雙放雙收卷繞鍍膜裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及卷材表面鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種雙放雙收卷繞鍍膜裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電磁屏蔽薄膜是一種新型的電磁波屏蔽材料，它能有效阻隔電場、磁場，確保線路不被干擾，也防止線路干擾外界設備。目前常用于線路板、數(shù)據(jù)線等產(chǎn)品的屏蔽用途，是一種市場需求量較大的產(chǎn)品。
[0003]對于電磁屏蔽膜的加工，目前普遍采用涂布的方式進行加工，但是這種傳統(tǒng)的工藝制程不環(huán)保、成本高、產(chǎn)品品質(zhì)不理想。新型的方法是采用真空卷繞鍍膜的物理方法進行干法加工，但傳統(tǒng)的的卷繞鍍膜機一次只能鍍制一卷繞材料，導致生產(chǎn)效率低，成本較高，產(chǎn)品的市場競爭力不強。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種生產(chǎn)效率高、設備結(jié)構(gòu)集成度高的雙放雙收卷繞鍍膜裝置。
[0005]本實用新型的技術(shù)方案為:一種雙放雙收卷繞鍍膜裝置，包括真空室和兩組收放輥卷繞機構(gòu)，真空室為橫置的圓筒狀或方形箱狀的結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)的中部設置鍍膜區(qū)域和離子處理區(qū)域，鍍膜區(qū)域位于離子處理區(qū)域上方，兩組收放輥卷繞機構(gòu)分別設于真空室內(nèi)的左右兩側(cè)，各收放輥卷繞機構(gòu)上的卷材依次經(jīng)過離子處理區(qū)域和鍍膜區(qū)域相應的外側(cè)面。
[0006]所述真空室的前后兩端分別設有靶車和卷繞車，靶車和卷繞車底部分別設置導軌;靶車上設置濺射靶組件和離子處理組件，卷繞車上設置兩組收放輥卷繞機構(gòu);靶車沿著導軌運行，帶動濺射靶組件相應進入或退出鍍膜區(qū)域，同時帶動離子處理組件進入或退出離子處理區(qū)域;卷繞車沿著導軌運行，帶動兩組收放輥卷繞機構(gòu)同時進入或退出真空室。由于在真空室內(nèi)設置兩組收放輥卷繞機構(gòu)，所以真空室內(nèi)各組成部件的集成度高，操作和維護都相當復雜、難度較大，為此，在真空室外設置靶車和卷繞車，通過靶車安裝濺射靶組件和離子處理組件，通過卷繞車安裝兩組收放輥卷繞機構(gòu)，使用或需要維護時，通過靶車和卷繞車帶動濺射靶組件、離子處理組件和卷繞機構(gòu)進入或退出真空室，從而進行安裝或維護，其操作方便，也可降低維護難度，對在同一真空室內(nèi)實現(xiàn)雙放雙收的卷繞鍍膜方式能否實現(xiàn)起著關(guān)鍵性的作用。其中，離子處理組件可根據(jù)鍍膜工藝的實際需要確定是否安裝并使用。
[0007]所述靶車包括濺射靶安裝架、離子源安裝架、底座、支撐連桿和支撐側(cè)板，支撐側(cè)板通過支撐連桿與底座相連接，支撐側(cè)板上由上至下依次設置濺射靶安裝架和離子源安裝架，底座底部設有與軌道相配合的靶車滾輪。其中，支撐連桿有多個，各支撐連桿均與底座鉸接，由于濺射靶組件中磁控濺射靶的數(shù)量和離子處理組件中離子源的數(shù)量均可根據(jù)實際鍍膜工藝的需要進行調(diào)整，因此通過該鉸接方式，結(jié)合外置的氣缸或其它動力機構(gòu)，可調(diào)節(jié)濺射靶安裝架和離子源安裝架相對于底座的高度以及垂直度，從而使濺射靶組件和離子處理組件在真空室內(nèi)處于最佳位置。
[0008]所述卷繞車包括卷繞安裝架、支撐板和后座，支撐板固定于后座上，支撐板上設置兩套卷繞安裝架，兩套卷繞安裝架位于支撐板上的左右兩側(cè)，后座一側(cè)設有與軌道相配合的卷繞車滾輪，卷繞車滾輪位于支撐板下方。
[0009]所述鍍膜區(qū)域包括左鍍膜區(qū)和右鍍膜區(qū)，離子處理區(qū)域包括左離子處理區(qū)和右離子處理區(qū)，鍍膜區(qū)域的上端設有第一隔板，鍍膜區(qū)域與離子處理區(qū)域之間設有第二隔板，離子處理區(qū)域的下端設有第三隔板，左鍍膜區(qū)與右鍍膜區(qū)之間設有第四隔板，且第四隔板的下部延伸至左離子處理區(qū)和右離子處理區(qū)之間。第一隔板、第二隔板、第三隔板和第四隔板的設置，使左鍍膜區(qū)、右鍍膜區(qū)、左離子處理區(qū)和右離子處理區(qū)分別形成獨立的區(qū)域，可有效避免串氣現(xiàn)象，防止交叉污染，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0010]所述濺射靶組件包括至少一個左磁控濺射靶和至少一個右磁控濺射靶，左磁控濺射靶設于左鍍膜區(qū)內(nèi)，右磁控濺射靶設于右鍍膜區(qū)內(nèi)；離子處理組件包括至少一個左離子源和至少一個右離子源，左離子源設于左離子處理區(qū)內(nèi)，右離子源設于右離子處理區(qū)內(nèi)。其中，磁控濺射靶的數(shù)量和離子處理組件中離子源的數(shù)量均可根據(jù)實際鍍膜工藝的需要進行調(diào)節(jié)。
[0011]所述左磁控濺射靶和右磁控濺射靶均為平面靶材或圓柱靶材中的一種。
[0012]所述收放輥卷繞機構(gòu)包括放卷輥、收卷輥、導向輥、張力檢測輥和主動輥，放卷輥和收卷輥呈上下方式放置，放卷輥和收卷輥之間分布有多個導向輥和張力檢測輥，鍍膜區(qū)域上端外側(cè)和離子處理區(qū)域下端外側(cè)分別設有主動輥，通過張力控制來拉直卷材，卷材的待處理面平行于離子處理區(qū)域和鍍膜區(qū)域。其中，各種輥的數(shù)量和安裝方式可靈活配置。
[0013]通過上述裝置實現(xiàn)一種雙放雙收卷繞鍍膜方法，包括以下步驟:
[0014](I)根據(jù)鍍膜工藝的需要，在靶車上安裝濺射靶組件和離子處理組件，在卷繞車上安裝收放輥卷繞機構(gòu)；
[0015](2)靶車和卷繞車沿軌道移動，分別將濺射靶組件、離子處理組件和收放輥卷繞機構(gòu)送入真空室中，濺射靶組件對應進入鍍膜區(qū)域，離子處理組件對應進入離子處理區(qū)域；
[0016](3)對真空室進行抽真空，然后同時啟動真空室內(nèi)左右兩側(cè)的兩組收放輥卷繞機構(gòu)，兩組收放輥卷繞機構(gòu)上的卷材同時經(jīng)過離子處理區(qū)域和鍍膜區(qū)域的左右兩側(cè)，進行雙放雙收式的鍍膜處理。
[0017]其中，步驟(3)中，可通過在真空室外配備分子栗或擴散栗等抽真空機組，在濺射靶組件、離子處理組件和收放輥卷繞機構(gòu)進入真空室后，實現(xiàn)對真空室進行抽真空，抽真空機組采用現(xiàn)有設備通用的抽真空機組即可。
[0018]本實用新型相對于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果:
[0019]本雙放雙收卷繞鍍膜裝置及方法采用雙放雙收的鍍膜形式，在同一真空室內(nèi)設置兩組收放輥卷繞機構(gòu)，并將兩組收放輥卷繞機構(gòu)分別設于鍍膜區(qū)域和離子處理區(qū)域的兩偵U，實現(xiàn)同時鍍膜處理加工，可大幅度提高生產(chǎn)效率，有利于產(chǎn)品成本的控制，從而提高產(chǎn)品的市場競爭力。
[0020]本雙放雙收卷繞鍍膜裝置中，將鍍膜區(qū)域和離子處理區(qū)域分別進行分區(qū)隔離，可有效避免串氣現(xiàn)象，防止交叉污染，從而提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0021]本雙放雙收卷繞鍍膜裝置中，真空室內(nèi)各組成部件結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高，因此設備的空間利用率尚，為大幅提尚廣能提供了有力如提。
[0022]本雙放雙收卷繞鍍膜裝置中，通過在真空室的兩外端設置靶車和卷繞車，并將濺射靶組件和離子處理組件安裝于靶車上，將兩組收放輥卷繞機構(gòu)安裝與卷繞車上，再根據(jù)需要通過靶車和卷繞車進行安裝和維護，簡化設備的操作和維護，使設備使用更加方便，維護成本也較低。
【附圖說明】
[0023]圖1為本雙放雙收卷繞鍍膜裝置實施例1中，真空室內(nèi)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖2為本雙放雙收卷繞鍍膜裝置實施例2中，真空室內(nèi)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖3為本雙放雙收卷繞鍍膜裝置實施例3中，真空室內(nèi)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖4為本雙放雙收卷繞鍍膜裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖5為圖4的A方向視圖。
[0028]圖6為本雙放雙收卷繞鍍膜裝置實施例1中，真空室內(nèi)的截面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面結(jié)合實施例，對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。
[0030]實施例1
[0031]本實施例一種雙放雙收卷繞鍍膜裝置，如圖1所示，包括真空室I和兩組收放輥卷繞機構(gòu)，真空室為橫置的圓筒狀結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)的中部設置鍍膜區(qū)域2和離子處理區(qū)域3，鍍膜區(qū)域位于離子處理區(qū)域上方，兩組收放輥卷繞機構(gòu)分別設于真空室內(nèi)的左右兩側(cè)，各收放輥卷繞機構(gòu)上的卷材依次經(jīng)過離子處理區(qū)域和鍍膜區(qū)域相應的外側(cè)面。
[0032]如圖4或圖5所示，真空室的前后兩端分別設有靶車4和卷繞車5，靶車和卷繞車底部分別設置導軌6;靶車上設置濺射靶組件和離子處理組件，卷繞車上設置兩組收放輥卷繞機構(gòu);靶車沿著導軌運行，帶動濺射靶組件相應進入或退出鍍膜區(qū)域，同時帶動離子處理組件進入或退出離子處理區(qū)域;卷繞車沿著導軌運行，帶動兩組收放輥卷繞機構(gòu)同時進入或退出真空室。由于在真空室內(nèi)設置兩組收放輥卷繞機構(gòu)，所以真空室內(nèi)各組成部件的集成度高，操作和維護都相當復雜、難度較大，為此，在真空室外設置濺射靶和卷繞車，通過靶車安裝濺射濺射靶組件和離子處理組件，通過卷繞車安裝兩組收放輥卷繞機構(gòu)，使用或需要維護時，通過靶車和卷繞車帶動濺射靶組件、離子處理組件和卷繞機構(gòu)進入或退出真空室，從而進行安裝或維護，其操作方便，也可降低維護難度，對在同一真空室內(nèi)實現(xiàn)雙放雙收的卷繞鍍膜方式能否實現(xiàn)起著關(guān)鍵性