獨立可整體行走立式多層ito柔性基材自控卷繞系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領域】
[0001]本實用新型涉及信息及信息應用領域，具體涉及一種獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]ITO透明導電薄膜是一類既透明又導電的特殊功能性薄膜，具有禁帶寬、可見光譜區(qū)內(nèi)光的透射率高和電阻率低等共同的光學和電性能，目前廣泛用于顯示器、各種光電電子器件、觸摸屏、防輻射、建筑的節(jié)能保溫、交通工具上的防霧除霜和太陽能等眾多領域。ITO透明導電薄膜的工業(yè)化生產(chǎn)通常采用物理氣相沉積法。目前物理氣相沉積法制備ITO透明導電薄膜多在真空條件下，加溫到200°c — 350°C左右。使得ITO透明導電薄膜目前多只能沉積在玻璃等可以耐一定溫度的基體上，而不能沉積在不耐高溫的透明塑料薄膜。過多的加熱不僅消耗大量的能源，增加成本，對生產(chǎn)設備也提出許多的苛刻的要求。同時，由于在薄膜制備時始終處于高溫的狀況下，也就極大的限制了 ITO透明導電薄膜沉積所用基體材料的選用范圍，使得很多價格合理的高透明材料不能作為ITO透明導電薄膜的基體應用，也就相應的提高了 ITO透明導電薄膜產(chǎn)品的成本和價格，而且更加限制了 ITO透明導電薄膜產(chǎn)品的應用范圍。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種工作穩(wěn)定性好的獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)。
[0004]為了實現(xiàn)上述技術(shù)問題，本實用新型提供的技術(shù)方案為:本實用新型提供了一種獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，所述獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)包括卷繞機底座，所述卷繞機底座上設置有多層分開的放料機構(gòu)、自控張緊機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、立式單鼓機構(gòu)和收料機構(gòu)；
[0005]所述放料機構(gòu)、自控張緊機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、立式單鼓機構(gòu)、收料機構(gòu)均與自動控制機構(gòu)相連接；
[0006]所述放料機構(gòu)為放料輥和放料及分開系統(tǒng)，所述收料機構(gòu)為收料復合機構(gòu)和收料輥；
[0007]所述放料及分開系統(tǒng)、立式單鼓機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、收料復合機構(gòu)上均設置有各自獨立的同步驅(qū)動系統(tǒng)；
[0008]所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設置有表面處理機構(gòu)；
[0009]所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設置有對分開后各層ITO柔性基材的卷繞進程有實時同步的自動糾偏機構(gòu)。
[0010]所述立式單鼓內(nèi)還設置有薄膜沉積時的鼓表面的溫度控制機構(gòu)。
[0011]有益效果:本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，設計合理，工作穩(wěn)定性好，在常溫下可以工作。薄膜真空沉積系統(tǒng)和自控卷繞系統(tǒng)不固定連接，完全分離，極大地減少了真空腔體的開孔和結(jié)構(gòu)復雜性，使得卷繞機構(gòu)約束少；各個組成部分協(xié)調(diào)一致，同步運行，工作穩(wěn)定性好，能夠做到獨立張緊系統(tǒng)和獨立糾偏系統(tǒng)同步控制。實現(xiàn)了多層復合ITO柔性基材安裝和拆卸的自動化，減少了對膜層的損傷，提高了生產(chǎn)效率。
[0012]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型具有如下優(yōu)點:
[0013](I)非平衡陰極布置形式和自隔氣的整體式封閉屏蔽罩和各自獨立的供氣機構(gòu)，主要是通過低氣壓等離子體的非均勻放電性形式，是在電磁場與等離子體之間通過歐姆加熱、隨機加熱和二次電子發(fā)射加熱等諸多電子加熱的機制，間接的微小范圍內(nèi)局部暫時提高基體表面的瞬時溫度，來達到不對基體進行劇烈加熱而保證形成導電薄膜的材料可以最大可能的按要求沉積在基體的表面。
[0014](2)等離子體能在不對基體加熱的條件下，通過改善物理氣相沉積的工藝參數(shù)和采用更加合理的設備結(jié)構(gòu)以及經(jīng)過優(yōu)化的磁場布置形式等多種技術(shù)和理論的綜合，促使形成導電薄膜的材料可以最大可能的按要求沉積在基體的表面。為薄膜在基體表面的生長提供必要而且足夠的活化能。實現(xiàn)了溫超大面積多層復合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列復合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜的工業(yè)化生產(chǎn)。
[0015](3)采用物理氣相沉積技術(shù)將透明導電氧化物導電玻璃薄膜在室溫的條件下沉積在PET、PEN、PC等多層復合的柔性透明塑料基體上，并作為柔性光電子基礎材料而廣泛用于柔性顯示器、各種柔性光電電子器件、柔性共形觸摸屏等領域。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]I放料輥；2自控張緊系統(tǒng)；3表面處理機構(gòu)；4立式單鼓機構(gòu)及溫控系統(tǒng)；5自動糾偏機構(gòu)；6收料復合機構(gòu)；7收料棍；8卷繞機底座；9卷繞機隔板；10放料及分開系統(tǒng)。
【具體實施方式】
[0018]以下通過實施例進一步說明本實用新型。應該理解的是，這些實施例是本實用新型的闡釋和舉例，并不以任何形式限制本實用新型的范圍。
[0019]實施例1
[0020]本實用新型提供了一種獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)，所述獨立可整體行走立式多層ITO柔性基材自控卷繞系統(tǒng)包括卷繞機底座，所述卷繞機底座上設置有多層分開的放料機構(gòu)、自控張緊機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、立式單鼓機構(gòu)和收料機構(gòu)；
[0021]所述放料機構(gòu)、自控張緊機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、立式單鼓機構(gòu)、收料機構(gòu)均與自動控制機構(gòu)相連接；
[0022]所述放料機構(gòu)為放料輥和放料及分開系統(tǒng)，所述收料機構(gòu)為收料復合機構(gòu)和收料輥；
[0023]所述放料及分開系統(tǒng)、立式單鼓機構(gòu)、同步卷繞機構(gòu)、收料復合機構(gòu)上均設置有各自獨立的同步驅(qū)動系統(tǒng)；
[0024]所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設置有對需沉積復合卷繞ITO柔性基材全電阻值系列ITO膜的ITO柔性基材前后表面進行等離子處理的表面處理機構(gòu)；
[0025]所述自控卷繞系統(tǒng)內(nèi)部設置有對分開后各層ITO柔性基材的卷繞進程有實時同步的自動糾偏機構(gòu)。
[0026]所述立式單鼓內(nèi)還設置有薄膜沉積時的鼓表面的溫度控制機構(gòu)。