專利名稱:一種適于石墨烯生長的成型平臺的制作方法
【專利摘要】一種適于石墨烯生長的成型平臺，成型平臺包括偶數(shù)塊上下平行設置的石英平板，相鄰的石英平板之間設置有起到支撐作用的可調(diào)節(jié)石英支撐架，可調(diào)節(jié)石英支撐架包括具有內(nèi)螺紋的容納桿和具有外螺紋的插入桿，插入桿插裝于容納桿內(nèi)利用螺紋嚙合安裝；石英平板中，最頂部的石英平板上方設置有頂座，最底部的石英平板下方設置有底座，且頂座和底座上均安裝有球形的石英滾輪；石英平板中，中間兩塊石英平板寬度最大，上下兩側(cè)的石英平板的寬度向上下兩端逐漸遞減，且石英平板的端面均呈與石英舟內(nèi)圈相適應的弧形。本實用新型充分利用石英舟內(nèi)部的空間，保證成型平臺在石英舟內(nèi)的穩(wěn)定性。
【專利說明】一種適于石墨烯生長的成型平臺

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及石墨烯生產(chǎn)設備【技術領域】，具體為一種適于石墨烯生長的成型平臺O

【背景技術】
[0002]石墨烯是一種由碳原子以sp2雜化軌道組成的六角型晶格單原子層二維晶體。石墨烯有許多獨特的性質(zhì)，它是零帶隙的半金屬半導體材料，具有超高的費米速度(光速的1/300)、載流子迀移率和熱導率，良好的透光特性和優(yōu)異的力學性能(彈性模量和抗拉強度分別達到1.1TPa和125GPa)，因此在透明電極、晶體管、傳感器、能源存儲、高強度復合材料等方面存在廣泛的應用前景。
[0003]另一方面，石墨烯具有原子級的平整度、良好的生物兼容性、去局域化的π鍵以及良好的化學惰性，為研宄表面增強拉曼及其機理提供了一個全新的平臺；同時，它豐富的表面有利于石墨烯一半導體復合結(jié)構的設計、集成和制備。
[0004]目前，石墨烯主要的制備方法有以下幾種:機械剝離法、CVD生長法、化學法、SiC外延生長法等等。
[0005]在工業(yè)化批量生產(chǎn)石墨烯薄膜的過程中，通常采用金屬作為基底，金屬基底一般貼附于石英舟表面。在沉積石墨烯的過程中，金屬基底一般直接置于石英舟內(nèi)部。然而受設備加熱空間的限制，通常制備的石墨烯薄膜數(shù)量有限；并且當石英舟管徑較大時，退火后金屬基底硬度急劇下降，使得金屬基底褶皺變形。
[0006]現(xiàn)在也有采用石英作為基底的成型平臺，但是，這種成型平臺在石英舟內(nèi)的放置不夠牢固，同時，對空間沒有充分利用。
實用新型內(nèi)容
[0007]本實用新型所解決的技術問題在于提供一種適于石墨烯生長的成型平臺，從而解決上述【背景技術】中的問題。
[0008]本實用新型所解決的技術問題采用以下技術方案來實現(xiàn):
[0009]一種適于石墨烯生長的成型平臺，所述成型平臺用于放置于管狀的石英舟中進行生長石墨烯，所述成型平臺包括偶數(shù)塊上下平行設置的石英平板，相鄰的石英平板之間設置有起到支撐作用的可調(diào)節(jié)石英支撐架，
[0010]所述可調(diào)節(jié)石英支撐架包括具有內(nèi)螺紋的容納桿和具有外螺紋的插入桿，所述插入桿插裝于所述容納桿內(nèi)利用螺紋嚙合安裝，并實現(xiàn)調(diào)節(jié)高度的功能；
[0011]所述石英平板中，最頂部的石英平板上方設置有頂座，最底部的石英平板下方設置有底座，且所述頂座和所述底座上均安裝有球形的石英滾輪；
[0012]所述石英平板中，中間兩塊石英平板寬度最大，上下兩側(cè)的石英平板的寬度向上下兩端逐漸遞減，且所述石英平板的端面均呈與石英舟內(nèi)圈相適應的弧形。
[0013]作為一種優(yōu)化的技術方案，中間兩塊石英平板的兩端均安裝有球形的石英滾輪。
[0014]由于采用了以上技術方案，本實用新型具有以下有益效果:
[0015]本實用新型利用可調(diào)節(jié)石英支撐架對石英平板之間的間距進行合理調(diào)整，充分利用石英舟內(nèi)部的空間。
[0016]本實用新型設置有頂座和底座，其上均安裝有球形的石英滾輪，同時，中間兩塊石英平板的兩端均安裝有球形的石英滾輪?；谶@種結(jié)構，可以保證成型平臺在石英舟內(nèi)的穩(wěn)定性。

【附圖說明】

[0017]圖1為本實用新型結(jié)構示意圖。

【具體實施方式】
[0018]為了使本實用新型實現(xiàn)的技術手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本實用新型。
[0019]參見圖1，一種適于石墨烯生長的成型平臺，所述成型平臺用于放置于管狀的石英舟中進行生長石墨烯，所述成型平臺包括偶數(shù)塊上下平行設置的石英平板1，相鄰的石英平板I之間設置有起到支撐作用的可調(diào)節(jié)石英支撐架2，所述可調(diào)節(jié)石英支撐架2包括具有內(nèi)螺紋的容納桿21和具有外螺紋的插入桿22，所述插入桿22插裝于所述容納桿21內(nèi)利用螺紋嚙合安裝，并實現(xiàn)調(diào)節(jié)高度的功能；所述石英平板I中，最頂部的石英平板I上方設置有頂座3，最底部的石英平板I下方設置有底座4，且所述頂座3和所述底座4上均安裝有球形的石英滾輪5 ;所述石英平板I中，中間兩塊石英平板I寬度最大，上下兩側(cè)的石英平板I的寬度向上下兩端逐漸遞減，且所述石英平板I的端面均呈與石英舟內(nèi)圈相適應的弧形。
[0020]本實施例中，中間兩塊石英平板I的兩端均安裝有球形的石英滾輪5。
[0021]以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權利要求書及其等效物界定。
【權利要求】
1.一種適于石墨烯生長的成型平臺，所述成型平臺用于放置于管狀的石英舟中進行生長石墨烯，其特征在于:所述成型平臺包括偶數(shù)塊上下平行設置的石英平板，相鄰的石英平板之間設置有起到支撐作用的可調(diào)節(jié)石英支撐架，所述可調(diào)節(jié)石英支撐架包括具有內(nèi)螺紋的容納桿和具有外螺紋的插入桿，所述插入桿插裝于所述容納桿內(nèi)利用螺紋嚙合安裝，并實現(xiàn)調(diào)節(jié)高度的功能；所述石英平板中，最頂部的石英平板上方設置有頂座，最底部的石英平板下方設置有底座，且所述頂座和所述底座上均安裝有球形的石英滾輪；所述石英平板中，中間兩塊石英平板寬度最大，上下兩側(cè)的石英平板的寬度向上下兩端逐漸遞減，且所述石英平板的端面均呈與石英舟內(nèi)圈相適應的弧形。2.根據(jù)權利要求1所述的一種適于石墨烯生長的成型平臺，其特征在于:中間兩塊石英平板的兩端均安裝有球形的石英滾輪。
【文檔編號】C01B31-04GK204281325SQ201420720760
【發(fā)明者】鄧凌峰, 劉小花, 劉永正, 王鐘民, 張遠和, 文建民 [申請人]湖南東博墨烯科技有限公司