專利名稱：臭氧發(fā)生器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及向低壓電極與高壓電極之間施加交流高電壓并產(chǎn)生臭氧氣體的臭氧發(fā)生器。
背景技術(shù)：
圖25是例如在日本專利特許第3113885號公報中所記載的以往的疊層式臭氧發(fā)生器的剖視圖。
該立方體形狀的臭氧發(fā)生器具有基座1、在該基座1上多級疊層的放電單元2、在基座1的兩側(cè)夾持放電單元2的低壓電極4而疊層的塊狀體3、貫通低壓電極4和塊狀體3且將前端螺旋在基座1上而將基座1、放電單元2和塊狀體3作成一體化的多個緊固螺栓5。
放電單元2具有高壓電極8、與該高壓電極的兩面接觸的電介質(zhì)7、通過放電空隙6與電介質(zhì)7相對的低壓電極4。電介質(zhì)7由玻璃構(gòu)成。高壓電極8由不銹鋼板等的導(dǎo)電性薄板構(gòu)成，其一部分與未圖示的供電端子連接。
在放電空隙6中以規(guī)定的間隔配設(shè)著多條襯墊9。該襯墊9由剛性體構(gòu)成，且在圖25中向與紙面垂直的方向延伸。由于是通過緊固螺栓5來緊固臭氧發(fā)生器，故該襯墊的直徑尺寸必然是比所確定的放電空隙長度小，襯墊9散布在放電空隙6內(nèi)。
又，將放電空隙內(nèi)的襯墊作成彈性體的情況下，襯墊的直徑就比上述放電空隙大，襯墊就略微受到壓力。
放電空隙6與使塊狀體3、低壓電極4和基座1的各端部在放電單元2的疊層方向上貫通的臭氧氣體出口部10連通。在各個低壓電極4上形成有制冷劑通路11。各制冷劑通路11的端部與貫通塊狀體3、低壓電極4和基座1的制冷劑出口部12連接。該制冷劑出口部12形成在臭氧發(fā)生器的寬度方向(與紙面的垂直方向)的跟前側(cè)。又，在臭氧發(fā)生器的寬度方向的里側(cè)形成與制冷劑通路11連接的制冷劑入口部(未圖示)。
下面，對上述結(jié)構(gòu)的臭氧發(fā)生器的動作進(jìn)行說明。
當(dāng)在低壓電極4與高壓電極8之間施加交流高電壓時，通過電介質(zhì)7在放電空隙6中產(chǎn)生電介質(zhì)阻擋放電。利用該放電，從形成于紙面的跟前側(cè)和里側(cè)的兩側(cè)上的氧氣入口部(未圖示)起以使得在中間發(fā)生沖撞而導(dǎo)入到放電空隙6中的氧氣，一旦分解為氧原子，幾乎同時由于該氧原子與其他的氧氣分子發(fā)生沖撞以及氧原子、氧分子與壁等產(chǎn)生的三體沖撞，生成臭氧氣體。而且，通過向放電空隙6連續(xù)地供給氧氣，作為臭氧氣體，連續(xù)地從臭氧氣體出口部10取出通過放電生成的臭氧氣體。
可以說通過該放電取出的臭氧發(fā)生效率最大約為20％。放電電力的80％為加熱電極的損耗。又，臭氧氣體的發(fā)生效率依賴于電極溫度，電極4、8的溫度(嚴(yán)格地說是放電空隙中氧氣和臭氧氣體的溫度)越低則發(fā)生效率越高。因此，將低壓電極4用作為制冷劑的冷卻水等直接進(jìn)行冷卻，或通過縮短放電空隙6的放電空隙長度來抑制放電空隙6中的氣體溫度的上升，并通過提高電子溫度來提高臭氧生成效率、抑制臭氧分解，其結(jié)果，能高效地取出高濃度的臭氧氣體。
在本例中，通過使制冷劑從制冷劑入口部向流向各低壓電極4的制冷劑通路11流動，并從制冷劑出口部12向臭氧發(fā)生器的外部排出，使低壓電極4冷卻。
在上述結(jié)構(gòu)的臭氧發(fā)生器中，制冷劑出口部12和制冷劑入口部、臭氧氣體出口部10分開地形成在臭氧發(fā)生器的兩側(cè)上，并由于各自貫通分離在兩側(cè)上的單體塊狀體3，因此，對于形成制冷劑出口部12、制冷劑入口部和臭氧氣體出口部10的各個通孔的位置對準(zhǔn)，需要花費(fèi)工夫，存在組裝作業(yè)費(fèi)時的問題。
又，制冷劑出口部12和制冷劑入口部、臭氧氣體出口部10分開地形成在臭氧發(fā)生器的兩側(cè)，故存在整體結(jié)構(gòu)大型化的問題。
又，基座1、放電單元2和塊狀體3的一體化是利用臭氧發(fā)生器兩端部的多條緊固螺栓5而作成，故在放電單元2有時會略彎曲成圓弧狀，尤其，在放電空隙長度為0.1mm這樣短的時候，會受到較大影響，則放電空隙長度變得不均勻，存在不能獲得高濃度的臭氧氣體的問題。
又，放電空隙形成用的襯墊9是剛性體，在使用緊固螺栓5將基座1、放電單元2和塊狀體3作成一體化時必然設(shè)計成比所確定的放電空隙長度小的直徑的狀態(tài)，而在這樣設(shè)計的場合存在以下的問題。
也就是說，在減小放電空隙長度而產(chǎn)生高濃度的臭氧氣體情況下，由于與沿襯墊9流動的(在圖25中相對紙面為垂直方向)氣體的壓損相比，橫穿鄰接的襯墊9而流動的(在圖25中為沿紙面的方向)氣體的壓損非常小，故多大部分氧氣橫穿鄰接的襯墊9而流動。產(chǎn)生從氧氣入口部流入的氧氣向位于端部的臭氧氣體出口部10流動的所謂“短通道現(xiàn)象”，存在臭氧氣體發(fā)生效率降低的問題。
為了不產(chǎn)生短通道現(xiàn)象，作成使氧氣沿襯墊9流動的狀態(tài)，已知與沿襯墊9流動的氧氣的壓損相比，必須使橫穿鄰接的襯墊9而流動的氧氣的壓損的值作成約10倍以上，而且，例如在放電空隙長度為0.1mm左右的臭氧發(fā)生器的情況下，必須將襯墊9與放電空隙6的間隙作成極微小，而由此所要求的襯墊9的尺寸，在制作上是接近于不可能的值，不能避免短通道現(xiàn)象。
本發(fā)明是將解決上述的問題作為課題，其目的在于，獲得使組裝作業(yè)簡單化、小型化并且高濃度、高效率的臭氧發(fā)生器。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，低壓電極由與高壓電極相對的圓形的低壓電極主體、設(shè)在該低壓電極主體的一側(cè)上的延設(shè)部構(gòu)成，且該延設(shè)部夾著塊狀體多級疊層在基座上，在上述延設(shè)部和上述塊狀體上，向制冷劑通路供給制冷劑的制冷劑入口部、將來自上述制冷劑通路的制冷劑排出的制冷劑出口部和將來自臭氧氣體通路的臭氧氣體排出的臭氧氣體出口部的分別貫通地形成在放電單元的疊層方向上。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，交替疊層的延設(shè)部和塊狀體以貫通延設(shè)部和塊狀體且將端部旋轉(zhuǎn)在基座上的第1緊固螺栓進(jìn)行連接，交替疊層的高壓電極、低壓電極主體和電介質(zhì)，以貫通與最上層低壓電極接觸的電極壓板并將端部螺旋在基座上的第2緊固螺栓作用于電極壓板與基座之間的夾持力進(jìn)行連接，上述第1緊固螺栓的接合力是將上述延設(shè)部與上述塊狀體之間無間隙連接的接合力，上述第2緊固螺栓的接合力是使得放電空隙均勻的夾持力，第1緊固螺栓的接合力比上述第2緊固螺栓的接合力弱。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，制冷劑入口部、制冷劑出口部和臭氧氣體C出口部大致形成在一條線上。在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，低壓電極具有在一個面上設(shè)有凹凸的第1低壓電極部、在一個面上設(shè)有凹凸的第2低壓電極部，使上述第1低壓電極部的凹凸面與上述第2低壓電極部的凹凸面相接而形成制冷劑通路和臭氧氣體通路。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，低壓電極具有在一個面上設(shè)有凹凸的第1低壓電極部、在一個面上設(shè)有凹凸的第2低壓電極部、以及夾在上述第1低壓電極部與上述第2低壓電極部之間的第3低壓電極部，通過重合上述第1低壓電極部、上述第2低壓電極部和上述第3低壓電極部，分開形成制冷劑通路不同的層。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，低壓電極部的相互間僅通過加熱和加壓來進(jìn)行連接。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在與臭氧氣體通路對應(yīng)的低壓電極的表面上設(shè)有襯墊覆蓋體。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在低壓電極的面向放電空隙的表面上，以電介質(zhì)膜進(jìn)行覆蓋。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在低壓電極的面向放電空隙的表面上，粘接著帶襯墊的電介質(zhì)片。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，電介質(zhì)膜是含有陶瓷或SiO2成分的玻璃。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，電介質(zhì)片是含有陶瓷或SiO2成分的玻璃。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在與低壓電極或高壓電極接觸的一側(cè)的電介質(zhì)的表面上設(shè)有導(dǎo)電膜。
本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在與高壓電極接觸的一側(cè)的電介質(zhì)的表面上形成的導(dǎo)電膜，在與臭氧氣體通路對應(yīng)的區(qū)域具有將導(dǎo)電膜去除的去除區(qū)域。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在電介質(zhì)和與該電介質(zhì)形成一體的高壓電極或低壓電極之間，設(shè)有良好傳導(dǎo)性、良電傳導(dǎo)性的化合物。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在導(dǎo)電膜的外周邊上用絕緣保護(hù)膜覆蓋。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，在電介質(zhì)的一個面上設(shè)有襯墊。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，貫通的外徑尺寸比電介質(zhì)的外徑尺寸小。
在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，塊狀體具有第1塊狀體部、與該第1塊狀體部嵌合的第2塊狀體部、設(shè)在上述第1塊狀體部與上述第2塊狀體部之間的彈性體。


圖1是包含本發(fā)明實(shí)施例1的臭氧發(fā)生器的臭氧發(fā)生裝置的模式圖。
圖2是圖1的臭氧發(fā)生器除去罩后的內(nèi)部的模式圖。
圖3是圖1的塊狀體的剖視圖。
圖4是圖1的低壓電極的平面圖。
圖5是沿圖4的低壓電極的A-A線的剖視圖。
圖6是沿圖4的低壓電極的B-B線的剖視圖。
圖7是本發(fā)明實(shí)施例2的臭氧發(fā)生器的低壓電極的平面圖。
圖8是沿圖7的低壓電極的A-A線的剖視圖。
圖9是沿圖7的低壓電極的B-B線的剖視圖。
圖10的本發(fā)明實(shí)施例3的臭氧發(fā)生器的低壓電極的平面圖。
圖11是沿圖10的低壓電極的A-A線的剖視圖。
圖12是沿圖10的低壓電極的B-B線的剖視圖。
圖13是本發(fā)明實(shí)施例4的臭氧發(fā)生器的低壓電極的平面圖。
圖14是沿圖13的低壓電極的A-A線的剖視圖。
圖15是沿圖13的低壓電極的B-B線的剖視圖。
圖16是本發(fā)明實(shí)施例5的臭氧發(fā)生裝置主要部分的模式圖。
圖17是本發(fā)明實(shí)施例6的臭氧發(fā)生器的高壓電極的正視圖。
圖18是本發(fā)明實(shí)施例7的臭氧發(fā)生器的電介質(zhì)的平面圖。
圖19是沿圖18的低壓電極的A-A線的剖視圖。
圖20是本發(fā)明實(shí)施例8的臭氧發(fā)生器的塊狀體的剖視圖。
圖21是本發(fā)明實(shí)施例9的臭氧發(fā)生器的電介質(zhì)的平面圖。
圖22是本發(fā)明實(shí)施例10的臭氧發(fā)生器的電介質(zhì)的平面圖。
圖23是本發(fā)明實(shí)施例11的臭氧發(fā)生器的電介質(zhì)的平面圖。
圖24是沿圖23的電介質(zhì)的A-A線的剖視圖。
圖25是以往的臭氧發(fā)生器的模式圖。
具體實(shí)施例方式
(實(shí)施例1)以下，對本發(fā)明實(shí)施例1進(jìn)行說明，而對與以往的結(jié)構(gòu)相同或相當(dāng)?shù)臉?gòu)件標(biāo)上相同符號進(jìn)行說明。
圖1是包含本發(fā)明實(shí)施例1的臭氧發(fā)生器的臭氧發(fā)生裝置的構(gòu)成圖，圖2是去除圖1中臭氧發(fā)生器16的罩27后的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖視圖，圖3是圖2的塊狀體30的剖視圖，圖4是圖1的低壓電極的平面圖，圖5是沿圖4的低壓電極的A-A線的剖面圖，圖6是沿圖4的低壓電極的B-B線的剖視圖。
該臭氧發(fā)生裝置具有臭氧發(fā)生器16、臭氧變壓器17和高頻變換電路18。
在該高頻變換電路18中，將來自電源輸入19的電力變換成所需頻率，再用臭氧變壓器升壓至臭氧發(fā)生器16所必需的電壓，將必需的電力供給臭氧發(fā)生器16。又，高頻變換電路18具有控制電流/電壓的功能并且控制電力注入量。由臭氧變壓器17供給的高電壓，從高電壓電纜20通過高壓襯套21供給至臭氧發(fā)生器16內(nèi)的高壓電極8。又，臭氧變壓器17通過低電壓電纜24與基座1連接。
該臭氧發(fā)生器16，具有基座1；在該基座1上多級疊層的放電單元28；夾在放電單元28的低壓電極29之間的塊狀體30；貫通低壓電極29、塊狀體30和塊狀體壓板37且前端螺旋在基座1上而將基座1、低壓電極29、塊狀體30和塊狀體壓板37一體化的第1緊固螺栓14；以及貫通設(shè)置在最上層的低壓電極29上的電極壓板38并且前端螺旋在基座1上而以電極壓板38和基座1夾持疊層的放電單元28的第2緊固螺栓15。該第2緊固螺栓15貫通電極壓板38的周邊而不貫通放電單元28。又，圖中的符號90是第1緊固螺栓14用的通孔。
放電單元28，具有在與放電空隙6相對的面上形成電介質(zhì)膜31并作成圓板形狀的高壓電極8、與該高壓電極8的兩面接觸的圓板狀的電介質(zhì)7、隔著放電空隙6與該電介質(zhì)7相對的低壓電極29。電介質(zhì)7用玻璃或陶瓷構(gòu)成。高壓電極8由不銹鋼板等的導(dǎo)電性鋼板構(gòu)成，其一部分與供電端子32連接。
低壓電極29由圓形平面體的低壓電極主體29a、被塊狀體30夾持的延設(shè)部29b構(gòu)成。在各低壓電極主體29a和延設(shè)部29b上形成有制冷劑通路34。各制冷劑通路34的端部形成有貫通塊狀體30、延設(shè)部29b和基座1的制冷劑入口部42和制冷劑出口部35。在該制冷劑入口部42與制冷劑出口部35之間，還形成有貫通塊狀體30、延設(shè)部29b和基座1并與臭氧氣體通路36連接的臭氧氣體出口部33。制冷劑入口部42、制冷劑出口部35和臭氧氣體出口部33形成在同一條線上。又，在圖1和圖2中，為了表示制冷劑出口部35和臭氧氣體出口部33都貫通塊狀體30、延設(shè)部29b和基座1，而錯開地進(jìn)行表示。
又，低壓電極29由第1低壓電極部29A與第2低壓電極部29b構(gòu)成。在各個低壓電極部29A、29B中，預(yù)先通過蝕刻等進(jìn)行數(shù)毫米程度的凹凸加工，以形成臭氧氣體通路36、制冷劑通路34，并且預(yù)先通過蝕刻等進(jìn)行孔加工，以形成臭氧氣體出口部33、制冷劑出口部35。又，在第1低壓電極部29A和第2低壓電極部29B的一個面上設(shè)有利用蝕刻等形成的襯墊39。而且，通過使該2片低壓電極部29A、29B接合，形成具有臭氧氣體通路36、臭氧氣體出口部33、制冷劑通路34、制冷劑出口部35和制冷劑入口部42的低壓電極29。2片低壓電極部29A、29B的接合是采用釬焊方式并在無氧狀態(tài)下進(jìn)行加熱接合。
又，在采用釬焊接合時，在臭氧氣體通路36中臭氧氣體與釬材產(chǎn)生氧化反應(yīng)，臭氧氣體分解并生成金屬氧化物等，由于在臭氧氣體中混入金屬氧化物，故存在臭氧氣體受到損害的情況。
為了不產(chǎn)生這樣的不良情況，對于作為金屬電極的低壓電極部29A、29B的接合方法，也可以用使低壓電極部29A、29B互相重合且僅對貼合面進(jìn)行加熱、加壓來接合的方法代替釬焊接合的方法。
又，為了保持低壓電極29的制冷劑出口部35、制冷劑入口部42和臭氧氣體出口部33各自的氣密性，雖未圖示，但在塊狀體30與延設(shè)部29b之間夾有制冷劑和臭氧氣體密封用的襯墊等。也就是說，夾有制冷劑和臭氧氣體密封用的襯墊等而使塊狀體30與延設(shè)部29b交替疊層，并將它們都通過第1緊固螺栓14進(jìn)行連接，作成可對制冷劑和臭氧氣體進(jìn)行密封的結(jié)構(gòu)。
可是，為了提高臭氧發(fā)生效率，就必須提高放電空隙長度的精度，因此，對于確定設(shè)置在低壓電極主體29a兩面上的放電空隙長度的襯墊39，要求高精度。第2緊固螺栓15將疊層的多個放電單元都進(jìn)行連接并且以足夠的接合力使各放電單元28間電極的放電空隙6保持均勻而進(jìn)行緊固。又，為了不對放電空隙長度的精度造成不良影響，貫通交替疊層的延設(shè)部29b和塊狀體30的第1緊固螺栓14的接合力，比使高壓電極8、低壓電極主體29a和電介質(zhì)7接合的第2緊固螺栓15的接合力弱。
以下，對該臭氧發(fā)生器16的動作進(jìn)行說明。
在高壓電極8與低壓電極29之間施加交流高電壓時，在放電空隙6中產(chǎn)生無聲(電介質(zhì)阻擋)放電，在該放電空隙6中當(dāng)氧氣從低壓電極主體29a的全周圍向中心通過時，氧氣被變換而產(chǎn)生臭氧。該臭氧氣體從臭氧氣體通路36、臭氧氣體出口部33向臭氧發(fā)生器16的外部排出。
在該臭氧發(fā)生器16動作時，作為制冷劑的冷卻水從制冷劑入口部42進(jìn)入制冷劑通路34，在那里使低壓電極主體29a冷卻后從制冷劑出口部35向臭氧發(fā)生器16的外部排出。這樣，由于至少使低壓電極主體29a冷卻，故能將放電空隙6內(nèi)的氣體溫度保持在較低，提高臭氧氣體的發(fā)生效率。
又，雖然在該實(shí)施例中使用冷卻水作為制冷劑，但當(dāng)然不限定于水。
如上所述，在該臭氧發(fā)生器16中，氧氣從低壓電極主體29a的全周圍向放電空隙6內(nèi)進(jìn)入，并原樣地向低壓電極主體29a的中心流動。氧氣在其途中被變換成臭氧氣體，該臭氧氣體通過端部面與放電空隙6的中心相臨的臭氧氣體通路36和臭氧氣體出口部33而向臭氧發(fā)生器16的外部排出。這樣，氧氣最小也在低壓電極主體29a的半徑距離的長度份額流通，由于還作成在規(guī)定的時間交流高電壓下的狀態(tài)，故能防止以所謂“短通道”使臭氧氣體的發(fā)生效率降低的情況。
又，在延設(shè)部29b和塊狀體30上，在放電單元28的疊層方向上，貫通地分別形成向制冷劑通路34供給制冷劑的制冷劑入口部42、將來自制冷劑通路34的制冷劑排出的制冷劑出口部35的低壓電極29上的臭氧氣體通路36連接的臭氧氣體出口部33，由于制冷劑入口部42、制冷劑出口部35和臭氧氣體出口部33集中在臭氧發(fā)生器16的一側(cè)，故能夠使得臭氧發(fā)生器16小型化。
又，由于制冷劑入口部42、制冷劑出口部35和臭氧氣體出口部33形成在同一直線上，故在放電單元28的疊層作業(yè)中，就能夠容易地進(jìn)行位置對準(zhǔn)，提高作業(yè)性能。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，低壓電極主體29a和高壓電極8被電極壓板38和第2緊固螺栓15按壓在基座1上，作成使疊層的各放電單元28的電極的放電空隙長度均勻的狀態(tài)。又，用塊狀體30夾持的延設(shè)部29b也被塊狀體后板37和緊固螺栓5按壓在基座1上，用緊固螺栓將各放電單元28間的制冷劑和臭氧氣體密封，就具有使制冷劑、臭氧氣體集中的功能。各個按壓力被分到放電電極部、制冷劑和臭氧氣體集合部。并且，由于塊狀體30側(cè)比電極側(cè)弱，故將制冷劑和臭氧氣體集合部的密封功能保持在足夠的狀態(tài)下，塊狀體30側(cè)的按壓力不會對放電空隙長度的尺寸精度產(chǎn)生不良影響，能確保放電空隙長度的規(guī)定的尺寸精度。
(實(shí)施例2)圖7是本發(fā)明實(shí)施例2的臭氧發(fā)生器16的低壓電極43的平面圖，圖8是沿圖7的低壓電極43的A-A線的剖視圖，圖9是沿圖7的低壓電極43的B-B線的剖視圖。
在本實(shí)施例中，低壓電極43由第1低壓電極部43A、第2低壓電極部43B、第3低壓電極部43C和第4低壓電極部43D構(gòu)成。在第1低壓電極部43A和第2低壓電極部43B上，利用蝕刻等預(yù)先進(jìn)行數(shù)毫米程度的凹凸加工，以形成制冷劑通路34，并利用蝕刻等預(yù)先進(jìn)行加工，以形成制冷劑入口部42和制冷劑出口部35用的孔。在第3低壓電極部43C的第4低壓電極部43D上，利用蝕刻等加工臭氧氣體通路36形成用的數(shù)毫米程度的凹凸部，并利用蝕刻等加工臭氧氣體出口部33、制冷劑入口部42和制冷劑出口部35形成用的孔。通過將該4片低壓電極部43A～43D接合，形成具有臭氧氣體通路36、臭氧氣體出口部33、制冷劑通路34、制冷劑出口部35和制冷劑入口部42的低壓電極43。又，使得此時的制冷劑通路34和臭氧氣體通路36分離成不同的層而形成。
又，其他的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
這樣，由于在臭氧氣體通路36的上側(cè)和下側(cè)設(shè)置了制冷劑通路34，形成制冷劑通路34的表面積約增大2倍，故相應(yīng)地提高了臭氧氣體通路36的冷卻性，可抑制在臭氧氣體通路36中因溫度上升引起的臭氧分解，能取出高濃度的臭氧氣體。
又，還由于將3片低壓電極部重疊，故能使制冷劑通路分離為2層并形成將制冷劑通路設(shè)在與臭氧氣體通路不同層上的低壓電極。又，由于使得低壓電極部的疊層片數(shù)為5片以上，則還能形成制冷劑通路分離為3層以上的低壓電極。
(實(shí)施例3)圖10是本發(fā)明實(shí)施例3的臭氧發(fā)生器的低壓電極44的平面圖，圖11是沿圖10的低壓電極44的A-A線的剖視圖，圖12是沿圖10的低壓電極44的B-B線的剖視圖。
在本實(shí)施例中，在低壓電極44的低壓電極主體44a的兩個放電面上熔射陶瓷而形成電介質(zhì)膜45，再在膜45上熔射陶瓷而形成襯墊46。
其他的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1相同。
在該實(shí)施例中，低壓電極44的放電面，作為電介質(zhì)膜的材料，以陶瓷構(gòu)成而并非金屬面。因此，不會產(chǎn)生因放電從金屬面濺射出的金屬粒子含于臭氧氣體中的情況，故能獲得極清潔的臭氧氣體。
又，由于用陶瓷形成電介質(zhì)膜45，故放電面與不銹鋼的低壓電極相比，低壓電極44的熱傳導(dǎo)率提高，低壓電極44的散熱性提高，并且能使放電電極面溫度更低、提高臭氧的取出效率。
實(shí)施例4圖13的本發(fā)明實(shí)施例4的臭氧發(fā)生器16的低壓電極47的平面圖，圖14是沿圖13的低壓電極47的A-A線的剖視圖，圖15是沿圖13低壓電極47的B-B線的剖視圖。
在本實(shí)施例中，在低壓電極47的低壓電極主體47a的兩面上貼合有帶襯墊的玻璃電介質(zhì)48，這一點(diǎn)與實(shí)施例3不同。
這樣，在放電面上消除了金屬面，通過設(shè)置作為電介質(zhì)片的玻璃電介質(zhì)48，使由放電引起從金屬面濺射出的金屬粒子不含于臭氧氣體中，在能獲得極清潔的臭氧氣體的這一點(diǎn)上，與實(shí)施例3相同。
又，采用玻璃電介質(zhì)48，能使成本比由陶瓷熔射形成的電介質(zhì)膜45更便宜，并能形成薄的玻璃膜。
(實(shí)施例5)圖16是本發(fā)明實(shí)施例5的臭氧發(fā)生器16的剖視圖。
在本實(shí)施例中，在電介質(zhì)7的高壓電極8側(cè)的面上形成有導(dǎo)電膜49的這一點(diǎn)與實(shí)施例1不同。
在上述實(shí)施例1～4中，金屬的高壓電極8的表面與用玻璃構(gòu)成的電介質(zhì)7的面以機(jī)械的壓力相接觸，高壓電極8的面與電介質(zhì)7的面，在接觸面的局部產(chǎn)生空隙，在該空隙部中產(chǎn)生不正的放電(局部放電)，因電介質(zhì)7的損壞及不正的放電，會引起高壓電極8的冷卻效果降低、產(chǎn)生金屬污染物、產(chǎn)物臭氧發(fā)生效率的下降。
然而，在本實(shí)施例中，在電介質(zhì)7的高壓電極8側(cè)的表面上，由于完全密貼地預(yù)先涂布形成例如由銅或金屬耐臭氧性的金屬構(gòu)成的導(dǎo)電膜49，并且由于導(dǎo)電膜49與高壓電極8為相同電位，故即使在導(dǎo)電膜49與高壓電極8之間有局部空隙，在高壓電極8與導(dǎo)電膜49之間也不會產(chǎn)生不正的放電(局部放電)，能防止因電介質(zhì)7的損壞及不正的放電引起高壓電極8的冷卻效果的降低、金屬污染物的產(chǎn)生，且不會降低高壓電極8的冷卻效果并能防止臭氧發(fā)生效率的降低。
在本實(shí)施例中，在與高壓電極8接觸的電介質(zhì)7的表面上涂布了導(dǎo)電膜49，而在使電介質(zhì)與低壓電極接觸的臭氧發(fā)生器中，通過在與低壓電極接觸的電介質(zhì)面上涂布導(dǎo)電膜，由于導(dǎo)電膜與低壓電極成為相同電位，故即使在導(dǎo)電膜gn低壓電極之間的接觸面的局部上具有空隙，在導(dǎo)電膜與低壓電極之間也不會產(chǎn)生不正的放電(局部放電)，可防止電介質(zhì)的損壞、金屬污染物的產(chǎn)生，并防止臭氧發(fā)生效率的降低。
(實(shí)施例6)圖17是本發(fā)明實(shí)施例6的臭氧發(fā)生器16的主要部分剖視圖。
在使表面上具有導(dǎo)電膜49的電介質(zhì)7與高壓電極8壓接入實(shí)施例5的場合，當(dāng)在電介質(zhì)7與高壓電極8之間的接觸電阻及接觸熱阻變大時，冷卻能力降低。
在本實(shí)施例中，由于在高壓電極8與導(dǎo)電膜49之間電傳導(dǎo)率和熱傳導(dǎo)率高、并且涂入射臭氧性優(yōu)異的硅化合物50，在電介質(zhì)7與高壓電極8之間的接觸電阻及接觸熱阻變小，故冷卻能力提高，能產(chǎn)生更高濃度的臭氧氣體。
又，通過在電介質(zhì)7與高壓電極8之間夾入非常薄的金屬箔片來代替化合物50也能提高電傳導(dǎo)率的熱傳導(dǎo)率。
又，在將電介質(zhì)與低壓電極作成一體化的臭氧發(fā)生器的情況下，也可以在電介質(zhì)與低壓電極之間設(shè)置良熱傳導(dǎo)性、良電傳導(dǎo)性的化合物。
(實(shí)施例7)圖18是本發(fā)明實(shí)施例7的臭氧發(fā)生器16的電介質(zhì)7的平面圖，圖19是沿圖18的A-A的剖視圖。
在實(shí)施例6的場合，由于在電介質(zhì)7的高壓電極8側(cè)的表面上形成由例如銅構(gòu)成的導(dǎo)電膜49，在與高壓電極8面接觸的電介質(zhì)49與施加高電壓的電位，故在作為邊緣部的導(dǎo)電膜49的周邊部與電介質(zhì)7的周邊部之間產(chǎn)生電暈放電，可能會成為金屬污染物產(chǎn)生的主要原因。
在本實(shí)施例中，在作為導(dǎo)電膜49的周邊部的邊緣部上被覆有絕緣保護(hù)膜51。因此，可防止在邊緣部上的電暈放電的產(chǎn)生，并可防止產(chǎn)生金屬污染物。
又，在臭氧發(fā)生器16中，高電壓從供電端子32送至高壓電極8，通過電介質(zhì)7在導(dǎo)電膜49與低壓電極44之間產(chǎn)生無聲放電。這時，當(dāng)導(dǎo)電膜49的外徑比高壓電極8的外徑小時，在高壓電極8的周邊部與電介質(zhì)7的周邊部之間產(chǎn)生放電，成為金屬污染物產(chǎn)生的主要原因。
與此相反，將導(dǎo)電膜49的外徑作成比高壓電極8的外徑大，再通過使電介質(zhì)7的外徑增大，消除在高壓電極8的周邊部與電介質(zhì)7的周邊部之間的放電，能防止金屬污染物。
(實(shí)施例8)圖20是本發(fā)明實(shí)施例9的臭氧發(fā)生器的塊狀體60的剖視圖，使用塊狀體60來代替實(shí)施例1的塊狀體30。其他的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例1與相同。
該塊狀體60具有第1塊狀體部61、第2塊狀體部62、夾在第1塊狀體部61與第2塊狀體部62之間的作為彈性構(gòu)件的盤形彈簧63。在第1塊狀體部61上形成有嵌入第2塊狀體部62的突起部64的凹部65。又，在第1塊狀體部61上形成有嵌入O形圈66的槽部67。
在本實(shí)施例中，由于必須提高放電空隙長度的精度，故應(yīng)提高放電空隙6內(nèi)的襯墊的高度精度，再用電極壓板37和第2緊固螺栓15將電極整體按壓在基座1上，使放電空隙長度的精度提高。又，雖然用塊狀體60夾持的延設(shè)部29b也用塊狀體后板37和第1緊固螺栓14按壓在基座1上，但為了使得該按壓力不對放電空隙長度的精度造成不良影響，故其比電極整體的按壓力稍弱。
尤其，由于在第1塊狀體部61與第二塊狀體部62之間夾有盤性彈簧63而將塊狀體60作成彈性結(jié)構(gòu)，故能使塊狀體60側(cè)的按壓力比電極側(cè)的按壓力更可靠地減弱，能進(jìn)一步提高放電空隙長度的精度。
(實(shí)施例9)圖21是本發(fā)明實(shí)施例9的臭氧發(fā)生器16的電介質(zhì)7的平面圖。
對于在實(shí)施例7的電介質(zhì)7，在除了電介質(zhì)7的外周部以外的整個面上形成導(dǎo)電膜49，對此，在本實(shí)施例的電介質(zhì)7中，在低壓電極29內(nèi)從中心向徑向延伸的臭氧氣體通路36對應(yīng)的部位上具有去除導(dǎo)電膜49的去除區(qū)域80。
如此，在與高壓電極8面接觸的導(dǎo)電膜49上，與高壓電極8電位相同，雖然在與該部位對應(yīng)的電介質(zhì)7與低壓電極29之間產(chǎn)生放電，但在該部位以外不產(chǎn)生放電。其結(jié)果，由于在與臭氧氣體通路36對應(yīng)的電介質(zhì)7的部位與高壓電極8之間不產(chǎn)生放電，故能取出更高濃度的臭氧氣體。
也就是說，當(dāng)在與低壓電極29的臭氧氣體通路對應(yīng)的低壓電極29的面上產(chǎn)生放電時，用放電熱使臭氧氣體通路36加熱，則臭氧氣體受熱分解而產(chǎn)生在臭氧氣體通路36內(nèi)臭氧分解，而不能取出高濃度臭氧，但通過作成本實(shí)施例，可抑制臭氧的分解。
(實(shí)施例10)圖22是本發(fā)明實(shí)施例10的臭氧發(fā)生器16的低壓電極44的平面圖。在本實(shí)施例中，在與實(shí)施例4的低壓電極44上，還在與低壓電極44的臭氧氣體通路36對應(yīng)的面上形成T字形的襯墊覆蓋體70。
通過形成該襯墊覆蓋體70，由于在臭氧氣體通路36對應(yīng)的電壓電極44的面上不產(chǎn)生放電，因與實(shí)施例11同樣的理由，故能取出更高濃度的臭氧氣體。
(實(shí)施例11)圖23是本發(fā)明實(shí)施例11的臭氧發(fā)生器16的電介質(zhì)7的平面圖，圖24是沿圖23的電介質(zhì)7的A-A線的剖視圖。
在上述各實(shí)施例中，是在低壓電極29、43、44、47上形成襯墊41、46，而在本實(shí)施例中，在隔著放電空隙6而與低壓電極71相對的電介質(zhì)7的表面上，形成襯墊72。
在采用將低壓電極29、43、44、47與襯墊41、46作成一體的結(jié)構(gòu)時，必須在低壓電極29、43、44、47的制造工序中形成襯墊41、46的工序，低壓電極29、43、44、47的制造工序變得復(fù)雜且成本增高。與此相對，在電介質(zhì)7的表面上形成襯墊72的方法，由于電介質(zhì)7本身重量輕且僅在電介質(zhì)的一個面形成襯墊72，故襯墊72的形成工序作業(yè)簡單化。
又，在上述各實(shí)施例中，雖然對使電介質(zhì)7與高壓電極8接觸的場合作了說明，但對使電介質(zhì)與低壓電極接觸的臭氧發(fā)生器，也可應(yīng)用本發(fā)明。
如上所述，采用發(fā)明的臭氧發(fā)生器，氧氣從低壓電極主體的全周進(jìn)入放電空隙內(nèi)，并原樣地向低壓電極主體的中心流動，氧氣在其途中被變換成臭氧氣體，該臭氧氣體，由于通過端部面對放電空隙中心的臭氧氣體通路和臭氧氣體出口部而向外部排出，故氧氣在其途中被變換成臭氧氣體，該臭氧氣體，由于通過端部面對放電空隙中心的臭氧氣體通路和臭氧氣體出口部而向外部排出，故氧氣最少也流過低壓電極主體的半徑距離的長度部分，并且使得在規(guī)定的時間處于交流高電壓下，可防止以所謂“短通道”使臭氧氣體的發(fā)生效率降低的情況。
又，由于制冷劑入口部、制冷劑出口部和臭氧出口部集合在臭氧發(fā)生器的一側(cè)，故能使裝置整體小型化。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，交替疊層的延設(shè)部和塊狀體以貫通延設(shè)部和塊狀體的端部螺旋在基座上的第1緊固螺栓連接，交替疊層的高壓電極、低壓電極主體和電介質(zhì)以貫通與最上層的低壓電極接觸的電極壓板并將端部螺旋在基座上的第2緊固螺栓的電極壓板與基座之間的作用力的夾持力連接，上述第1緊固螺栓的接合力是在上述延設(shè)部和上述塊狀體之間無間隙的接合力，上述第2緊固螺栓的接合力是使得放電空隙均勻的夾持力，上述第1緊固螺栓的接合力比上述第2緊固螺栓的接合力弱。因此，塊狀體側(cè)的按壓力不會對放電空隙長度的尺寸精度造成影響，可確保放電空隙長度的規(guī)定的尺寸精度。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于制冷劑入口部、制冷劑出口部和臭氧氣體出口部形成在大致一條線上，故放電單元的疊層作業(yè)中的位置對準(zhǔn)就變得容易，可提高作業(yè)性能。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于低壓電極具有在一個面上設(shè)有凹凸面的第1低壓電極部及在一個面上設(shè)有凹凸的第2低壓電極部，使上述第1低壓電極部的凹凸與上述第2低壓電極部的凹凸面抵接而形成制冷劑通路和臭氧氣體通路，故通過使第1低壓電極部與第2低壓電極部接合、能簡單地形成制冷劑通路和臭氧氣體通路。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，低壓電極具有在一個面上設(shè)有凹凸面的第1電壓電極部、在一個面上設(shè)有凹凸的第2低壓電極部、夾在上述第1低壓電極部與上述第2低壓電極部之間的第3低壓電極部，由于通過使上述第1低壓電極部、上述第2低壓電極部和上述第3低壓電極部重疊而將制冷劑通路分離地形成不同的層，故形成制冷劑通路的表面積增大約2倍，相應(yīng)地提高了臭氧氣體通路的冷卻性，可抑制在臭氧氣體通路中因溫度上升引起的臭氧分解，能取出高濃度的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于在低壓電極相互間不采用釬材而僅用加熱和加壓進(jìn)行連接，故不會產(chǎn)生在采用釬焊連接時產(chǎn)生的、因臭氧氣體與釬材的氧化反應(yīng)而使臭氧氣體分解或生成金屬氧化物等、由于金屬氧化物混入臭氧氣體而損害清潔的臭氧氣體的不良情況。
又，采用發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于在與臭氧氣體通路對應(yīng)的低壓電極的表面上設(shè)在襯墊覆蓋體，故在與臭氧氣體通路對應(yīng)的低壓電極的面上，不產(chǎn)生放電，沒有因放電熱使臭氧氣體通路加熱的情況，可抑制臭氧氣體的分解，能取出高濃度的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于面向低壓電極的放電空隙的表面被電介質(zhì)膜覆蓋，故因放電濺射而從金屬面產(chǎn)生的金屬粒子不會含于臭氧氣體中，并能獲得清潔的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于面向低壓電極的放電空隙的表面與帶襯墊的電介質(zhì)片粘接，故能以低成本獲得清潔的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于電介質(zhì)膜、電介質(zhì)片是含有陶瓷或SiO2成分的玻璃狀，故與例如放電面與不銹鋼的低壓電極相比較低壓電極的熱傳導(dǎo)率提高且低壓電極的散熱性提高，能使放電電極面更低溫、提高臭氧氣體的取出效率。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于在與低壓電極或高壓電極接觸側(cè)的表面上設(shè)有導(dǎo)電膜，故導(dǎo)電膜、低壓電極或高壓電極成為同電位，即使在導(dǎo)電膜與低壓電極或高壓電極之間具有局部空隙也不會在高壓電極與導(dǎo)電膜之間產(chǎn)生不正的放電(局部放電)，能防止電介質(zhì)的損壞、金屬污染物的產(chǎn)生、臭氧發(fā)生效率的降低。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于形成于與高壓電極接觸側(cè)的電介質(zhì)的表布的導(dǎo)電膜具有在與臭氧氣體通路對應(yīng)的區(qū)域中去除導(dǎo)電膜的去除區(qū)域，故在與高壓電極面接觸的導(dǎo)電膜上與高壓電極是同電位，雖然在與該部位對應(yīng)的電介質(zhì)與低壓電極之間產(chǎn)生放電，但在該部位以外不產(chǎn)生放電。其結(jié)果，由于在與臭氧氣體通路對應(yīng)的電介質(zhì)的部位與高壓電極之間不產(chǎn)生放電，故能取出更高濃度的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，在電介質(zhì)和與該電介質(zhì)作成一體化的高壓電極或低壓電極之間，由于設(shè)有熱傳導(dǎo)性好、導(dǎo)電性好的化合物，故使在電介質(zhì)與高壓電極或低壓電極之間的接觸電阻及接觸熱阻變小，能提高冷卻能力、產(chǎn)生更高濃度的臭氧氣體。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于導(dǎo)電膜的外圍緣部被用絕緣保護(hù)膜被覆，故能防止邊緣部上產(chǎn)生電暈放電，并能防止金屬污染物的產(chǎn)生。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于在電介質(zhì)的一個面上設(shè)有襯墊，故僅在較輕的電介質(zhì)的一個面上形成襯墊，可使襯墊的形成工序作業(yè)簡單化。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于高壓電極的外徑尺寸比接合的外徑尺寸小，故能防止在高壓電極的周邊部與電介質(zhì)的周邊部之間的放電，能防止金屬污染物。
又，采用本發(fā)明的臭氧發(fā)生器，由于塊狀體具有第1塊狀體部、與該第1塊狀體部嵌合的第2塊狀體部、設(shè)在上述第1塊狀體部與上述第2塊狀體部之間的彈性體，故能更可靠地使得塊狀體側(cè)的按壓力比電極側(cè)的按壓力小，能進(jìn)一步提高放電空隙長度的精度。
權(quán)利要求
1.一種臭氧發(fā)生器，它是將放電單元多級疊層形成，所述放電單元具有圓板狀的高壓電極；隔著放電空隙與該高壓電極相對并在內(nèi)部形成制冷劑通路的低壓電極；與所述高壓電極和低壓電極的一方接觸的電介質(zhì)；以及設(shè)在所述放電空隙內(nèi)并確保所述放電空隙的襯墊，在所述高壓電極與低壓電極之間施加交流電壓，通過使得在所述放電空隙產(chǎn)生放電，使得從所述高壓電極的周邊起向著中心通過所述放電空隙內(nèi)的氧氣生成臭氧氣體，并且端部臨近所述放電空隙的中心，同時將所述臭氧氣體導(dǎo)向在低壓電極內(nèi)部沿徑向延伸的臭氧氣體通路，其特征在于，所述低壓電極由與所述高壓電極相對的圓形的低壓電極主體以及設(shè)在該低壓電極主體的一側(cè)的延設(shè)部構(gòu)成，并且該延設(shè)部通過塊狀體多級疊層在基座上，在所述延設(shè)部和所述塊狀體上，向所述制冷劑通路供給制冷劑的制冷劑入口部、將來自所述制冷劑通路的制冷劑排出的制冷劑出口部以及將來自所述臭氧氣體通路的臭氧氣體排出的臭氧氣體出口部分別貫通地形成在所述放電單元的疊層方向上。
2.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，被交替疊層的延設(shè)部和塊狀體利用貫通延設(shè)部及塊狀體且將端部螺旋在基座上的第1緊固螺栓進(jìn)行接合，被交替疊層的高壓電極、低壓電極主體以及電介質(zhì)，利用貫通與最上層低壓電極接觸的電極壓板且將端部螺旋在基座上的第2緊固螺栓作用于電極壓板與在基座之間的夾持力進(jìn)行接合，所述第1緊固螺栓的接合力是將所述延設(shè)部和所述塊狀體之間無間隙地接合的接合力，所述第2緊固螺栓的接合力是使放電空隙均勻的夾持力，所述第1緊固螺栓的接合力比所述第2緊固螺栓的接合力小。
3.如權(quán)利要求1或2所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，制冷劑入口部、制冷劑出口部以及臭氧氣體出口部大致形成在同一條線上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，低壓電極具有在一個面設(shè)有凹凸的第1低壓電極部以及在一個面設(shè)有凹凸的第2低壓電極部，使所述第1低壓電極部的凹凸面與所述第2低壓電極部的凹凸面相接而形成制冷劑通路和臭氧氣體通路。
5.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，低壓電極具有在一個面設(shè)有凹凸面的第1低壓電極部；在一個面上設(shè)有凹凸面的第2低壓電極部；以及介于所述第1低壓電極部與所述第2低壓電極部之間的第3低壓電極部，通過將所述第1低壓電極部、所述第2低壓電極部和所述第3低壓電極部重合，將所述冷劑通路分離成不同的層而形成。
6.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，低壓電極部的相互間僅通過加熱和加壓來接合。
7.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在與臭氧氣體通路對應(yīng)的低壓電極的表面上設(shè)有襯墊覆蓋體。
8.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，用電介質(zhì)膜覆蓋低壓電極的面向放電空隙的表面。
9.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在低壓電極的面向放電空隙的表面上，裝有帶襯墊的電介質(zhì)片。
10.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在與低壓電極或高壓電極接觸的一側(cè)的電介質(zhì)表面上設(shè)有導(dǎo)電膜。
11.如權(quán)利要求10所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，形成在與高壓電極接觸側(cè)的電介質(zhì)表面上的導(dǎo)電膜，具有在與臭氧氣體通路相對應(yīng)的區(qū)域去除掉導(dǎo)電膜的去除區(qū)域。
12.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在電介質(zhì)和與該電介質(zhì)形成一體的高壓電極或低壓電極之間，設(shè)有導(dǎo)熱性好、導(dǎo)電性好的化合物。
13.如權(quán)利要求10所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在導(dǎo)電膜的外周邊用絕緣保護(hù)膜覆蓋。
14.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，在電介質(zhì)的一個面上設(shè)有襯墊。
15.如權(quán)利要求1所述的臭氧發(fā)生器，其特征在于，塊狀體具有第1塊狀體部；與該第1塊狀體部嵌合的第2塊狀體部；以及設(shè)在所述第1塊狀體部與所述第2塊狀體部之間的彈性體。
全文摘要
根據(jù)本發(fā)明能夠獲得組裝簡單、小型且濃度高、效率高的臭氧發(fā)生器。在本發(fā)明的臭氧發(fā)生器中，低壓電極(29)由與高壓電極(8)相對的圓形的低壓電極主體(29a)和設(shè)在該低壓電極主體(29a)的一側(cè)上的延設(shè)部(29b)構(gòu)成，并且該延設(shè)部(29b)通過塊狀體(30)多級疊層，在延設(shè)部(29b)和塊狀體(30)上，向制冷劑通路(34)供給制冷劑的制冷劑入口部、將來自制冷劑通路(34)的制冷劑排出的制冷劑出口部35和將來自臭氧氣體通路(36)的臭氧氣體排出的臭氧氣體出口部(33)分別貫通地形成在放電單元(28)的疊層方向上。
文檔編號C01B13/11GK1421379SQ0212712
公開日2003年6月4日 申請日期2002年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2001年11月22日
發(fā)明者田畑要一郎, 沖原雄二郎, 臼井明, 小營弘道, 眼龍?jiān)Ｋ? 葛本昌樹, 和田昇, 太田幸治, 八木重典, 鐘江裕三 申請人:三菱電機(jī)株式會社