整個(gè)多晶硅安全生產(chǎn)提供了保障，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，降低了物耗。四
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖圖中1、閥IV 2、儲(chǔ)罐 3、氮?dú)夤?、管道 5、管道 6、混合器 7管道8、管道9、管道 10、壓力表 11、管道 12、閥III 13、壓力自控閥 14、閥II 15、閥I 16、
管道[0010]五具體實(shí)施方式
實(shí)施例1 一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置，管道(4)和管道(5) 與混合器(6)相連，混合器(6)通過(guò)管道(7)和閥I (15)與儲(chǔ)罐(2)相連，氮?dú)夤?3)通過(guò)管道(8)和閥II (14)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(9)通過(guò)壓力自控閥(13)與儲(chǔ)罐(2)相連，壓力表(10)通過(guò)閥111(12)和管道(11)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(16)通過(guò)閥IV(I)與儲(chǔ)罐(2)相連。
權(quán)利要求1. 一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置，其特征在于管道(4)和管道(5)與混合器(6)相連，混合器(6)通過(guò)管道(7)和閥I (15)與儲(chǔ)罐(2)相連，氮?dú)夤?3)通過(guò)管道 (8)和閥II (14)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(9)通過(guò)壓力自控閥(13)與儲(chǔ)罐(2)相連，壓力表 (10)通過(guò)閥IIK12)和管道(11)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(16)通過(guò)閥IV(I)與儲(chǔ)罐(2)相連。
專利摘要本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)中一種二氯二氫硅和四氯化硅預(yù)混合儲(chǔ)存裝置。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案為管道(4)和管道(5)與混合器(6)相連，混合器(6)通過(guò)管道(7)和閥Ⅰ(15)與儲(chǔ)罐(2)相連，氮?dú)夤?3)通過(guò)管道(8)和閥Ⅱ(14)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(9)通過(guò)壓力自控閥(13)與儲(chǔ)罐(2)相連，壓力表(10)通過(guò)閥Ⅲ(12)和管道(11)與儲(chǔ)罐(2)相連，管道(16)通過(guò)閥Ⅳ(1)與儲(chǔ)罐(2)相連。本實(shí)用新型有效的避免了低沸物二氯二氫硅發(fā)生爆炸的可能性，為多晶硅生產(chǎn)提供了安全保障，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，降低多晶硅生產(chǎn)中的能耗。
文檔編號(hào)C01B33/03GK202265419SQ201120350348
公開(kāi)日2012年6月6日 申請(qǐng)日期2011年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月19日
發(fā)明者武華, 王體虎, 肖建忠 申請(qǐng)人:亞洲硅業(yè)(青海)有限公司