一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備視窗，尤其涉及一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]視窗裝置主要負(fù)責(zé)真空鍍膜設(shè)備中觀察真空腔體內(nèi)大轉(zhuǎn)盤，衛(wèi)星盤、夾具以及裝在夾具上的工件在不同工藝過程中的狀態(tài)，對(duì)鍍膜設(shè)備的正常運(yùn)行，發(fā)現(xiàn)工藝的異常情況等起著非常關(guān)鍵的作用。
[0003]傳統(tǒng)的視窗裝置采用真空密封玻璃較厚(12mm)，視窗前面(朝真空腔體一側(cè))裝有不銹鋼擋板，該擋板平時(shí)關(guān)閉，要觀察時(shí)，手動(dòng)打開擋板即可進(jìn)行觀察。視窗口周圍以及真空腔體的門上都裝有冷卻水管，冷卻水的循環(huán)保證視窗口周圍以及真空腔體的密封配件不會(huì)因加熱而變形或受損。工藝過程中，視窗擋板雖然多數(shù)情況下關(guān)閉，但是鈦和碳的涂層還是會(huì)很快在玻璃上不斷累積而使得玻璃變得模糊不清，一段時(shí)間后就得更換真空密封玻璃。該密封玻璃生產(chǎn)成本較高，而且要定制。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型是為了解決上述不足，提供了一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置。
[0005]本實(shí)用新型的上述目的是通過以下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，其特征在于:包括視窗腔體，視窗腔體上設(shè)有冷卻水管，所述視窗腔體外側(cè)端設(shè)有玻璃安裝框架，玻璃安裝框架安裝有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃內(nèi)側(cè)粘貼有一塊普通玻璃。
[0006]所述普通玻璃的厚度為3?5_。
[0007]所述普通玻璃的直徑小于真空密封玻璃直徑I?3mm。
[0008]使用時(shí)，本實(shí)用新型的視窗裝置安裝在真空鍍膜設(shè)備機(jī)架上部的真空腔體的密封門上。
[0009]本實(shí)用新型在原有的真空密封玻璃上朝真空室內(nèi)側(cè)使用粘貼有一塊厚度為3?5mm的普通玻璃，直徑略小于真空密封玻璃，使得工藝過程中鈦和碳的涂層先沉積到普通玻璃上，再按時(shí)更換普通玻璃即可達(dá)到保護(hù)密封玻璃的效果，從而延長(zhǎng)密封玻璃的使用壽命。
[0010]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是:本實(shí)用新型的視窗裝置配置靈活，工作性能穩(wěn)定，較大幅度提高了真空密封玻璃的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是圖1中A-A處的剖面圖。
[0013]圖3是圖1中B-B處的剖面圖。
[0014]圖4是本實(shí)用新型應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖5是本實(shí)用新型安裝在真空鍍膜設(shè)備真空腔體門上的正面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖6是本實(shí)用新型安裝在真空鍍膜設(shè)備真空腔體門上的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳述。
[0018]如圖1至圖6所示，一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，包括視窗腔體I，視窗腔體I上設(shè)有冷卻水管2，所述視窗腔體I外側(cè)端設(shè)有玻璃安裝框架3，玻璃安裝框架3安裝有真空密封玻璃4，所述真空密封玻璃4內(nèi)側(cè)粘貼有一塊普通玻璃5。
[0019]所述普通玻璃5的厚度為3?5mm。
[0020]所述普通玻璃5直徑小于真空密封玻璃4直徑I?3mm。
[0021]使用時(shí)，本實(shí)用新型的視窗裝置安裝在真空鍍膜設(shè)備機(jī)架6上部的真空腔體7的密封門8上。
[0022]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，其特征在于:包括視窗腔體，視窗腔體上設(shè)有冷卻水管，所述視窗腔體外側(cè)端設(shè)有玻璃安裝框架，玻璃安裝框架安裝有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃內(nèi)側(cè)粘貼有一塊普通玻璃。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，其特征在于:所述普通玻璃的厚度為3?5mm。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，其特征在于:所述普通玻璃的直徑小于真空密封玻璃直徑I?3_。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型真空鍍膜設(shè)備的視窗裝置，包括視窗腔體，視窗腔體上設(shè)有冷卻水管，所述視窗腔體外側(cè)端設(shè)有玻璃安裝框架，玻璃安裝框架安裝有真空密封玻璃，所述真空密封玻璃內(nèi)側(cè)粘貼有一塊普通玻璃。所述普通玻璃的厚度為3～5mm。所述普通玻璃的直徑小于真空密封玻璃直徑1～3mm。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)點(diǎn)是：本實(shí)用新型的視窗裝置配置靈活，工作性能穩(wěn)定，較大幅度提高了真空密封玻璃的使用壽命。
【IPC分類】C23C14/52
【公開號(hào)】CN205347567
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620109077
【發(fā)明人】黃裕祥
【申請(qǐng)人】廣東耐信鍍膜科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年2月3日